CN102239359A - 气体供给方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够对气体容器内的气体进行有效利用的气体供给方法。本发明基于气体使用处的最大流量(第一设定流量(Q1))和最小流量(第二设定流量(Q2))、能够以第一设定流量(Q1)供给气体的第一设定压力(P1)、能够以第二设定流量(Q2)供给气体的第二设定压力(P2)、比第一设定压力(P1)高的第三设定压力(P3)、各气体容器(SA、SB)内的剩余压力(PA、PB)、供给气体流量(Q)以及剩余压力(PA、PB)和能够供给的气体流量(QPA、QPB)之间的关系，对剩余压力(PA、PB)以及供给气体流量(Q)进行监测，从而对来自第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)的气体供给进行切换。

Description

气体供给方法
技术领域
本发明涉及气体供给方法，具体涉及一种将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处的气体供给方法。
背景技术
在半导体、化学制品的制造工序中，会使用各种各样的气体，这些气体例如从填充了高压气体的气体容器经管道进行供给。在需要连续地供给气体的情况下，将多个气体容器并联地连接，一个气体容器内的剩余压力降低到预先设定的下限值时，将气体的供给切换到另一气体容器，并将压力降低的气体容器更换为新的气体容器以处于待机状态(例如，参照专利文献1)。另外，分别对多个气体容器内的气体的剩余量进行检测，并选择气体剩余量少的气体容器进行气体的供给(例如，参照专利文献2。)。
专利文献1：日本特许第2501913号公报
专利文献2：日本特开2007-107713号公报
在从填充了高压的压缩气体的气体容器向使用处供给气体的情况下，能够从气体容器向使用处供给的气体流量因气体供给设备的压力损失、气体的种类或使用处使用的气体的压力的不同而存在差异，为了以稳定的流量供给气体，气体供给设备中的气体容器侧的压力和使用处的压力之间需要有对应于气体流量的压力差。此外，一般情况下，供给至使用处的气体流量的设定值以该使用处所使用的气体流量的最大值作为基准进行设定。
例如，为了供给使用处所使用的最大气体流量，需要的压力差为0.7MPa(表压，以下相同)左右的情况下，气体容器的剩余压力的下限为1MPa左右，在上述专利文献1、2中的任一种情况下，当剩余压力变为1MPa时，则进行容器更换。此情况下，在气体容器内，压力1MPa的气体也残留有容器容积那样的量，在大型的气体容器的情况下，大量的气体成为未使用的状态。
发明内容
因此本发明的目的是提供一种气体供给方法，由于当气体使用处所使用的气体的流量变动时，气体的供给中需要的压力差也会变动，所以在将气体供给至气体使用流量变动的气体使用处的情况下，该气体供给方法通过根据气体的流量变动而准备多个气体供给系统等，从而能够恰当地与气体的流量变动相对应，由此能够降低容器更换时的剩余压力，能够对气体容器内的气体进行有效地利用。
为了达到上述目的，本发明的气体供给方法的第一个技术方案是一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，该气体供给方法的特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)和供给气体流量(Q)，在第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低到第一设定压力(P1)时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给；切换后在从第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)低于从具有如下范围的剩余压力(PA)的第一气体容器(SA)能够供给的气体流量(QPA)时，将向使用处的气体供给由从第二气体容器(SB)进行供给切换至从第一气体容器(SA)进行供给，该剩余压力(PA)范围为：低于第一设定压力(P1)，且为第二设定压力(P2)以上；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)变为能够从第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)以上时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给，并进行第一气体容器(SA)的容器更换；在第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)的情况下，从剩余压力(PB)为第一设定压力(P1)以上的第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低到第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
本发明的气体供给方法的第二个技术方案是一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，该气体供给方法的特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)，在第一气体容器(SA)以及第二气体容器(SB)的各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第一设定压力(P1)时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；在从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第二设定压力(P2)为对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
