CN102335795A

CN102335795A - 光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置

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Publication number: CN102335795A
Application number: CN2011102014679A
Authority: CN
Inventors: 伊藤优作
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-07-20
Filing date: 2011-07-18
Publication date: 2012-02-01
Anticipated expiration: 2031-07-18
Also published as: TWI490069B; JP2012024784A; JP5518612B2; TW201206603A; CN102335795B; US8569649B2; US20120018412A1

Abstract

本发明提供能够以简单的结构进行两光束的分支和两光束之间的间隔的调整的光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置。该光学装置具有：分束器(31)，其使从振荡器(2)振荡出的激光束(Lb)分支为透过而行进的第一分支束和反射而行进的第二分支束；第一反射镜(34)，其将从该分束器(31)出射的第一分支束(Lb1)再次向分束器反射；第二反射镜(36)，其将从该分束器(31)出射的第二分支束(Lb2)再次向分束器(31)反射；以及旋转部(37)，其使第一反射镜(34)和第二反射镜(36)以分束器(31)中的激光束(Lb)的分支点(32)为旋转中心一体地旋转。

Description

光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置

技术领域

本发明涉及向晶片进行激光照射的光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置。

背景技术

在半导体设备制造步骤中，根据在作为大致圆板状的半导体工件的表面上以格子状排列的切割道(切断线)，来划分为多个区域，通过沿着切割道切断在该划分的区域上形成有IC、LSI等的电路的半导体工件，对每个电路进行分割，制造各个半导体芯片。沿着半导体工件的切割道的切断，通常通过称为切片机的切削装置来进行，还可以进行照射激光光线来进行切断的加工方法(例如，参照专利文献1)。

另外，还公开有为了提高加工效率，将激光束分支为两个而能够同时对两处进行加工的光学系统(例如，参照专利文献2、3)。

【专利文献1】日本特开平10-305420号公报

【专利文献2】日本特开2001-121281号公报

【专利文献3】日本特表2003-531393号公报

上述的光学系统是分别使电流计镜或楔形棱镜旋转2轴以上，控制两光束的方式，存在驱动控制复杂，成本提高，空间变大的问题。

发明内容

本发明正是鉴于上述问题而提出的，其主要的技术目的在于，提供一种通过比以往简单的结构，能够进行两束的分支和两束之间的间隔的调整的光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置。

为了解决上述问题，实现目的，本发明提供一种光学装置，该光学装置具有：振荡器，其振荡出激光束；分支机构，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为两束；以及聚光器，其对从该分支机构出射的两束激光束进行会聚，其特征在于，

该分支机构具有：

分束器，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为透过而行进的第一分支束和反射而行进的第二分支束；

第一反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束再次向该分束器反射；

第二反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束再次向该分束器反射；

旋转部，其使该第一反射镜和该第二反射镜以该分束器中的该激光束的分支点为旋转中心一体地旋转；以及

控制部，其使该旋转部旋转而变更该第一分支束对该第一反射镜的入射角度和该第二分支束对该第二反射镜的入射角度，从而调整在被该第一反射镜反射之后被该分束器反射的第一分支束与在被该第二反射镜反射之后透过该分束器的第二分支束所成的角度，

该聚光器配置在经如下过程后的该第一分支束和该第二分支束行进的光路上，该第一分支束经过的过程为：在透过了该分束器之后被该第一反射镜反射而再次入射到该分束器，并被该分束器反射而从该分束器出射，该第二分支束经过的过程为：在被该分束器反射之后被该第二反射镜反射而再次入射到该分束器中，并透过该分束器而从该分束器出射。

另外，本发明的光学装置，在上述的发明中，其特征在于，

该分束器为偏振分束器，

该分支机构具有：配设在该激光束的分支点与该第一反射镜之间的第一1/4波长板；以及配设在该激光束的分支点与该第二反射镜之间的第二1/4波长板。

另外，本发明的光学装置，在上述的发明中，其特征在于，

该分束器为半反镜。

另外，本发明的光学装置，在上述的发明中，其特征在于，

所述光学装置具有：第一中间反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束向与通过所述旋转中心的旋转轴平行的方向反射；以及第二中间反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束向与通过所述旋转中心的旋转轴平行的方向反射，

