CN102117875A - 发光器件和发光器件封装 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种发光器件和发光器件封装。该发光器件,包括:第二导电类型半导体层;有源层;第一导电类型半导体层;以及中间折射层。有源层被设置在第二导电类型半导体层上。第一导电类型半导体层被设置在有源层上。中间折射层被设置在第一导电类型半导体层上。中间折射层具有的折射率小于第一导电类型半导体层的折射率并且大于空气的折射率。

Description

发光器件和发光器件封装
相关申请的交叉引用
本申请要求2009年11月30提交的韩国专利申请No.10-2009-0116993的优先权,其全部内容通过引用结合于此。
技术领域
实施例涉及一种发光器件和发光器件封装。
背景技术
发光二极管(LED)是将电流转换为光的半导体发光器件。最近,随着发光二极管的亮度逐渐地增加,发光二极管被广泛地用作用于显示器、车辆以及照明器件的光源。此外,使用磷光体或者组合各种颜色的发光二极管以形成发射有效率的白光的发光二极管。
发光二极管的亮度取决于包括有源层的结构、用于将光有效地提取到外部的光提取结构、发光二极管的半导体材料、芯片尺寸以及包封发光二极管的制模构件的类型的各种条件。
发明内容
实施例提供一种具有改进的结构的发光器件以及发光器件封装。
实施例还提供一种具有改进的光提取效率的发光器件以及发光器件封装。
在一个实施例中,发光器件包括:第二导电类型半导体层;有源层,所述有源层在第二导电类型半导体层上;第一导电类型半导体层,所述第一导电类型半导体层在有源层上;以及中间折射层,所述中间折射层在第一导电类型半导体层上,其中,中间折射层具有的折射率小于第一导电类型半导体层的折射率并且大于空气的折射率。
在另一实施例中,发光器件封装包括:主体;第一电极层和第二电极层,所述第一电极层和第二电极层在主体中;以及发光器件,所述发光器件在主体中,发光器件被电连接到第一和第二电极层,其中,所述发光器件包括:第二导电类型半导体层;有源层,所述有源层在第二导电类型半导体层上;第一导电类型半导体层,所述第一导电类型半导体层在有源层上;以及中间折射层,所述中间折射层在第一导电类型半导体层上,其中,所述中间折射层具有的折射率小于所述第一导电类型半导体层的折射率并且大于空气的折射率。
在附图和下面的描述中阐述一个或者多个实施例的细节。根据说明书和附图以及根据权利要求,其他的特征将是显而易见的。
附图说明
图1是示出根据第一实施例的发光器件的横截面图。
图2和3是示出根据第二实施例的发光器件的横截面图。
图4至图8是示出制造根据第二实施例的发光器件的方法的横截面图。
图9是示出根据第三实施例的发光器件的横截面图。
图10是示出包括根据实施例的发光器件的发光封装的横截面图。
图11是示出包括根据实施例的发光器件的背光单元的透视图。
图12是示出包括根据实施例的发光器件封装的照明系统的透视图。
具体实施方式
在实施例的描述中,将理解的是,当层(或膜)、区域、图案或结构被称为在另一层(或者膜)、区域、垫或者图案“上”或者“下”时,“上”和“下”的术语包括“直接地”和“间接地”的意义。此外,将会基于附图进行关于在每层“上”和“下”的参考。
在附图中,为了便于描述和清晰,每层的厚度或者尺寸被夸大、省略或示意性示出。此外,每个元件的尺寸没有完全反映实际尺寸。
在下文中,将参考附图来描述根据实施例的发光器件和制造发光器件的方法。
<第一实施例>
图1是示出根据第一实施例的发光器件1的横截面图。
参考图1,第一发光器件1可以包括衬底110;中间反射层116,该中间折射层116被设置在衬底110上;第一半导体层130,该第一半导体层130被设置在中间折射层116上;有源层140,该有源层140被设置在第一半导体层130上;第二导电类型半导体层150,该第二导电类型半导体层150被设置在有源层140上;电极层160,该电极层160被设置在第二导电类型半导体层150上;第一电极170,该第一电极170被设置在电极层160上;以及第二电极180,该第二电极180被设置在第一半导体层130上。
衬底110可以由蓝宝石(Al2O3)、SiC、Si、GaAs、GaN、ZnO、Si、GaP、InP以及Ge中的至少一种形成,但是本公开不限于此。
衬底110具有第一折射率n1。例如,当衬底110由蓝宝石Al2O3形成时,第一折射率可以在从大约1.7到大约1.8的范围内。
中间折射层116可以被设置在衬底110上。
中间折射层116可以具有处于衬底110的第一折射率n1和第一半导体层130的第三折射率n3之间的第二折射率n2。
即,中间折射层116的第二折射率n2可以大于衬底110的第一折射率n1,并且小于第三折射率n3。
在衬底110和第一半导体层130之间的界面中用于全反射的临界角小,其具有大的折射率差,并且界面中的被吸收和损耗的光的数量增加。
因此,在当前实施例中,具有第二折射率n2的中间折射层116被设置在衬底110和第一半导体层130之间,以使由于衬底110和第一半导体层130之间的折射率差而造成的光损耗最小化。
中间折射层116可以包括诸如AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN以及InN之一的半导体材料,以具有第二折射率n2并且允许第一半导体层130被有效地形成在其上。
