CN102185020B - 一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法 - Google Patents

一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102185020B
CN102185020B CN2011100772357A CN201110077235A CN102185020B CN 102185020 B CN102185020 B CN 102185020B CN 2011100772357 A CN2011100772357 A CN 2011100772357A CN 201110077235 A CN201110077235 A CN 201110077235A CN 102185020 B CN102185020 B CN 102185020B
Authority
CN
China
Prior art keywords
front electrode
silicon solar
manufacturing
solar energy
copper powder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2011100772357A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102185020A (zh
Inventor
万青
龚骏
竺立强
黄晋
李莉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ningbo Institute of Material Technology and Engineering of CAS
Original Assignee
Ningbo Institute of Material Technology and Engineering of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ningbo Institute of Material Technology and Engineering of CAS filed Critical Ningbo Institute of Material Technology and Engineering of CAS
Priority to CN2011100772357A priority Critical patent/CN102185020B/zh
Publication of CN102185020A publication Critical patent/CN102185020A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102185020B publication Critical patent/CN102185020B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法,该方法采用低熔点铟镓合金和铜粉的混合物作为复合浆料,在硅片正面电极区域进行激光开槽制备选择性发射电极,然后用高准丝网印刷工艺将复合浆料印刷在开槽区域,最后在温度为300~400℃下进行低温烧结,形成正面电极。与现有技术相比,本发明的制作方法能够降低制造成本,降低烧结温度,提高产品质量,因此,在晶体硅太阳能电池领域具有重要产业化前景。

Description

一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法
技术领域
本发明涉及晶体硅太阳能电池技术领域,特别是涉及一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法。
背景技术
晶体硅太阳能电池是一种把光能直接转换成电能的半导体器件。对于整个晶体硅太阳能电池器件而言,结构和性能的体现都需要经过电极采样数据来实现,因此,在晶体硅太阳能电池制作工艺中,当形成PN结后,制备能够将采集的光电流导出的正面电极是该工艺中关键的步骤之一,并且正面电极的均匀性和导通性对产品的性能及成品率有很大影响。
晶体硅太阳能电池正面电极的制备方法可以分为电镀、溅射和丝网印刷。电镀方法制备的电极质量高,但是该方法成本高,并且制备速度慢,另外该方法在电镀过程中可能会使用一些有毒有害的物质,存在一定的安全和健康隐患。溅射方法制备的电极质量也较高,但是,与电镀方法相同,该方法的成本也较高,并且制备速度慢。与电镀和溅射方法相比,尽管丝网印刷方法具有设备简单,操作方便,成本低廉,安全无毒,易形成电极,以及能够得到良好的金属和半导体的欧姆接触,并且表面状态良好的优点。因此,目前工业界多采用丝网印刷方法制备晶体硅太阳能电池的正面电极。
