CN102153043A - 具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法 - Google Patents

具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102153043A
CN102153043A CN2010106252120A CN201010625212A CN102153043A CN 102153043 A CN102153043 A CN 102153043A CN 2010106252120 A CN2010106252120 A CN 2010106252120A CN 201010625212 A CN201010625212 A CN 201010625212A CN 102153043 A CN102153043 A CN 102153043A
Authority
CN
China
Prior art keywords
signal
moving
frequency
oscillation
mass piece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2010106252120A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102153043B (zh
Inventor
A·M·罗佐皮亚托罗恩科罗尼
C·卡米纳达
L·普兰迪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SRL
Original Assignee
STMicroelectronics SRL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from ITTO2009A001017A external-priority patent/IT1397592B1/it
Application filed by STMicroelectronics SRL filed Critical STMicroelectronics SRL
Publication of CN102153043A publication Critical patent/CN102153043A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102153043B publication Critical patent/CN102153043B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
    • H03L3/00—Starting of generators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

本发明提供了具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法。该微机电装置，包括主体(2a)、弹性地连接到该主体(6；106)并可按照一自由度运动的运动质量块(2b)和驱动装置(6)，其耦合到该运动质量块(2b)并被构造为在常规工作模式下保持运动质量块(2b)以稳定的工作频率(ωD)振荡。此外微机电装置还包括启动装置(7、8、10)，其可在启动工作模式下被激活并被构造为比较与运动质量块(2b)的振荡关联的第一信号(CKA)的当前振荡频率(ωA)和参考频率(ωR)，并基于该当前振荡频率(ωA)和参考频率(ωR)的比较判定是否向运动质量块(2b)提供加力信号包(VF)，从而将能量传递到运动质量块(2b)。