该第一反射镜被设定为，使被该第一中间反射镜反射的该第一分支束入射到该分束器中的、从由该振荡器振荡出的激光束入射的位置向所述旋转轴方向偏离的位置，该第二反射镜被设定为，使被该第二中间反射镜反射的该第二分支束入射到该分束器中的、从由该振荡器振荡出的激光束入射的位置向该旋转轴方向偏离的位置。

另外，本发明还提供一种激光加工装置，该装置具有：保持单元，其保持工件；以及加工单元，其对保持在该保持单元上的工件照射激光束而进行加工，其特征在于，

该加工单元具有上述光学装置。

根据本发明，能够仅以1轴的旋转驱动机构来实现能够进行两光束的分支和两光束之间的间隔的调整的光学装置以及激光加工装置。

附图说明

图1是本发明的实施方式1的光学装置的示意结构图。

图2是表示本发明的实施方式1的光学装置中的分支机构的说明图。

图3-1是表示本发明的实施方式1的对光学装置中的分支机构的反射镜的入射角度为0度时的分支束的图。

图3-2是表示本发明的实施方式1的使光学装置中的分支机构的反射镜向顺时针方向旋转了θ1的状态的图。

图3-3是表示本发明的实施方式1的使光学装置中的分支机构的反射镜向顺时针方向旋转了θ2的状态的图。

图3-4是表示本发明的实施方式1的使光学装置中的分支机构的反射镜向逆时针方向旋转了θ1的状态的图。

图3-5是表示本发明的实施方式1的使光学装置中的分支机构的反射镜向逆时针方向旋转了θ2的状态的图。

图4是表示本发明的实施方式2的使激光束入射到光学装置的分支机构的状态的立体图。

图5是本发明的实施方式的激光加工装置的立体图。

图6-1是晶片的分割预定线附近的剖面图。

图6-2是表示对晶片的分割预定线的隔着规定间隔的位置照射分支束的状态的剖面图。

图6-3是表示沿着晶片的分割预定线的宽度方向中央照射光束来形成分割槽的状态的剖面图。

符号说明

1：光学装置 2：振荡器

3、3A：分支机构 4：聚光器

5：驱动部 6：控制部

31：分束器 31A：接合面

32：分支点 33：第一1/4波长板

34-1：第一中间反射镜 34、34-2：第一反射镜

35：第二1/4波长板 36-1：第二中间反射镜

36、36-2：第二反射镜 37：旋转部

100：激光加工装置 101：保持机构

Lb：激光束 Lb1：第一分支束

Lb2：第二分支束

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的各实施方式的光学装置以及激光加工装置。

(实施方式1)

图1～图3表示了本发明的实施方式1的光学装置1。本实施方式的光学装置1能够在沿着工件的分割预定线来进行分割时，进行激光加工的情况中应用。

如图1所示，光学装置1具有：振荡器2，其振荡出激光束Lb；分支机构3，该分支机构3中入射从振荡器2振荡出的激光束Lb，将该激光束Lb分支为第一分支束Lb1和第二分支束Lb2这两个光束，或者将激光束Lb作为一个光束来出射；聚光器4，其对从分支机构3出射的这些光束进行会聚，以相对于工件W为规定的光束直径的方式调整；驱动部5，其为了调节分支机构3而驱动；以及控制部6，其控制驱动部5。

振荡器2是用于振荡出规定波长的激光光线的装置，例如能够应用YAG激光振荡器或YVO4激光振荡器等各种激光光线振荡器。

如图2所示，分支机构3具有：分束器31，其使从振荡器2振荡出的激光束Lb分支为透过而行进的第一分支束Lb1和反射而行进的第二分支束Lb2；第一反射镜34，其将从该分束器31出射的第一分支束Lb1再次向分束器反射；第二反射镜36，其将从该分束器31出射的第二分支束Lb2再次向分束器31反射；以及圆板状的旋转部37，其使第一反射镜34和第二反射镜36，以分束器31中的激光束Lb的分支点32作为旋转中心一体地旋转。