本发明的气体供给方法的第三个技术方案是一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，该气体供给方法的特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)以及供给气体流量(Q)，在第一气体容器(SA)以及第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第一设定压力(P1)时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；在从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)低于从具有如下范围的剩余压力(PA)的第一气体容器(SA)能够供给的气体流量(QPA)时，停止来自第二气体容器(SB)的气体供给，并从第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体，该剩余压力(PA)范围为：低于第一设定压力(P1)，且为第二设定压力(P2)以上；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)变为能够从第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)以上时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)的这双方向气体使用处供给气体；当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
本发明的气体供给方法的第四个技术方案是一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，该气体供给方法的特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)以及供给气体流量(Q)，在第一气体容器(SA)以及第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第一设定压力(P1)时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；在从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当中断来自剩余压力较高的第二气体容器(SB)的气体供给而供给气体流量(Q)不发生变动时，保持中断来自第二气体容器(SB)的气体供给的状态，并从第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体；当中断来自剩余压力较高的第二气体容器(SB)的气体供给而供给气体流量(Q)变化时，再度开启来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
本发明的气体供给方法的第五个技术方案是一种气体供给方法，其用于将被填充与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，该气体供给方法的特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)以及供给气体流量(Q)，在一方的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)比另一方的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)低的情况下，当供给气体流量(Q)低于能够从剩余压力较低的第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)时，从剩余压力较低的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体；而当供给气体流量(Q)为能够从剩余压力较低的第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)以上时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换为从剩余压力较高的第二气体容器(SB)进行供给，或者，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
本发明的气体供给方法的第六个技术方案是一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，该气体供给方法的特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)以及供给检测压力(PT)，在第一气体容器(SA)以及第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处进行气体供给的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第一设定压力(P1)时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；在从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当中断来自剩余压力较高的第二气体容器(SB)的气体供给且供给检测压力(PT)不降低时，保持中断来自第二气体容器(SB)的气体供给的状态，并从第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体；当中断来自剩余压力较高的第二气体容器(SB)的气体供给而供给检测压力(PT)降低时，再度开启来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；(此处，所述供给设定压力(PS)为气体使用处预先设定的压力；所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；所述供给检测压力(PT)为对供给至气体使用处过程中的气体的压力进行检测所检测到的压力；其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
进一步地，本发明的气体供给方法的特征在于，在上述的各技术方案中，根据供给气体的种类以及气体供给系统的结构而预先设定气体容器内的剩余压力和能够供给的气体流量之间的关系。
按照本发明的气体供给方法，根据使用流量、供给压力的变动而准备多个气体供给系统等，从而能够恰当地与上述流量变动、上述压力变动对应，在即使剩余压力较低也能实现供给的状态时，从剩余压力较低的气体容器供给气体，所以能够对气体容器中所填充的压缩气体进行有效地利用。
附图说明
图1是表示能够适用本发明的气体供给方法的气体供给设备的一例的说明图；
图2是表示气体容器内的剩余压力和能够供给的气体流量之间的关系的图；
图3是表示用于说明本发明的气体供给方法的第一实施例的气体容器内的剩余压力变化的图；
图4是表示用于说明本发明的气体供给方法的第二实施例的气体容器内的剩余压力变化的图；
图5是表示用于说明本发明的气体供给方法的第三实施例的气体容器内的剩余压力变化的图；
图6是表示用于说明本发明的气体供给方法的第四实施例的气体容器内的剩余压力变化的图；