Description

具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法
技术领域
本发明涉及一种具有振荡质量块的微机电装置和一种控制具有振荡质量块的微机电装置的方法。
背景技术
众所周知，微机电系统(MEMS)的应用已经日益延伸到各个技术领域并且特别在为宽范围应用提供惯性传感器、微集成陀螺仪和机电振荡器方面已经产生了令人鼓舞的效果。
这种类型的MEMS系统通常基于微机电结构，这种结构包含至少一个依靠弹簧连接到固定体(定子)并可按照预设的自由度相对于定子运动的质量块。运动质量块和定子通过多个各自的梳指状的且相互面对的电极电容性地耦合，从而形成电容器。运动质量块例如由于外部应力导致的相对定子的运动，更改了电容器的电容量；由此可能追溯到运动质量块相对固定体的相对位移和由此施加的力。替代地，通过提供适当的偏置电压，可在运动质量块上施加一个静电力以将它设在运动状态。此外，为了提供机电振荡器，MEMS惯性结构的频率响应被利用，该频率响应典型地是具有一个谐振频率的二阶低通型。
MEMS陀螺仪具有更复杂的机电机构，其包括两个可相对定子运动并彼此耦合的质量块，从而具有相对的自由度。这两个运动质量块均电容性地耦合到定子。质量块中的一个专门用于驱动并保持在按谐振频率的振荡中。另一个质量块被带入(平移的或旋转的)振荡运动中，并且，在微结构相对于预定的陀螺仪轴以角速度旋转的情况下，受到与角速度自身成比例的科里奥利(Coriolis)力。实际上，被驱动质量块与驱动质量块同样地通过电极电容性地耦合到固定体，作为加速计工作，其使得能够检测科里奥利力和加速度，并因此使追溯到角速度变为可能。
在陀螺仪中，如在其他装置中一样，量的转换需要运动质量块或运动质量块的系统维持在给定频率的振荡状态。显然地，一旦装置开启(上电)或脱离低消耗(断电)配置，在运动质量块或运动质量块的系统到达振荡的稳定状态之前启动瞬变是不可避免的。
在启动瞬变中，振荡运动通过启动元件施加，其通常以预定持续时间的脉冲列的形式提供足以到达额定工作频率的固定量的能量。一旦瞬变消失，启动元件被去激活，而振荡通过保证正常工作的装置来维持。
然而，已知的方案必须有相当长的启动时间。事实上必须考虑安全裕度来确定瞬变的持续时间以避免装置不能到达额定频率的稳定振荡状态。
另一方面，如果提供的能量过多，振荡的幅度被证明过大并引起运动质量块或运动质量块的系统与固定结构的碰撞。
发明内容
本发明的目的是提供一种具有振荡质量块的微机电装置和用于控制具有振荡质量块的微机电装置的方法，其能够使所述的缺陷能被克服，并且特别地，减小启动瞬变和运动结构和固定结构之间碰撞的风险。
根据本发明，一种微机电装置包括：
主体；
运动质量块，弹性地连接到该主体并可按照一自由度相对于该主体振荡地运动；
驱动装置，其耦合到该运动质量块从而形成微机电环并被构造为在常规工作模式下保持运动质量块以稳定的工作频率振荡；
其特征在于可在启动工作模式下被激活的启动装置，并且该启动装置被构造为将与运动质量块的振荡关联的第一信号的当前振荡频率与参考频率比较并基于当前振荡频率和参考频率之间的比较判定是否向运动质量块提供加力信号包，从而将能量传递到运动质量块。
一种用于控制具有主体和运动质量块的微机电装置的方法，运动质量块弹性地连接到该主体并可相对于该主体按照一自由度运动；
该方法包括：
将与运动质量块的振荡关联的第一信号的当前振荡频率与参考频率比较；和
基于该当前振荡频率和参考频率的比较判定是否向运动质量块提供加力信号包，从而将能量传递到运动质量块。
附图说明
为了更好地理解本发明，现在完全以非限制示例的方式并参考附图描述本发明的一些实施例，其中：
-图1是根据本发明的第一个实施例的微机电装置的简化结构图；
-图2是根据本发明的一个实施例的关于由图1的装置执行的方法的流程图；
-图3是根据本发明的另一个实施例的微机电陀螺仪的简化结构图；
-图4是图3的陀螺仪的一个级的更详细的结构图；
-图5是图4的级中的第一元件级的更详细的结构图；
-图6显示了关于图3的陀螺仪中所使用的量的曲线图；
-图7是图4的级中的第二元件级的更详细的结构图；和
-图8是根据本发明的一个实施例的并入微机电装置的电子系统的简化结构图。
具体实施方式
图1示意性地阐述了一般化的振荡微机电装置，其作为一个整体被标记为参考数字1。例如，装置1可以是能用于电信的机电振荡器或别的具有力反馈读取的惯性传感器。
装置1包括微结构2和连接到微结构2以形成振荡机电环5的驱动装置3。更详细地，微结构2包括主体或定子2a和弹性地连接到定子2a的运动质量块2b，从而能够按照一自由度关于平衡位置振荡。
驱动装置3包括驱动级6、振荡器7、启动级8和加力级10。
驱动级6耦合到运动质量块2b，例如通过电容耦合，并被构造为检测运动质量块2b的位移和用于在常规工作模式下提供反馈驱动信号VFBD。作为与运动质量块2b耦合的结果，反馈驱动信号VFBD施加设计为维持运动质量块2b自身以稳定工作频率ωD振荡的静电力。此外，驱动级6产生具有当前频率ωA的当前时钟信号CKA，当前频率ωA在稳定状态条件下与工作频率ωD一致。
振荡器7提供参考时钟信号CKR，该参考时钟信号CKR与微机电环5的振荡不同步并被校准在接近机电环5的额定工作频率的参考频率ωR。
启动级8和加力级10可在特定工作条件下选择性地被激活，在该特定工作条件下还未到达运动质量块2b的稳态振荡。特别地，一旦装置1开启(上电)并退出节能配置(退出断电)，启动级8和加力级10可被激活。
启动级8连接到驱动装置6以接收当前时钟信号CKA并被构造为基于当前时钟信号CKA的频率(当前频率ωA)和参考频率ωR之间的比较选择性激活和去激活加力级10。特别地，启动级8产生使能信号SE，其当当前时钟信号CKA的频率落到在参考频率ωR附近的可接受的间隔I中时具有不激活(逻辑)值，反之具有激活(逻辑)值。在一个实施例中，可接受的间隔I通过I＝ωR+X％给出，例如X＝10；然而，间隔I甚至能不关于参考频率ωR对称。启动级8又可以响应于上电信号POR或退出断电信号PD的各自的激活值被激活。
加力级10可通过启动开关11、12连接在驱动级6的输出和微结构2的驱动输入之间。旁路开关13使得能够直接将驱动装置6的输出与微结构2的驱动输入连接，从而将加力级10排除在外。特别地，启动开关11、12由启动级8所提供的促动信号SC控制，然而旁路开关13由负促动信号SCN控制。
