CN102255055B - 一种oled生产工艺中减少氮气用量的方法 - Google Patents
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Abstract
一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法,在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段,首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为30ml/s-50ml/s,吹气时间设为35sec-45sec;其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝,其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1;然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气;由于使用除湿除尘压缩空气来代替氮气或直接取消部分工位的氮气的使用,达到降低氮气使用量的目的。
Description
技术领域
本发明属于OLED生产技术领域,具体涉及一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法。
背景技术
在OLED生产工艺中,大量使用氮气,主要是用来隔离空气,防止在生产过程中产品或药液与空气接触发生氧化反应,改变产品或药液的性能,从而影响产品质量。
但是另一方面,特别是在OLED生产工艺的黄光区的生产中,使用氮气的地方有涂胶前清洗机的CP冷却板、显影部分以及直板烘箱,这些地方大量使用高纯氮气,虽然保证了产品质量,却也使生产成本大幅提高造成成本昂贵的缺陷。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法,使用除湿除尘压缩空气来代替氮气或直接取消部分工位的氮气的使用,达到降低氮气使用量的目的。
为了达到上述目的,本发明所采用的技术方案是:
一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法,在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段,首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为30ml/s-50ml/s,吹气时间设为35sec-45sec;其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝,其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1;然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气。
通过使用除湿除尘压缩空气来代替氮气或直接取消部分工位的氮气的使用,达到降低氮气使用量的目的。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作更详细的说明。
实施例1:
OLED生产工艺中减少氮气用量的方法,在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段,首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为30ml/s,吹气时间为35sec;其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝,其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1;然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气。
实施例2:
OLED生产工艺中减少氮气用量的方法,在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段,首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为40ml/s,吹气时间为40sec;其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝,其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1;然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气。
实施例3:
OLED生产工艺中减少氮气用量的方法,在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段,首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为50ml/s,吹气时间为45sec;其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝,其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1;然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气。
通过使用除湿除尘压缩空气来代替氮气或直接取消部分工位的氮气的使用,达到降低氮气使用量的目的。
Claims (1)
1.一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法,其特征在于:在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段,首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为30ml/s-50ml/s,吹气时间设为35sec-45sec;其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝,其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2:1;然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气。
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