CN102230153A - 精密轴承用钢珠离子镀glc镀层实现自润滑的处理方法 - Google Patents
精密轴承用钢珠离子镀glc镀层实现自润滑的处理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102230153A CN102230153A CN 201110169189 CN201110169189A CN102230153A CN 102230153 A CN102230153 A CN 102230153A CN 201110169189 CN201110169189 CN 201110169189 CN 201110169189 A CN201110169189 A CN 201110169189A CN 102230153 A CN102230153 A CN 102230153A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- steel ball
- target
- vacuum chamber
- keep
- chromium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑减摩性能的处理方法，包括以下步骤：对待处理钢珠进行超声清洗后，用去离子水清洗，并冷风吹干；再置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内再依次进行溅射清洗、沉积纯铬打底层、沉积过渡层步骤以及沉积类石墨工作层等步骤。本发明方法处理后钢珠具有高承载、高转速、低振动、以及低摩擦的特性，能满足于航空、航天等领域的应用。
Description
技术领域
本发明属于材料制造技术领域，具体涉及一种精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法。
背景技术
精密轴承(基体材料常为GCr15)作为机械装备领域中的重要基础零件，其性能直接影响着机械装备的工作性能。精密轴承通常应用于高转动速度、长疲劳寿命和高运行稳定性等苛刻工况条件，具体表现在旋转体(钢珠)上，要求其具有高振动精度、高速旋转且摩擦系数小、磨损率低等特性。因此，提高精密轴承用钢珠的耐磨性是保证其性能稳定性的有效途径之一。应用现代表面改性技术于钢珠表面制备固体自润滑镀层，以突破传统油脂润滑的有效工作范围，保证精密轴承在诸如高温、高载、超高速等极端工况条件下正常工作，能赋予航空发动机等航空、航天领域所需精密轴承在无油或贫油情况下，保证飞行器等装备继续稳定运行至安全着陆的特性。
GLC(类石墨镀层)因具有良好的润滑、减摩、耐磨等特性，若利用磁控溅射离子镀技术于精密轴承用钢珠表面均匀制备一层GLC自润滑镀层，则组装后的精密轴承具有高承载、高转速、低振动、低摩擦等特性。然而，目前国内尚无有关精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层的相关表面处理技术。
发明内容
本发明的目的是提供了一种精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，本发明方法处理后钢珠具有高承载、高转速、低振动、以及低摩擦的特性。
本发明所采用的技术方案是，一种精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，在精密轴承用钢珠表面镀厚度为0.3μm～5μm的GLC镀层，该GLC镀层的硬度为1500HV～2500HV，摩擦系数为0.07～0.30，包括以下步骤：
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗后，用去离子水清洗，并冷风吹干；
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，所述真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材；
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为7sccm～100sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加0.02A～0.5A电流，同时，对钢珠施加负偏压值为300V～600V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，溅射清洗时间为1min～60min；
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
将铬靶材的靶电流调节至0.2A～15A，同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至0～150V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为1min～30min；
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa，
将铬靶材的靶电流调节至0.01A～2A，同时，将石墨靶材的靶电流调节至1A～15A，或将石墨靶材上电压值调节至500V～1500V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值保持在0～150V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为3min～60min；
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流和电压参数不变；同时，保持施加在钢珠上的脉冲偏压参数不变，或将施加在钢珠上的偏压值调节至0～120V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积类石墨工作层时间为60min～300min。
其中，步骤1中，对待处理钢珠进行超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗5min～30min，再放入乙醇中，超声波清洗5min～30min。
步骤2中，保证各靶材与钢珠之间的距离为30mm～180mm，且工作盘的主轴旋转转速为1r/min～20r/min，工作盘轴向振动摆幅为±20mm～±200mm，
铬靶材上靶电流的调节速率均为0.01A/min～5A/min，石墨靶材的靶电流的调节速率为0.01A/min～5A/min。
或者，铬靶材上靶电流的调节速率均为0.01A/min～5A/min，石墨靶材上电压值的调节速率均为1V/min～100V/min。
本发明的另一个技术方案是，一种精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，在精密轴承用钢珠表面镀厚度为0.3μm～5μm的GLC镀层，该GLC镀层的硬度为1500HV～2500HV，摩擦系数为0.07～0.30，包括以下步骤：
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗后，用去离子水清洗，并冷风吹干；
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，所述真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材；