特别是，第一反射镜34和第二反射镜36以伴随旋转部37的旋转而在相同的圆上旋转移动的方式设定。换言之，第一反射镜34和第二反射镜36是以与分支点32间的距离相等的方式设定。

上述旋转部37通过使图1所示的驱动部5驱动、旋转，来变更第一分支束Lb1对第一反射镜34的入射角度和第二分支束Lb2对第二反射镜36的入射角度。因此，通过驱动旋转部37，来调整被第一反射镜34反射之后被分束器31反射的第一分支束Lb1、与被第二反射镜36反射之后透过分束器31的第二分支束Lb2所成的角度2θ(参照图2)。

分束器31将从振荡器2出射的激光束Lb分割为两个，在本实施方式中，使用能够分离偏振光成分的偏振分束器。该分束器31的结构是将两个直角棱镜粘接而成的正四棱柱形状，在接合面31A上施加了电介质多层膜或金属薄膜的涂布。另外，对于在本实施方式中使用的分束器31，使用反射光和透过光的强度大致一对一的半反镜。

在本实施方式中，由于分束器31为偏振分束器，因此在分束器31中，在透过接合面31A而进入的第一分支束Lb1出射的面312与第一反射镜34之间，配置第一1/4波长板33。另外，在分束器31中，被接合面31A反射而进入的第二分支束Lb2出射的面313与第二反射镜36之间，配置第二1/4波长板35。通过如上所述的配置，由于透过了分束器31的接合面31A的第一分支束Lb1被第一反射镜34反射，从而通过两次第一1/4波长板33，在直线偏振状态旋转了90°的状态下，回到接合面31A，因此被接合面31A反射。另外，被接合面31A反射的第二分支束Lb2被第二反射镜36反射，从而通过两次第二1/4波长板35，在直线偏振状态旋转了90°的状态下，回到接合面31A，因此通过接合面31A。在本实施方式中，由于分束器31为偏振分束器，因此分支时的光束的能量损失比使用了无偏振分束器时还要减少。

在图2中，在本实施方式中，分束器31为固定侧，通过使旋转部37旋转，第一反射镜34和第二反射镜36绕分束器31的周围转动。另外，旋转部37以如下所述的线作为旋转轴，即，该线通过分束器31中的激光束Lb的分支点32、且与刚在分支点32上分支后的该第一分支束和该第二分支束形成的面正交。第一反射镜34和第二反射镜36沿着圆板状的旋转部37的周缘配置在相互成90度角度的位置上，并以反射镜面相对于旋转部37的周缘成为切线方向的方式安装。另外，图2表示了将从分束器31的面311入射的光束Lb在分支点32上分支而透过的第一分支束Lb1以及在分支点32上反射的第二分支束Lb2，在图面中向顺时针方向稍微旋转移动的状态。

驱动部5具有旋转驱动旋转部37的电机等，控制部6通过驱动部5的驱动来控制旋转部37的旋转移动量。具体地讲，控制部6最终通过调整旋转部37的旋转角度来进行从分支机构3出射的两根光束的间隔的变更及成为一根光束时等的控制。

作为聚光器4，为了容易进行角度的调整，优选使用fθ透镜。在本实施方式中，在使用了这样的fθ透镜的状态下，通过使在第一反射镜34以及第二反射镜36上的反射角度θ成为0.001°，将光束的间隔设定为100μm(每个光束距中心位置分别分开50μm)。

以下，使用图3-1～图3-5，对分支机构3的作用/动作进行说明。另外，在图3-1～图3-5中，为了使说明简要，省略第一1/4波长板33以及第二1/4波长板35的图示。

