CN102240990A - 冰冻固结磨料抛光垫开槽装置 - Google Patents

Abstract

一种冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是它包括：一开槽模具（1），该开槽模具（1）与冰冻固结磨料抛光垫（2）相对的一面上设有相配的凸起筋条（3），所述的开槽模具（1）的中心设有一个支撑柱（4）；一加热平台（5），该加热平台（5）直接与前述开槽模具（1）上的支撑柱（4）的下端相接触；在加热平台（5）上还放置隔热垫（6），隔热垫（6）上放置有接水盘（7）；一承装装置（8），所述的冰冻固结磨料抛光垫（2）定位在该承载装置（8）中；一升降装置（9），该升降装置（9）通过连接件（10）或直接驱动承载装置（8）上下移动。本发明结构简单，易于实现。

Description

冰冻固结磨料抛光垫开槽装置

技术领域

本发明涉及一种机械加工装置，尤其是一种冰冻固结麿料抛光垫的二次加工装置，具体地说是一种冰冻固结磨料抛光垫开槽装置。

背景技术

目前，随着超大规模集成电路(ULSI)的发展，芯片的集成度越来越高，作为基底材料之一的硅片直径不断增大且硅片的刻线宽度越来越细。这就要求晶片表面除具有纳米级面型精度和亚纳米级表面粗糙度外，还要保证其表面无损伤。CMP技术是目前ULSI芯片多层布线中不可替代的层间平坦化方法，也是硅片加工最终获得纳米级超光滑无损伤表面的最有效方法。冰冻固结磨料抛光是在传统的CMP抛光基础上，提出的一种兼具CMP、固结磨料抛光和冰盘抛光的一种新型工艺，具有加工表面精度高、表面平坦化能力强等优点。该技术不仅仅适用于硅片还适用于微晶玻璃、SiC、水晶等硬脆材料的精密超精密加工。

研究发现，在抛光垫表面开槽有利于提高材料去除率和硅片表面质量，针对这一发现，提出了一种开槽型冰冻固结磨料抛光垫，以适应目前既要保证工件抛光质量又能提高经济效益的要求。 由于磨料冰冻后去模困难且容易影响开槽质量等原因，所以本发明采用热压法对已有的冰冻固结磨料抛光垫进行开槽。针对冰冻固结磨料抛光垫本身会融化这一特性急需设计一套装夹、隔热等装置。

发明内容

本发明的目的是针对不开槽型冰冻固结磨料抛光垫去除速率低、抛光应力分布不均匀、抛光效果不尽人意等缺点，设计一种能对冰冻固结磨料抛光垫进行开槽的开槽装置。

本发明的技术方案是：

一种冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是它包括：

    一开槽模具1，该开槽模具1与冰冻固结磨料抛光垫2相对的一面上设有相配的凸起筋条3，所述的开槽模具1的中心设有一个支撑柱4；

    一加热平台5，该加热平台5直接与前述开槽模具1上的支撑柱4的下端相接触；在加热平台5上还放置隔热垫6，隔热垫6上放置有接水盘7；

    一承载装置8，该承载装置包括刚度提供层和隔热层，形状为“翼型”，所述的冰冻固结磨料抛光垫2定位在该承载装置8中；

    一升降装置9，该升降装置9通过连接件10或直接驱动前述的承载装置8作上下移动。

所述的升降装置9由升降杆11、齿条12、齿轮13、摇杆14和齿轮箱15组成，升降杆11平行于齿条12，升降杆11和齿条12通过连杆刚性连接；齿条12安装在齿轮箱15中，齿轮13与齿条12啮合，摇杆14安装在齿轮13上。

所述的齿轮13上设有插装定位销以使摇手定位的销孔16。

所述的升降杆11上安装有径向锁定螺钉17。

所述的升降装置9由气缸909、承载平台911和座架913组成，气缸909安装在承载平台911上，承载平台911支承在座架913上，气缸909的气缸轴下端与连接件10的上端相连并驱动连接件10作上下运动，连接件10的另一端与承载装置8相连。