加力级10通过使能信号SE由启动级8控制并被构造为施加加力信号包VF，在这个例子中是电压，到运动质量块2b(在其他实施例中，加力信号可是电荷包或电流)。这里和下面，“加力信号包”通常意指可施加到运动质量块2b以在其上产生力并具有振荡器7的频率和受控持续时间的正弦信号或脉冲序列。每一个加力信号包VF的持续时间(实际上，正弦信号持续时间或脉冲的数量)和它们的幅值决定了传递到运动质量块2b上的总能量。加力信号包VF以这样的方式限定：由每一个包传递到运动质量块2b的能量小于以从平衡状态启动将运动质量块送到具有工作频率ωD的稳定振荡所需的能量。
当装置1被启动或当复原常规工作模式时，运动质量块2b静止或在具有减小的振荡幅值的运动下。后一可能发生的事件例如在短暂中止之后从节能模式退出，从而运动质量块2b的停止的瞬变仍未消失的情况下出现。以已知的方式将上电信号和从断电退出的信号PD之间的一个设置为激活状态，并且启动装置8被启动并执行以下参考图2描述的程序。
最初，启动级8通过将使能信号SE设置为激活值来激活加力级10。响应于激活状态，加力级10向运动质量块2b提供加力信号包VF，其增加了振荡的幅值(方框50)。
当提供了加力信号包VF时，启动级8测量当前时钟信号CKA的当前频率ωA，其显示了微机电环5的振荡幅度；并将该幅度与可接受的间隔I比较(方框55)。
如果当前时钟信号CKA的当前频率ωA落到可接受的间隔I的外部(方框55的输出为否)，预先复位的计数器COUNT递增(方框60)。实际上，然后启动级8基于当前频率ωA和参考频率ωR的比较决定是继续还是停止应用加力信号包VF。
如果计数器COUNT已经到达编程的阈值TH(方框65的输出为是)，启动级8产生中断信号INT，并且启动程序被停止(方框70)。如果，替代地，仍未到达阈值TH，则加力级10通过启动级8保持激活，向运动质量块2b提供新的加力信号包VF，其进行加速(方框50)。
当当前时钟信号CKA的当前频率ωA落到可接受间隔I中(方框55的输出为是)，则启动级8终止启动程序(方框75)。
这样，启动步骤的持续时间适合于装置1和当前工作条件的特定特性。因此，一方面，启动和复原常规工作模式的时间被缩短。当前时钟信号CKA的振荡频率一旦充分接近参考频率ωR，加力信号包VF事实上就能被停止，这是因为驱动级6处于自发地承受振荡的状态。在当运动质量块2b仍没停止且存在残余振荡时从低消耗状态退出时该优点是特别明显的。在此情况下，为了复原常规振荡状态，传递较少能量给运动质量块2就足够了。
另一方面，因为当到达额定振荡状态时向运动质量块2b进行的能量传递及时被终止，运动质量块2b和定子2a之间的碰撞的风险被消除。这样，避免了临界幅度的振荡。
图3显示了本发明的一个实施例，其中微机电陀螺仪100包括由半导体材料制成的微结构102、驱动装置103和感测装置105。
微结构102由半导体材料制成并包括固定结构106、驱动质量块107和至少一个感测质量块108。因为简化的原因，在这里描述的实施例中，将参考单轴陀螺仪的情况，其中仅呈现一个感测质量块108。然而，下面的描述也可应用到多轴陀螺仪的例子中，其包括两个或多个用于检测按照各自独立的轴的旋转的感测质量块。
驱动质量块107通过悬架(未示出)弹性连接到固定结构106，以能够依照平移的或旋转的自由度关于平衡位置振荡。
感测质量块108机械耦合到驱动质量块107以依照驱动质量块107自身的自由度被驱动运动。此外，感测质量块108弹性连接到驱动质量块107从而以各自另外的平移的或旋转的自由度关于驱动质量块107自身进行振荡。特别地，在这里描述的实施例中，驱动质量块107可线性地沿驱动轴X运动，同时感测质量块108可关于驱动质量块107依照垂直于驱动轴X的感测轴Y运动。然而，可以理解的是自由度所允许的运动的类型(平移的或旋转的)和驱动和感测轴的布置，可根据陀螺仪的类型改变。此外，提到驱动质量块107和感测质量块108的运动时，按照这些质量块由各自的自由度所允许的运动分别是平移还是旋转运动，“依照轴”和“按照轴”的表达将用于指示沿轴的运动或绕轴的运动。同样的方式，“依照自由度”和“按照自由度”将用于指示由自由度自身所允许的平移或旋转运动。
此外，驱动质量块107(具有感测质量块108)连接到固定结构106，从而限定了具有一个谐振频率(依照驱动轴X)的谐振机械系统。
如图3中图例阐述的那样，驱动质量块107通过电容性驱动单元110和电容性反馈感测单元112电容性地耦合到固定结构106。电容性耦合是差分类型的且通过驱动质量块107相对于固定结构106的相对位置来确定的。特别地，电容性驱动单元110和电容性反馈感测单元112分别通过驱动端113和反馈感测端114可从微结构102的外部访问。
感测质量块108通过电容性信号感测单元115电容性地耦合到固定结构106，通过信号感测端116可从外部访问。还是在这个例子中，电容性耦合是差分类型的并且由感测质量块108相对于固定结构106的相对位置确定。
作为例子，但不是必需的，微结构102可根据欧洲专利EP-A-1253399中对单轴陀螺仪的描述获得。多轴陀螺仪的微结构可以这样获得，例如，根据在欧洲公开专利申请No.EP-A-100832841和相应的U.S.公开专利申请No.US 2007/0214883A1中的详细描述。
驱动装置103连接到驱动端113和微结构102的反馈感测端114，从而与驱动质量块107一起形成微机电环119。构造驱动装置103从而在接近由连接到固定结构106的驱动质量块107(带感测质量块108)所限定的机械系统的谐振频率的驱动频率ωD下维持微机电环119振荡。
感测装置105连接到感测端116并将指示感测质量块108的位移的信号转换成指示微结构102的旋转速度的输出信号SOUT。
更详细地，驱动装置103包括读取和滤波级120、可变增益放大器121、振荡器123、比较器125、锁相环(PLL)电路126、控制器127、启动级130和加力级131。
读取和滤波级120连接到微结构102的反馈感测端114并提供指示驱动质量块107的振荡状态的第一反馈信号VFB1。特别地，第一反馈信号VFB1指示了驱动质量块107的速度。在不同的实施例中，第一反馈信号VFB1指示了驱动质量块107的位置。此外，读取和滤波级120控制第一反馈信号VFB1的相位，从而确保微机电环119的相位上的振荡条件。
