CN102207615B - 光滤波器以及使用其的分析设备和光设备 - Google Patents
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| JP5879910B2 (ja) * | 2011-10-18 | 2016-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器 |
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| JP6003168B2 (ja) * | 2012-04-11 | 2016-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
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| JP6098051B2 (ja) * | 2012-07-04 | 2017-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置 |
| JP6019863B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2016-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器、並びに波長可変干渉フィルターの製造方法 |
| JP6036341B2 (ja) * | 2013-01-29 | 2016-11-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、及び電子機器 |
| JP6107186B2 (ja) * | 2013-02-05 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
| KR101833752B1 (ko) * | 2013-08-20 | 2018-03-02 | 인텔 코포레이션 | Mems 디바이스를 포함하는 디스플레이 장치 |
| JP6264810B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2018-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2015066611A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
| JP6264838B2 (ja) * | 2013-10-29 | 2018-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光学素子 |
| JP6323004B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 蛍光観察装置、及び光学部材 |
| JP6543884B2 (ja) | 2014-01-27 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 |
| JP6413325B2 (ja) | 2014-05-01 | 2018-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法 |
| US20170075103A1 (en) * | 2015-09-11 | 2017-03-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical systems device with segmented electrodes and thin film transistors for increasing stable range |
| JP6296128B2 (ja) * | 2016-09-16 | 2018-03-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP2019015865A (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの製造方法 |
| CN107247331A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-10-13 | 太仓宏微电子科技有限公司 | 一种基于mems技术的法布里‑珀罗腔可调光滤波器 |
| JP7006172B2 (ja) * | 2017-11-21 | 2022-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP6566061B2 (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-28 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| CN111684335A (zh) * | 2018-04-20 | 2020-09-18 | 株式会社村田制作所 | 分光器、拍摄装置、扫描装置以及位置测定装置 |
| DE102018213823A1 (de) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | Robert Bosch Gmbh | Fabry-Pérot-Interferometer und Verfahren zum Herstellen eines Fabry-Pérot-Interferometers |
| JP7200842B2 (ja) * | 2019-06-21 | 2023-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター |
| WO2025248169A1 (en) * | 2024-05-31 | 2025-12-04 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Fabry-perot interferometer having a wide tuning range |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007022326A2 (en) * | 2005-08-16 | 2007-02-22 | Infotonics Technology Center Inc. | Tunable light filter |
| JP2007155965A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Anritsu Corp | 可変波長光フィルタ |
| US20070242920A1 (en) * | 2006-04-18 | 2007-10-18 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
| CN101292188A (zh) * | 2005-10-19 | 2008-10-22 | 秦内蒂克有限公司 | 光学调制 |
| US20090303570A1 (en) * | 2002-03-08 | 2009-12-10 | Lorenzo Faraone | Tunable cavity resonator and method for fabricating same |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5646772A (en) | 1996-05-10 | 1997-07-08 | Lucent Technologies Inc. | Methods and apparatus for a multi-electrode micromechanical optical modulator |
| JPH11142752A (ja) | 1997-11-05 | 1999-05-28 | Yokogawa Electric Corp | 透過波長可変干渉フィルタ及びこれを用いた分光器 |
| JP2001221913A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-17 | Yokogawa Electric Corp | ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計 |
| US7145143B2 (en) | 2002-03-18 | 2006-12-05 | Honeywell International Inc. | Tunable sensor |
| US7265477B2 (en) * | 2004-01-05 | 2007-09-04 | Chang-Feng Wan | Stepping actuator and method of manufacture therefore |
| JP2005305614A (ja) | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Seiko Epson Corp | 微小構造体の製造方法、微小構造体、波長可変光フィルタ及びマイクロミラー |
| US7733553B2 (en) * | 2005-09-21 | 2010-06-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Light modulator with tunable optical state |
| JP4466634B2 (ja) * | 2006-01-19 | 2010-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| JP4561728B2 (ja) * | 2006-11-02 | 2010-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| US7469085B1 (en) * | 2007-07-12 | 2008-12-23 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for minimizing propagation losses in wavelength selective filters |
| JP5141213B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2013-02-13 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| JP5446110B2 (ja) | 2008-03-31 | 2014-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 受光装置 |
| JP5369515B2 (ja) * | 2008-06-26 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルタとその製造方法及び光学フィルタ装置モジュール |
| JP6010275B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| JP5779852B2 (ja) * | 2010-08-25 | 2015-09-16 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
| JP6036341B2 (ja) * | 2013-01-29 | 2016-11-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、及び電子機器 |
| JP6182918B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2017-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2015066611A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090303570A1 (en) * | 2002-03-08 | 2009-12-10 | Lorenzo Faraone | Tunable cavity resonator and method for fabricating same |
| WO2007022326A2 (en) * | 2005-08-16 | 2007-02-22 | Infotonics Technology Center Inc. | Tunable light filter |
| CN101292188A (zh) * | 2005-10-19 | 2008-10-22 | 秦内蒂克有限公司 | 光学调制 |
| JP2007155965A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Anritsu Corp | 可変波長光フィルタ |
| US20070242920A1 (en) * | 2006-04-18 | 2007-10-18 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
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