可以以高温形成中间折射层116,以具有第二折射率n2。例如,当中间折射层116包括AlN时,可以以从大约1000℃至大约1100℃的范围中的温度,特别是以大约1050℃的温度来生长A1N。因此,第二折射率n2可以位于从大约2.1到大约2.2的范围内。
中间折射层116可以具有从大约0.05μm到大约0.1μm的范围的厚度D1。
中间折射层116可以减少衬底110和第一半导体层130之间的晶格常数差,并且减少第一半导体层130的位错和缺陷。
第一半导体层130可以被设置在中间折射层116上。
第一半导体层130可以具有第三折射率n3,并且仅包括第一导电类型半导体层,或者包括第一导电类型半导体层和在第一导电类型半导体层下方的未掺杂的半导体层,但是本公开不限于此。
例如,第一导电类型半导体层可以包括n型半导体层。n型半导体层可以由诸如AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN或者InN的、具有InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y≤1)的组成式的半导体材料来形成,并且被掺杂有诸如Si、Ge或者Sn的n型掺杂剂。
例如,当第一半导体层130包括GaN时,第三折射率n3可以在从大约2.45到大约2.55的范围内。
例如,未掺杂的半导体层可以是未掺杂的GaN层,但是本公开不限于此。
有源层140可以被设置在第一半导体层130上。
在有源层40中,通过第一导电类型半导体层注入的电子(或者空穴)与通过第二导电类型半导体层150注入的空穴(或者电子)相遇,以根据有源层140的材料、通过能带的带隙来发射光。
有源层140可以具有单量子阱结构或者多量子阱(MQW)结构、量子线结构以及量子点结构中的至少一种,但是本公开不限于此。
被掺杂有n型或者p型掺杂剂的包覆层(未示出)可以被设置在有源层140的上侧和/或下侧处,并且被形成作为AlGaN或者InAlGaN层。
第二导电类型半导体层150被设置在有源层140上。例如,第二导电类型半导体层150可以被形成为p型半导体层。p型半导体层可以由诸如AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN或者InN的、具有InxAlyGa1-x-yN  (0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y≤1)的组成式的半导体材料来形成,并且被掺杂有诸如Mg、Zn、Ca、Sr以及Ba的p型掺杂剂。
第一导电类型半导体层、有源层140以及第二导电类型半导体层150是用于形成发光结构的基本元件。
第一导电类型半导体层和第二导电类型半导体层150可以分别被掺杂有p型掺杂剂和n型掺杂剂,但是本公开不限于此。尽管未示出,第三导电类型半导体层(未示出)可以被设置在第二导电类型半导体层150上。因此,发光器件100可以具有带有pn、np、pnp以及npn之一的结合结构。
使用诸如金属有机化学气相沉积(MOCVD)、化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、分子束外延(MBE)或者氢化物气相外延(HVPE)的方法,可以形成中间折射层116、第一导电半导体层130、有源层140以及第二导电类型半导体层150,但是本公开不限于此。
电极层160可以被设置在第二导电类型半导体层150上。电极层160可以由透明材料来形成,该透明材料可以包括例如ITO、IZO(In-ZnO)、GZO(Ga-ZnO)、AZO(Al-ZnO)、AGZO(Al-Ga ZnO)、IGZO(In-Ga ZnO)、IrOx、RuOx、RuOx/ITO、Ni/IrOx/Au以及Ni/IrOx/Au/ITO中的至少一种。
可替选地,第二电极层160可以是反射电极,并且包括具有高反射率的银(Ag)、铝(Al)、铂(Pt)或者钯(Pd)中的至少一种。
第一电极170可以被设置在电极层160上,并且第二电极180可以被设置在第一半导体层130上。在对发光器件1执行台面蚀刻以暴露第一半导体层130之后,可以形成第二电极180。第一电极170和第二电极180将电力提供到发光器件1。
可替选地,第一电极170可以被形成在不具有电极层160的第二导电类型半导体层150上,但是本公开不限于此。
<第二实施例>
在下文中,将描述根据第二实施例的发光器件2和制造发光器件2的方法。在这里,将主要描述第一和第二实施例之间的不同部分,并且将省略对其相同部分的描述。
图2是示出根据第二实施例的发光器件2的横截面图。
参考图2,发光器件2包括导电支撑构件270;反射层260,该反射层260被设置在导电支撑构件270上;第二导电类型半导体层250,该第二导电类型半导体层250被设置在反射层260上;有源层240,该有源层240被设置在第二导电类型半导体层250上;第一半导体层230,该第一半导体层230被设置在有源层240上;第二中间折射层227,该第二中间折射层227被设置在第一半导体层230上;以及第三电极280,该第三电极280被设置在第一半导体层230上。