图3-1表示了透过了分束器31的接合面31A的第一分支束Lb1以直角入射到第一反射镜34中，在接合面31A上反射的第二分支束Lb2以直角入射到第二反射镜36中的情况。此时，从分束器31的面312出射的光束Lb1在第一反射镜34上反射而回到分支点32中，被接合面31A反射而从面314出射。另外，从分束器31的面313出射的光束Lb2被第二反射镜36反射而回到分支点32，并透过接合面31A而与从面314出射的光束Lb1合流。因此，此时从面314出射的光束，成为将第一分支束Lb1和第二分支束Lb2的光束合并而成的光束，光束的强度高。

图3-2表示了从图3-1的状态使旋转部37稍微向顺时针方向旋转移动θ1的状态。此时，从分支点32分支的第一分支束Lb1在第一反射镜34上向分支点32的附近的接合面31A反射，被接合面31A反射而从面314出射。从该面314出射的第一分支束Lb1相对于面314的法线形成-θ1的角度。从分支点32分支的第二分支束Lb2在第二反射镜36上向分支点32附近的接合面31A反射，透过接合面31A而从面314出射。从该面314出射的第二分支束Lb2相对于面314的法线形成+θ1的角度。因此，通过使旋转部37仅旋转θ1，能够使从面314出射的第一分支束Lb1与第二分支束Lb3所成的角度成为2θ1。在本实施方式中，在使用了如上所述的fθ透镜的状态下，通过使在第一反射镜34以及第二反射镜36上的反射角度成为0.001°，能够将光束的间隔设定为100μm(光束距中心位置分别分开50μm)。图3-3表示了进一步使旋转部37向顺时针方向旋转了θ2的情况。此时，能够使从面314出射的第一分支束Lb1与第二分支束Lb3所成的角度成为2θ2。

图3-4表示了使旋转部37相对于分束器31向逆时针方向旋转了θ1的情况。此时，与在图3-2中表示的情况同样地，从分束器31的面314出射的第一分支束Lb1与第二分支束Lb2所成的角度成为2θ1。图3-5表示了使旋转部37相对于分束器31向逆时针方向旋转了比θ1大的θ2的情况。此时，与在图3-2中表示的情况同样地，从面314出射的第一分支束Lb1与第二分支束Lb2所成的角度成为2θ2。

以上，说明了本实施方式的光学装置1的结构以及作用/动作，但是根据该光学装置1，能够用将第一反射镜34和第二反射镜36一体地设置在旋转部37上的简单的结构，简单地进行两光束(Lb1、Lb2)的分支和两光束之间的间隔的调整。

另外，如果使用本实施方式的光学装置1，则如图3-1所示，能够使从分束器31的面314出射的光束成为一根，例如能够在晶片的分割预定线中的分割槽等的形成中使用。进而，如果使用该光学装置1，则通过用控制部6来进行旋转部37的角度调整，能够在晶片的分割预定线的宽度方向的两端部分上，容易加工一对相互分离的膜剥离防止用的浅槽。因此，用两根光束对如上所述的浅槽进行加工而形成能够防止膜剥离的结构之后，还能够通过简单的切换操作来进行用一根光束在这些浅槽的中间形成分割槽的操作。

进而，在本实施方式中，通过使用偏振分束器和1/4波长板33，激光束Lb分支时的光束的损失能够比使用了无偏振分束器情况还要减少。

(实施方式2)

接着，使用图4对本发明的实施方式2的光学装置进行说明。另外，本实施方式的光学装置，由于与上述实施方式1的光学装置1相比只有分支机构3A的结构不同，因此省略分支机构3A以外的部分的结构的说明。另外，对于与上述实施方式1相同的部分使用相同的符号、对于类似的部分使用类似的符号进行说明。另外，在本实施方式中，虽然分束器31也使用偏振分束器，但是省略1/4波长板的图示来进行说明。