可变增益放大器121耦合到读取和滤波级120以接收第一反馈信号VFB1并通过旁路开关128可选择地连接到微结构102的反馈感测端114(有效地，两个连接线和用于每个连接线的旁路开关128设置于可变增益放大器121和反馈感测端114之间；由于简化的原因，图3显示了一条复合线仅带一个开关)。
振荡器123连接到启动级130以提供参考时钟信号CKR，其是恒定的并独立于驱动质量块107的振荡频率。特别地，参考时钟信号CKR具有校准在参考频率ωR的频率。
比较器125耦合到读取和滤波级120以接收第一反馈信号VFB1并被构造为检测输入的过零点时刻。实际上，比较器125的输出连接到PLL电路126和启动级130，提供固有时钟信号CKN，其在稳定状态条件下与驱动质量块107的振荡同步(在频率和相位上)。
PLL电路126从比较器125接收固有时钟信号CKN。PLL电路126的一个输出连接到控制器127的时钟输入127a并提供相对于固有时钟信号CKN相位偏移90°的时钟信号CK90。实际上，时钟信号CK90在第一反馈信号VFB1的峰值出现时转变。
控制器127，例如PI或PID控制器，接收第一反馈信号VFB1和时钟信号CK90并通过控制信号VC控制可变增益放大器121的增益，从而确保微机电环119幅度上的振荡状态。
启动级130可响应于上电信号POR或退出断电的信号PD的选择性的激活值选择性地被激活。当被激活时，启动级130通过选择性的使能信号PD_PLL禁用PLL电路并通过启动信号SST控制加力级131，如下文所述。
加力级131通过受启动级130所提供的促动信号SC控制的启动开关133、134可连接在可变增益放大器121的输出和微结构102的驱动端113之间。旁路开关128(由负促动信号SCN控制)使得能够将可变增益放大器121的输出直接连接到驱动端113，将加力级131排除在外。特别地，启动开关133、134由控制信号SC控制，控制信号SC由启动级130产生，而旁路开关128由负控制信号SCN控制。
加力级131通过启动信号SST由启动级130控制。特别地，加力级131被构造为响应于启动信号SST将在参考时钟信号CKR的频率下的受控和编程的持续时间的加力信号包VF施加到驱动质量块107。每个加力信号包VF的持续时间(实际上是正弦信号的持续时间或脉冲序列的数量)和信号幅值决定了传递给驱动质量块107的总能量。加力信号包VF以这样的方式限定：通过每个包传递给驱动质量块107的能量小于从平衡状态开始将运动质量块送到驱动频率ωD的稳定振荡所需的能量。在一个实施例中，特别地，当启动级130和加力级131响应于启动信号POR的激活值被激活时，加力信号包VF具有第一可编程持续时间T1(图5)；当启动级130和加力级131响应于退出断电的信号PD的激活值被激活时，加力信号包VF具有可编程的小于第一持续时间T1的第二持续时间T2。例如，第一持续时间T1是10ms，而第二持续时间T2是2ms。
陀螺仪100基本上如已对图1的装置1描述的那样工作。
在常规工作模式，当加力级131被排除和不被激活时，读取和滤波级120和可变增益放大器121合作来维持微机电环119在驱动频率ωD下振荡。
在关于陀螺仪的轴旋转的情况下，感测质量块108与角速度成比例地承受科里奥利加速度，其通过感测装置105被转换为输出信号SOUT。
在陀螺仪100启动时或退出断电状态时，启动级130和加力级131被激活。同时，启动开关133、134和旁路开关128切换，并且PLL电路126被启动级130禁用。
启动级130通过启动信号SST请求加力级向驱动质量块107发送加力信号包VF，驱动质量块107开始以逐渐增加的频率振荡。只要指示驱动质量块107的振荡幅度的固有时钟信号CKN的频率稳定地落到参考频率ωR附近的可接受间隔I中，例如I＝ωR+X％，新的加力信号包VF就被反复发送。在一个实施例中，如果：当启动级130和加力级131的激活由启动信号POR的激活值决定时，固有时钟信号CKN的当前频率ωA保持在可接受的间隔I中第三持续时间T3；当启动级130和加力级131的激活由退出断电信号PD的激活值决定时，固有时钟信号CKN的当前频率ωA保持在可接受的间隔I中小于第三持续时间T3的第四持续时间T4，则认为验证了该条件。
当该条件被验证时，启动级130通过选择性的使能信号PD_PLL激活PLL电路126。瞬变之后，PLL电路126锁住驱动质量块107的振荡。在这一时间点，复原了常规工作模式，并且启动级130和加力级131被去激活。
实际上，启动级基于固有时钟信号CKN的当前频率ωA和参考频率ωR之间的比较决定是否进一步向驱动质量块107施加加力信号包VF。如果两个频率十分接近并因此PLL电路126处于迅速地锁住微机电环119的振荡的状态下，则中断加力信号包VF的序列；否则，继续该序列。
在这样情况下，有利的是，除了已经减少了用于设置驱动质量块107振荡的总时间和已经避免了微结构102的运动部分与固定结构106碰撞的风险外，还彻底地降低了PLL电路126的闭锁瞬变。
图4更详细地示出了启动级130，其包括时钟验证模块135、启动驱动模块136、中断计数器137和PLL控制模块138。
时钟验证模块135连接到比较器125和振荡器123用于分别接收固有时钟信号CKN和参考时钟信号CKR，并且时钟验证模块135被构造为验证固有时钟信号CKN停留在可接受间隔I中。时钟验证模块135提供时钟闭锁信号CK_LOCK，当固有时钟信号CKN落到可接受间隔I中时其具有闭锁(逻辑)值，否则具有非同步频率(逻辑)值。
启动驱动模块136和PLL控制模块138耦合到时钟验证模块135用于接收时钟闭锁信号CK_LOCK。
启动驱动模块136提供启动信号SST并当时钟闭锁信号CK_LOCK具有闭锁值时向其分配激活值。此外，在陀螺仪100启动的相同一个瞬变期间，在加力级131所提供的每一个加力信号包VF的末端，启动驱动模块136使中断计数器137递增。
如果到达计数阈值TH，中断计数器137产生中断信号INT，其通过中断端100a被使得在陀螺仪100的外部可用。在一个实施例中，通过与中断计数器137关联的逻辑网(在此未示出)产生中断信号INT。