图7是表示用于说明本发明的气体供给方法的第五实施例的气体容器内的剩余压力变化的图；
图8是表示用于说明本发明的气体供给方法的第六实施例的气体容器内的剩余压力变化的图。
具体实施方式
图1是表示能够适用本发明的气体供给方法的气体供给设备的一例的说明图；图2是表示气体容器内的剩余压力和能够供给的气体流量之间的关系的图；图3是表示用于说明本发明的气体供给方法的第一实施例的气体容器内的剩余压力变化的图。
首先，如图1所示，气体供给设备具有双系统的气体供给系统A、B，各系统A、B的下游侧汇合以连接到气体使用处。在各系统A、B中分别设有压力调整部11a、11b，该压力调整部11a、11b用于将从在规定的高压状态下填充有压缩气体的气体容器SA、SB供给的气体的压力减压至预先设定的压力，在各压力调整部11a、11b上，分别串联地设有多个压力调整器12a、12b。
在压力调整部11a、11b的上游侧与气体容器SA、SB之间，分别设有高压阀13a、13b以及用于检测气体容器SA、SB内的压力(剩余压力)的压力计14a、14b，在压力调整部11a、11b的下游侧分别设有低压阀15a、15b。另外，在两系统A、B汇合后的气体供给路径16中，设有流量计17、压力计(图中未表示)。
通过由此形成的气体供给设备而实施本发明的方法时，首先，作为各种设定值，分别设定如下值：作为气体使用处预先设定了的最大流量的第一设定流量Q1、作为最小流量的第二设定流量Q2；第一设定压力P1，其用于对能够供给与上述第一设定流量Q1对应的流量的气体的气体容器SA、SB内的剩余压力进行设定；同样的，第二设定压力P2，其用于对能够供给与上述第二设定流量Q2对应的流量的气体的气体容器SA、SB内的剩余压力进行设定；第三设定压力P3，其被设定成比上述第一设定压力P1高、且比填充压力Pfull低的压力。通常，第一设定压力P1能够设定为与以往的气体供给设备中的气体容器更换压力(剩余压力的下限值)相同的压力。
第一设定流量Q1和第二设定流量Q2是对应于气体使用处的气体使用流量的变动而设置的，是Q1＞Q2的关系。例如，在半导体薄膜制造装置中的原料气体的情况下，通过该半导体薄膜制造装置在基板上制造半导体薄膜时，变为最大流量，而不制造半导体薄膜时，例如，在基板交换时，变为最小流量。另外，在设置有许多台半导体薄膜制造装置的情况下，根据半导体薄膜制造过程中的台数，会产生流量变动；而且，由于装置运转时间，例如白天和夜间、工作日和休息日、其它各种条件下，气体使用流量是变动的，所以要考虑这些因素来对第一设定流量Q1以及第二设定流量Q2进行设定。另外，气体使用处的气体使用量的最小流量只在短时间变为非常小的流量的情况下(也包含流量为0)，不将此值设为第二设定流量Q2，而希望将持续的、例如持续几十分钟以上的最小流量设为第二设定流量Q2。
第一设定压力P1和第二设定压力P2是随着上述第一设定流量Q1和第二设定流量Q2、供给气体的种类以及气体供给系统的结构的决定而自动决定的，例如，如图2所示，即使是相同结构的气体供给系统，在气体A的情况下，剩余压力为1.0MPa时的能够供给的气体流量约为310L/min，与此相对，在气体B的情况下，即使剩余压力为相同值1.0MPa，能够供给的气体流量约为200L/min。因此，第一设定流量为200L/min的情况下，气体A的第一设定压力P1被设为0.7MPa，而气体B的第一设定压力P1被设为1.0MPa；第二设定压力P2也同样地根据气体A、B的不同而被设定为适当的压力。
另外，上述第三设定压力P3根据如下条件进行设定：气体容器SA、SB的容积；以第一设定流量Q1进行气体供给时的气体容器SA、SB内的气体的减少量；容器更换所需要的时间等。例如，P3设定为气体容器SA能够以第一设定流量Q1进行24小时的气体供给的压力。各设定压力的关系为，相对于气体容器SA、SB的填充压力Pfull，为Pfull＞P3＞P1＞P2。
另外，采用下述各量作为控制所必要的变动值：以上述压力计14a、14b分别检测到的各气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB；以上述流量计17检测到的供给气体流量Q；以及能够以各容器内的剩余压力PA、PB分别供给的气体流量(能够供给的气体流量)QPA、QPB。容器内的剩余压力PA、PB以压力计14a、14b始终进行监测，供给气体流量Q以流量计17始终进行监测。而且，也可根据需要，对供给过程中的气体的压力进行监测。
以下，基于图3对气体供给方法的第一实施例进行说明。另外，在以下的说明和各附图中，在数值的大小的比较方面，在“以上”的情况下，也使用“＞”或“＜”来表示。
首先，在通常的使用状态下，以气体容器SA、SB的任何一方例如第一气体容器SA供给气体过程中，另外一方的第二气体容器SB更换为新的气体容器后，剩余压力(PB)变为填充压力Pfull。两个气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB同时超出上述第一设定压力P1，成为能够供给相当于上述第一设定流量Q1的流量的气体的状态。另外，此时的供给气体流量Q为任意的流量。当气体使用处的气体使用流量变动时，供给气体流量Q也当然会变化，所以记载为任意的流量。
如图3的(a)和图3的(b)所示，在时间T1以前的期间内，由于与任意的供给气体流量Q相对应的气体从一方的第一气体容器SA供给，所以第一气体容器SA内的剩余压力PA根据任意的供给气体的流量Q经过时间t，并逐渐地降低。当经过时间T1，由于气体供给，第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第一设定压力P1(PA＝P1)时，则将向气体使用处供给气体的气体容器从第一气体容器SA切换为另一方的第二气体容器SB。
气体容器切换后，从第二气体容器SB向气体使用处供给气体，然而，以流量计17始终监测的任意的供给气体流量Q经过时间T2时变为能够从第一气体容器SA供给的气体流量的情况下，即以剩余压力PA低于第一设定压力P1且为第二设定压力P2以上的范围的第一气体容器SA内的剩余压力PA能够供给的气体流量QPA为任意的供给气体流量Q以上的情况下(Q＜QPA)，将向气体使用处供给气体的气体容器从剩余压力PB较高的第二气体容器SB切换为剩余压力PA较低的第一气体容器SA。
根据任意的供给气体流量Q，检测出随着时间的经过而降低的剩余压力PA，经常对以剩余压力PA能够供给的气体流量QPA进行更新，以新计算出的剩余压力PA能够供给的气体流量QPA在任意的供给气体流量Q以上的期间，继续来自第一气体容器SA的气体供给。此期间，第二气体容器SB内的剩余压力PB通过打开低压阀15a并关闭低压阀15b，来保持切换时的剩余压力。