导电支撑构件270可以由钛(Ti)、铬(Cr)、镍(Ni)、铝(Al)、铂(Pt)、金(Au)、钨(W)、铜(Cu)、钼(Mo)、铜-钨(Cu-W)以及诸如Si、Ge、GaAs、ZnO、SiC、SiGe以及GaN的载具晶片来形成。第三电极280和导电支撑构件270将电力提供到发光器件2。
反射层260可以被设置在导电支撑构件270上。
反射层260可以包括具有高反射率的银(Ag)、铝(Al)、铂(Pt)或者钯(Pd)中的至少一种。
结合层(未示出)可以被设置在第二导电支撑构件270和反射层260之间,以提高其界面耦合力。
第二导电类型半导体层250可以被设置在反射层260上。例如,第二导电类型半导体层250可以包括p型半导体层。p型半导体层可以由诸如AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN或者InN的、具有InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y≤1)的组成式的半导体材料来形成,并且被掺杂有诸如Mg、Zn、Ca、Sr或者Ba的p型掺杂剂。
欧姆层(未示出)可以被设置在第二导电类型半导体层250和反射层260之间,用于其间的欧姆接触。
有源层240可以被设置在第二导电类型半导体层250上。在有源层240中,通过第一半导体层230注入的电子(或者空穴)与通过稍后要被形成的第二导电类型半导体层250注入的空穴(或者电子)相遇,以根据有源层240的材料、通过能带的带隙来发射光。
有源层240可以具有单量子阱结构或者多量子阱(MQW)结构、量子线结构以及量子点结构中的至少一种,但是本公开不限于此。
被掺杂有n型或者p型掺杂剂的包覆层(未示出)可以被设置在有源层240的上侧和/或下侧处,并且被形成为AlGaN或者InAlGaN层。
第一半导体层230可以被设置在有源层240上。
第一半导体层230可以具有第三折射率n3,并且仅包括第一导电类型半导体层,或者包括第一导电类型半导体层和在第一导电类型半导体层下方的未掺杂的半导体层,但是本公开不限于此。
例如,第一导电类型半导体层可以包括n型半导体层。n型半导体层可以由诸如AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN或者InN的、具有InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y≤1)的组成式的半导体材料来形成,并且被掺杂有诸如Si、Ge或者Sn的n型掺杂剂。
例如,当第一半导体层230包括GaN时,第三折射率n3可以在从大约2.45到大约2.55的范围内。
第二中间折射层227可以被设置在第一半导体层230上。第二中间折射层227可以具有处于第一半导体层230的第三折射率n3和空气的第四折射率n4之间的第二折射率n2。
空气的第四折射率n4大约是1.0,并且第二中间折射层227的第二折射率n2可以小于第一半导体层230的第三折射率n3并且大于空气的第四折射率n4。
在空气和第一半导体层230之间的界面中用于全反射的临界角小,其具有大的折射率差,并且界面中的被吸收和损耗的光的数量增加。
因此,在当前实施例中,具有第二折射率n2的第二中间折射层227被设置在第一半导体层230上,以使由于从第一半导体层230发射到空气的光的折射率差所造成的光损耗最小化。
第二中间折射层227可以包括诸如AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN以及InN之一的、具有第二折射率n2并且有效率地形成第一半导体层130的半导体材料,但是本公开不限于此。然而,在当前实施例中,第二中间折射层227包括AlN。
可以以高温形成第二中间折射层227,以具有第二折射率n2。例如,当第二中间折射层227包括AlN时,可以以从大约1000℃至大约1100℃的范围中的温度,特别是以大约1050℃的温度来生长AlN。因此,第二折射率n2可以在从大约2.1到大约2.2的范围内。
图3是示出根据第二实施例的发光器件2的第二中间折射层227的平面图。
参考图3,当第二中间折射层227包括AlN并且具有从大约0.5μm到大约1.0μm范围的第二厚度D2时,第二中间折射层227可以具有相互分隔开的多个图案,例如,多个多边形柱。
然而,第二中间折射层227可以包括多个圆柱体或者平坦的层,但是本公开不限于此。
对于具有多个多边形柱的第二中间折射层227,掩模图案(未示出)被形成在第一半导体层230上,并且使用掩模图案(未示出),可以形成第二中间折射层227。掩模图案(未示出)可以包括SiO2和MgN,但是本公开不限于此。
当第二中间折射层227包括多个多边形柱或者多个圆柱体时,第二中间折射层227发射以各种角度从有源层240发射的光,以提高发光器件2的光提取效率。
第三电极280可以被设置在第一半导体层230上。第三电极280被设置在第二中间折射层227上,并且被电连接到第二中间折射层227的图案之间的第一半导体层230。通过去除第二中间折射层227的一部分,可以形成第三电极280,但是本公开不限于此。
在下文中,现在将参考图4至图8来描述制造发光器件2的方法。为了便于描述,在制造发光器件2的方法中,图2中所示的发光器件2被颠倒。
