CN202839562U - 一种多晶硅片制绒花蓝装置 - Google Patents
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Abstract
一种多晶硅片制绒花蓝装置，包括盛装多晶硅片的花篮，在花篮上设有悬挂装置，花篮通过悬挂装置浸在酸性制绒液中，悬挂装置上接有电机，使用时，将多晶硅片放置在花篮中，将花篮浸在酸性制绒液中，同时开启电机，带动花篮进行旋转动作，调整旋转的速度，进行化学腐蚀或酸性腐蚀制绒，本实用新型通过对电机旋转速度的调整，可以改变硅片表面的反应速度和气泡停留速度，起到调整和改善绒面陷光性能的作用，可以改善反应均匀性和制绒质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种盛放多晶硅片的装置，特别涉及一种多晶硅片制绒花蓝装置。
背景技术
多晶硅片目前主要采用化学腐蚀（酸性腐蚀）制绒方法，使用基于HF/HNO3体系的酸性腐蚀液。一般将多晶硅片放置在花篮中，浸泡在制绒液内，花篮处于静止状态。由于在不同温度下，硅片的反应速度相差很大，反应温度越高反应速率越快，因此一般的制绒装置存在反应液和温度不均匀、制绒质量不理想的缺点，并且无法调整和改善绒面陷光性能。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种多晶硅片制绒花蓝装置，能够通过对花篮旋转速度的调整，改变硅片表面的反应速度和气泡停留速度，具有可以改善反应均匀性和制绒质量的特点。
为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：
一种多晶硅片制绒花蓝装置，包括花篮1，在花篮1上设有悬挂装置2，花篮1通过悬挂装置2浸在酸性制绒液4中，悬挂装置2上接有电机3。
由于本实用新型中的电机旋转后可以带动花篮进行旋转动作，通过对旋转速度的调整，可以改变硅片表面的反应速度和气泡停留速度，起到调整和改善绒面陷光性能的作用，所以具有可以改善反应均匀性和制绒质量的特点。
附图说明
附图为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细描述。
参见附图，一种多晶硅片制绒花蓝装置，包括花篮1，在花篮1上设有悬挂装置2，花篮1通过悬挂装置2浸在酸性制绒液4中，悬挂装置2上接有电机3。
本实用新型的工作原理是：
使用时，将多晶硅片放置在花篮1中，将花篮1浸在酸性制绒液4中，同时开启电机3，带动花篮1进行旋转动作，调整旋转的速度，进行化学腐蚀（酸性腐蚀）制绒。
Claims (2)
1.一种多晶硅片制绒花蓝装置，包括花篮（1），其特征在于，在花篮（1）上设有悬挂装置（2），悬挂装置（2）上接有电机（3）。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片制绒花蓝装置，其特征在于，花篮（1）通过悬挂装置（2）浸在酸性制绒液（4）中。
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| CN 201220461823 CN202839562U (zh) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 一种多晶硅片制绒花蓝装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107955972A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-04-24 | 中锗科技有限公司 | 旋转锗片/硅片碱腐蚀工艺及其专用设备 |
| CN110137306A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-08-16 | 苏州联诺太阳能科技有限公司 | 一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法 |
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