而后，如图3的(a)所示，当经过时间T3，第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第二设定压力P2时(PA＝P2)，即，即使任意的供给气体流量Q为作为最小流量的第二设定流量Q2这样的气体流量，也无法从第一气体容器SA供给时(Q(＝Q2)＞QPA)，将供给气体的气体容器从第一气体容器SA切换至第二气体容器SB，并发出催促更换第一气体容器SA的容器的警报，第一气体容器SA被更换成新的气体容器。因此，容器更换后的第一气体容器SA内的剩余压力(剩余压力)为Pfull，变为待机状态，第二气体容器SB内的剩余压力PB成为随着气体的供给而逐渐地降低的状态。第一气体容器SA和新气体容器的更换可以在能够以第二气体容器SB进行供给的期间进行。
另外，如图3的(b)所示，经过时间T1～T2后，进而经过时间T4时，任意的供给气体流量Q增加，在任意的供给气体流量Q为以第一气体容器SA内的剩余压力PA能够供给的气体流量QPA以上的情况下(Q＞QPA)，由于第二气体容器SB的剩余压力PB比第一气体容器SA的剩余压力PA高，所以将进行气体供给的气体容器从第一气体容器SA切换到第二气体容器SB。根据以第一气体容器SA内的剩余压力PA能够供给的能够供给的气体流量QPA同任意的供给气体流量Q之间的关系而反复进行气体供给的气体容器的切换，任意的供给气体流量Q比较小的时间段中，优先从比剩余压力PB低的剩余压力PA的第一气体容器SA进行气体供给。
另一方面，在来自剩余压力PB比剩余压力PA高的第二气体容器SB的气体供给过程中，当经过时间T5而第二气体容器SB内的剩余压力PB降低至第三设定压力P3时(PB＝P3)，发出催促更换第一气体容器SA的容器的警报，以将第一气体容器SA更换为新的气体容器，容器更换后的第一气体容器SA内的剩余压力(剩余压力)变为Pfull。由此，比剩余压力PB低的第一气体容器SA内的剩余压力PA在第一设定压力P1以下的情况下，比剩余压力PA高的第二气体容器SB内的剩余压力PB在降低至第一设定压力P1之前(P1＜PB＜P3)，通过进行剩余压力较低的第一气体容器SA的容器更换，能够避免两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB均降至不足第一设定压力P1，即，能够避免变得无法供给相当于第一设定流量Q1的流量的气体。
第一气体容器SA的容器更换后，继续进行来自第二气体容器SB的气体供给，上述时间T1中的第一气体容器SA和第二气体容器SB为可调换的状态，以上述同样的条件对进行气体供给的气体容器进行调换，任意的供给气体流量Q、即气体使用处的气体使用流量为较小的期间内，通过从剩余压力较低的气体容器进行气体供给，如果任意的供给气体流量Q较小、从剩余压力较低的气体容器进行气体供给的时间(T3)较长，就能够将气体容器的剩余压力降低至作为用于进行气体供给所必须的最小限度的压力的第二设定压力P2，所以能够使容器更换时残留在气体容器内的气体的量变少，从而能够对填充到气体容器内的压缩气体进行有效的利用。
例如，用于供给作为气体使用处的最大流量的第一设定流量Q1所必须的剩余压力(第一设定压力P1)为1MPa，而为了供给作为最小流量的第二设定流量Q2所必须的剩余压力(第二设定压力P2)为0.5MPa的情况下，如图3的(a)所示，如果在气体容器内的剩余压力变至0.5MPa之前进行气体供给，就能够将气体容器内残存的未使用的气体量变为以往的大约二分之一。
图4是表示用于说明本发明的气体供给方法的第二实施例的气体容器内的剩余压力变化的图。另外，在以下的说明中，气体供给设备能够采用如图1所示的结构；作为各种设定值，第一设定流量Q1、第二设定流量Q2、第一设定压力P1、第二设定压力P2、第三设定压力P3与上述相同地进行设定，且检测两气体容器SA、SB的剩余压力PA、PB作为变动值。
在两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB同时超过第一设定压力，从一方的第一气体容器SA进行气体供给的情况下，当经过时间T1，第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第一设定压力P1(PA＝P1)时，开始来自第二气体容器SB的气体供给，变为从两个气体容器SA、SB这双方同时向气体使用处供给气体的状态。因此，两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB随着时间t的推移逐渐地降低。此时，气体使用处的气体使用流量为来自第一气体容器SA的供给流量和来自第二气体容器SB的供给流量的总和。
如图4的(a)所示，当经过时间T6而第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第二设定压力P2(PA＝P2)、即使以作为最小流量的第二设定流量Q2的气体流量也无法从第一气体容器SA进行供给时，将来自第一气体容器SA的气体供给停止，将气体供给切换至仅从第二气体容器SB进行供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为与时间T1期间内的第二气体容器SB同样的待机状态。
另外，如图4的(b)所示，在从两气体容器SA、SB供给气体的过程中，当经过时间T7而剩余压力较高的第二气体容器SB内的剩余压力PB降低至第三设定压力P3时(PB＝P3)，将来自第一气体容器SA的气体供给停止，而继续来自第二气体容器SB的气体供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
在本实施例中，当来自一方的气体容器的剩余压力降低至无法确保最大流量的压力时，从两气体容器SA、SB这双方进行气体供给，所以能够根据供给气体流量Q的变动状态，而将剩余压力较低的气体容器内的气体供给至使用处，能够对气体容器内的压缩气体进行有效地利用。
图5是表示用于说明本发明的气体供给方法的第三实施例的气体容器内的剩余压力变化的图。在本实施例中，作为各种设定值，第一设定流量Q1、第二设定流量Q2、第一设定压力P1、第二设定压力P2、第三设定压力P3与上述相同的设定，且检测任意的供给气体流量Q(气体使用处的气体使用流量)以及两气体容器SA、SB的剩余压力PA、PB作为变动值。
在两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB同时超过第一设定压力P1而从第一气体容器SA进行气体供给的情况下，当第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第一设定压力P1(PA＝P1)时，开始来自第二气体容器SB的气体供给，变为从两个气体容器SA、SB这双方同时向气体使用处供给气体的状态，两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB随着时间的推移逐渐地降低。此时，气体使用处的气体使用流量为来自第一气体容器的供给流量和来自第二气体容器的供给流量的总和。