PLL控制模块138施加选择性的使能信号PD_PLL的值。特别地，当时钟闭锁信号CK_LOCK具有非同步频率值时(即，当固有时钟信号CKN落到可接受的间隔I的外部时)，选择性的使能信号PD_PLL被设置为禁用(逻辑)值，其使PLL电路126处于去激活(断电)状态。
当时钟闭锁信号CK_LOCK维持闭锁值第五持续时间T5(陀螺仪100启动的情况下)或第六持续时间T6(小于第五持续时间T5，在退出陀螺仪100断电状态的情况下)，选择性的使能信号PD_PLL被设置为使能(逻辑)值，在其出现时PLL电路126被激活并正常工作。
图5更详细地显示了时钟验证模块135，其包括第一时钟计数器140、第二时钟计数器141、使能元件143和计数比较器145。
第一时钟计数器140具有耦合到振荡器123的计数输入，用于接收参考时钟信号CKR和存储第一计数值C1。此外，第一时钟计数器140设有同步逻辑网144，其产生同步信号SSYNC。当存储在第一时钟计数器140中的第一计数值C1小于控制值C1*时，该同步信号SSYNC被提供给使能元件143和计数比较器145并具有使能值。当达到控制值C1*时，同步信号SSYNC转换到禁用值并且第一时钟计数器140被重置。
第二时钟计数器141具有耦合到比较器125的用于接收固有时钟信号CKN的计数输入，和连接到使能元件143的使能输出。第二时钟计数器141存储第二计数值C2，当第二时钟计数器141被激活时，在固有时钟信号CKN的每一周期，第二计数值C2被递增。
使能元件143是，例如，DT型触发器，并且在数据输入处从第一时钟计数器140接收同步信号SSYNC和在计时输入处从比较器125接收固有时钟信号CKN。这样，只要同步信号SSYNC保持在使能值(即，直到第一时钟计数器140到达控制值C1*)，使能元件143就将同步信号SSYNC的值传递到第二时钟计数器141的使能输出，因此在固有时钟信号CKN的每个周期第二时钟计数器141就递增。使能元件143的计时输入上的固有计时信号CKN避免了第二时钟计数器141的任何假的转换和错误。
计数比较器145耦合到第一时钟计数器140和第二时钟计数器141，从该第一时钟计数器140计数比较器145还接收同步信号SSYNC。计数比较器145在输出上提供时钟闭锁信号CK_LOCK并确定它的值，如以下所描述的。
当第一时钟计数器140在重置之后启动计数，同步信号SSYNC转换到使能值(图6)。第二时钟计数器141被激活并独立于第一时钟计数器140在固有时钟信号CKN的每个周期被递增。此外，固有时钟信号CKN的当前频率ωA作为由加力级131提供的加力信号包VF的结果趋于达到驱动频率ωD。事实上，最初，驱动质量块107和微机电环119的振荡具有非常小或无论如何被减小的幅值。因此，由于噪声的存在，由比较器125检测以确定实际频率ωA的第一反馈信号VFB1的过零点是充分随机的并且仅仅近似地与驱动质量块107的振荡关联。随着振荡幅度增加，噪声的影响越来越不重要，直到固有时钟信号CKN的实际频率ωA几乎与微机电环119的工作频率一致。图6放大地显示了固有时钟信号CKN的频率的变化。
当第一时钟计数器140达到控制值C1*，同步信号SSYNC转换为禁用值并且存储于第二时钟计数器141中的最终计数值C2*被冻结。
此外，计数比较器145分别从第一时钟计数器140和第二时钟计数器141取得控制值C1*和最终计数值C2*，并根据下面的闭锁条件是否被验证向时钟闭锁信号CK LOCK分配值：
更特别地，如果控制值C1*和最终计数值C2*满足闭锁条件，闭锁值被分配给时钟闭锁信号CK LOCK。在这种情况下，实际上，固有时钟信号CKN的当前频率ωA接近非同步时钟信号CKR的参考频率ωR，并因此接近驱动频率ωD。特别地，固有时钟信号CKN的当前频率ωA激活PLL电路126来迅速执行锁相，并因此微机电环119很快处于自己维持振荡的状态。
否则，即，如果不等式没有被验证，计数比较器145向时钟闭锁信号CK_LOCK分配非同步频率值。
图7示出了启动驱动模块136，其包括发生器块150和存储器元件151，存储在存储器元件151中的是第一持续时间T1(在启动期间单个的加力信号包VF的持续时间)和第二持续时间T2(从断电退出期间单个加力信号包VF的持续时间)。如已经提及的，退出断电的单个加力信号包VF的持续时间(第二持续时间T2)短于启动时的单个加力信号包VF的持续时间(第一持续时间T1)。
发生器块150耦合到时钟验证模块130的计数比较器145，用于接收时钟闭锁信号CK_LOCK和选择性地在时钟闭锁信号CK_LOCK的非同步频率值出现时向加力级131提供启动信号SST。加力信号包VF的持续时间的值基于启动信号POR和退出断电信号PD的值由存储器元件151提供。
图8显示的是根据本发明的一个实施例的电子系统200的一部分。系统200包括微机电装置(例如，但不必需，陀螺仪100)并可用于这样的装置，例如，掌上计算机(私人数字助理，PDA)、可能具有无线功能的膝上型或手提式电脑、蜂窝式便携无线电话、消息收发装置、数字音乐播放器、数字照相机或其他用来处理、存储、传输或接收信息的装置。例如，陀螺仪1可用于数字照相机，用来检测运动和执行图像稳定化。在其他实施例中，陀螺仪1包含在手提式电脑、PDA或蜂窝式便携无线电话中，用于检测自由降落状态和激活安全配置。在另外的实施例中，陀螺仪1包含在用于计算机或视频游戏控制台的运动激活的使用者接口中。在另外的实施例中，陀螺仪1包含在卫星导航装置中并用于在卫星定位信号缺失时的同步位置跟踪。
电子系统200可包含通过总线250彼此耦合的控制器210、输入/输出(I/O)装置220(例如键盘或显示器)、陀螺仪1、无线接口240和易失性或非易失性存储器260。在一个实施例中，电池280可用于向系统200供电。值得注意的是本发明的范围不限于必须具有一个或全部所列的装置的实施例。
控制器210可包括，例如，一个或多个微处理器、微控制器等类似物。
I/O装置220可用于产生消息。系统200可采用无线接口240来用射频(RF)信号向无线通讯网发射信息或从该无线通讯网接收信息。无线接口的例子可包括天线和无线电收发机，例如偶极天线，即使本发明的范围不受这个观点的限制。此外，I/O装置220可提供以数字输出的形式(如果数字信息已经被存储)或以模拟信息的形式(如果模拟信息已经被存储)表示所存储的内容的电压。
最后，显而易见的是在不脱离如在附加的权利要求中所限定的本发明的范围的情况下可以对这里描述的方法和装置进行修改和变化。