参考图4,第一中间折射层216可以被形成在衬底210上,并且未掺杂的半导体层220可以被形成在第一中间折射层216上。
第一中间折射层216可以包括与稍后要被形成的第二中间折射层227(参考图6)的材料相同的材料。例如,第一中间折射层216可以包括AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN以及InN中的一个。
第一中间折射层216可以具有从0.05μm至大约0.1μm范围内的第一厚度D1。
第一中间折射层216可以减少衬底210和未掺杂的半导体层220之间的晶格常数差,并且减少未掺杂的半导体层220的缺陷和位错。
由于未掺杂的半导体层220没有被掺杂有导电掺杂剂,所以未掺杂的半导体层220的导电性比第一和第二半导体层230和250的导电性显著地低。例如,未掺杂的半导体层220可以是未掺杂的GaN层,但是本公开不限于此。
未掺杂的半导体层220的上部可以包括第一导电类型半导体层,但是本公开不限于此。
参考图5,第二中间折射层227可以被形成在未掺杂的半导体层220上。
第二中间折射层227可以具有处于第一半导体层230的第三折射率n3和空气的第四折射率n4之间的第二折射率n2。
具有第二折射率n2的第二中间折射层227被设置在第一半导体层230上,以使由于从第一半导体层230发射到空气的光的折射率差所造成的损耗最小化。
第二中间折射层227可以包括诸如AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN以及InN之一的、具有第二折射率n2并且有效率地形成第一半导体层230的半导体材料,但是本公开不限于此。然而,在当前实施例中,第二中间折射层227包括AlN。
可以以高温形成第二中间折射层227,以具有第二折射率n2。例如,当第二中间折射层227包括AlN时,可以以从大约1000℃至大约1100℃的范围中的温度,特别是以大约1050℃的温度来生长AlN。因此,第二折射率n2可以在从大约2.1到大约2.2的范围内。
参考图8,当第二中间折射层227包括AlN并且具有从大约0.5μm到大约1.0μm范围内的第二厚度D2时,第二中间折射层227可以具有多个多边形柱。
然而,第二中间折射层227可以包括多个圆柱体或者平坦的层,但是本公开不限于此。
对于具有多个多边形柱的第二中间折射层227,掩模图案(未示出)被形成在第一半导体层230上,并且使用掩模图案(未示出),可以形成第二中间折射层227。掩模图案(未示出)可以包括SiO2和MgN,但是本公开不限于此。
当第二中间折射层227包括多个多边形柱或者多个圆柱体时,第二中间折射层227发射以各种角度从有源层240发射的光,以提高发光器件2的光提取效率。
参考图6,第一半导体层230可以被形成在第二中间折射层227上,并且有源层240可以被形成在第一半导体层230上,并且第二导电类型半导体层250可以被形成在有源层240上。
第一半导体层230、有源层240以及第二导电类型半导体层250组成发光结构。
使用诸如金属有机化学气相沉积(MOCVD)、化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、分子束外延(MBE)或者氢化物气相外延(HVPE)的方法,可以形成发光结构,但是本公开不限于此。
通过外延横向生长(ELO)工艺,发光结构可以被水平地和/或垂直地生长。通过适当地调整诸如ELO工艺的压力或者温度的条件,发光结构可以被形成在第二中间折射层227上。
然而,虽然发光结构被形成,但是部分发光结构可以被生长在第二中间折射层227的多边形柱之间的间距228中,但是本公开不限于此。
由于第一半导体层230被形成在第二中间折射层227上,第一半导体层230的缺陷或者位错被减少,使得能够提高第一半导体层230的晶体特性。
第一半导体层230可以仅包括第一导电类型半导体层,或者包括第一导电类型半导体层和在第一导电类型半导体层下方的未掺杂的半导体层,但是本公开不限于此。
在第二中间反射层227下方形成的未掺杂的半导体层220可以与在第二中间折射层227上形成的第一半导体层230相同。即,第一半导体层230可以被形成,然后第二中间折射层227可以被形成在第一半导体层230上,然后第一半导体层230可以被再次形成在第二中间折射层227上,但是本公开不限于此。
参考图7,折射层260可以被形成在第二导电类型半导体层250上,并且导电支撑构件270可以被形成在反射层260上。
导电支撑构件270将电力提供到发光器件2,并且支撑发光结构。
参考图7和图8,可以去除衬底210、第一中间折射层216以及未掺杂的半导体层220。
通过激光剥离(LLO)工艺和蚀刻工艺,可以去除衬底210,但是本公开不限于此。
通过诸如电感耦合等离子体/反应离子蚀刻(ICP/RIE)的蚀刻工艺,可以去除第一中间折射层216和未掺杂的半导体层220。
在这种情况下,第二中间折射层227可以用作用于停止蚀刻工艺的蚀刻停止层。
第一中间折射层216和未掺杂的半导体层220被去除,以暴露第一半导体层230和第二中间折射层227。