如图4所示，在本实施方式的分支机构3A中，在分束器31的面312侧上，配置有在接合面31A上分支而透过了接合面31A的第一分支束Lb1入射的第一中间反射镜34-1。该第一中间反射镜34-1的反射面34A以相对于面312朝向与Y方向相反的方向倾斜45度的方式配置。另外，在分束器31的面313侧上，配置有在接合面31A上分支而被接合面31A反射的第二分支束Lb2入射的第二中间反射镜36-1。该第二中间反射镜36-1的反射面36A以相对于面313朝向与Y方向相反的方向倾斜45度的方式配置。分束器31、第一中间反射镜34-1以及第二中间反射镜36-1的位置关系是固定的。

分支机构3A具有：第一反射镜34-2和第二反射镜36-2，该第一反射镜34-2和第二反射镜36-2以相对于固定的分束器31能够绕分束器31旋转的方式设置。这些第一反射镜34-2和第二反射镜36-2，固定在以直角弯曲的L字形状的臂30的各个端部上。臂30在弯曲的部分设置有旋转部30A。该旋转部30A的中心轴以如下所述方式设定，即，该中心轴通过分束器31中的激光束Lb入射的接合面31A的分支点32，且与刚在分支点32分支之后的该第一分支束以及该第二分支束形成的面正交。如图4所示，在该臂30上固定的第一反射镜34-2和第二反射镜36-2，能够向箭头a方向转动。旋转轴30A通过与上述实施方式1相同的驱动部5以及控制部6来旋转控制。

第一反射镜34-2的反射面34B，以与第一中间反射镜34-1的反射面34A形成直角的方式配置。第一中间反射镜34-1的反射面34A将从分支点32到来的第一分支束Lb1向与上述中心轴平行的方向反射。即、从第一中间反射镜34-1的反射面34A出射的第一分支束Lb1，到达第一反射镜34-2的反射面34B。并且，以如下所述方式设定在第一反射镜34-2的反射面34B出射的第一分支束Lb1，即，使该第一分支束Lb1以大致直角入射到从分束器31中的分支点32起位于与Y方向相反的方向处的面312中。第二反射镜36-2的反射面36B，以与第二中间反射镜36-1的反射面36A形成直角的方式配置。并且，以如下所述方式设定从反射面36A出射的第二分支束Lb2，即，使该第二分支束Lb2以大致直角入射到从分束器31中的分支点32起位于与Y方向相反的方向处的面313中。另外，在本实施方式中，作为未图示的1/4波长板的配置位置，只要在通过了分支点32的第一分支束Lb1的路径上，例如配置在面312与第一中间反射镜34-1之间和第一反射镜34-2与面312之间这两个地方即可。另外，关于第二分支束Lb2的路径，例如只要配置在面313与第二中间反射镜36-1之间和第二反射镜36-2与面313之间这两个地方即可。另外，如上所述如果不使用两个1/4波长板而使用1/2波长板，则例如分别在面312与第一中间反射镜34-1之间和面313与第二中间反射镜36-1之间，各配置一个1/2波长板即可。总之，只要在从分束器31出射而再次入射为止之间的光路上，配置一个1/2波长板、或两个1/4波长板即可。

图4表示了在第一反射镜34-2和第二反射镜36-2不旋转的初始状态中，使激光束Lb入射到分支机构3A中的分束器31的分支点32中的状态。此时，在分支点32上分支并通过了接合面31A的第一分支束Lb1被第一中间反射镜34-1的反射面34A反射，入射到第一反射镜34-2的反射面34B，向面312反射。入射到面312的第一分支束Lb1被接合面31A反射而向与Z方向相反的方向出射。在分支点32上分支并被接合面31A反射的第二分支束Lb2被第二中间反射镜36-1的反射面36A反射，入射到第二反射镜36-2的反射面36B，向面313反射。入射到面313的第二分支束Lb2透过接合面31A而向与Z方向相反的方向出射。

在本实施方式的光学装置中，也通过在分支机构3A中使第一反射镜34-2和第二反射镜36-2一体地转动，从而如图4所示，最终控制为第一分支束Lb1和第二分支束Lb2重叠而出射的状态、和这些分支束以相互分离任意距离的方式出射的状态。