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为7sccm～100sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加200V～600V电压，同时对钢珠施加负偏压值为300V～600V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，溅射清洗时间为1min～60min；
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
将铬靶材上电压值调节至250V～1500V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至0～150V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为1min～30min；
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa，
将铬靶材上电压值调节至200V～800V；同时，将石墨靶材的靶电流调节至1A～15A，或将石墨靶材上电压值调节至500V～1500V；同时将施加在钢珠上的负偏压值保持在0～150V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为3min～60min；
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流和电压参数不变；同时，保持施加在钢珠上的脉冲偏压参数不变，或将施加在钢珠上的偏压值调节至0～120V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积类石墨工作层时间为60min～300min。
其中，步骤1中，对待处理钢珠进行超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗5min～30min，再放入乙醇中，超声波清洗5min～30min。
步骤2中，保证各靶材与钢珠之间的距离为30mm～180mm，且工作盘的主轴旋转转速为1r/min～20r/min，工作盘轴向振动摆幅为±20mm～±200mm，
铬靶材上电压值的调节速率均为1V/min～100V/min，石墨靶材的靶电流的调节速率为0.01A/min～5A/min。
或者，铬靶材上电压值的调节速率均为1V/min～100V/min，石墨靶材上电压值的调节速率均为1V/min～100V/min。
本发明的有益效果是，与现有技术的精密轴承用钢珠相比，安装有本发明方法处理后的钢珠的精密轴承，转动速度增大的同时，振动增幅缓慢；相同载荷下运行振动值小且稳定性好；随主轴转速的提高，温升速度远小于现有技术的未镀膜轴承；断油情况下，与现有技术的精密轴承升高相同温度所用的时间更长；即说明精密轴承用滚珠在经本发明方法处理以后，具有了低摩擦系数(磨损率)、低振动幅值、高承载能力等特性，且在断油情况下可稳定运行的时间更长，能满足于航空、航天等领域对于精密轴承的要求。
具体实施方式
实施例1
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗，超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗5min，再放入乙醇中，超声波清洗5min。再用去离子水清洗，并冷风吹干。此步骤能基本去除钢珠表面的油污。
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，工作盘的主轴旋转转速为1r/min，工作盘轴向振动摆幅为±20mm；真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，并保证所有铬靶材和石墨靶材与钢珠之间的距离均为30mm。
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为7sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加0.02A的靶电流，同时，对钢珠施加负偏压值为300V、脉冲宽度为5.0μs、且脉冲频率为20KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，直至去除钢珠表面剩余油污和氧化皮，溅射清洗时间为60min。
此步骤中，通过脉冲偏压控制等离子中Ar+等正离子对钢珠表面的进一步清洗效果，使得吸附在钢珠表面的杂质(包括步骤1未去除的杂质以及钢珠表面的氧化皮)脱离钢珠表面，在净化钢珠表面的同时，引起钢珠温升，可大幅度改善界面状态，并有助于后续涂层结合强度的提高。
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持7sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa；
以5A/min的速率将铬靶材的靶电流调节至5A，同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至150V、脉冲宽度为5.0μs、且脉冲频率为20KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为1min。
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持7sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa，
以5A/min的速率将铬靶材的靶电流调节至0.01A，同时，以5A/min的速率将石墨靶材的靶电流调节至15A；同时，将施加在钢珠上的负偏压值保持在150V、脉冲宽度为5.0μs、且脉冲频率为20KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为3min。
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持7sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流参数不变；同时，保持施加在钢珠上的脉冲偏压值、脉冲宽度和脉冲频率的参数均不变，沉积类石墨工作层时间为60min。
此实施例中，得到的精密轴承用钢珠表面GLC镀层的厚度为0.3μm，硬度为2490HV，摩擦系数为0.07。
实施例2
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗，超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗16min，再放入乙醇中，超声波清洗16min。再用去离子水清洗，并冷风吹干。
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，工作盘的主轴旋转转速为10r/min，工作盘轴向振动摆幅为±90mm；真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，并保证所有铬靶材和石墨靶材与钢珠之间的距离均为105mm。
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为53sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为5.0×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加0.25A的靶电流，同时，对钢珠施加负偏压值为450V、脉冲宽度为2.5μs、且脉冲频率为160KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，直至去除钢珠表面剩余油污和氧化皮，溅射清洗时间为30min。