参考图2和图8,第三电极280可以被形成在第一半导体层230上。此时,第二中间折射层227可以被部分地去除,然后第三电极280可以被形成,但是本公开不限于此。
<第三实施例>
在下文中,将描述根据第三实施例的发光器件3和制造发光器件3的方法。在这里,将主要描述第二和第三实施例之间的不同部分,并且将省略对其相同部分的描述。
除了第二中间折射层被去除并且粗糙图案被形成之外,发光器件3与发光器件2相类似。
图9是示出根据第三实施例的发光器件3的横截面图。
参考图9,发光器件3包括导电支撑构件370;反射层360,该反射层360被设置在导电支撑构件370上;第二导电类型半导体层350,该第二导电类型半导体层350被设置在反射层360上;有源层340,该有源层340被设置在第二导电类型半导体层350上;第一导电类型半导体层330,该第一导电类型半导体层330被设置在有源层340上并且包括粗糙图案332;以及第三电极380,该第三电极380被设置在第一导电类型半导体层330上。
第一导电类型半导体层330在其上部中包括粗糙图案332。
例如,使用图7的第二中间折射层227作为掩模,通过对第一导电类型半导体层330执行蚀刻工艺,可以形成粗糙图案332。
即,对第一导电类型半导体层330执行使用图7的第二中间折射层227作为掩模的蚀刻工艺,以形成粗糙图案332,然后第二中间折射层227被去除,然后第三电极380被形成在第一导电类型半导体层330上,以形成发光器件3。
粗糙图案332提高从发光器件3发射的光的提取效率。
图10是示出包括根据实施例的发光器件的发光器件封装的横截面图。
参考图10,根据实施例的发光器件封装包括:主体20、在主体20中设置的第一电极层32和第二电极层33、在主体20中设置的并且电连接到第一电极层32和第二电极层33的发光器件1以及包围发光器件1的制模构件40。在图10中,发光器件封装包括根据第一实施例的发光器件1,但是本公开不限于此,并且因此,发光器件封装包括根据其他实施例的其他发光器件。
主体20可以由硅材料、合成树脂材料或者金属材料来形成。倾斜表面可以被设置在发光器件1的周围。
第一电极层32和第二电极层33被相互电分离,以将电力提供给发光器件1。此外,第一电极层32和第二电极层33可以反射在发光器件100中产生的光,以增加光效率,并且可以将在发光器件1中产生的热释放到外部。
发光器件1可以被设置在主体20上或者在第一电极层32或第二电极层33上。
发光器件1通过图10中的引线被电连接到第一电极层32和第二电极层33,但是本公开不限于此。例如,可以使用倒装芯片方法或者管芯结合方法,将发光器件1电连接到第一电极层32和第二电极层33。
制模构件40可以包围发光器件1,以保护发光器件1。制模构件40可以包括磷光体,以改变从发光器件1发射的光的波长。
发光器件封装可以包括根据上述实施例的发光器件中的至少一个,但是本公开不限于此。多个发光器件封装被提供在衬底上,并且光导板、棱镜片、扩展片以及荧光片可以作为光学构件被设置在从发光器件封装发射的光的路径中。发光器件封装、衬底以及光学构件可以用作诸如背光单元、照明系统、指示装置、灯以及路灯的照明系统。
图11是示出包括根据实施例的发光器件或者发光器件封装的背光单元的透视图。图11的背光单元1100是照明系统的示例,并且因此,本公开不限于此。
参考图11,背光单元1100可以包括底盖1140、在底盖1140内设置的光导构件1120以及在光导构件1120的至少一个表面或者下表面上的发光模块1110。反射片1130可以被设置在光导构件1120下方。
底盖1140可以具有盒子形状,该盒子形状具有开口的上表面,以接收光导构件1120、发光模块1110以及反射片1130,以及底盖1140可以由金属或者树脂来形成,但是本公开不限于此。
发光模块1110可以包括:基板700和在基板700上安装的多个发光器件封装600。发光器件封装600将光提供给光导构件1120。在根据当前实施例的发光模块1110中,发光器件封装600被安装在基板700上,但是根据实施例的发光器件可以被直接安装基板700上。
可以将发光模块1110设置在底盖1140的至少一个内表面上,以将光提供到光导构件1120的至少一个表面。
然而,发光模块1110可以被设置在底盖1140内的光导构件1120下方,以将光提供到光导构件1120的底表面。即,可以根据设计,以各种形式来改变发光模块1110的位置,并且因此本公开不限于此。
光导构件1120被设置在底盖1140内。光导构件1120可以接收来自发光模块1110的光,并且形成表面光源,然后将表面光源导向显示面板(未示出)。
例如,光导构件1120可以是光导板(LGP)。例如,光导板可以由诸如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的丙烯酸类树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、环烯烃共聚合物(COC)以及聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)之一来形成。
光学片1150可以被设置在光导构件1120上方。