特别是，在本实施方式中，一旦从分束器31出射的第一分支束Lb1和第二分支束Lb2，通过第一中间反射镜34-1、第二中间反射镜36-1、第1反射镜34-2以及第二反射镜36-2反射，从而入射到从分束器31中的分支点32偏离的场所，因此能够抑制分束器31因激光束而劣化。

(激光加工装置的结构)

接着，使用图5对应用了本发明的实施方式1的光学装置1的激光加工装置100的结构进行说明。

图5是表示本发明的实施方式的激光加工装置100的结构的示意立体图。如图5所示，激光加工装置100具有：保持机构101，其用于保持工件；XY驱动机构102，其用于使保持机构101向作为加工移送方向的X轴方向以及作为分度移送方向的Y轴方向移动；上述实施方式的光学装置1，其用于向通过保持机构101保持的工件上，照射激光光线；以及未图示的控制装置，其内置在激光加工装置100中，总括地控制激光加工装置100的各部分。

保持机构101是以与工件对应的大小的工作盘为主体，通过未图示的吸引单元吸引保持作为上面的保持面101A上所载置的工件。工件通过未图示的输送单元而例如将表面侧作为上面输送到保持机构101中，吸引保持在保持面101A上。如上所述，将工件保持在保持面101A上的保持机构101设置在圆筒部件103的上端，成为通过配置在圆筒部件103内的未图示的脉冲电机而将铅直轴作为轴中心自由旋转的结构。

XY驱动机构102具有两段的滑动块104、105。保持机构101通过圆筒部件103搭载在两段的滑动块104、105之上。XY驱动机构102具有由滚珠丝杆106和脉冲电机107等构成的加工移送机构108，滑动块104通过该加工移送机构108自由地向X轴方向移动。并且，加工移送机构108驱动而滑动块103移动，保持机构101相对于光学装置1向X轴方向移动，从而使搭载在滑动块104上的保持机构101和光学装置1沿着X轴方向相对地移动。另外，在以下的说明中，关于作为加工移送方向的X轴方向，将在图5中箭头指示的方向作为正方向、将其反方向作为负方向。

XY驱动机构102具有由滚珠丝杆109和脉冲电机110等构成的分度移送机构111，滑动块105通过分度移送机构111自由地向Y轴方向移动。并且，分度移送机构111驱动而滑动块105移动，保持机构101相对于光学装置1向Y轴方向移动，从而使搭载在滑动块105上的保持机构101和光学装置1沿着Y轴方向相对地移动。

在本实施方式中，构成为通过使保持机构101向X轴方向以及Y轴方向移动，使保持机构101和光学装置1相对地移动的结构。相对于此，也可以构成为不使保持机构101移动，而使光学装置1向X轴方向以及Y轴方向移动的结构。另外，也可以构成为使保持机构101以及光学装置1双方沿着X轴方向向反方向移动，使保持机构101以及光学装置1双方沿着Y轴方向向反方向移动，从而使它们相对移动的结构。

对于加工移送机构108，附设用于检测保持机构101的加工移送量的加工移送量检测单元112。加工移送量检测单元112由沿着X轴方向配设的直线尺和配设在滑动块104上而通过与滑动块104一起移动来读取直线尺的读取头等构成。同样地，对于分度移送机构111，附设用于检测保持机构101的分度移送量的分度移送量检测单元113。分度移送量检测单元113由沿着Y轴方向配设的直线尺和配设在滑动块105上而通过与滑动块105一起移动来读取直线尺的读取头等构成。

光学装置1用于向吸引保持在保持面101A上的工件上照射激光光线，沿着工件的应加工的位置，实施激光加工。在光学装置1上具备的控制部6(参照图1)，由内置了存储器的微机等构成，其中该存储器保存在激光加工装置100的动作中所需的各种数据。