对由两气体容器SA、SB进行气体供给的过程中检测到的任意的供给气体流量Q而言，在该时间点以剩余压力较低的气体容器SA内的剩余压力PA能够供给的气体流量QPA为任意的供给气体流量Q以上的情况下(Q＜QPA)，停止来自剩余压力较高的第二气体容器SB的气体供给，而进行只来自剩余压力PA较低的第一气体容器SA的气体供给。
从第一气体容器SA能够供给的气体流量QPA根据随气体供给而降低的剩余压力PA经常计算更新，更新后的能够供给的气体流量QPA为任意的供给气体流量Q以上的期间，继续进行仅来自第一气体容器SA的气体供给；然而当能够供给的气体流量QPA低于任意的供给气体流量Q(Q＞QPA)时，则再度开启来自第二气体容器SB的气体供给，变为从两气体容器SA、SB这双方进行气体供给的状态。
而且，如图5的(a)所示，当从两气体容器SA、SB进行气体供给时，或者，仅从第一气体容器SA进行气体供给时，当第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第二设定压力P2(PA＝P2)时，则停止来自第一气体容器SA的气体供给，切换至仅从第二气体容器SB进行气体供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
另外，如图5的(b)所示，在从两气体容器SA、SB供给气体的过程中，当第二气体容器SB内的剩余压力PB降低至第三设定压力P3时(PB＝P3)，将来自第一气体容器SA的气体供给停止，而继续来自第二气体容器SB的气体供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
图6是表示用于说明本发明的气体供给方法的第四实施例的气体容器内的剩余压力变化的图，在本实施例中，作为各种设定值，第一设定流量Q1、第二设定流量Q2、第一设定压力P1、第二设定压力P2、第三设定压力P3与上述相同地设定，且检测任意的供给气体流量Q(气体使用处的气体使用流量)以及两气体容器SA、SB的剩余压力PA、PB作为变动值。
在两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB同时超过第一设定压力，从第一气体容器SA进行气体供给的情况下，当第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第一设定压力P1(PA＝P1)时，开始来自第二气体容器SB的气体供给，变为从两个气体容器SA、SB这双方同时向气体使用处进行气体供给的状态，两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB随着时间的推移逐渐地降低。此时，气体使用处的气体使用流量为来自第一气体容器SA的供给流量和来自第二气体容器SB的供给流量的总和。
从两个气体容器SA、SB进行气体供给过程中的任意时刻，对于剩余压力高的气体容器，此情况下，和剩余压力PA相比，剩余压力PB的一方较高，所以暂时中断来自第二气体容器SB的气体供给，而仅从第一气体容器SA进行气体供给(图6中的时间Ta)。而后，在检测到的任意的供给气体流量Q不发生变动时(气体使用处的气体使用流量不发生变化时)，即仅通过来自第一气体容器SA的气体供给来提供任意的供给气体流量Q的期间内，如图6的(a)所示，继续仅来自第一气体容器SA的气体供给。此后，当仅由第一气体容器SA进行气体供给时，所检测的任意的供给气体流量Q发生变动时(气体使用处的气体使用流量变化时)(例如图6中的时间Tb)，即靠仅以来自第一气体容器SA的气体供给无法充分提供任意的供给气体流量Q时，再度开启来自第二气体容器SB的气体供给，从两气体容器SA、SB这双方进行气体供给。
另一方面，来自第二气体容器SB的气体供给中断时(图6中的时间Ta)，检测到的任意的供给气体流量Q变化时(气体使用处的气体使用流量变化时)，如图6的(b)所示，立即再次开启来自第二气体容器SB的气体供给，由两个气体容器SA、SB这双方进行供给。在每个规定时间间隔、或者预先设定的时间内、供给气体流量Q不变化时，使来自剩余压力PB较高的第二气体容器SB的气体供给暂时中断(时间Tc)，根据任意的供给气体流量Q的变动状态(根据气体使用处的气体使用流量)适当地重复上述操作。
而且，如图6的(a)所示，从两气体容器SA、SB进行气体供给时，或者，仅从第一气体容器SA进行气体供给时，当第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第二设定压力P2(PA＝P2)时，停止来自第一气体容器SA的气体供给，切换至仅由第二气体容器SB进行气体供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
另外，如图6的(b)所示，在由两气体容器SA、SB供给气体的过程中，当第二气体容器SB内的剩余压力PB降低至第三设定压力P3时(PB＝P3)，将来自第一气体容器SA的气体供给停止，而继续来自第二气体容器SB的气体供给，同时，进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
图7是表示用于说明本发明的气体供给方法的第五实施例的气体容器内的剩余压力变化的图，在本实施例中，作为各种设定值，第一设定流量Q1、第二设定流量Q2、第一设定压力P1、第二设定压力P2、第三设定压力P3与上述相同地设定，且检测任意的供给气体流量Q(气体使用处的气体使用流量)以及两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB作为变动值。
首先，在通常的使用状态中，气体容器SA、SB的任何一方，例如第一气体容器SA在气体供给过程中，另一方的第二气体容器SB更换为新的气体容器后，其剩余压力(PB)变为填充压力Pfull。两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB同时超过了上述第一设定压力P1，而变成能够供给与上述第一设定流量Q1相当的流量的气体的状态。