所述的气缸909通过螺钉固定在承载平台911上。

所述的座架913设有燕尾形导轨918，所述的承载平台911插入所述的燕尾形导轨918中通过联接件912定位。

所述的升降装置9由弹簧101、铰链支撑102、杠杆103、球状压头104、底座105（可为圆柱状）、砝码106和圆环挡块107组成，杠杆103的一端和弹簧101相连并铰接在铰链支撑102上，杠杆103的另一端悬挂有砝码106，该砝码106的重量可调，且能沿着杠杆103左右移动，实现开槽过称中的施加载荷可控，作为驱动承载装置8的球状压头104安装在杠杆103上并位于铰链支撑102和砝码106之间；所述的加热平台5放置在圆柱状底座105的底部，承载装置8的主体位于底座105中并放置在开槽模具1，承载装置8的上端与球状压头104相抵；作为为承载装置8导向的圆环挡块107架置在圆柱状底座105中。

所述的杠杆103右端标有刻度，控制开槽过程中施加的力矩大小。

所述的砝码106重量可调，且能沿着杠杆右端左右移动，实现开槽过称中的施加载荷可控。

所述的圆柱状底座105内部有圆环状凸起，用以架置圆环挡块107；圆环挡块107可以将承载装置8固定，保证其圆心与开槽模具1一致；圆柱状底座105外围有刻度，零刻度线位置与开槽模具1上表面平齐，用来控制开槽深度。

所述的支撑柱4的长度在65mm到100mm之间。

所述的连接件10为双头螺杆，所述双头螺杆的一端与承载装置8螺接，另一端与升降装置9螺接。

所述的接水盘7由左右对称的两部分组成，左、右两部分的中心各设有一个与所述的支撑柱4截面图形相配的半个凹孔。

本发明的有益效果：

1、能对冰冻固结磨料进行快速精确的开槽，为进一步提高抛光效果打下了坚实的基础。

2、为以后开不同类型的沟槽做好了充分的准备，只需重新制作开槽模具就能开出不同类型的沟槽。

3、利用本发明装置加工后的抛光垫的磨料利用率高，有效地减少杂质微粒对抛光表面的污染，加工表面容易清洗，废液处理简单，可有效降低成本。

4、利用本发明装置加工后的抛光垫的可以有效地解决抛光过程的容屑问题，大大提高冰冻固结磨料的抛光效率。

5、利用本发明装置加工后的抛光垫的可以得到更优化的抛光应力分布，得到更优的平面度，得到良好的抛光表面。

6、所加工出的开槽冰冻固结磨料抛光垫为软性材料和非金属材料零件的高精度表面加工提供了全新的加工工具，必将引起材料加工方式的变革，有利于开拓这类材料的新的用途。

    7、本发明结构简单，制造方便，成本低，性价比高。

附图说明

    图1是本发明的开槽模具的立体结构示意图之一。

    图2是本发明的开槽模具的立体结构示意图之二。

图3是本发明的开槽模具的立体结构示意图之三。

图4是本发明的开槽装置的结构示意图之一。

图5是本发明的隔热垫的结构示意图。

图6是本发明的接水盘的结构示意图。

图7是本发明的开槽装置的结构示意图之二。

图8是本发明的座架的横截面示意图。

图9是本发明的加热方式示意图。

图10是本发明的开槽装置的结构示意图之三。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。

    实施例一。

如图1-6所示。

一种冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，它主要由以下部件组成：

    一开槽模具1，该开槽模具1与冰冻固结磨料抛光垫2相对的一面上设有相配的凸起筋条3，所述的开槽模具1的中心设有一个支撑柱4（长度一般在65mm到100mm之间）；开槽模具1的结构示意图如图1-3所示，具体实施时还可根据需要设计成其它形状，开槽模具1的材料可采用LY12，6061合金铝等导热性好且硬度较高的材料，为了增加强度在外圈设置一圈加强圈18；图1的凸起筋条3呈射线状，图2的凸起筋条呈栅格状，图3的凸起筋条3呈螺旋线结构；