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持53sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为5.0×10-1Pa；
以2.5A/min的速率将铬靶材的靶电流调节至15A，同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至70V，脉冲宽度为2.5μs、且脉冲频率为160KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为6min。
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持53sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为5.0×10-1Pa，
以2.5A/min的速率将铬靶材的靶电流调节至1A，同时，以1.5A/min的速率将石墨靶材的靶电流调节至3A；同时，将施加在钢珠上的负偏压值保持在70V、脉冲宽度为2.5μs、且脉冲频率为160KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为6min。
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持53sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为5.0×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流参数不变；同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至120V、脉冲宽度为5μs、且脉冲频率为320KHz，沉积类石墨工作层时间为180min。
此实施例中，得到的精密轴承用钢珠表面GLC镀层的厚度为2.6μm，硬度为1980HV，摩擦系数为0.16。
实施例3
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗，超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗30min，再放入乙醇中，超声波清洗30min。再用去离子水清洗，并冷风吹干。
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，工作盘的主轴旋转转速为20r/min，工作盘轴向振动摆幅为±200mm；真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，并保证所有铬靶材和石墨靶材与钢珠之间的距离均为180mm。
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为100sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为9.5×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加0.5A的靶电流，同时，对钢珠施加负偏压值为600V、脉冲宽度为0.2μs、且脉冲频率为350KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，直至去除钢珠表面剩余油污和氧化皮，溅射清洗时间为1min。
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为9.5×10-1Pa；
以0.01A/min的速率将铬靶材的靶电流调节至0.2A，同时，将施加在钢珠上的脉冲偏压值调节为0，即没有脉冲负偏压的作用，沉积纯铬打底层时间为19min。
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为9.5×10-1Pa，
以0.04A/min的速率将铬靶材的靶电流调节至2A，同时，以30V/min的速率将石墨靶材上电压值调节至600V；钢珠负偏压值为0，沉积过渡层时间为50min。
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为9.5×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流和电压参数不变；钢珠负偏压值为0，沉积类石墨工作层时间为300min。
此实施例中，得到的精密轴承用钢珠表面GLC镀层的厚度为5μm，硬度为1520HV，摩擦系数为0.29。
实施例4
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗，超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗10min，再放入乙醇中，超声波清洗10min。再用去离子水清洗，并冷风吹干。此步骤能基本去除钢珠表面的油污。
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，工作盘的主轴旋转转速为15r/min，工作盘轴向振动摆幅为±170mm；真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，并保证所有铬靶材和石墨靶材与钢珠之间的距离均为150mm。
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为70sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为8.0×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加0.3A的靶电流，同时，对钢珠施加负偏压值为300V、脉冲宽度为5.0μs、且脉冲频率为20KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，直至去除钢珠表面剩余油污和氧化皮，溅射清洗时间为35min。
此步骤中，通过脉冲偏压控制等离子中Ar+等正离子对钢珠表面的进一步清洗效果，使得吸附在钢珠表面的杂质(包括步骤1未去除的杂质以及钢珠表面的氧化皮)脱离钢珠表面，在净化钢珠表面的同时，引起钢珠温升，可大幅度改善界面状态，并有助于后续涂层结合强度的提高。
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持70sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为7.6×10-1Pa；
以5A/min的速率将铬靶材的靶电流调节至5A，同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至50V、脉冲宽度为0.2μs、且脉冲频率为350KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为30min。
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持70sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为7.0×10-1Pa，