从两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB分别算出以各气体容器SA、SB能够供给的气体流量QPA、QPB，并将计算出的能够供给的气体流量QPA、QPB和此时的供给气体流量Q分别进行比较。此时，在两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB同时为第一设定压力P1以上的情况下，能够从两气体容器SA、SB供给的气体流量QPA、QPB同时为任意的供给气体流量Q以上，所以对两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB进行比较，由剩余压力较低的气体容器进行气体供给，例如，当与剩余压力PB相比，剩余压力PA较低时，由第一气体容器SA进行气体供给。另外，剩余压力PA、PB为相同的情况下，可以预先设定好优先顺序，并按照优先顺序选择进行气体供给的气体容器。
当从第一气体容器SA进行气体供给时，经常对从依次变化的第一气体容器SA能够供给的气体流量QPA和任意的供给气体流量Q之间进行比较，在由剩余压力PA计算出的能够供给的气体流量QPA为检测到的任意的供给气体流量Q以上的期间(Q＜QPA)，继续来自第一气体容器SA的气体供给；而由剩余压力PA计算出的能够供给的气体流量QPA低于检测到的任意的供给气体流量Q时(Q＞QPA)，停止来自第一气体容器SA的气体供给，以开始来自第二气体容器SB的气体供给。
在从第二气体容器SB进行气体供给的期间，也经常对从第一气体容器SA能够供给的气体流量QPA和任意的供给气体流量Q进行比较，当能够供给的气体流量QPA变为任意的供给气体流量Q以上(Q＜QPA)时，停止来自剩余压力B较高的第二气体容器SB的气体供给，并再度开启来自剩余压力A较低的来自第一气体容器SA的气体供给。以下，根据剩余压力较低的第一气体容器SA能够供给的气体流量QPA和任意的供给气体流量Q之间的关系，与上述同样地对进行气体供给的气体容器进行切换。
而后，如图7的(a)所示，当从第一气体容器SA进行气体供给时，当第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第二设定压力P2(PA＝P2)时，停止来自第一气体容器SA的气体供给，切换至从第二气体容器SB进行气体供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
另外，如图7的(b)所示，在从第二气体容器SB进行气体供给时，当第二气体容器SB内的剩余压力PB降低至第三设定压力P3时(PB＝P3)，继续来自第二气体容器SB的气体供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
图8是表示用于说明本发明的气体供给方法的第六实施例的气体容器内的剩余压力变化的图，在本实施例中，作为各种设定值，第一设定流量Q1、第二设定流量Q2、第一设定压力P1、第二设定压力P2、第三设定压力P3与上述相同地设定，并对气体使用处预先设定的供给设定压力(PS)进行设定，且检测来自气体供给路径16供给的过程中的气体的压力(供给检测压力)PT以及两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB作为变动值。
在两气体容器SA、SB内的剩余压力PA、PB同时为第一设定压力P1以上，从第一气体容器进行气体供给的情况下，当第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第一设定压力P1(PA＝P1)时，开始来自第二气体容器SB的气体供给，变为从两气体容器SA、SB这双方同时向气体使用处进行气体供给的状态。
从两个气体容器SA、SB进行气体供给中的任意时刻，对于剩余压力高的气体容器，此情况下，和剩余压力PA相比，剩余压力PB的一方较高，所以暂时中断来自第二气体容器SB的气体供给，而仅由第一气体容器SA进行气体供给(图8中的时间Td)。而后，当供给检测压力PT不降低时，即通过仅来自第一气体容器SA的气体的供给就能够维持供给过程中的气体的压力的期间内，继续进行仅来自第一气体容器SA的气体供给。此后，当仅从第一气体容器SA进行气体供给时，供给检测压力PT降低时(例如图8中的时间Te)，再度开启来自第二气体容器SB的气体供给，变成从两气体容器SA、SB这双方进行气体供给。
另一方面，当在时间Td处来自第二气体容器SB的气体供给中断时，供给检测压力PT降低的情况下，立即再次开启来自第二气体容器SB的气体供给，从两个气体容器SA、SB这双方进行气体供给。在每个规定时间间隔或者预先设定的时间内，供给检测压力PT不发生变化时，进行来自剩余压力PB较高的第二气体容器SB的气体供给的暂时中断(例如图8的(b)中的时间Tf)，根据供给检测压力PT的状态适当的重复上述操作。
而且，如图8的(a)所示，从两气体容器SA、SB进行气体供给时，或者，仅从第一气体容器SA进行气体供给时，当第一气体容器SA内的剩余压力PA降低至第二设定压力P2(PA＝P2)时，停止来自第一气体容器SA的气体供给，以切换至从第二气体容器SB进行气体供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
另外，如图8的(b)所示，在从两气体容器SA、SB进行气体供给的过程中，当第二气体容器SB内的剩余压力PB减少至第三设定压力P3(PB＝P3)时，将来自第一气体容器SA的气体供给停止，而继续来自第二气体容器SB的气体供给，并进行第一气体容器SA的容器更换，第一气体容器SA变为待机状态。
如以上各实施例所示，当一方的气体容器内的剩余压力降低至无法供给第一设定流量Q1的第一设定压力P1时，以往是在此剩余压力下进行容器更换。然而，本发明中，通过从剩余压力高的另一方的气体容器进行气体供给，并根据供给至气体使用处的供给气体的流量Q的变化，而从剩余压力低的气体容器进行气体供给，从而能够将气体容器内的压缩气体供给到使用处直到变为比以往低的剩余压力，能够大幅地减少容器更换时气体容器内残余的未使用的气体量。
此外，通过当气体容器内的剩余压力降低至无法供给第二设定流量Q2的压力时，进行此气体容器的容器更换，而当一方的气体容器内的剩余压力低于第一设定压力P1时，并且另一方的气体容器内的剩余压力降低至第三设定压力P3时，对剩余压力较低一方的气体容器进行更换，由此，两方的气体容器内的剩余压力能够不低于第一设定压力P1，并能够可靠地供给作为最大流量的第一设定流量Q1的气体。
另外，气体供给设备的结构为任意，气体容器的形态、供给气体的种类也为任意。此外，即便在设有三个以上气体供给系统的气体供给设备中，也可以进行同样的操作，也能够将多个气体容器连接至一个气体供给系统。
附图标记的说明
11a、11b、压力调整部；
12a、12b、压力调整器；
13a、13b、高压阀；
14a、14b、压力计；
15a、15b、低压阀；
16、气体供给路径；
17、流量计；
A、B、气体供给系统；
SA、SB、气体容器。

Claims (7)

1.一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，其特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)和供给气体流量(Q)，在第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低到第一设定压力(P1)时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给；切换后在从第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)低于从具有如下范围的剩余压力(PA)的第一气体容器(SA)能够供给的气体流量(QPA)时，将向使用处的气体供给由从第二气体容器(SB)进行供给切换至从第一气体容器(SA)进行供给，该剩余压力(PA)的范围为：低于第一设定压力(P1)，且为第二设定压力(P2)以上；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)变为能够从第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)以上时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给，并进行第一气体容器(SA)的容器更换；在第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)的情况下，从剩余压力(PB)为第一设定压力(P1)以上的第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低到第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；
(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；
所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；
所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；
所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；
其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；
所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
2.一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，其特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)，在第一气体容器(SA)以及第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第一设定压力(P1)时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；在从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；
(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第三设定压力(P3)为被设定为比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；
所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；
其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；
所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
3.一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，其特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)以及供给气体流量(Q)，在第一气体容器(SA)以及第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第一设定压力(P1)时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；在从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)低于从具有如下范围的剩余压力(PA)的第一气体容器(SA)能够供给的气体流量(QPA)时，停止来自第二气体容器(SB)的气体供给，并从第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体，该剩余压力(PA)范围为：低于第一设定压力(P1)，且为第二设定压力(P2)以上；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)变为能够从第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)以上时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；
(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；
所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；
所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；
所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；
其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；
所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
4.一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，其特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)以及供给气体流量(Q)，在第一气体容器(SA)以及第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第一设定压力(P1)时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；在从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当中断来自剩余压力较高的第二气体容器(SB)的气体供给而供给气体流量(Q)不发生变动时，保持中断来自第二气体容器(SB)的气体供给的状态，并从第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体；当中断来自剩余压力较高的第二气体容器(SB)的气体供给而供给气体流量(Q)变化时，再度开启来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；
(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；
所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；
所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；
所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；
其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；
所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
5.一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，其特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)以及供给气体流量(Q)，在一方的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)比另一方的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)低的情况下，当供给气体流量(Q)低于从剩余压力较低的第一气体容器(SA)能够供给的气体流量(QPA)时，从剩余压力低的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体；而当供给气体流量(Q)为能够从剩余压力较低的第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)以上时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换为从剩余压力较高的第二气体容器(SB)进行供给，或者，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；
(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；
所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；
所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；
所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；
其中，第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；
第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
6.一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，其特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)以及供给检测压力(PT)，在第一气体容器(SA)以及第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处进行气体供给的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第一设定压力(P1)时，开始来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；在从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当中断来自剩余压力较高的第二气体容器(SB)的气体供给且供给检测压力(PT)不降低时，保持中断来自第二气体容器(SB)的气体供给的状态，并从第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体；当中断来自剩余压力较高的第二气体容器(SB)的气体供给且供给检测压力(PT)降低时，再度开启来自第二气体容器(SB)的气体供给，从而从第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)这双方向气体使用处供给气体；当剩余压力较低的第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，或者，剩余压力较高的第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低至第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；
(此处，所述供给设定压力(PS)为气体使用处预先设定的压力；
所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；
所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；
所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；
所述供给检测压力(PT)为对供给至气体使用处过程中的气体的压力进行检测所检测到的压力；
其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；
所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。
7.根据权利要求1至6任一项所述的气体供给方法，其特征在于：根据供给气体的种类以及气体供给系统的结构而预先设定气体容器内的剩余压力和能够供给的气体流量之间的关系。
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