    一加热平台5，该加热平台5直接与前述开槽模具1上的支撑柱4的下端相接触；在加热平台5上还放置隔热垫6，隔热垫6上放置有接水盘7；隔热垫6的大小应与加热平台5的台面相似且绝热，中间开孔从而能让开槽模具1下半部分的支撑柱4直接与加热平台5接触，如图5所示。隔热垫6因为绝热所以能减少加热平台5对冰冻固结磨料抛光垫2表面的热辐射。其材料可选用石棉或泡沫玻璃；接水盘7由左右对称的两部分组成，左、右两部分的中心各设有一个与所述的支撑柱4截面图形相配的半个凹孔。接水盘7由两块配套的器皿组成，组合后表面形状与隔热垫6相同，材料可为玻璃或者塑料等。在给冰冻固结磨料抛光垫2开槽时，抛光垫受到热辐射和室温的影响，会有些许融化，接水盘7放置在隔热垫6之上，用来盛接冰冻固结磨料抛光垫2融化后滴下的液体，开槽过程中模具因和加热平台直接接触温度较高不便移动，因此，接水盘7设计成不相连的两块能随时取出，如图6所示。

    一承装装置8，所述的冰冻固结磨料抛光垫2定位在该承载装置8中；承载装置8对冰冻固结磨料抛光垫2起到装夹定位的作用。在冰冻固结磨料抛光垫2的开槽过程中，加热平台5置于底部，开槽模具1放置其上，这就要求对冰冻固结磨料抛光垫2及其承载装置8进行装夹定位。承载装置8根据模具所放位置事先调整好，保证冰冻固结磨料抛光垫2刚去模后就能立即开槽。

 一升降装置9，该升降装置9通过连接件10与前述的承载装置8相连，所述的连接件10为双头螺杆，所述双头螺杆的一端与承载装置螺接，另一端与升降装置9中的升降杆11螺接，所述的升降杆11上安装有径向锁定螺钉12，所述的升降装置9由升降杆11、齿条12、齿轮13、摇杆14和齿轮箱15组成，升降杆11平行于齿条12，升降杆11和齿条12通过连杆刚性连接；齿条12安装在齿轮箱15中，齿轮13与齿条12啮合，摇杆14安装在齿轮13上，所述的齿轮13上设有插装定位销以使摇手定位的销孔16，如图4所示。齿轮13上开设的销孔，在开槽过程中可以随时插入圆柱销固定摇杆14防止冰冻固结磨料因自身重力下移，从而可以重新调整升降装置的位置，保证开槽位置的精确。因为本发明开槽采用的是热压法，所以在工作过程中装夹装置具有一个方向的自由度，即能上下移动，在开槽过程中将冰冻固结磨料抛光垫缓慢下移，直至开槽完全再向上移出。

本发明的操作方法如下：

本发明在使用开槽模具给已有的冰冻固结磨料抛光垫开槽时，加热平台5置于下方，首先在加热平台上放上如图5所示的隔热垫6；然后再放上如图1-3所示的任一开槽模具1，在模具下部放上如图6所示的接水盘7；接着打开加热平台5（可采用常规的可控温的加热装置）的温控装置进行升温，等温度达到80℃左右时，将冰冻固结磨料抛光垫及其承载装置用如图4所示的升降装置进行固定置于开槽模具上方；最后控制升降装置让冰冻固结磨料抛光垫下移进行开槽。

     具体实施时，将如图4所示的升降装置中的夹紧装置轴心对准开槽模具中心，然后用夹紧装置夹住与冰冻固结磨料抛光垫承载装置螺纹连接的双头螺柱。接着取下用来固定的插装在销孔16中的圆柱销，转动与齿轮中心相连的摇杆带动齿轮转动，从而带动齿条来控制冰冻固结磨料抛光垫的上下移动。

实施例二。

如图1-3、5-9所示。

一种冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，它主要由以下部件组成：

    一开槽模具1，该开槽模具1与冰冻固结磨料抛光垫2相对的一面上设有相配的凸起筋条3，所述的开槽模具1的中心设有一个支撑柱4（长度一般在65mm到100mm之间）；开槽模具1的结构示意图如图1-3所示，具体实施时还可根据需要设计成其它形状，开槽模具1的材料可采用LY12，6061合金铝等导热性好且硬度较高的材料，为了增加强度最好在外圈设置一圈加强圈18；图1的凸起筋条3呈射线状，图2的凸起筋条呈栅格状，图3的凸起筋条3呈螺旋线结构；

