CN102230207A - 电泳沉积装置及电泳沉积方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种电泳沉积方法包括：提供一电泳槽、一阳极基板以及一阴极基板；将阳极基板与阴极基板相对设置于电泳槽中；调整阳极基板与阴极基板的相对位置，使得阳极基板上各区域与相对应的阴极基板上各区域间具有不相等的距离；以及分别输入阳极电压与阴极电压至阳极基板的阳极电极与阴极基板的阴极电极，以进行电泳沉积。在本发明中，利用调整电极板之间的距离分布以及利用复数个阳极电极提供电压分布补偿，使得原先因阴极电极的形状或大小导致阴极基板上电压分布不均，进而影响电泳沉积速率均匀性的问题得以有效地改善。
Description
技术领域
本发明是关于一种电泳沉积方法及其装置，尤指一种于电极的电压分布不均状况下可维持电泳沉积均匀性的电泳沉积方法及其装置。
背景技术
电泳(Electrophoresis)是一藉由悬浮液中的带电荷粒子于电场作用下，产生朝向与其相反电性的电性极板移动的现象。利用电泳现象，可使悬浮液中的带电荷粒子将一材料于电极板上凝聚成一紧密堆积的镀层，达到电泳沉积的效果。
电泳沉积法可利用于涂料、金属氧化物以及荧光粉体等多种材料的沉积。而近年来奈米碳管的相关技术及应用开发蓬勃发展，因此亦有将电泳沉积法应用于奈米碳管的沉积方法上。然而，由于电泳沉积是利用两电极对电泳液形成电场来引发电泳现象，故当电极的图案变大或线形电极的长宽比变大时，电极上与电源接触端及远离电源端之间所呈现的电压差距将会明显拉大，影响到电极上各区域形成的电场强度的均匀性，进而对电泳沉积时于电极上各区域的沉积速率一致化有所不利。当电泳沉积法应用于大尺寸显示器的成膜制程时(例如奈米碳管及荧光粉体的沉积)，此不均匀现象会严重影响成品的显示质量及良率，故需要就此进行改善。
发明内容
本发明的主要目的之一在于提供一种电泳沉积方法及其装置，以改善因电极形状及大小使得电压分布不均，进而导致电泳沉积均匀性不佳的状况。
为达上述目的，本发明的一较佳实施例提供一种电泳沉积方法，上述电泳沉积方法包括下列步骤。首先，提供一电泳槽、一阳极基板以及一阴极基板。电泳槽承装一电泳液，阳极基板包括至少一阳极电极，而阴极基板包括至少一阴极电极。接着，将阳极基板与阴极基板浸泡于电泳液中，其中阳极基板与阴极基板是相对设置于电泳槽中。然后，调整阳极基板与阴极基板的相对位置，使得阳极基板上各区域与相对应的阴极基板上各区域间具有不相等的距离。之后，分别输入阳极电压与阴极电压至至少一阳极电极与至少一阴极电极，以进行一电泳沉积。
为达上述目的，本发明的另一较佳实施例提供一种电泳沉积方法，上述电泳沉积方法包括下列步骤。首先，提供一电泳槽、一阳极基板以及一阴极基板。电泳槽承装一电泳液，阳极基板包括复数个阳极电极，而阴极基板包括至少一阴极电极。接着，将阳极基板与阴极基板浸泡于电泳液中，其中阳极基板与阴极基板是互相平行设置于电泳槽中。然后，输入一阴极电压至阴极电极，且分别输入不同的阳极电压至各阳极电极以进行一电泳沉积。
为达上述目的，本发明的又一较佳实施例提供一种电泳沉积装置，上述电泳沉积装置包括一电源装置、一电泳槽、一阴极基板以及一阳极基板。电源装置包括一阳极端以及一阴极端。电泳槽是用以容纳一电泳液。阴极基板是设置于电泳槽中，阴极基板包括至少一阴极电极，且阴极电极是与电源装置的阴极端电性连结。阳极基板是设置于电泳槽中且对应于阴极基板。阳极基板包括至少一阳极电极，且阳极电极是与电源装置的阳极端电性连结。阳极基板是以一相对倾斜于阴极基板的方式设置，使得阳极基板上各区域与相对应的阴极基板上各区域间具有不相等的距离。
为达上述目的，本发明的再一较佳实施例提供一种电泳沉积装置，上述电泳沉积装置包括一电源装置、一电泳槽、一阴极基板以及一阳极基板。电源装置包括复数个阳极端以及一阴极端。电泳槽是用以容纳一电泳液。阴极基板是设置于电泳槽中，且阴极基板包括至少一阴极电极，阴极电极是与电源装置的阴极端电性连结。阳极基板是与阴极基板互相平行设置于电泳槽中。阳极基板包括复数个阳极电极分别与电源装置的各阳极端电性连结。各阳极端是用以分别提供不同的阳极电压至各阳极电极，且阴极端是用以提供一阴极电压至阴极电极。
在本发明中，利用调整电极板之间的距离分布以及利用复数个阳极电极提供电压分布补偿，使得原先因阴极电极的形状或大小导致阴极基板上电压分布不均，进而影响电泳沉积速率均匀性的问题得以有效地改善。
附图说明
图1绘示了本发明的一较佳实施例的电泳沉积装置的侧视示意图。
图2绘示了本发明的一较佳实施例的电泳沉积装置的立体示意图。