本实施方式的激光加工装置100，通过光学装置1的结构简单，能够进行两光束的分支和两光束之间的间隔的调整，因此能够以简单的控制来使从光学装置1出射的光束成为一根或两根，进而在成为两根时，简单地控制两根光束的间隔。

接着，使用图6-1～图6-3，对使用该激光加工装置100在晶片的分割预定线上形成分割槽的方法进行说明。

图6-1表示了在表面形成有多个设备202，在形成有划分设备202的分割预定线204的同时，在背面贴附了剥离薄片210的晶片201的剖面。

首先，使晶片201吸引保持在图5中所示的保持面101A之上。之后，在光学装置1中，例如如图3-1所示，在使从分束器31出射的光束成为一根的状态下，以激光束照射的位置成为分割预定线的中心的方式进行对位(对准)。

接着，例如如图3-2所示，通过旋转驱动旋转部37而使第一反射镜34和第二反射镜36相对于分束器31旋转，从而最终控制从分束器31出射的第一分支束Lb1与第二分支束Lb2所成的角度。在该状态下，如图6-2所示，沿着分割预定线204的宽度方向的两端部的线，照射相互隔着规定的距离的、第一分支束Lb1和第二分支束Lb2，形成浅槽的膜剥离防止用槽205。此处，关于膜剥离防止用槽205的形成，虽然优选形成在相对于分割预定线204的中心位置线对称的位置上，但是根据本发明，第一分支束Lb1和第二分支束Lb2以分割预定线204的中心为基准，以等角度分支，因此能够容易地进行将膜剥离防止用槽20形成在相对于分割预定线204的中心位置线对称的位置上的调整。

之后，如图3-1所示，将从分束器31出射的光束调整为一根，如图6-3所示，在膜剥离防止用槽205之间沿着线形成比较深的分割用槽206。之后，只要卸下晶片201，通过机械制动，分割为各个芯片即可。

如上所述，通过使用如上所述结构的激光加工装置100，具有能够简单地进行如下所述切换的优点，即在对准晶片201时，使光学装置1的光束成为一根来使用，在形成膜剥离防止用槽205时，使光束成为两根来使用，在形成分割用槽206时，使光束成为一根来使用。

(其他实施方式)

以上，虽然说明了本发明的实施方式，但是构成上述实施方式公开的一部分的论述以及附图不限定本发明。本领域技术人员能够从该公开中想到替代实施方式、实施例以及运用技术。

例如，在上述实施方式中，作为分束器31使用偏振分束器，并使用了1/4波长板，但是当然也可以是使用无偏振分束器并且不使用1/4波长板的结构。

另外，作为工件不特别限定，但是例如可以例举硅晶片(Si)、砷化镓(GaAs)、碳化硅(SiC)等的半导体晶片，或作为芯片安装用而设置在晶片的背面的DAF(DieAttach Film)等的粘结部件，或者半导体产品的封装、陶瓷、玻璃、蓝宝石(Al₂O₃)等的无机材料基板、液晶显示驱动器等的各种电子部件，进而可以例举要求微米级的加工位置精度的各种加工材料。

如上所述，本发明的光学装置以及激光加工装置，在分割晶片时有用，特别适用到晶片的切割装置等中。

Claims

1.一种光学装置，其具有：振荡器，其振荡出激光束；分支机构，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为两束；以及聚光器，其对从该分支机构出射的两束激光束进行会聚，该光学装置的特征在于，

该分支机构具有：

2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

该分束器为偏振分束器，

3.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

该分束器为半反镜。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的光学装置，其特征在于，

该光学装置具有：第一中间反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束向与通过所述旋转中心的旋转轴平行的方向反射；以及第二中间反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束向与通过所述旋转中心的旋转轴平行的方向反射，

5.一种激光加工装置，其具有：保持单元，其保持工件；以及加工单元，其对保持在该保持单元上的工件照射激光束而进行加工，其中，

该加工单元具有权利要求1～4中的任意一项所述的光学装置。