丝网印刷工艺是在高温条件下将特定的金属材质固化,以形成金属半导体的欧姆接触。对于晶体硅太阳能电池的正面电极而言,现有丝网印刷工艺是用胶刮条刮抹印刷用电极浆料,使其透过不绣钢丝网网孔至硅片表面,然后通过烧结形成电极。目前,丝网印刷工艺中一般采用银浆作为晶体硅太阳能电池的正面电极浆料,烧结温度一般在850℃~900℃之间。该工艺存在如下缺点:(1)银作为贵金属,其价格昂贵,而且正面电极材料的用量很大,因此,采用该工艺制备晶体硅太阳能电池正面电极的成本很高;(2)该工艺中的烧结温度较高,存在易损伤硅片、引起产品翘曲度较大,以及能耗高等问题。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足,提供一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法,该方法具有成本低,能够低温形成电极的优点。
本发明实现上述技术目的所采用的技术方案为:一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法,其特征是:包括以下步骤:
步骤1、制备复合浆料:在液态铟镓合金中混合固态铜粉,搅拌均匀后得到复合浆料;
步骤2、制备选择性发射极:在硅片正面电极区域进行激光开槽;
步骤3、丝网印刷正面电极:用高准丝网印刷工艺在开槽区域印刷步骤1得到的复合浆料;
步骤4、低温烧结:在温度为300℃~400℃下进行烧结,形成正面电极。
上述复合浆料中,铜的质量百分含量优选为60%~90%。
上述复合浆料中,铜粉的纯度优选为99.99%。
上述复合浆料中,铜粉的粒径优选为2微米~20微米。
上述步骤1中,搅拌温度优选为160℃~220℃,搅拌时间优选为30分钟~300分钟。
上述步骤2中,激光功率优选为10W~20W。
本发明一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法采用低熔点铟镓合金和铜粉的混合物作为复合浆料,在硅片正面电极区域进行激光开槽制备选择性发射电极,然后用高准丝网印刷工艺将复合浆料印刷在开槽区域,最后在温度为300~400℃下进行低温烧结,形成正面电极。与现有技术相比,本发明的制作方法采用低熔点铟镓合金和铜粉的混合物作为电极材料,在保持现有电极材料-铜所具有的高导通性和低电阻率的同时,大大降低了成本;同时,通过低温烧结形成正面电极,克服了现有技术中存在的易损伤硅片、引起产品翘曲度较大,以及能耗高等问题。另外,为了解决铟镓铜合金和半导体的欧姆接触问题,本发明的制作方法用激光在需要印刷区域进行激光刻槽,形成选择性发射极,在铜粉混合铟镓的复合浆料固化后能在低温条件下与半导体形成欧姆接触。因此,本发明的制作方法能够提高产品质量,降低制造成本,在晶体硅太阳能电池领域具有重要的产业化前景。
附图说明
图1是本发明实施例1中硅片表面的激光开槽区域。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
实施例1:
步骤1、制备铟镓铜浆料:
在160℃的恒温操作台中,在铟镓液态合金中加入粒径为2微米~20微米,纯度为99.99%的铜粉颗粒并搅拌形成粘稠状浆料,按照质量百分比计,在整个混合物中铜粉的含量为60%;
步骤2、制备选择性发射极:
在硅片表面,按图1所示的区域对硅片进行激光刻槽,制得选择性发射极;
步骤3、丝网印刷正面电极:
将选择性发射极制备完成之后的硅片放入HF溶液中除去磷硅玻璃层,然后取出硅片,在180℃的温度下,将复合浆料精准印刷在图1所示的激光刻槽区域上;
步骤3、低温烧结:
将硅片放入烧结炉,在氮气保护下进行快速烧结,烧结温度为300℃,烧结时间为8秒,然后将硅片取出并自然冷却到室温,硅片表面即得到正面电极。
实施例2:
步骤1、制备铟镓铜浆料:
在220℃的恒温操作台中,在铟镓液态合金中加入粒径为2微米~20微米、纯度为99.99%的铜粉颗粒并搅拌形成粘稠状浆料,按照质量百分比计,在整个混合物中铜粉的含量为80%;
步骤2、制备选择性发射极:
在硅片表面,按图1所示的区域对硅片进行激光刻槽,制得选择性发射极;
步骤3、丝网印刷正面电极:
将选择性发射极制备完成之后的硅片放入HF溶液中除去磷硅玻璃层,然后取出硅片,在180℃的温度下,将复合浆料精准印刷在图1所示的激光刻槽区域上;
步骤3、低温烧结:
将硅片放入烧结炉,在氮气保护下进行快速烧结,烧结温度为400℃,烧结时间为8秒,然后将硅片取出并自然冷却到室温,硅片表面即得到正面电极。

Claims (3)

1.一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法,其特征是:包括以下步骤:
步骤1、制备复合浆料:在液态铟镓合金中混合固态铜粉,搅拌均匀后得到复合浆料;所述的复合浆料中,铜粉的质量百分含量为60%~90%;铜粉的粒径为2微米~20微米;
步骤2、制备选择性发射极:在硅片正面电极区域进行激光开槽;
步骤3、丝网印刷正面电极:用高准丝网印刷工艺在开槽区域印刷步骤1得到的复合浆料;
步骤4、低温烧结:在温度为300~400℃下进行烧结,形成正面电极。
2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法,其特征是:所述的步骤1中,搅拌温度为160℃~220℃,搅拌时间为30分钟~300分钟。
3.根据权利要求1或2所述的晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法,其特征是:所述的步骤2中,激光功率为10W~20W。
CN2011100772357A 2011-03-29 2011-03-29 一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法 Expired - Fee Related CN102185020B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011100772357A CN102185020B (zh) 2011-03-29 2011-03-29 一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011100772357A CN102185020B (zh) 2011-03-29 2011-03-29 一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102185020A CN102185020A (zh) 2011-09-14
CN102185020B true CN102185020B (zh) 2013-02-13

Family

ID=44571154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011100772357A Expired - Fee Related CN102185020B (zh) 2011-03-29 2011-03-29 一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102185020B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103065949A (zh) * 2011-10-21 2013-04-24 上方能源技术(杭州)有限公司 用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法及薄膜太阳能电池
CN104409570A (zh) * 2014-11-21 2015-03-11 广西智通节能环保科技有限公司 一种晶体硅太阳能电池的制作方法
CN104465869A (zh) * 2014-11-21 2015-03-25 广西智通节能环保科技有限公司 一种硅太阳能电池的制作方法
CN106356431A (zh) * 2016-11-30 2017-01-25 浙江晶科能源有限公司 一种制备太阳能电池的方法
CN113035996B (zh) * 2019-12-25 2023-04-14 新疆硅基新材料创新中心有限公司 一种基于含高浓度硼纳米硅浆的高效电池及制作方法
CN111509204B (zh) * 2020-04-20 2021-08-06 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种金属锂复合负极的制备方法
CN113380907A (zh) * 2021-06-08 2021-09-10 意诚新能(苏州)科技有限公司 一种新型太阳能电池片制作方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007019360A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Fuji Electric Holdings Co Ltd 電子部品の実装方法
CN101064199A (zh) * 2006-03-27 2007-10-31 住友金属矿山株式会社 导电组合物和形成导电膜的方法
CN101752460A (zh) * 2009-12-08 2010-06-23 云南师范大学 一种制备隐蔽型发射极硅太阳电池的方法
CN101866984A (zh) * 2010-05-18 2010-10-20 常州亿晶光电科技有限公司 对晶体硅电池片表面选择性掺杂制发射级的方法
CN101924144A (zh) * 2009-06-09 2010-12-22 黄麟 晶体硅太阳能电池及其制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007019360A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Fuji Electric Holdings Co Ltd 電子部品の実装方法
CN101064199A (zh) * 2006-03-27 2007-10-31 住友金属矿山株式会社 导电组合物和形成导电膜的方法
CN101924144A (zh) * 2009-06-09 2010-12-22 黄麟 晶体硅太阳能电池及其制备方法
CN101752460A (zh) * 2009-12-08 2010-06-23 云南师范大学 一种制备隐蔽型发射极硅太阳电池的方法
CN101866984A (zh) * 2010-05-18 2010-10-20 常州亿晶光电科技有限公司 对晶体硅电池片表面选择性掺杂制发射级的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102185020A (zh) 2011-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102185020B (zh) 一种晶体硅太阳能电池正面电极的制作方法
CN102623564B (zh) 一种具有激光开槽正面电极的晶体硅太阳电池的制作方法
CN110459621B (zh) 一种取代低温银浆制备太阳电池电极栅线的焊膏及其制备方法
CN102456427A (zh) 一种导电浆料及其制备方法
CN102943187A (zh) 纳米多孔铜的制备方法
CN102881351B (zh) 一种晶硅光伏电池用背面锡电极浆料及其制备方法
CN103484935A (zh) 一种石英坩埚及其制造方法
CN102368411B (zh) 一种铝硼合金粉及晶体硅太阳能电池铝硼浆的制备方法
CN102522156A (zh) 一种晶体硅太阳能电池铝硼浆的制备方法
CN104681123A (zh) 太阳能电池背银浆料及其制备方法、太阳能电池及其制备方法
CN104409570A (zh) 一种晶体硅太阳能电池的制作方法
CN105122379A (zh) 制备mwt太阳能电池电极中的包含粗无机氧化物颗粒的导电浆料
CN105185873B (zh) 太阳能电池片生产工艺
CN103426496A (zh) 太阳能电池用铝背场浆料及其制备方法、太阳能电池片的制备方法以及太阳能电池片
CN105470319B (zh) 晶体硅太阳能电池点接触背电极结构的制备方法
CN102220524B (zh) 一种铝-镍-钛-碳中间合金的制备方法
Wang et al. Effects of screen printing and sintering processing of front side silver grid line on the electrical performances of multi-crystalline silicon solar cells
CN101250705B (zh) 一种强取向双轴织构的镍-铜金属基带层的制备方法
CN103730188B (zh) 一种单晶硅太阳能电池正面电极银浆的制备方法
CN104465869A (zh) 一种硅太阳能电池的制作方法
CN206179877U (zh) 一种微细金属线太阳能电池栅极
TWI483439B (zh) 低電阻之熱電材料及其製備方法
CN104916347A (zh) 铅-碲无机反应体系
Zhang et al. Effect of glass phase and temperature on contact resistance between Ag and Al electrodes
CN105164761A (zh) 制备mwt太阳能电池电极中的包含具有高玻璃化转变温度的无机反应体系的导电浆料

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130213

Termination date: 20150329

EXPY Termination of patent right or utility model