例如,光学片1150可以包括扩展片、聚光片、增亮片以及荧光片中的至少一种。例如,通过堆叠扩展片、聚光片、增亮片以及荧光片,可以形成光学片1150。在这样的情况下,扩展片可以均匀地扩展从发光模块1110发射的光,并且聚光片将扩展光聚集在显示面板(未示出)上。在这一点上,从聚光片发射的光是任意偏振的光。增亮片可以增强从聚光片发射的光的偏振的程度。例如,聚光片可以是水平和/或垂直的棱镜片。例如,增亮片可以是双增亮膜(dual brightness enhancement film)。荧光片可以是包括磷光体的光透射板或膜。
反射板1130可以被设置在光导构件1120下方。反射板1130可以将通过光导构件1120的底表面发射的光反射到光导构件1120的发光表面。
反射板1130可以由例如PET、PC或者PVC的、具有高反射率的树脂来形成,但是本公开不限于此。
图12是示出包括根据实施例的发光器件或者发光器件封装的照明系统的透视图。然而,图12中所示的照明系统1200是照明系统的示例,并且因此,本公开不限于此。
参考图12,照明系统1200可以包括:壳体1210、在壳体1210中设置的发光模块1230以及设置在壳体1210中以接收来自外部电源的电力的连接端子1220。
壳体1210可以由具有改进的散热性能的材料来形成。例如,壳体1210可以由金属材料或者树脂材料来形成。
发光模块1230可以包括:基板700和在基板700上安装的至少一个发光器件封装600。在根据当前实施例的发光模块1110中,发光器件封装600被安装在基板700上,但是发光器件100可以被直接地安装在基板700上。
电路图案可以被印刷在绝缘材料上,以形成基板700。例如,基板700可以包括印刷电路板(PCB)、金属核心PCB、柔性PCB或者陶瓷PCB。
此外,基板700可以由有效反射光的材料来形成。基板700的表面可以涂覆有通过此有效反射光的例如白色或银色材料的彩色材料。
至少一个发光器件封装600可以被安装在基板700上。每个发光器件封装600可以包括至少一个发光二极管(LED)。LED可以包括发射红色、绿色、蓝色或者白色的光的彩色LED以及发射紫外(UV)光的UV发光LED。
发光模块1230可以具有发光二极管的各种组合,以获得想要的颜色和亮度。例如,白光发光二极管、红光发光二极管、绿光发光二极管可以被设置成相互组合,以确保高的显色指数。荧光片可以被设置在从发光模块1230发射的光的路径中,并且改变从发光模块1230发射的光的波长。例如,当从发光模块1230发射的光具有蓝色波长带时,荧光片可以包括黄磷光体,并且因此,从发光模块1230发射的光经过荧光片被最终感知为白光。
连接端子1220可以被电连接到发光模块1230,以将电力提供给发光模块1230。参考图12,将连接端子1220以插座的形式旋拧到外部电源,但是本公开不限于此。例如,连接端子1220可以以插头的形式被插入到外部电源中,或者通过电线被连接到外部电源。
在上述照明系统中,光导构件、扩展片、聚光片、增亮片以及荧光片中的至少一个可以被设置在从发光模块发射的光的路径中,以获得想要的光学效果。
如上所述,根据本实施例的照明系统包括具有改进的光提取效率的发光器件或者发光器件封装,从而改进其特性。
在本说明书中对于“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”等的任何参考意味着与实施例结合描述的特定特征、结构或特性被包括在本发明的至少一个实施例中。在说明书中,在各处出现的这类短语不必都表示相同的实施例。此外,当结合任何实施例描述特定特征、结构或特性时,认为结合实施例中的其他一些实施例实现这样的特征、结构或特性也是本领域技术人员所能够想到的。
虽然已经参照本发明的多个示例性实施例描述了实施例,但是应该理解,本领域的技术人员可以想到的多个其他修改和实施例也将落入本发明原理的精神和范围内。更具体地,在本公开、附图和所附权利要求的范围内的主题组合布置的组件部件和/或布置中,各种变化和修改都是可能的。除了组件部件和/或布置中的变化和修改之外,对于本领域的技术人员来说,替代的使用也将是显而易见的。

Claims (15)

1.一种发光器件,包括:
第二导电类型半导体层;
有源层,所述有源层在所述第二导电类型半导体层上;
第一导电类型半导体层,所述第一导电类型半导体层在所述有源层上;以及
中间折射层,所述中间折射层在所述第一导电类型半导体层上,
其中,所述中间折射层具有的折射率小于所述第一导电类型半导体层的折射率并且大于空气的折射率。
2.根据权利要求1所述的发光器件,包括:
在所述第二导电类型半导体层下方的反射层和导电支撑构件中的至少一个。
3.根据权利要求1所述的发光器件,包括:
电极,所述电极被电连接到所述第一导电类型半导体层。
4.根据权利要求1所述的发光器件,其中,
所述中间折射层包括相互分隔开的多个图案。
5.根据权利要求4所述的发光器件,其中,
所述中间折射层包括相互分隔开的多个多边形柱或者多个圆柱体。
6.根据权利要求4所述的发光器件,包括:
电极,所述电极被设置在所述中间折射层上,并且被电连接到所述图案之间的所述第一导电类型半导体层。
7.根据权利要求1所述的发光器件,其中,
所述中间折射层具有从大约0.5μm至大约1.0μm的范围内的厚度。
8.根据权利要求1所述的发光器件,包括:
衬底,所述衬底在所述中间折射层上,