Claims (17)

1.一种微机电装置，包括：
主体(2a；106)；
运动质量块(2b；107)，弹性地连接到该主体(6；106)并可按照一自由度相对于该主体(6；106)可振荡地运动；
驱动装置(6；120、121、125、126、127)，其耦合到该运动质量块(2b；107)从而形成微机电环(5；119)并被构造为在常规工作模式下保持运动质量块(2b；107)以稳定的工作频率(ωD)振荡；
其特征在于启动装置(7、8、10；123、130、131)，所述启动装置(7、8、10；123、130、131)可在启动工作模式下被激活并且被构造为将与运动质量块(2b；107)的振荡关联的第一信号(CKA；CKN)的当前振荡频率(ωA)与参考频率(ωR)比较，并基于当前振荡频率(ωA)和参考频率(ωR)之间的比较判定是否向运动质量块(2b；107)提供加力信号包(VF)，从而将能量传递到运动质量块(2b；107)。
2.根据权利要求1所述的装置，其中启动装置(7、8、10；123、130、131)被构造为当当前振荡频率(ωA)在包括参考频率(ωR)的可接受间隔(I)之外时，向运动质量块(2b；107)提供一个加力信号包(VF)。
3.根据权利要求2所述的装置，其中：
驱动装置(6；120，121，125，126，127)被构造为提供具有当前振荡频率(ωA)的第一信号(CKA；CKN)；
启动装置(7、8、10；123、130、131)包括启动级(8；130)和构造为提供具有参考频率(ωR)的第二信号(CKR)的振荡器(7；123)；
并且启动级(8；130)耦合到驱动装置(6；120、121、125、126、127)和振荡器(7；123)，用于分别接收第一信号(CKA；CKN)和第二信号(CKR)并且被构造为比较当前振荡频率(ωA)和参考频率(ωR)。
4.根据权利要求3所述的装置，其中启动装置(7、8、10；123、130、131)包括加力级(10；131)，用于响应于来自启动级(8；130)的启动信号(SST)向运动质量块(2b；107)提供加力信号包(VF)。
5.根据权利要求4所述的装置，其中启动级(8；130)被构造为在当前振荡频率(ωA)在包含参考频率(ωR)的可接受间隔(I)之外时提供启动信号(SST)。
6.根据权利要求3所述的装置，其中启动级(130)包括：
第一计数器(140)，其耦合到驱动装置(120、121、125、126、127)，用于接收第一信号(CKN)；
第二计数器(141)，其耦合到振荡器(123)，用于接收第二信号(CKR)；
使能装置(143、144)，其被构造为在存储于第一计数器(140)中的计数值(C1)小于控制值(C1*)时使能第二计数器(141)并在达到控制值(C1*)时具有禁用值；和
计数比较器(145)，其被构造为在第一计数器(140)达到控制值(C1*)时从第一计数器(140)中取得控制值(C1*)和从第二计数器(141)中取得最终计数值(C2*)，并比较控制值(C1*)和最终计数值(C2*)。
7.根据权利要求6所述的装置，其中计数比较器(145)被构造为在控制值(C1*)和最终计数值(C2*)符合闭锁条件时提供具有闭锁值的时钟闭锁信号(CK_LOCK)，否则提供非同步频率值。
8.根据权利要求7所述的装置，其中当
Figure FSA00000438974300021
时，满足锁定条件，其中C1*是控制值，C2*是最终计数值，而X是一数值。
9.根据权利要求2所述的装置，其中驱动装置(120、121、125、126、127)包括PLL电路(126)。
10.根据权利要求9所述的装置，其中启动级(8；130)被构造为在当前振荡频率(ωA)在包括参考频率(ωR)的可接受间隔(I)之外时禁用PLL电路(126)，否则激活PLL电路(126)。
11.根据权利要求1所述的装置，其中加力信号包(VF)具有受控持续时间。
12.一种微机电陀螺仪，包括根据权利要求1的微机电装置(1；100)。
13.一种包括根据权利要求1的微机电装置(1)和在微机电装置(1)的外部并耦合于其上的控制单元(210)的系统。
14.一种用于控制具有主体(2a；106)和运动质量块(2b；107)的微机电装置(1；100)的方法，运动质量块(2b；107)弹性连接到主体(6；106)上并可依照一自由度关于主体(6；106)运动；
该方法包括：
将与运动质量块(2b；107)的振荡关联的第一信号(CKA；CKN)的当前振荡频率(ωA)与参考频率(ωR)比较；和
基于当前振荡频率(ωA)和参考频率(ωR)的比较判定是否向运动质量块(2b；107)提供加力信号包(VF)，从而将能量传递到运动质量块(2b；107)。
15.根据权利要求13所述的方法，包括在当前振荡频率(ωA)在包含参考频率(ωR)的可接受间隔(I)之外时向运动质量块(2b；107)提供加力信号包(VF)。
16.根据权利要求15所述的方法，包括在当前振荡频率(ωA)在可接受间隔(I)之内时中止加力信号包(VF)的供给。
17.根据权利要求14所述的方法，其中加力信号包(VF)具有受控持续时间。
CN201010625212.0A 2009-12-21 2010-12-21 具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法 Active CN102153043B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ITTO2009A001017 2009-12-21
ITTO2009A001017A IT1397592B1 (it) 2009-12-21 2009-12-21 Dispositivo microelettromeccanico con massa oscillante e metodo per controllare un dispositivo microelettromeccanico con massa oscillante.
ITTO2010A000106 2010-02-15
ITTO20100106 2010-02-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102153043A true CN102153043A (zh) 2011-08-17
CN102153043B CN102153043B (zh) 2015-07-22