    一加热平台5，该加热平台5直接与前述开槽模具1上的支撑柱4的下端相接触，可采用电加热或循环热水进行加热；在加热平台5上还放置隔热垫6，隔热垫6上放置有接水盘7；隔热垫6的大小应与加热平台5的台面相似且绝热，中间开孔从而能让开槽模具1下半部分的支撑柱4直接与加热平台5接触，如图5所示。隔热垫6因为绝热所以能减少加热平台5对冰冻固结磨料抛光垫2表面的热辐射。其材料可选用石棉或泡沫玻璃；接水盘7由左右对称的两部分组成，左、右两部分的中心各设有一个与所述的支撑柱4截面图形相配的半个凹孔。接水盘7由两块配套的器皿组成，组合后表面形状与隔热垫相同，材料可为玻璃或者塑料等。在给冰冻固结磨料抛光垫开槽时，抛光垫受到热辐射和室温的影响，会有些许融化，接水盘7放置在隔热垫之上，用来盛接冰冻固结磨料抛光垫融化后滴下的液体，开槽过程中模具因和加热平台直接接触温度较高不便移动，因此，接水盘7设计成不相连的两块能随时取出，如图6所示。另外，本发明还提供另一种给模具的加热方式，如图9所示，通过缠绕在支撑柱4上的电阻丝914给模具加热，外围是绝缘的云母片915和绝热的陶瓷916。

    一承载装置8，所述的冰冻固结磨料抛光垫2定位在该承载装置8中；承载装置8对冰冻固结磨料抛光垫2起到装夹定位的作用。在冰冻固结磨料抛光垫2的开槽过程中，加热平台5置于底部，开槽模具1放置在加热平台5上，这就要求对冰冻固结磨料抛光垫2及其承载装置8进行装夹定位。承载装置8根据模具所放位置事先调整好，保证冰冻固结磨料抛光垫2脱模后就能立即开槽。

 一气缸909，该气缸909通过连接件10与前述的承载装置8相连，所述的连接件10为双头螺杆，双头螺杆的一端为外螺纹，与承载装置8螺接，另一端为内螺纹套，与气缸轴螺接。气缸909所要承载的总重量在18kg左右，工件移动距离在300mm以内，所以本发明选用CM2系列气缸。如果工作环境改变可结合实际工况另行选择。气缸909通过螺钉固定在承载平台911上，安装形式可为法兰型；承载平台911的一端插入座架913上的燕尾形导槽918中，并通过联接件912定位，所述的座架913与承载平台911联接面设计成燕尾形导轨结构（如图8），导轨可采用单导轨，也可为双导轨或多导轨，导轨之间的间距和导轨数量由承载平台911的大小决定。如图7所示。在开槽之前，可以根据气缸行程和工件所需移动的距离调整承载平台911距离地面的高度，从而避免不同工况时需要订做不同行程的气缸所带来的不便。承载平台911调整好高度后，通过联接件912用螺栓固定在座架913上。联接件912也最好设计成燕尾形插装在座架913侧面的燕尾导轨中并通过紧定螺钉定位在导轨中，松开联接件912即可调整承载平台911在座架913上的高度，在开槽过程中可以随时通过开关停止气缸杆下移，从而可以重新调整气缸的位置，保证开槽位置的精确。因为本发明开槽采用的是热压法，所以在工作过程中气缸具有一个方向的自由度，即能上下移动，在开槽过程中将冰冻固结磨料抛光垫缓慢下移，直至开槽完全再向上移出。

本发明的操作方法如下：

本发明在使用开槽模具给已有的冰冻固结磨料抛光垫开槽时，加热平台5置于下方，首先在加热平台上放上如图5所示的隔热垫6；然后再放上如图1-3所示的任一开槽模具1，在开槽模具1的下部放上如图6所示的接水盘7；接着打开加热平台5（可采用常规的可控温的加热装置）的温控装置进行升温，等温度达到100℃左右时，将冰冻固结磨料抛光垫2及其承载装置8用如图7所示的气动缸909进行固定置于开槽模具1上方；最后控制气缸让冰冻固结磨料抛光垫2下移进行开槽。如用备选加热方式，则给电阻丝914通电使其产生热量，热量传导给开槽模具1进行开槽。

     具体实施时，将如图7所示的气缸909中的气缸杆轴心对准开槽模具1中心，然后与和冰冻固结磨料抛光垫承载装置8螺纹连接的双头螺柱10螺接。接着将气缸运动方向调至向下，按下气缸的启动按钮，控制气缸杆向下运动，开槽完全后按下气缸的停止按钮，将气缸的运动方向调至向上，让气缸杆带动冰冻固结磨料抛光垫2及其承载装置8远离开槽模具1。

实施例三。

如图1-3、10所示。

一种冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，它主要由以下部件组成：

    一开槽模具1，该开槽模具1与冰冻固结磨料抛光垫2相对的一面上设有相配的凸起筋条3，所述的开槽模具1的中心设有一个支撑柱4（长度一般在65mm到100mm之间）；开槽模具1的结构示意图如图1-3所示，具体实施时还可根据需要设计成其它形状，开槽模具1的材料可采用LY12，6061合金铝等导热性好且硬度较高的材料，为了增加强度在外圈设置一圈加强圈18；图1的凸起筋条3呈射线状，图2的凸起筋条呈栅格状，图3的凸起筋条3呈螺旋线结构；

    一加热平台5，该加热平台及隔热垫6、接水盘7均被旋转在圆柱形底座105中，前述的开槽模具1也被置于圆柱形底座105中。该加热平台5直接与前述开槽模具1上的支撑柱4的下端相接触；在加热平台5上还放置隔热垫6，隔热垫6上放置有接水盘7；隔热垫6的大小应与加热平台5的台面相似且绝热，中间开孔从而能让开槽模具1下半部分的支撑柱4直接与加热平台5接触，与图5相似（不同之处是图5中为方形，而本实施例为圆形）。隔热垫6因为绝热所以能减少加热平台5对冰冻固结磨料抛光垫2表面的热辐射。其材料可选用石棉或泡沫玻璃；接水盘7由左右对称的两个半圆环部分组成，左、右两部分的中心各设有一个与所述的支撑柱4截面图形相配的半个凹孔。接水盘7由两块配套的器皿组成，组合后表面形状与隔热垫6相同，材料可为玻璃或者塑料等。在给冰冻固结磨料抛光垫2开槽时，抛光垫受到热辐射和室温的影响，会有些许融化，接水盘7放置在隔热垫6之上，用来盛接冰冻固结磨料抛光垫2融化后滴下的液体，开槽过程中模具因和加热平台直接接触温度较高不便移动，因此，接水盘7设计成不相连的两块能随时取出，本实施例由于采用的是圆柱形结构，因此，接水盘7的形状与圆6略有差别，为两个半圆形。

    一承装装置8，前述的冰冻固结磨料抛光垫2定位在该承载装置8中；承载装置8对冰冻固结磨料抛光垫2起到装夹定位的作用。在冰冻固结磨料抛光垫2的开槽过程中，加热平台5置于底部，开槽模具1放置其上，这就要求对冰冻固结磨料抛光垫2及其承载装置8进行装夹定位。承载装置8根据模具所放位置事先调整好，保证冰冻固结磨料抛光垫2刚去模后就能立即开槽。

一升降装置9，所述的升降装置9由弹簧101、铰链支撑102、杠杆103、球状压头104、圆柱状底座105、砝码106和圆环挡块107组成，杠杆103的一端和弹簧101相连并铰接在铰链支撑102上，杠杆103的另一端悬挂有砝码106，该砝码106的重量可调，且能沿着杠杆103左右移动，实现开槽过称中的施加载荷可控，作为驱动承载装置8的球状压头104安装在杠杆103上并位于铰链支撑102和砝码106之间；所述的加热平台5放置在圆柱状底座105的底部，承载装置8的主体位于圆柱状底座105中并放置在开槽模具1，承载装置8的上端与球状压头104相抵；作为为承载装置8导向的圆环挡块107架置在圆柱状底座105中的支承台阶上，加热平台的直径应小于支承台阶的内径以便于取放，圆柱状底座105的中心最好也设有定位结构。

标有刻度的杠杆103，该杠杆103与弹簧101和铰链支撑102相连，杠杆103可绕铰链支撑102转动，弹簧101控制杠杆103的转动范围。杠杆103中段连有球状压头104，球状压头104直接压在承载装置8底部，对其施加压力。开槽过程中圆环挡块107抵住承载装置8，使其圆心始终与开槽模具1的圆心相对。所述的砝码106重量可调，且能沿着杠杆右端左右移动，实现开槽过称中的施加载荷可控。

本发明的操作方法如下：

本发明在使用开槽模具给已有的冰冻固结磨料抛光垫开槽时，加热平台5置于下方，首先将加热平台放入圆柱状底座105中，在加热平台上放上如图5所示的隔热垫6；然后再放上如图1-3所示的任一开槽模具1，在模具下部放上由两个半圆形接水盘7；接着打开加热平台5（可采用常规的可控温的加热装置）的温控装置进行升温，等温度达到80℃左右时，将冰冻固结磨料抛光垫2及其承载装置8用如图10所示的开槽装置进行固定置于开槽模具1上方；最后通过在杠杆103末端加砝码106让冰冻固结磨料抛光垫下移进行开槽。

具体实施时，如图10所示先将球状压头104压在承载装置8底部；然后在杠杆末端加砝码106使冰冻固结磨料抛光垫2下移进行开槽。开槽过程中圆环挡块107可以将承载装置8固定，保证其圆心与开槽模具1一致。圆柱状底座105外围可设置相应的刻度使操作人员控制开槽深度。弹簧101可保证在开槽结束后，卸下砝码106时，球状压头104不再给承载装置8施加压力，而球状压头104可保证不论杠杆的角度如何变化均能向承载装置的上表面施加向下的压力。

本发明未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。

Claims (10)

1.一种冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是它包括：

    一开槽模具（1），该开槽模具（1）与冰冻固结磨料抛光垫（2）相对的一面上设有相配的凸起筋条（3），所述的开槽模具（1）的中心设有一个支撑柱（4）；

    一加热平台（5），该加热平台（5）直接与前述开槽模具（1）上的支撑柱（4）的下端相接触；在加热平台（5）上还放置隔热垫（6），隔热垫（6）上放置有接水盘（7）；

    一承载装置（8），该承载装置包括刚度提供层和隔热层，形状为“翼型”，所述的冰冻固结磨料抛光垫（2）定位在该承载装置（8）中；

    一升降装置（9），该升降装置（9）通过连接件（10）或直接驱动前述的承载装置（8）作上下移动。

2.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的升降装置（9）由升降杆（11）、齿条（12）、齿轮（13）、摇杆（14）和齿轮箱（15）组成，升降杆（11）平行于齿条（12），升降杆（11）和齿条（12）通过连杆刚性连接；齿条（12）安装在齿轮箱（15）中，齿轮（13）与齿条（12）啮合，摇杆（14）安装在齿轮（13）上。

3.根据权利要求2所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的齿轮（13）上设有插装定位销以使摇手定位的销孔（16）。

4.根据权利要求2所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的升降杆（11）上安装有径向锁定螺钉（17）。

5.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的升降装置（9）由气缸（909）、承载平台（911）和座架（913）组成，气缸（909）安装在承载平台（911）上，承载平台（911）支承在座架（913）上，气缸（909）的气缸轴下端与连接件（10）的上端相连并驱动连接件（10）作上下运动，连接件（10）的另一端与承载装置（8）相连。

6.根据权利要求5所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的气缸（909）通过螺钉固定在承载平台（911）上。

7.根据权利要求5所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的座架（913）设有燕尾形导轨（918），所述的承载平台（911）插入所述的燕尾形导轨（918）中通过联接件（912）定位。

8.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的升降装置（9）由弹簧（101）、铰链支撑（102）、杠杆（103）、球状压头（104）、底座（105）、砝码（106）和圆环挡块（107）组成，杠杆（103）的一端和弹簧（101）相连并铰接在铰链支撑（102）上，杠杆（103）的另一端悬挂有砝码（106），该砝码（106）的重量可调，且能沿着杠杆（103）左右移动，实现开槽过称中的施加载荷可控，作为驱动承载装置（8）的球状压头（104）安装在杠杆（103）上并位于铰链支撑（102）和砝码（106）之间；所述的加热平台（5）放置在圆柱状底座（105）的底部，承载装置（8）的主体位于底座（105）中并放置在开槽模具（1），承载装置（8）的上端与球状压头（104）相抵；作为为承载装置（8）导向的圆环挡块（107）架置在圆柱状底座（105）中。

9.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的支撑柱（4）的长度在65mm到100mm之间。

10.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫开槽装置，其特征是所述的接水盘（7）由左右对称的两部分组成，左、右两部分的中心各设有一个与所述的支撑柱（4）截面图形相配的半个凹孔。

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