其中,所述中间折射层的折射率大于所述衬底的折射率。
9.根据权利要求8所述的发光器件,其中,
所述中间折射层具有从大约0.05μm至大约0.1μm的范围内的厚度。
10.根据权利要求8所述的发光器件,其中,
所述衬底由SiC、Si、GaAs、GaN、ZnO、Si、GaP、InP以及Ge中的至少一种来形成。
11.根据权利要求8所述的发光器件,其中,
所述衬底由蓝宝石(Al2O3)形成,并且所述衬底的折射率的范围从大约1.7到大约1.8。
12.根据权利要求8所述的发光器件,包括:
未掺杂的半导体层,所述未掺杂的半导体层在所述衬底和所述中间折射层之间;以及
另一中间折射层,所述另一中间折射层在所述衬底和所述未掺杂的半导体层之间。
13.根据权利要求12所述的发光器件,其中,
所述另一中间折射层包括与所述中间折射层的材料相同的材料。
14.根据权利要求1所述的发光器件,其中,
所述中间折射层包括AlN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlInN以及InN中的至少一种。
15.根据权利要求14所述的发光器件,其中,
所述中间折射层包括AlN,以及所述中间折射层的折射率的范围从大约2.1到大约2.2。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109037411A (zh) * 2018-07-27 2018-12-18 西安电子科技大学 基于Sn离子注入的氮化物光电转换结构及制备方法

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101081129B1 (ko) 2009-11-30 2011-11-07 엘지이노텍 주식회사 발광소자 및 그 제조방법
US9000415B2 (en) 2012-09-12 2015-04-07 Lg Innotek Co., Ltd. Light emitting device
GB2525840B (en) * 2014-02-18 2016-09-07 Jaguar Land Rover Ltd Autonomous driving system and method for same
CN104051561B (zh) * 2014-07-04 2016-08-24 东南大学 一种氮化镓基紫外雪崩光电探测器
US9946531B1 (en) * 2014-11-13 2018-04-17 State Farm Mutual Automobile Insurance Company Autonomous vehicle software version assessment
KR102430018B1 (ko) 2017-12-20 2022-08-05 엘지디스플레이 주식회사 이송 헤드 어셈블리 및 발광소자 이송장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1716655A (zh) * 2004-06-28 2006-01-04 松下电器产业株式会社 半导体发光元件和器件、及制造半导体发光元件的方法
US20060234408A1 (en) * 2005-04-14 2006-10-19 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Method for manufacturing vertical group III-nitride light emitting device
WO2008082097A1 (en) * 2006-12-28 2008-07-10 Seoul Opto Device Co., Ltd. Light emitting device and fabrication method thereof
US20090020772A1 (en) * 2007-07-19 2009-01-22 Ching-Hua Chiu Light-emitting device and method for making the same

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010029852A (ko) 1999-06-30 2001-04-16 도다 다다히데 Ⅲ족 질화물계 화합물 반도체 소자 및 그 제조방법
US7102175B2 (en) 2003-04-15 2006-09-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same
EP1741144A1 (de) 2004-04-29 2007-01-10 Osram Opto Semiconductors GmbH Verfahren zum herstellen eines strahlungsemittierenden halbleiterchips
JP2006093681A (ja) 2004-08-25 2006-04-06 Showa Denko Kk 化合物半導体用ゲルマニウム添加源、それを用いた化合物半導体の製造方法、および化合物半導体