Family

ID=43708853

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201010625212.0A Active CN102153043B (zh) 2009-12-21 2010-12-21 具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法

Country Status (3)

Country Link
US (2) US8474317B2 (zh)
EP (1) EP2336717B1 (zh)
CN (1) CN102153043B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103988051A (zh) * 2011-12-01 2014-08-13 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司 调节装置、转速传感器和借助谐波期望值信号驱动调节装置的方法
CN107367271A (zh) * 2016-05-11 2017-11-21 株式会社村田制作所 用于微机电陀螺仪的数字控制器
CN108351210A (zh) * 2015-11-09 2018-07-31 精工爱普生株式会社 物理量检测装置、电子设备以及移动体

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8539834B2 (en) * 2010-02-15 2013-09-24 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical gyroscope with calibrated synchronization of actuation and method for actuating a microelectromechanical gyroscope
DE102010029590B4 (de) * 2010-06-01 2014-07-10 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor, Sensoranordnung, Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors und Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung
KR101352827B1 (ko) 2010-09-18 2014-01-17 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 단일 프루프 매스를 가진 미세기계화 3축 가속도계
US9156673B2 (en) 2010-09-18 2015-10-13 Fairchild Semiconductor Corporation Packaging to reduce stress on microelectromechanical systems
EP2616771B8 (en) 2010-09-18 2018-12-19 Fairchild Semiconductor Corporation Micromachined monolithic 6-axis inertial sensor
US8813564B2 (en) 2010-09-18 2014-08-26 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS multi-axis gyroscope with central suspension and gimbal structure
KR101871865B1 (ko) 2010-09-18 2018-08-02 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 멀티-다이 ｍｅｍｓ 패키지
US9352961B2 (en) 2010-09-18 2016-05-31 Fairchild Semiconductor Corporation Flexure bearing to reduce quadrature for resonating micromachined devices
WO2012040245A2 (en) 2010-09-20 2012-03-29 Fairchild Semiconductor Corporation Through silicon via with reduced shunt capacitance
KR101332701B1 (ko) 2010-09-20 2013-11-25 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 기준 커패시터를 포함하는 미소 전자기계 압력 센서
KR101204205B1 (ko) * 2011-05-13 2012-11-26 삼성전기주식회사 관성 센서 구동 장치 및 방법
ITTO20110979A1 (it) * 2011-10-27 2013-04-28 St Microelectronics Srl Circuito di pilotaggio per un giroscopio microelettromeccanico e relativo giroscopio microelettromeccanico
US9062972B2 (en) 2012-01-31 2015-06-23 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS multi-axis accelerometer electrode structure
US8978475B2 (en) 2012-02-01 2015-03-17 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS proof mass with split z-axis portions
US9488693B2 (en) 2012-04-04 2016-11-08 Fairchild Semiconductor Corporation Self test of MEMS accelerometer with ASICS integrated capacitors
US9069006B2 (en) 2012-04-05 2015-06-30 Fairchild Semiconductor Corporation Self test of MEMS gyroscope with ASICs integrated capacitors
EP2648334B1 (en) 2012-04-05 2020-06-10 Fairchild Semiconductor Corporation Mems device front-end charge amplifier
EP2647952B1 (en) 2012-04-05 2017-11-15 Fairchild Semiconductor Corporation Mems device automatic-gain control loop for mechanical amplitude drive
EP2647955B8 (en) 2012-04-05 2018-12-19 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS device quadrature phase shift cancellation
US9625272B2 (en) 2012-04-12 2017-04-18 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS quadrature cancellation and signal demodulation
US9094027B2 (en) * 2012-04-12 2015-07-28 Fairchild Semiconductor Corporation Micro-electro-mechanical-system (MEMS) driver
US9823074B2 (en) * 2012-08-08 2017-11-21 Nxp Usa, Inc. Micro-electro-mechanical system drive-mode oscillator module and method therefor
DE102013014881B4 (de) 2012-09-12 2023-05-04 Fairchild Semiconductor Corporation Verbesserte Silizium-Durchkontaktierung mit einer Füllung aus mehreren Materialien
US9146109B2 (en) * 2012-11-26 2015-09-29 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical gyroscope with improved start-up phase, system including the microelectromechanical gyroscope, and method for speeding-up the start up phase
US9118334B2 (en) * 2013-03-15 2015-08-25 Freescale Semiconductor, Inc. System and method for improved MEMS oscillator startup
US9644963B2 (en) 2013-03-15 2017-05-09 Fairchild Semiconductor Corporation Apparatus and methods for PLL-based gyroscope gain control, quadrature cancellation and demodulation
EP2789976B1 (fr) 2013-04-10 2016-01-13 EM Microelectronic-Marin SA Circuit électronique d'entraînement d'un dispositif à résonateur du type MEMS, et procédé pour sa mise en action
JP6303411B2 (ja) * 2013-11-07 2018-04-04 セイコーエプソン株式会社 検出装置、センサー、電子機器及び移動体
EP2887014B1 (fr) 2013-12-19 2020-02-05 EM Microelectronic-Marin SA Circuit électronique de mesure de la vitesse de rotation dans un gyroscope du type MEMS et procédé pour sa mise en action
FI126019B (en) 2014-02-12 2016-05-31 Murata Manufacturing Co Drive circuit for a MEMS resonator
FI125611B (en) 2014-02-12 2015-12-15 Murata Manufacturing Co Drive circuit for starting a MEMS resonator
DE102014003640A1 (de) * 2014-03-14 2015-09-17 Northrop Grumman Litef Gmbh Verfahren zum optimieren der einschaltzeit eines corioliskreisels sowie dafür geeigneter corioliskreisel
US9835647B2 (en) 2014-03-18 2017-12-05 Fairchild Semiconductor Corporation Apparatus and method for extending analog front end sense range of a high-Q MEMS sensor
US9835455B2 (en) 2014-04-24 2017-12-05 Nxp Usa, Inc. Drive circuitry and method for a vibration gyroscope
JP6465294B2 (ja) * 2015-03-17 2019-02-06 セイコーエプソン株式会社 駆動回路、振動デバイス、電子機器及び移動体
US10234477B2 (en) * 2016-07-27 2019-03-19 Google Llc Composite vibratory in-plane accelerometer
EP3361216B1 (en) * 2017-02-08 2021-04-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. System and method for resonator amplitude control
US11320452B2 (en) 2019-06-26 2022-05-03 Stmicroelectronics, Inc. MEMS accelerometer self-test using an active mobile mass deflection technique
US11162790B2 (en) * 2019-06-26 2021-11-02 Stmicroelectronics, Inc. MEMS gyroscope start-up process and circuit
US11175138B2 (en) 2019-06-26 2021-11-16 Stmicroelectronics, Inc. MEMS gyroscope control circuit
US11255670B2 (en) 2019-06-26 2022-02-22 Stmicroelectronics, Inc. MEMS gyroscope self-test using a technique for deflection of the sensing mobile mass
FR3108897B1 (fr) * 2020-04-03 2022-04-08 Commissariat Energie Atomique Procédé de commande d’un capteur
EP4187203A1 (en) * 2021-11-30 2023-05-31 STMicroelectronics S.r.l. Mems gyroscope device with improved hot startup and corresponding method

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6220094B1 (en) * 1998-03-31 2001-04-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor driving circuit
US20030090334A1 (en) * 2000-12-22 2003-05-15 Honeywell International Inc. Quick start resonant circuit control
US20050274181A1 (en) * 2004-06-11 2005-12-15 Denso Corporation Vibration type angular rate sensor
CN1960183A (zh) * 2005-10-31 2007-05-09 盛群半导体股份有限公司 自动调整的高准确性振荡器
US20070222528A1 (en) * 2004-03-22 2007-09-27 Mobius Microsystems, Inc. Multi-terminal harmonic oscillator integrated circuit with frequency calibration and frequency configuration
US7322237B2 (en) * 2005-06-14 2008-01-29 Denso Corporation Gyro sensor of an electrostatic driving and capacitance detecting type