图3绘示了本发明的另一较佳实施例的电泳沉积装置的阴极基板示意图。
图4绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的侧视示意图。
图5绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的立体示意图。
图6绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的阳极基板示意图。
【主要组件符号说明】
| 10 | 电泳沉积装置 | 11 | 电源装置 |
| 11A | 阳极端 | 11C | 阴极端 |
| 12 | 电泳液 | 12T | 电泳槽 |
| 13 | 阳极基板 | 14 | 阴极基板 |
| 15 | 阳极电极 | 16 | 阴极电极 |
| 17 | 阴极电极 | 18 | 阳极电极 |
| 13Z1 | 第一阳极区 | 13ZX | 第二阳极区 |
| 14Z1 | 第一阴极区 | 14ZX | 第二阴极区 |
| DZ1 | 距离 | DZX | 距离 |
| RZ1 | 第一电泳沉积速率 | RZX | 第二电泳沉积速率 |
| VAZ1 | 电压 | VAZX | 电压 |
| VCZ1 | 电压 | VCZX | 电压 |
| 20 | 电泳沉积装置 |
具体实施方式
在本说明书及后续的申请专利范围当中使用了某些词汇来指称特定的组件。所属领域中具有通常知识者应可理解，制作商可能会用不同的名词来称呼同样的组件。本说明书及后续的申请专利范围并不以名称的差异来作为区别组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区别的基准。在通篇说明书及后续的请求项当中所提及的「包括」是为一开放式的用语，故应解释成「包括但不限定于」。再者，为使熟习本发明所属技术领域的一般技艺者能更进一步了解本发明，下文特列举本发明的数个较佳实施例，并配合所附图式，详细说明本发明的构成内容。需注意的是图式仅以说明为目的，并未依照原尺寸作图。
请参考图1与图2。图1绘示了本发明的一较佳实施例的电泳沉积装置的侧视示意图。图2绘示了本发明的一较佳实施例的电泳沉积装置的立体示意图。如图1与图2所示，在本实施例中，电泳沉积装置10包括一电源装置11、一电泳槽12T、一阴极基板14以及一阳极基板13。电源装置11包括一阳极端11A以及一阴极端11C。电泳槽12T是用以容纳一电泳液12。阴极基板14是设置于电泳槽12T中，且阴极基板14包括至少一阴极电极16与阴极端11C电性连结，在本实施例中，阴极基板14具有复数个阴极电极16，但本发明并不以此为限而可为仅有一个阴极电极16。阴极基板14更具有一第一阴极区14Z1与一第二阴极区14ZX，其中第一阴极区14Z1的各阴极电极16与电源装置11的阴极端11C电性连结，且各阴极电极16由于压降使得第二阴极区14ZX的电压VCZX小于第一阴极区14Z1的电压VCZ1。阳极基板13是设置于电泳槽12T中且对应于阴极基板14。阳极基板13包括至少一阳极电极15，在本实施例中，阳极电极15是为一整面图案，但本发明的阳极电极并不以此为限而可为其它适合的图案。如图1所示，在本实施例中，阳极基板13是以一相对倾斜于阴极基板14的方式设置，使得阳极基板13上各区域与相对应的阴极基板14上各区域间具有不相等的距离。阳极基板13更包括一第一阳极区13Z1对应于第一阴极区14Z1以及一第二阳极区13ZX对应于第二阴极区14ZX，其中第一阳极区13Z1的阳极电极15与电源装置11的阳极端11A电性连结，第一阳极区13Z1与第一阴极区14Z1之间形成的一第一电泳沉积速率RZ1是相等于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX之间形成的一第二电泳沉积速率RZX，且第一阳极区13Z1与第一阴极区间14Z1的距离DZ1大于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX间的距离DZX。值得说明的是，在本发明中，由于阴极电极16形状大小或电极材料电阻抗影响等因素，与电源装置11连接处较远的第二阴极区14ZX具有的电压VCZX易受到阴极电极16的电阻及长度影响而产生电压压降，使得第二阴极区14ZX的电压VCZX小于第一阴极区14Z1的电压VCZ1，而藉由将第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX间的距离DZX缩小，也就是使得第一阳极区13Z1与第一阴极区14Z1之间的距离DZ1大于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX之间的距离DZX，可补偿第二阴极区14ZX因第二阴极电压VCZX较小的影响，使得第一阳极区13Z1与第一阴极区14Z1之间形成的一第一电泳沉积速率RZ1相等于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX之间形成的一第二电泳沉积速率RZX。此外，在本实施例中，电泳液12中的主要电泳沉积成分可包括奈米碳管、荧光粉体或金属氧化物例如氧化镧锰(LSM)、氧化铈钆(CGO)、钇稳定氧化锆(YSZ)以及镧锶镓镁氧化物(LSGM)，但本发明并不以此为限。而电泳液12的其它成分可包括溶剂、分散剂或带电盐类例如硝酸钠、硝酸镁、硝酸钇或硝酸铝，但本发明并不以此为限而可另包括其它需要的成分。此外，阳极电极15与阴极电极16的材料可包括金属导电材料(例如铝、铬、钼、钛、铜、银或上述材料的合金)、透明导电材料(例如氧化铟锡、氧化铟锌、氧化铝锌或其它透明导电材料)或其它适合的导电材料。
如图2所示，在本实施例中，阴极基板14包括复数个直条状的阴极电极16，但本发明的阴极基板14并不以此为限而可仅有一个阴极电极或阴极电极为其它适合的图案。请参考图3，图3绘示了本发明的另一较佳实施例的电泳沉积装置的阴极基板示意图。如图3所示，依设计需求，阴极基板14可包括一阴极电极17，而阴极电极17可为一呈现直条蜿蜒整个阴极基板14的图形。而此另一较佳实施例的电泳沉积装置除阴极电极17之外可皆与上述实施例相同(请参考图1)，在此并不再赘述。
请再参考图1与图2，本发明的一较佳实施例的电泳沉积方法包括下列步骤。如图1与图2所示，首先利用上述实施例中的电泳沉积装置10，将阳极基板13与阴极基板14浸泡于电泳液12中。然后，调整阳极基板13与阴极基板14的相对位置，使得阳极基板13上各区域与相对应的阴极基板14上各区域间具有不相等的距离。接着，分别输入阳极电压与阴极电压至阳极电极15与阴极电极16，以进行一电泳沉积。在本实施例中，第一阴极区14Z1具有一电压VCZ1，第二阴极区14ZX具有一电压VCZX，第一阳极区13Z1具有一电压VAZ1，且第二阳极区13ZX具有一电压VAZX，其中各阴极电极16由于压降使得第二阴极区14ZX的电压VCZX小于第一阴极区14Z1的电压VCZ1。在本实施例中，阳极电极15可为一整面形状的电极，使得第一阳极区13Z1的电压VAZ1相等于第二阳极区13ZX的电压VAZX，但本发明并不以此为限而可使第一阳极区13Z1的电压VAZ1相异于第二阳极区13ZX的电压VAZX。此外，值得说明的是，在本发明中，第二阴极区14ZX与第一阴极区14Z1相比，第二阴极区14ZX与电源装置11的连接处较远，因此使得当阴极电极16为一长宽比较大的线形电极或电极材料的电阻抗较大时，第二阴极电压VCZX易受到影响而产生电压压降，使得第二阴极区14ZX的电压VCZX小于第一阴极区14Z1的电压VCZ1。而在本实施例中，是将阳极基板13倾斜设置于电泳液12中，使得第一阳极区13Z1与第一阴极区14Z1之间的距离DZ1大于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX之间的距离DZX，以补偿因第二阴极区14ZX的电压VCZX变小对于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX之间形成的一第二电泳沉积速率RZX的影响。此外，在本发明的其它实施例中，亦可视需要调整阳极基板13或阴极基板14设置于电泳液12中的位置及倾斜角度，以补偿各种因电极大小形状或材料因素导致电极板上各区域的电压均匀性不佳对电泳沉积速率均匀性的影响。此外，在本发明的各种电泳沉积方法中，亦可视需要调整电泳液成分及电极设计，使预沉积的材料透过电泳现象沉积于阳极电极或阴极电极上。
请参考图4至图6。图4绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的侧视示意图。图5绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的立体示意图。图6绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的阳极基板示意图。为简化说明，本发明的各实施例中相同的组件是以相同标号进行标示。如图4至图6所示，在本实施例中，电泳沉积装置20包括一电源装置11、一电泳槽12T、一阴极基板14以及一阳极基板13。电源装置11包括复数个阳极端11A以及一阴极端11C。电泳槽12T是用以容纳一电泳液12。阴极基板14是设置于电泳槽12T中，且阴极基板14包括至少一阴极电极16与阴极端11C电性连结。在本实施例中，阴极基板14具有复数个阴极电极16，但本发明并不以此为限而可为仅有一个阴极电极。此外，阴极基板14具有一第一阴极区14Z1与一第二阴极区14ZX，其中第一阴极区14Z1的各阴极电极16与电源装置11的阴极端11C电性连结，且各阴极电极16由于压降使得第二阴极区14ZX的电压VCZX小于第一阴极区14Z1的电压VCZ1。阳极基板13是与阴极基板14互相平行设置于电泳槽12T中。阳极基板13包括复数个阳极电极18，各阳极电极18分别与电源装置11的各阳极端11A电性连结。各阳极端11A是用以分别提供不同的阳极电压至各阳极电极18，且阴极端11C是用以提供一阴极电压至阴极电极16。在本实施例中，阳极基板13中与阴极基板14的第一阴极区14Z1相对设置的第一阳极区13Z1具有一电压VAZ1，与阴极基板14的第二阴极区14ZX相对设置的第二阳极区13ZX具有一电压VAZX。第一阳极区13Z1的电压VAZ1是小于第二阳极区13ZX的电压VAZX，且第一阳极区13Z1与第一阴极区14Z1之间形成之一第一电泳沉积速率RZ1是相等于第二阳极电极13ZX与第二阴极区14ZX之间形成的一第二电泳沉积速率RZX。在本发明中，阴极电极16的形状是为长直条状，与电源装置11连接处较远的第二阴极区14ZX具有的电压VCZX易受到阴极电极16的电阻及长度影响而产生电压压降，使得第二阴极区14ZX的电压VCZX小于第二阴极区14ZX的电压VCZ1。值得说明的是，在本实施例中，藉由阳极基板13的复数个水平排列的条状阳极电极18(如图6所示)分别与电源装置11的各阳极端11A电性连结，使得阳极基板13上各区域具有不同的电压，也就是说可使第一阳极区13Z1的电压VAZ1小于第二阳极区13ZX的电压VAZX。换句话说，在本实施例中，可藉由分别提供不同的阳极电压至各阳极电极18，使得各阳极电极18由上至下具有不同且递增的电压，以补偿对应的阴极基板14上各区域所形成的电压压降现象，但本发明并不以此为限而可视需要调整阳极基板上各个区域的电压分布状态，来补偿阴极基板14上各区域所形成的电压压降现象，进而使得第一阳极区13Z1与第一阴极区14Z1之间形成的一第一电泳沉积速率RZ1相等于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX之间形成的一第二电泳沉积速率RZX。如图6所示，本实施例的各阳极电极18是彼此平行设置，但本发明并不以此为限而可利用其它设置方式来调整所需的制程效果。例如可调整各阳极电极的位置，使得阳极基板上中央区域的阳极电极与阳极基板上边缘区域的阳极电极之间形成一种由内往外具有不同电压的分布状况，以配合相对应之阴极基板上因为阴极电极之形状所造成的电压压降分布状况。此外，在本实施例中，电泳液12的各成份特性与上述实施例相同，在此并不再赘述。
请再参考图4至图6，以说明本发明的又一较佳实施例的电泳沉积方法。为简化说明，以下说明主要针对本实施例与前述实施例的电泳沉积方法不同之处进行详述，并不再对相同之处重复赘述。如图4至图6所示，本实施例的电泳沉积方法是将阳极基板13与阴极基板14相对且平行设置于电泳液12中，换句话说，是使得第一阳极区13Z1与第一阴极区14Z1之间的距离DZ1相等于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX之间的距离DZX，但本发明并不以此为限。同时，本实施例中，阳极基板13包括复数个阳极电极18。本实施例的电泳沉积方法包括输入一阴极电压至阴极电极16，且分别输入不同的阳极电压至各阳极电极18，以使第一阳极区13Z1的电压VAZ1小于第二阳极区13ZX的电压VAZX。更精确地说，可调整阳极基板13上各个区域的电压状态，来补偿阴极基板14上各区域所形成的电压压降现象，进而使得第一阳极区13Z1与第一阴极区14Z1之间形成的一第一电泳沉积速率RZ1相等于第二阳极区13ZX与第二阴极区14ZX之间形成的一第二电泳沉积速率RZX。如图6所示，本实施例的各阳极电极18是彼此平行设置，但本发明并不以此为限而可利用其它设置方式来调整所需的制程效果。此外，在本发明的其它实施例中，亦可结合上述实施例中调整阳极基板13与阴极基板14间各区域的距离以及本实施例中藉由阳极基板13上各区域电压值的调整，来达到电泳沉积均匀性的最佳化设计。
综合上述内容，本发明是利用调整各电极板之间的距离分布以及电极设计来改善于电泳沉积时，因电极形状大小或材料特性导致电极基板上各区域电压分布不均的状况，进而确保电泳沉积的成膜均匀性得以有效地提升。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本发明的涵盖范围。
Claims (9)
1. 一种电泳沉积方法，其特征在于，包括：
提供一电泳槽，该电泳槽承装一电泳液；
提供一阳极基板以及一阴极基板，该阳极基板包括至少一阳极电极，且该阴极基板包括至少一阴极电极；
将该阳极基板与该阴极基板浸泡于该电泳液中，其中该阳极基板与该阴极基板是相对设置于该电泳槽中；
调整该阳极基板与该阴极基板的相对位置，使得该阳极基板上各区域与相对应的该阴极基板上各区域间具有不相等的距离；以及
分别输入阳极电压与阴极电压至该至少一阳极电极与该至少一阴极电极，以进行一电泳沉积。
2. 如权利要求1所述的电泳沉积方法，其特征在于，其中该阴极基板的一第一阴极区与该阳极基板的一第一阳极区相对设置，该阴极基板的一第二阴极区与该阳极基板的一第二阳极区相对设置，该至少一阴极电极由于压降使得该第二阴极区的该阴极电极的电压小于该第一阴极区的该阴极电极的电压，且该第二阴极区与该第二阳极区之间的距离小于该第一阴极区与该第一阳极区之间的距离。
3. 一种电泳沉积方法，其特征在于，包括：
提供一电泳槽，该电泳槽承装一电泳液；
提供一阳极基板以及一阴极基板，该阳极基板包括复数个阳极电极，且该阴极基板包括至少一阴极电极；
将该阳极基板与该阴极基板浸泡于该电泳液中，其中该阳极基板与该阴极基板是互相平行设置于该电泳槽中；以及
输入一阴极电压至该至少一阴极电极，以及分别输入不同的阳极电压至各该阳极电极，以进行一电泳沉积。
4. 如权利要求3所述的电泳沉积方法，其特征在于，其中该阴极基板的一第一阴极区与该阳极基板的一第一阳极区相对设置，该阴极基板的一第二阴极区与该阳极基板的一第二阳极区相对设置，该阴极电极由于压降使得该第二阴极区的该阴极电极的电压小于该第一阴极区的该阴极电极的电压，且该第二阳极区的该阳极电极的电压大于该第一阳极区的该阳极电极的电压。
5. 一种电泳沉积装置，其特征在于，包括：
一电源装置，该电源装置包括一阳极端以及一阴极端；
一电泳槽，用以容纳一电泳液；
一阴极基板，设置于该电泳槽中，该阴极基板包括至少一阴极电极，与该电源装置的该阴极端电性连结；以及
一阳极基板，设置于该电泳槽中且对应于该阴极基板，该阳极基板包括至少一阳极电极，与该电源装置的该阳极端电性连结，其中该阳极基板是以一相对倾斜于该阴极基板的方式设置，使得该阳极基板上各区域与相对应的该阴极基板上各区域间具有不相等的距离。
6. 如权利要求5 所述的电泳沉积装置，其特征在于，其中该阴极基板包括一第一阴极区对应于该阳极基板的一第一阳极区，该阴极基板包括一第二阴极区对应于该阳极基板的一第二阳极区，该至少一阴极电极由于压降使得该第二阴极区的该阴极电极的电压小于该第一阴极区的该阴极电极的电压，且该第二阴极区与该第二阳极区之间的距离小于该第一阴极区与该第一阳极区之间的距离。
7. 一种电泳沉积装置，其特征在于，包括：
一电源装置，该电源装置包括复数个阳极端以及一阴极端；
一电泳槽，用以容纳一电泳液；
一阴极基板，设置于该电泳槽中，该阴极基板包括至少一阴极电极，与该电源装置的该阴极端电性连结；以及
一阳极基板，与该阴极基板互相平行设置于该电泳槽中，该阳极基板包括复数个阳极电极分别与该电源装置的该等阳极端电性连结；
其中各该阳极端是用以分别提供不同的阳极电压至各该阳极电极，且该阴极端是用以提供一阴极电压至该阴极电极。
8. 如权利要求7所述的电泳沉积装置，其特征在于，其中该阴极基板包括一第一阴极区对应于该阳极基板的一第一阳极区，该阴极基板包括一第二阴极区对应于该阳极基板的一第二阳极区，该至少一阴极电极由于压降使得该第二阴极区的该阴极电极的电压小于该第一阴极区的该阴极电极的电压，且该第二阳极区的该阳极电极的电压大于该第一阳极区的该阳极电极的电压。
9. 如权利要求7所述的电泳沉积装置，其特征在于，其中该等阳极电极是彼此平行设置。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106637355A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-05-10 | 北京工业大学 | 电泳沉积装置及其采用电泳沉积法制备薄膜的方法 |
| CN107012491A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-08-04 | 河北民族师范学院 | 一种Co纳米层/Co纳米线/多孔氧化铝复合薄膜及其制备方法 |
| WO2018196346A1 (zh) * | 2017-04-25 | 2018-11-01 | 广东工业大学 | 一种金属表面改性装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5343639A (en) * | 1976-10-01 | 1978-04-19 | Hitachi Denkaihaku Kenkyusho | Method of producing aluminum etching foil |
| CN1539030A (zh) * | 2001-07-25 | 2004-10-20 | 夏普株式会社 | 电镀方法和电镀装置 |
| CN101017754A (zh) * | 2006-02-09 | 2007-08-15 | 东元电机股份有限公司 | 循序电泳沉积制作碳纳米管电子发射源的方法 |
| CN101421440A (zh) * | 2006-04-20 | 2009-04-29 | 英科有限公司 | 设备和泡沫体电镀方法 |
| CN101522951A (zh) * | 2006-09-29 | 2009-09-02 | 乌德诺拉股份公司 | 电解槽 |
| CN201574207U (zh) * | 2009-12-23 | 2010-09-08 | 上海元豪表面处理有限公司 | 电力线均匀分布的电镀槽 |
| CN102061505A (zh) * | 2009-11-16 | 2011-05-18 | 衡阳风顺车桥有限公司 | 一种异形件电泳工艺 |
-
2011
- 2011-06-21 CN CN2011101674510A patent/CN102230207A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5343639A (en) * | 1976-10-01 | 1978-04-19 | Hitachi Denkaihaku Kenkyusho | Method of producing aluminum etching foil |
| CN1539030A (zh) * | 2001-07-25 | 2004-10-20 | 夏普株式会社 | 电镀方法和电镀装置 |
| CN101017754A (zh) * | 2006-02-09 | 2007-08-15 | 东元电机股份有限公司 | 循序电泳沉积制作碳纳米管电子发射源的方法 |
| CN101421440A (zh) * | 2006-04-20 | 2009-04-29 | 英科有限公司 | 设备和泡沫体电镀方法 |
| CN101522951A (zh) * | 2006-09-29 | 2009-09-02 | 乌德诺拉股份公司 | 电解槽 |
| CN102061505A (zh) * | 2009-11-16 | 2011-05-18 | 衡阳风顺车桥有限公司 | 一种异形件电泳工艺 |
| CN201574207U (zh) * | 2009-12-23 | 2010-09-08 | 上海元豪表面处理有限公司 | 电力线均匀分布的电镀槽 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106637355A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-05-10 | 北京工业大学 | 电泳沉积装置及其采用电泳沉积法制备薄膜的方法 |
| CN107012491A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-08-04 | 河北民族师范学院 | 一种Co纳米层/Co纳米线/多孔氧化铝复合薄膜及其制备方法 |
| WO2018196346A1 (zh) * | 2017-04-25 | 2018-11-01 | 广东工业大学 | 一种金属表面改性装置 |
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