KR100674829B1 (ko) 2004-10-29 2007-01-25 삼성전기주식회사 질화물계 반도체 장치 및 그 제조 방법
JP2006253172A (ja) 2005-03-08 2006-09-21 Toshiba Corp 半導体発光素子、半導体発光装置及び半導体発光素子の製造方法
KR100745489B1 (ko) 2005-07-19 2007-08-02 소프트포럼 주식회사 키입력 해킹방지 방법
KR100815564B1 (ko) * 2006-04-26 2008-03-20 삼성전기주식회사 수직구조 질화갈륨계 발광 다이오드 소자
KR101317632B1 (ko) 2007-04-17 2013-10-10 엘지이노텍 주식회사 질화물계 발광 소자 및 그 제조방법
TW200812113A (en) 2006-05-23 2008-03-01 Alps Electric Co Ltd Semiconductor light emitting element and method for manufacturing the same
KR100816841B1 (ko) 2006-08-14 2008-03-26 삼성전기주식회사 수직구조 질화갈륨계 발광다이오드 소자 및 그 제조방법
US20080042149A1 (en) 2006-08-21 2008-02-21 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Vertical nitride semiconductor light emitting diode and method of manufacturing the same
KR100865754B1 (ko) 2006-08-21 2008-10-28 삼성전기주식회사 수직구조 질화물계 반도체 발광소자 및 그 제조방법
KR20080058722A (ko) 2006-12-22 2008-06-26 서울옵토디바이스주식회사 다수의 절연층이 적층된 산란 중심을 구비하는 발광 소자제조방법 및 그 발광 소자
KR101316120B1 (ko) 2006-12-28 2013-10-11 서울바이오시스 주식회사 양극 알루미늄산화를 이용한 산란 중심을 구비하는 발광 소자 제조방법 및 그 발광 소자
KR101341374B1 (ko) 2007-07-30 2013-12-16 삼성전자주식회사 광자결정 발광소자 및 그 제조방법
KR20090114826A (ko) 2008-04-30 2009-11-04 엘지이노텍 주식회사 반도체 발광소자 및 그 제조방법
CN101990714B (zh) 2008-04-30 2012-11-28 Lg伊诺特有限公司 发光器件和用于制造发光器件的方法
KR101457202B1 (ko) 2008-06-30 2014-11-03 서울바이오시스 주식회사 나노 로드를 포함하는 투명 전극층을구비하는 발광다이오드 및 그 제조방법
KR100994643B1 (ko) 2009-01-21 2010-11-15 주식회사 실트론 구형 볼을 이용한 화합물 반도체 기판의 제조 방법과 이를 이용한 화합물 반도체 기판 및 화합물 반도체 소자
KR101081129B1 (ko) * 2009-11-30 2011-11-07 엘지이노텍 주식회사 발광소자 및 그 제조방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1716655A (zh) * 2004-06-28 2006-01-04 松下电器产业株式会社 半导体发光元件和器件、及制造半导体发光元件的方法
US20060234408A1 (en) * 2005-04-14 2006-10-19 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Method for manufacturing vertical group III-nitride light emitting device
WO2008082097A1 (en) * 2006-12-28 2008-07-10 Seoul Opto Device Co., Ltd. Light emitting device and fabrication method thereof
US20090020772A1 (en) * 2007-07-19 2009-01-22 Ching-Hua Chiu Light-emitting device and method for making the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109037411A (zh) * 2018-07-27 2018-12-18 西安电子科技大学 基于Sn离子注入的氮化物光电转换结构及制备方法

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