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2823619B1 (fr) 2001-04-11 2003-06-27 Commissariat Energie Atomique Modulateur sigma-delta passe-bande et utilisations du molulateur sigma delta pour la conversion, la detection et la production de signaux
DE60120921T2 (de) * 2001-04-27 2007-02-01 Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza Aus Halbleitermaterial hergestellter integrierter Kreisel
EP1624285B1 (en) 2004-08-03 2014-07-23 STMicroelectronics Srl Resonant micro-electro-mechanical system and gyroscope
EP1715580B1 (en) 2005-03-31 2018-11-28 STMicroelectronics Srl Device for controlling the resonance frequency of a MEMS resonator
DE102005034702A1 (de) * 2005-07-26 2007-02-01 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Schaltungsanordnung zur sicheren Inbetriebnahme eines Drehratensensors
DE102005043559A1 (de) 2005-09-12 2007-03-15 Siemens Ag Verfahren und Anordnung zur Überwachung einer Sensoranordnung
EP1832841B1 (en) 2006-03-10 2015-12-30 STMicroelectronics Srl Microelectromechanical integrated sensor structure with rotary driving motion
JP4396725B2 (ja) 2006-05-12 2010-01-13 セイコーエプソン株式会社 検出装置、ジャイロセンサ及び電子機器
JP4211840B2 (ja) 2006-11-10 2009-01-21 セイコーエプソン株式会社 検出装置、センサ及び電子機器
EP1959234A1 (en) 2007-02-13 2008-08-20 STMicroelectronics S.r.l. Microelectromechanical gyroscope with suppression of capacitive coupling spurious signals and control method of a microelectromechanical gyroscope
EP2023082B1 (en) 2007-07-05 2010-09-08 STMicroelectronics Srl Micro-electro-mechanical gyroscope with open-loop reading device and control method thereof
JP4576441B2 (ja) 2008-03-21 2010-11-10 日立オートモティブシステムズ株式会社 角速度センサ
CN101271125B (zh) 2008-05-12 2011-05-11 清华大学 一种电容式微加速度计
IT1394898B1 (it) 2009-06-03 2012-07-20 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con attuazione a controllo di posizione e metodo per il controllo di un giroscopio microelettromeccanico
IT1397594B1 (it) 2009-12-21 2013-01-16 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con funzione di auto-test continua e metodo di controllo di un giroscopio microelettromeccanico.
US8714012B2 (en) 2010-02-16 2014-05-06 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical gyroscope with inversion of actuation forces, and method for actuating a microelectromechanical gyroscope

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6220094B1 (en) * 1998-03-31 2001-04-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor driving circuit
US20030090334A1 (en) * 2000-12-22 2003-05-15 Honeywell International Inc. Quick start resonant circuit control
US20070222528A1 (en) * 2004-03-22 2007-09-27 Mobius Microsystems, Inc. Multi-terminal harmonic oscillator integrated circuit with frequency calibration and frequency configuration
US20050274181A1 (en) * 2004-06-11 2005-12-15 Denso Corporation Vibration type angular rate sensor
US7322237B2 (en) * 2005-06-14 2008-01-29 Denso Corporation Gyro sensor of an electrostatic driving and capacitance detecting type
CN1960183A (zh) * 2005-10-31 2007-05-09 盛群半导体股份有限公司 自动调整的高准确性振荡器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103988051A (zh) * 2011-12-01 2014-08-13 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司 调节装置、转速传感器和借助谐波期望值信号驱动调节装置的方法
US9518824B2 (en) 2011-12-01 2016-12-13 Northrop Grumman Litef Gmbh Control device, rotation rate sensor and method of operating a control device with harmonic set point signal
CN108351210A (zh) * 2015-11-09 2018-07-31 精工爱普生株式会社 物理量检测装置、电子设备以及移动体
CN108351210B (zh) * 2015-11-09 2021-11-16 精工爱普生株式会社 物理量检测装置、电子设备以及移动体
CN107367271A (zh) * 2016-05-11 2017-11-21 株式会社村田制作所 用于微机电陀螺仪的数字控制器

Also Published As

Publication number Publication date
US20110146403A1 (en) 2011-06-23
CN102153043B (zh) 2015-07-22
EP2336717A1 (en) 2011-06-22
US8474317B2 (en) 2013-07-02
US8960001B2 (en) 2015-02-24
EP2336717B1 (en) 2012-09-19
US20130249642A1 (en) 2013-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102153043B (zh) 具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法
CN102230799B (zh) 带有校准的激励同步的微机电陀螺仪以及激励微机电陀螺仪的方法
CN101922934B (zh) 微机电陀螺及用于控制微机电陀螺的方法
US9146109B2 (en) Microelectromechanical gyroscope with improved start-up phase, system including the microelectromechanical gyroscope, and method for speeding-up the start up phase
US7980135B2 (en) Microelectromechanical gyroscope with self-test function and control method
US9083338B2 (en) Digital noise protection circuit and method
US8667842B2 (en) Variable capacitance electronic device and microelectromechanical device incorporating such electronic device
US9829319B2 (en) Microelectromechanical device having an oscillating mass and a forcing stage, and method of controlling a microelectromechanical device
EP2360449A1 (en) Microelectromechanical gyrospcope with inversion of actuation forces, and method for actuating a microelectromechanical gyroscope
US9103845B2 (en) System and method for reducing offset variation in multifunction sensor devices
US5973469A (en) Motor driving apparatus
ITTO20091017A1 (it) Dispositivo microelettromeccanico con massa oscillante e metodo per controllare un dispositivo microelettromeccanico con massa oscillante
CN103259538B (zh) 具有防骇功能的芯片及其控制方法
EP4187203A1 (en) Mems gyroscope device with improved hot startup and corresponding method
JP2002271194A (ja) 基準クロック発生装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant