CN102229216A

CN102229216A - 一种多线切割机用拔轴器

Info

Publication number: CN102229216A
Application number: CN2011101395368A
Authority: CN
Inventors: 姜家宏
Original assignee: Beijing Semiconductor Equipment Institute
Current assignee: Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority date: 2011-05-27
Filing date: 2011-05-27
Publication date: 2011-11-02
Anticipated expiration: 2031-05-27
Also published as: CN102229216B

Abstract

本发明涉及一种应用于半导体行业中多线切割机上的专用拔轴器，其包括带有阶梯孔的固定座、均布固定设置在固定座上的三个支脚、固定设置在固定座阶梯孔内的导向套、下端通过压盖设置在固定座阶梯孔的阶梯轴套、套装在导向套内孔和阶梯轴套内的下端带有凸台的拔轴丝杠、套装在拔轴丝杠下端的带有凸沿的拔轴底座以及固定设置在阶梯轴套上端的手轮装置，本发明装置结构简单，易于操作，不需借助任何随机工具，用手工即可完成前轴承座的拆卸，拆卸时快速，工作可靠，减轻了工人的劳动强度，既可提高更换主辊的效率，又可避免主辊的损伤。

Description

一种多线切割机用拔轴器

技术领域

本发明涉及一种应用于半导体行业中多线切割机上的专用拔轴器。

背景技术

在半导体设备制造行业中，高效率，产能大的多线切割机得到了广泛的应用，主辊作为切割机中的关键部件，也是易损件，需要经常拆卸，进行重新开槽或更换，而在工作台的布线系统中，主辊与前轴承座间采用锥面定位，定位精度要求高，相应的拆卸难度大，用手工拆卸前轴承座时极易损伤主辊及轴承座。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种针对拆卸多线切割机中前轴承座的结构简单、易于操作、既可提高更换主辊的效率、又可避免主辊的损伤的专用拔轴器。

本发明采用如下技术方案：

本发明包括带有阶梯孔的固定座、均布固定设置在固定座上的三个支脚、固定设置在固定座阶梯孔内的导向套、下端通过压盖设置在固定座阶梯孔的阶梯轴套、套装在导向套内孔和阶梯轴套内的下端带有凸台的拔轴丝杠、套装在拔轴丝杠下端的带有凸沿的拔轴底座以及固定设置在阶梯轴套上端的手轮装置，所述的导向套上端卡在固定座的阶梯孔内，导向套上端和阶梯轴套下端之间设置有防损垫圈，阶梯轴套可绕导向套旋转，在所述拔轴丝杠的上端设置有一段外螺纹，在阶梯轴套内设置有与拔轴丝杠的外螺纹相啮合的内螺纹，所述的拔轴丝杠上的外螺纹长度大于阶梯轴套内的内螺纹长度，转动手轮装置带动阶梯轴套旋转，阶梯轴套的内螺纹与拔轴丝杠上的外螺纹啮合，带动拔轴丝杠在导向套内上下运动，拔轴丝杠下端的拔轴底座也随之上下运动。

本发明所述的手轮装置包括固定设置在阶梯轴套上的基座、对称设置在基座两侧的左、右手轮以及对称设置在左、右手轮上的左、右手柄，所述的左、右手轮上固定设置有左、右连接板，在左、右连接板上固定设置有左、右连接块，在左、右连接块上设置有左、右手柄。

本发明积极效果如下：本发明多线切割机用拔轴器是针对拆卸多线切割机中前轴承座的专用装置，压盖将阶梯轴套连接在拔轴固定座上，以防止阶梯轴上下窜动，本发明装置结构简单，易于操作，不需借助任何随机工具，用手工即可完成前轴承座的拆卸，拆卸时快速，工作可靠，减轻了工人的劳动强度，既可提高更换主辊的效率，又可避免主辊的损伤。

附图说明

附图为本发明结构示意图。

在附图中：1支脚、2固定座、3导向套、4阶梯轴套、5压盖、6左手轮、7基座、8右连接板、9右连接块、10右手柄、11防损垫圈、12拔轴丝杠、13拔轴底座、14右手轮、15左连接板、16左手柄、17左连接块。

具体实施方式

如附图所示，本发明包括带有阶梯孔的固定座2、均布固定设置在固定座2上的三个支脚1、固定设置在固定座2阶梯孔内的导向套3、下端通过压盖5设置在固定座2阶梯孔的阶梯轴套4、套装在导向套3内孔和阶梯轴套4内的下端带有凸台的拔轴丝杠12、套装在拔轴丝杠12下端的带有凸沿的拔轴底座13以及固定设置在阶梯轴套4上端的手轮装置，三个支脚1与拔轴固定座2用三个螺钉固定连接，导向套3用圆柱销钉固定在拔轴固定座2上，防止拔轴器工作时导向套3发生转动，压盖5是用3个均匀分布的螺钉将阶梯轴套4固定连接在固定座2上，压盖5的作用是防止工作时，阶梯轴套4相对于拔轴固定座2上下窜动，拔轴丝杠12与拔轴底座13为间隙配合，拔轴时可手动将拔轴底座13旋转到合适的位置工作。所述的导向套3上端卡在固定座2的阶梯孔内，导向套3上端和阶梯轴套4下端之间设置有防损垫圈11，阶梯轴套4可绕导向套3旋转，在所述拔轴丝杠12的上端设置有一段外螺纹，在阶梯轴套4内设置有与拔轴丝杠12的外螺纹相啮合的内螺纹，所述的拔轴丝杠12上的外螺纹长度大于阶梯轴套4内的内螺纹长度，拔轴丝杠12的外螺纹的长度是与其配套阶梯轴套的内螺纹长度的3到4倍，转动手轮装置带动阶梯轴套4旋转，阶梯轴套4的内螺纹与拔轴丝杠12上的外螺纹啮合，带动拔轴丝杠12在导向套3内上下运动，拔轴丝杠12下端的拔轴底座13也随之上下运动。

如附图所示，本发明所述的手轮装置包括固定设置在阶梯轴套4上的基座7、对称设置在基座7两侧的左、右手轮6、14以及对称设置在左、右手轮6、14上的左、右手柄16、10，所述的左、右手轮6、14上固定设置有左、右连接板15、8，在左、右连接板15、8上固定设置有左、右连接块17、9，在左、右连接块17、9上设置有左、右手柄16、10；本发明所述的手轮装置还可采用圆盘式手轮。

本发明装置工作时，首先顺时针旋转左、右手柄16、10带动手轮装置，将拔轴丝杠12下降至所需的工作高度后，将本发明装置的三个支脚1支撑在在所需工作平面上，将三个支脚1调整到合适的三点后定位，微调手轮装置，将拔轴底座13的凸沿伸至前轴承座的内部轴孔中，用手将拔轴底座13卡在前轴承座的内部轴孔中；在拔轴的过程中，逆时针旋转左、右手柄16、10带动手轮装置，阶梯轴套4随之转动，阶梯轴套4上的内螺纹与拔轴丝杠12上的内螺纹相啮合，带动拔轴丝杠12相对于阶梯轴套4向上运动，拔轴丝杠12产生向上的提升力，带动下端的拔轴底座13向上运动提升，从而将前轴承座从主辊中拔出。

本发明多线切割机用拔轴器是针对拆卸多线切割机中前轴承座的专用装置，压盖5将阶梯轴套4连接在拔轴固定座2上，以防止阶梯轴4上下窜动，本发明装置结构简单，易于操作，不需借助任何随机工具，用手工即可完成前轴承座的拆卸，拆卸时快速，工作可靠，减轻了工人的劳动强度，既可提高更换主辊的效率，又可避免主辊的损伤。

Claims

1.一种多线切割机用拔轴器，其特征在于其包括带有阶梯孔的固定座（2）、均布固定设置在固定座（2）上的三个支脚（1）、固定设置在固定座（2）阶梯孔内的导向套（3）、下端通过压盖（5）设置在固定座（2）阶梯孔的阶梯轴套（4）、套装在导向套（3）内孔和阶梯轴套（4）内的下端带有凸台的拔轴丝杠（12）、套装在拔轴丝杠（12）下端的带有凸沿的拔轴底座（13）以及固定设置在阶梯轴套（4）上端的手轮装置，所述的导向套（3）上端卡在固定座（2）的阶梯孔内，导向套（3）上端和阶梯轴套（4）下端之间设置有防损垫圈（11），阶梯轴套（4）可绕导向套（3）旋转，在所述拔轴丝杠（12）的上端设置有一段外螺纹，在阶梯轴套（4）内设置有与拔轴丝杠（12）的外螺纹相啮合的内螺纹，所述的拔轴丝杠（12）上的外螺纹长度大于阶梯轴套（4）内的内螺纹长度，转动手轮装置带动阶梯轴套（4）旋转，阶梯轴套（4）的内螺纹与拔轴丝杠（12）上的外螺纹啮合，带动拔轴丝杠（12）在导向套（3）内上下运动，拔轴丝杠（12）下端的拔轴底座（13）也随之上下运动。

2.根据权利要求1所述的一种多线切割机用拔轴器，其特征在于所述的手轮装置包括固定设置在阶梯轴套（4）上的基座（7）、对称设置在基座（7）两侧的左、右手轮（6、14）以及对称设置在左、右手轮（6、14）上的左、右手柄（16、10），所述的左、右手轮（6、14）上固定设置有左、右连接板（15、8），在左、右连接板（15、8）上固定设置有左、右连接块（17、9），在左、右连接块（17、9）上设置有左、右手柄（16、10）。