以5A/min的速率将铬靶材的靶电流调节至2A，同时，以30V/min的速率将石墨靶材上电压值调节至1500V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值保持在85V、脉冲宽度为0.2μs、且脉冲频率为320KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为45min。
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持70sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为8.6×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流参数不变；同时，保持施加在钢珠上的脉冲偏压值为50、脉冲宽度为0.2μs、且脉冲频率为20KHz，沉积类石墨工作层时间为100min。
此实施例中，得到的精密轴承用钢珠表面GLC镀层的厚度为0.4μm，硬度为2300HV，摩擦系数为0.06。
实施例5
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗，超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗15min，再放入乙醇中，超声波清洗15min。再用去离子水清洗，并冷风吹干。
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，工作盘的主轴旋转转速为10r/min，工作盘轴向振动摆幅为±100mm；真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，并保证所有铬靶材和石墨靶材与钢珠之间的距离均为110mm。
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为50sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为4.8×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加400V的靶电压，同时对钢珠施加负偏压值为450V、脉冲宽度为2.0μs、且脉冲频率为200KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，直至去除钢珠表面剩余油污和氧化皮，溅射清洗时间为30min。
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持60sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为5.0×10-1Pa；
以25V/min的速率将铬靶材上电压值调节至800V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至0，即没有脉冲负偏压的作用，沉积纯铬打底层时间为16min。
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持50sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为4.8×10-1Pa，
以25V/min的速率将铬靶材上电压值调节至400V；同时，以0.05A/min的速率将石墨靶材的靶电流调节至2A；将施加在钢珠上的负偏压值调节至0，沉积过渡层时间为40min。
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持50sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为4.8×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流和电压参数不变；将施加在钢珠上的负偏压值调节至0，沉积类石墨工作层时间为190min。
此实施例中，得到的精密轴承用钢珠表面GLC镀层的厚度为2.5μm，硬度为1940HV，摩擦系数为0.17。
实施例6
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗，超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗5min，再放入乙醇中，超声波清洗5min。再用去离子水清洗，并冷风吹干。
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，工作盘的主轴旋转转速为20r/min，工作盘轴向振动摆幅为±200mm；真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，并保证所有铬靶材和石墨靶材与钢珠之间的距离均为180mm。
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为100sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为9.5×10-1Pa；
直接在Cr靶材上施加550V的靶电压，同时对钢珠施加负偏压值为600V、脉冲宽度为0.2μs、且脉冲频率为350KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，直至去除钢珠表面剩余油污和氧化皮，溅射清洗时间为1min。
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为9.5×10-1Pa；
以50V/min的速率将铬靶材上电压值调节至1500V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至150V、脉冲宽度为0.2μs、且脉冲频率为350KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为19min。
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为9.5×10-1Pa，
以50V/min的速率将铬靶材上电压值调节至800V；同时，以100V/min的速率将石墨靶材上电压值调节至1500V；同时将施加在钢珠上的负偏压值保持在150V、脉冲宽度为0.2μs、且脉冲频率为350KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为14min。
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为9.5×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电压参数不变；同时，将施加在钢珠上的偏压值调节至120V、脉冲宽度调节为0.5μs、且脉冲频率调节为250KHz的脉冲偏压，沉积类石墨工作层时间为300min。
此实施例中，得到的精密轴承用钢珠表面GLC镀层的厚度为4.7μm，硬度为1560HV，摩擦系数为0.28。
实施例7
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗，超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗30min，再放入乙醇中，超声波清洗30min。再用去离子水清洗，并冷风吹干。
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，工作盘的主轴旋转转速为1r/min，工作盘轴向振动摆幅为±20mm；真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，并保证所有铬靶材和石墨靶材与钢珠之间的距离均为35mm。
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为8sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa；
直接在Cr靶材上施加200V的靶电压，同时对钢珠施加负偏压值为300V、脉冲宽度为5μs、且脉冲频率为20KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，直至去除钢珠表面剩余油污和氧化皮，溅射清洗时间为60min。
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持8sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa；
以2V/min的速率将铬靶材上电压值调节至260V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至80V、脉冲宽度为5μs、且脉冲频率为20KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为30min。
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持8sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa，
以1V/min的速率将铬靶材上电压值调节至200V；同时，以10V/min的速率将石墨靶材上电压值调节至500V；同时将施加在钢珠上的负偏压值保持为80V、脉冲宽度为5μs、且脉冲频率为20KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为60min。
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持8sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电压参数不变；同时，将施加在钢珠上的偏压值调节至40V、脉冲宽度调节为5.0μs、且脉冲频率调节为20KHz的脉冲偏压，沉积类石墨工作层时间为60min。
此实施例中，得到的精密轴承用钢珠表面GLC镀层的厚度为0.32μm，硬度为2470HV，摩擦系数为0.08。
实施例8
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗，超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗20min，再放入乙醇中，超声波清洗25min。再用去离子水清洗，并冷风吹干。
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，工作盘的主轴旋转转速为15r/min，工作盘轴向振动摆幅为±150mm；真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，并保证所有铬靶材和石墨靶材与钢珠之间的距离均为160mm。
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为70sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为6.6×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加450V的靶电压，同时对钢珠施加负偏压值为400V、脉冲宽度为3.5μs、且脉冲频率为250KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，直至去除钢珠表面剩余油污和氧化皮，溅射清洗时间为40min。
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持70sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为6.6×10-1Pa；
以25V/min的速率将铬靶材上电压值调节至850V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至60V、脉冲宽度为3.5μs、且脉冲频率为200KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为20min。
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持70sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为6.6×10-1Pa；
以50V/min的速率将铬靶材上电压值调节至300V；同时，以0.5A/min的速率将石墨靶材的靶电流调节至15A；同时将施加在钢珠上的负偏压值调节至50V、脉冲宽度为3.5μs、且脉冲频率为200KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为30min。
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持70sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为6.6×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流和电压参数不变；同时，保持施加在钢珠上的脉冲偏压参数不变，沉积类石墨工作层时间为200min。
此实施例中，得到的精密轴承用钢珠表面GLC镀层的厚度为2.9μm，硬度为2300HV，摩擦系数为0.18。
下表为，本专利方法得到的表面镀有GLC镀层的钢珠装备的精密轴承(a)和未镀GLC镀层的钢珠所装备的精密轴承(b)的力学性能对比：
由上表能看出，精密轴承用滚珠在经本发明方法处理以后，具有了低摩擦系数(磨损率)、低振动幅值、高承载能力等特性，且在断油情况下可稳定运行的时间更长。
Claims (10)
1.一种精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，在精密轴承用钢珠表面镀厚度为0.3μm～5μm的GLC镀层，该GLC镀层的硬度为1500HV～2500HV，摩擦系数为0.07～0.30，包括以下步骤：
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗后，用去离子水清洗，并冷风吹干；
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，所述真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材；
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为7sccm～100sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加0.02A～0.5A电流，同时，对钢珠施加负偏压值为300V～600V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，溅射清洗时间为1min～60min；
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
将铬靶材的靶电流调节至0.2A～15A，同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至0～150V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为1min～30min；
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa，
将铬靶材的靶电流调节至0.01A～2A，同时，将石墨靶材的靶电流调节至1A～15A，或将石墨靶材上电压值调节至500V～1500V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值保持在0～150V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为3min～60min；
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流和电压参数不变；同时，保持施加在钢珠上的脉冲偏压参数不变，或将施加在钢珠上的偏压值调节至0～120V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积类石墨工作层时间为60min～300min。
2.按照权利要求1所述精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，步骤1中，对待处理钢珠进行超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗5min～30min，再放入乙醇中，超声波清洗5min～30min。
3.按照权利要求1所述精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，步骤2中，保证各靶材与钢珠之间的距离为30mm～180mm，且工作盘的主轴旋转转速为1r/min～20r/min，工作盘轴向振动摆幅为±20mm～±200mm，
4.按照权利要求1所述精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，铬靶材上靶电流的调节速率均为0.01A/min～5A/min，石墨靶材的靶电流的调节速率为0.01A/min～5A/min。
5.按照权利要求1所述精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，铬靶材上靶电流的调节速率均为0.01A/min～5A/min，石墨靶材上电压值的调节速率均为1V/min～100V/min。
6.一种精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，在精密轴承用钢珠表面镀厚度为0.3μm～5μm的GLC镀层，该GLC镀层的硬度为1500HV～2500HV，摩擦系数为0.07～0.30，包括以下步骤：
步骤1：对待处理钢珠进行超声清洗后，用去离子水清洗，并冷风吹干；
步骤2：将步骤1得到的钢珠置于磁控溅射离子镀设备真空腔室中的工件盘内，该工作盘在下述各步骤中保持主轴旋转和轴向振动运动，其中，所述真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材；
步骤3：溅射清洗
将步骤2中的真空腔室抽真空，使该真空腔室的真空度小于6.0×10-3Pa，再通入气流量为7sccm～100sccm的氩气，保持此步骤中该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
直接在铬靶材上施加200V～600V电压，同时对钢珠施加负偏压值为300V～600V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，以对钢珠进行溅射清洗，溅射清洗时间为1min～60min；
步骤4：沉积纯铬打底层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
将铬靶材上电压值调节至250V～1500V；同时，将施加在钢珠上的负偏压值调节至0～150V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积纯铬打底层时间为1min～30min；
步骤5：沉积过渡层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa，
将铬靶材上电压值调节至200V～800V；同时，将石墨靶材的靶电流调节至1A～15A，或将石墨靶材上电压值调节至500V～1500V；同时将施加在钢珠上的负偏压值保持在0～150V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积过渡层时间为3min～60min；
步骤6：沉积类石墨工作层
此步骤中，保持7sccm～100sccm的氩气流量，并保持该真空腔室中的工作气压为1.0×10-1Pa～9.5×10-1Pa；
维持金属铬靶材和石墨靶材的电流和电压参数不变；同时，保持施加在钢珠上的脉冲偏压参数不变，或将施加在钢珠上的偏压值调节至0～120V、脉冲宽度为0.2μs～5μs、且脉冲频率为20KHz～350KHz的脉冲偏压，沉积类石墨工作层时间为60min～300min。
7.按照权利要求6所述精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，步骤1中，对待处理钢珠进行超声清洗的具体方法为：将待处理钢珠置于丙酮溶液中，超声波清洗5min～30min，再放入乙醇中，超声波清洗5min～30min。
8.按照权利要求6所述精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，步骤2中，保证各靶材与钢珠之间的距离为30mm～180mm，且工作盘的主轴旋转转速为1r/min～20r/min，工作盘轴向振动摆幅为±20mm～±200mm，
9.按照权利要求6所述精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，铬靶材上电压值的调节速率均为1V/min～100V/min，石墨靶材的靶电流的调节速率为0.01A/min～5A/min。
10.按照权利要求6所述精密轴承用钢珠离子镀GLC镀层实现自润滑的处理方法，其特征在于，铬靶材上电压值的调节速率均为1V/min～100V/min，石墨靶材上电压值的调节速率均为1V/min～100V/min。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201110169189 CN102230153B (zh) | 2011-06-22 | 2011-06-22 | 精密轴承用钢珠离子镀glc镀层实现自润滑的处理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201110169189 CN102230153B (zh) | 2011-06-22 | 2011-06-22 | 精密轴承用钢珠离子镀glc镀层实现自润滑的处理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102230153A true CN102230153A (zh) | 2011-11-02 |
| CN102230153B CN102230153B (zh) | 2013-01-16 |
Family
ID=44842756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201110169189 Expired - Fee Related CN102230153B (zh) | 2011-06-22 | 2011-06-22 | 精密轴承用钢珠离子镀glc镀层实现自润滑的处理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102230153B (zh) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102588175A (zh) * | 2012-01-19 | 2012-07-18 | 浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司 | 一种新型喷油泵控制阀套及其表面处理方法 |
| CN103469217A (zh) * | 2013-09-24 | 2013-12-25 | 中国船舶重工集团公司第十二研究所 | 一种高速齿轮类石墨碳膜超润滑表面强化方法 |
| CN104046940A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-09-17 | 南京工业大学 | 一种采用微弧离子镀沉积氮化钛蓝色镀层的方法 |
| CN104674177A (zh) * | 2015-02-09 | 2015-06-03 | 洛阳理工学院 | 一种新型的超高速精密球轴承的制作方法 |
| CN104726822A (zh) * | 2015-02-09 | 2015-06-24 | 洛阳理工学院 | 一种基于CrC镀层的高速精密球轴承及其制作方法 |
| CN105063566A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-11-18 | 南京工业大学 | 一种精密轴承用滚珠微弧离子镀碳基薄膜的装置及方法 |
| CN105951044A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-09-21 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 乙炔气体改性类石墨碳膜的制备方法 |
| CN106119775A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-11-16 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种谐波减速器用柔性齿轮微弧离子镀表面处理方法 |
| CN106222616A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-12-14 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种谐波减速器用刚轮离子镀类石墨自润滑膜层的方法 |
| CN107326336A (zh) * | 2017-06-29 | 2017-11-07 | 四川理工学院 | 抗菌耐磨非晶碳涂层及其制备方法、抗菌耐磨器件 |
| CN107761059A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-03-06 | 南京工业大学 | 电工合金零部件表面银合金镀层及其制备方法、电工合金零部件 |
| CN108390075A (zh) * | 2018-01-24 | 2018-08-10 | 上海交通大学 | 抗腐蚀导电膜及其脉冲偏压交替磁控溅射沉积方法和应用 |
| CN109338322A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-02-15 | 宁波甬微集团有限公司 | 一种压缩机滑片表面涂层及其制备方法 |
| CN110983275A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-10 | 南京华塑增材制造有限公司 | 一种petg矫治器表面银掺杂二氧化钛纳米抗菌复合涂层的低温制备方法 |
| WO2020113596A1 (zh) * | 2018-12-07 | 2020-06-11 | 上海航天设备制造总厂有限公司 | 一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层及其制备方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100999812A (zh) * | 2007-01-05 | 2007-07-18 | 西安理工大学 | 掺杂铬的非晶态石墨减摩镀层及其制备方法 |
-
2011
- 2011-06-22 CN CN 201110169189 patent/CN102230153B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100999812A (zh) * | 2007-01-05 | 2007-07-18 | 西安理工大学 | 掺杂铬的非晶态石墨减摩镀层及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 《摩擦学学报》 20081130 严少平等 基体偏压对磁控溅射类石墨镀层摩擦磨损性能的影响 491-496 1-10 第28卷, 第6期 * |
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102588175A (zh) * | 2012-01-19 | 2012-07-18 | 浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司 | 一种新型喷油泵控制阀套及其表面处理方法 |
| CN103469217A (zh) * | 2013-09-24 | 2013-12-25 | 中国船舶重工集团公司第十二研究所 | 一种高速齿轮类石墨碳膜超润滑表面强化方法 |
| CN103469217B (zh) * | 2013-09-24 | 2015-09-16 | 中国船舶重工集团公司第十二研究所 | 一种高速齿轮类石墨碳膜超润滑表面强化方法 |
| CN104046940A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-09-17 | 南京工业大学 | 一种采用微弧离子镀沉积氮化钛蓝色镀层的方法 |
| CN104046940B (zh) * | 2014-07-02 | 2016-02-10 | 南京工业大学 | 一种采用微弧离子镀沉积氮化钛蓝色镀层的方法 |
| CN104674177A (zh) * | 2015-02-09 | 2015-06-03 | 洛阳理工学院 | 一种新型的超高速精密球轴承的制作方法 |
| CN104726822A (zh) * | 2015-02-09 | 2015-06-24 | 洛阳理工学院 | 一种基于CrC镀层的高速精密球轴承及其制作方法 |
| CN105063566A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-11-18 | 南京工业大学 | 一种精密轴承用滚珠微弧离子镀碳基薄膜的装置及方法 |
| CN105063566B (zh) * | 2015-09-08 | 2018-07-13 | 南京工业大学 | 一种精密轴承用滚珠微弧离子镀碳基薄膜的装置及方法 |
| CN105951044A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-09-21 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 乙炔气体改性类石墨碳膜的制备方法 |
| CN106222616A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-12-14 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种谐波减速器用刚轮离子镀类石墨自润滑膜层的方法 |
| CN106119775A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-11-16 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种谐波减速器用柔性齿轮微弧离子镀表面处理方法 |
| CN107326336A (zh) * | 2017-06-29 | 2017-11-07 | 四川理工学院 | 抗菌耐磨非晶碳涂层及其制备方法、抗菌耐磨器件 |
| CN107326336B (zh) * | 2017-06-29 | 2020-04-07 | 四川理工学院 | 抗菌耐磨非晶碳涂层及其制备方法、抗菌耐磨器件 |
| CN107761059A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-03-06 | 南京工业大学 | 电工合金零部件表面银合金镀层及其制备方法、电工合金零部件 |
| CN107761059B (zh) * | 2017-09-27 | 2020-01-31 | 南京工业大学 | 电工合金零部件表面银合金镀层及其制备方法、电工合金零部件 |
| CN108390075A (zh) * | 2018-01-24 | 2018-08-10 | 上海交通大学 | 抗腐蚀导电膜及其脉冲偏压交替磁控溅射沉积方法和应用 |
| CN108390075B (zh) * | 2018-01-24 | 2019-04-02 | 上海交通大学 | 抗腐蚀导电膜及其脉冲偏压交替磁控溅射沉积方法和应用 |
| CN109338322A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-02-15 | 宁波甬微集团有限公司 | 一种压缩机滑片表面涂层及其制备方法 |
| WO2020113596A1 (zh) * | 2018-12-07 | 2020-06-11 | 上海航天设备制造总厂有限公司 | 一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层及其制备方法 |
| CN110983275A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-10 | 南京华塑增材制造有限公司 | 一种petg矫治器表面银掺杂二氧化钛纳米抗菌复合涂层的低温制备方法 |
| CN110983275B (zh) * | 2019-12-25 | 2022-02-01 | 南京华塑增材制造有限公司 | 一种petg矫治器表面银掺杂二氧化钛纳米抗菌复合涂层的低温制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102230153B (zh) | 2013-01-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102230153B (zh) | 精密轴承用钢珠离子镀glc镀层实现自润滑的处理方法 | |
| EP2907889B1 (en) | A multilayer multi-element composite hard PVD coating on the surface of a piston ring, a piston ring and a preparation process | |
| CN106191794A (zh) | 钛合金表面超硬减摩耐磨复合膜层的覆层方法及钛合金材料 | |
| JP7018988B2 (ja) | 耐摩耗および減摩の作用を有するメッキ層、その調製方法、およびピストンリング | |
| CN106702330A (zh) | 一种碳钢或不锈钢表面基于镀铝层的微弧氧化陶瓷涂层及其制备方法 | |
| CN113621912B (zh) | 一种梯度自润滑复合涂层及其制备方法 | |
| CN105220120B (zh) | 一种多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上产业化的方法 | |
| CN104388899A (zh) | 一种具有MoN/Cr/CrN/Cr纳米复合超厚涂层的活塞环及其制备方法 | |
| CN105420669B (zh) | 一种用于永磁体防腐前处理的气相沉积方法 | |
| CN107034440A (zh) | 一种复合类金刚石碳膜及其制备方法 | |
| CN108977776A (zh) | 空间宽温域环境下高结合力固体润滑膜层及其制备方法 | |
| CN105063566B (zh) | 一种精密轴承用滚珠微弧离子镀碳基薄膜的装置及方法 | |
| CN107338409B (zh) | 可调控磁场电弧离子镀制备氮基硬质涂层的工艺方法 | |
| CN105908143A (zh) | 易锈蚀金属件表面类金刚石薄膜及其制备方法 | |
| CN106222616A (zh) | 一种谐波减速器用刚轮离子镀类石墨自润滑膜层的方法 | |
| CN103225064A (zh) | 类金刚石涂层活塞环的制备方法 | |
| CN111647925A (zh) | 一种铝合金表面微弧氧化减摩复合涂层及其制备方法 | |
| CN102534720A (zh) | 一种铝合金表面金属陶瓷复合涂层的制备方法 | |
| CN108251803B (zh) | TiB2自润滑涂层及其制备方法和耐磨构件 | |
| CN101921983B (zh) | 一种w-s-c复合膜的制备方法 | |
| CN203938726U (zh) | 碳基减摩耐磨涂层及工件 | |
| CN113416955A (zh) | 一种钛合金紧固件阳极氧化与磁控溅射表面复合处理方法 | |
| CN112376017A (zh) | 一种具有耐磨涂层的纺织钢领及其制备方法 | |
| CN103805949B (zh) | 二硫化钼自润滑复合涂层及覆有该复合涂层的活塞环 | |
| CN103590003B (zh) | 物理气相沉积在旋转机械叶片表面制备硬阻尼涂层的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130116 Termination date: 20150622 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |