CN102117723A - 一种真空抽气装置 - Google Patents

Abstract

一种真空抽气装置，包括真空室、真空泵及吸气剂，所述吸气剂用于高温加热激活以获得和维持容器的真空度，容置所述吸气剂的容器为独立设置在所述真空室与所述真空泵之间的吸气剂容腔，所述吸气剂容腔分别与所述真空室及所述真空泵连通。本发明使用时可以仅对有吸气剂的局部加热，让真空室及其内器件处于不受热的环境中，密封效果好，便于安装使用，便于更换，外观小巧，结构简单。

Description

一种真空抽气装置

技术领域

本发明涉及一种抽气装置，特别是一种带高温激活吸气剂的真空抽气装置。

背景技术

吸气剂在电真空器件、真空技术、原子能工业以及其它科研与生产中都起着非常重要的作用。特别是在电真空器件中，它不但可以使器件获得所需的真空度，而且也可以使器件维持一定的真空度，以保证电真空器件工作的稳定性和可靠性。现在常用的放置吸气剂的结构为吸气剂与器件一同放置在需要保持真空度的真空室内；高温激活吸气剂时，对整个真空室进行高温烘烤。例如专利号为“ZL200480007790.0”，名称为“具有用于保持真空的细粒吸气剂层的微器件组件”的中国发明专利所公开的微器件组件，如图1所示，图1为现有技术带吸气剂的真空室结构示意图，由图可见，吸气剂10C和电真空器件10B均设置在真空室10A中，在其激活真空室10A内的吸气剂10C时需要对整个微器件组件100A进行加热，这样在高温激活吸气剂10C的时候可能造成电真空器件10B损坏。事实上，有些电真空器件，为了避免高温对器件内零、部件的不良影响，不但不能对整个真空室进行高温烘烤，而且还要求吸气剂能够被充分激活，以保持较好的真空度。因此迫切需要一种能够高温激活，而又不会对器件造成热损坏的吸气剂激活装置。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种可以对吸气剂进行高温激活同时对真空器件不造成损害的真空抽气装置。

为了实现上述目的，本发明提供了一种真空抽气装置，包括真空室、真空泵及吸气剂，所述吸气剂用于高温加热激活以获得和维持容器的真空度，其中，容置所述吸气剂的容器为独立设置在所述真空室与所述真空泵之间的吸气剂容腔，所述吸气剂容腔分别与所述真空室及所述真空泵连通。

上述的真空抽气装置，其中，所述吸气剂容腔分别通过第一连接端及第二连接端与所述真空室和所述真空泵连接，所述吸气剂容腔包括：

气体通道，分别与所述真空室及所述真空泵连通以实现抽真空；

吸气剂室，与所述气体通道连通。

上述的真空抽气装置，其中，所述第二连接端为一铜管，所述铜管一端与所述吸气剂室连接，所述铜管另一端通过法兰与所述真空泵连接。

上述的真空抽气装置，其中，所述气体通道为一与所述铜管连接的金属管，所述金属管设置于所述吸气剂室内，所述金属管上均布通气孔。

上述的真空抽气装置，其中，所述金属管与所述铜管为一体结构。

上述的真空抽气装置，其中，所述气体通道为一管腔体，所述吸气剂室为一金属密封罐，所述金属密封罐与所述管腔体连通。

上述的真空抽气装置，其中，所述金属密封罐通过一金属连接管与所述管腔体连通。

上述的真空抽气装置，其中，所述吸气剂室在靠近所述第一连接端处设置有吸气剂放入口。

上述的真空抽气装置，其中，所述吸气剂放入口处还设置有挡环，所述挡环用于将所述吸气剂约束在所述吸气剂室内。

上述的真空抽气装置，其中，还包括保护帽，所述保护帽用于静态真空时保护第二连接端，所述吸气剂室与所述铜管连接处设置有用于连接所述保护帽的凸台。

本发明的技术效果在于：

1、本发明使用时可以仅对有吸气剂的局部加热，让真空室及其内器件处于不受热的环境中；

2、本发明可以直接连接在真空室的抽气口处，便于安装使用；

3、本发明全部使用金属材料密封，密封效果好，同时，材料放气量小；

4、本发明便于更换，在吸气剂的吸气性能变差的时候可以只更换本发明的真空抽气装置中的吸气剂或仅更换该真空抽气装置，从而避免更换整个真空室，具有较好的经济性；

5、本发明外观小巧，结构简单，利于推广使用。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为现有技术带吸气剂的真空室结构示意图；

图2为本发明的结构框图；

图3为本发明一实施例的结构示意图；

图4为本发明一实施例的静态真空使用状态示意图；

图5为本发明另一实施例的结构示意图。

其中，附图标记

现有技术

100A微器件组件

10A真空室

10B电真空器件

10C吸气剂

本发明

100真空抽气装置

10真空室

20真空泵

30吸气剂

1吸气剂容腔

11吸气剂室

111金属密封罐

112金属连接管

113吸气剂放入口

114挡环

115凸台

12气体通道

121金属管

122通气孔

123管腔体

13保护帽

2第一连接端

21法兰

3第二连接端

31铜管

32法兰

具体实施方式

下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述：

参见图2，图2为本发明的结构框图。本发明的真空抽气装置100，包括真空室10、真空泵20及吸气剂30，所述吸气剂30用于高温加热激活以获得和维持容器的真空度，容置所述吸气剂30的容器为独立设置在所述真空室10与所述真空泵20之间的吸气剂容腔1，所述吸气剂容腔1分别与所述真空室10及所述真空泵20连通。该吸气剂容腔1可单独加热以实现高温激活吸气剂30而不会对真空室10内的器件造成热损坏。

其中，所述吸气剂容腔1分别通过第一连接端2及第二连接端3与所述真空室10和所述真空泵20连接，所述吸气剂容腔1包括：气体通道12，分别与所述真空室10及所述真空泵20连通以实现抽真空；吸气剂室11，与所述气体通道12连通。所述吸气剂容腔1用于盛放吸气剂30，可对该吸气剂容腔1单独加热以实现高温激活吸气剂30而不会对真空室10内的器件造成热损坏。

参见图3，图3为本发明一实施例的结构示意图。为了更好地实现抽真空效果，可以将所述吸气剂容腔1分为两个部分，即用于容置吸气剂30部分及用于保证顺利抽真空的气体通路部分，本实施例中，所述吸气剂容腔1包括：吸气剂室11，用于容置吸气剂30；气体通道12，用于抽真空，所述气体通道12分别与所述真空室10及所述真空泵20连通。本实施例中所述气体通道12优选为与第二连接端3连通的金属管121，所述金属管121设置于所述吸气剂室11内，所述金属管121上均布通气孔122，该通气孔122一方面可以保证在抽真空时将吸气剂室11内的吸气剂30间的气体抽吸干净，另一方面可以在激活吸气剂30后，使得吸气剂30可以通过该通气孔122吸附真空室10内的气体，保证真空室10内较高的真空度要求。所述金属管121一端与第一连接端2连接，并接通真空室10，另一端与第二连接端3连接，用于接通真空泵20，本实施例中，所述第二连接端3为一铜管31，所述铜管31一端与所述吸气剂室11连接，所述铜管31另一端通过法兰32与所述真空泵20连接，该金属管121可以与该铜管31连接，也可以与所述铜管31为一体结构，即与所述铜管31为同一根管，如图2所示。所述吸气剂室11在靠近所述第一连接端2处设置有吸气剂放入口113。该第一连接端2一端与该吸气剂放入口113连接，另一端设置有与真空室连接用的法兰21，该第一连接端2也可以设置为与该吸气剂放入口113一体的结构，如图2所示。所述吸气剂放入口113处还可以设置挡环114，用于将所述吸气剂30约束在该吸气剂室11内。本实施例中，该挡环114套装在金属管121上，也可用卡扣、螺纹或环槽等形式连接在吸气剂放入口113上，该挡环114与吸气剂室11的连接方式没有限定，只要能在吸气剂放入口113处实现阻挡吸气剂30向真空室10移动，将吸气剂30约束在吸气剂室11内即可。当该真空抽气装置100用于与微器件连接时，该第一连接端2也可设置卡扣或螺纹直接与所述微器件连接，而不再使用法兰21连接。

在连接真空室10之前，把吸气剂30放入吸气剂室11内，用挡环114把吸气剂30约束在吸气剂室11内。然后把本发明与真空室10、真空泵20及其他元件进行安装。抽气时本装置通过法兰21与真空室10相连接，法兰32与真空泵20或其他真空元件如真空阀、电离规管、电阻规管等连接。安装完成后，进行抽真空，真空度达到一定值以后对装有吸气剂30的吸气剂室11加热以激活吸气剂30。由于该真空抽气装置100与真空室10是刀口法兰连接，接触面积很小，热传导很少，真空室10与该真空抽气装置100内为真空，热对流很少，所以加热激活的过程中本真空抽气装置100的温度较高而真空室10内部温度较低。即加热激活过程中事实上只局部加热了该真空抽气装置100的吸气剂容腔1，而对真空室10的影响非常小，因此保证了对吸气剂30进行高温激活的同时对真空器件不造成损害。

参见图4，图4为本发明一实施例的静态真空使用状态示意图。在静态真空使用状态下，可以将本发明的真空抽气装置100的铜管31切断冷焊，形成一个密闭的与真空室10相通的带吸气剂30的吸气剂室11，为了保护该铜管31的冷焊口311，本发明还可设置一用于静态真空时保护第二连接端3的保护帽13，所述吸气剂室11与所述铜管31连接处设置有用于与所述保护帽13连接的凸台115。吸气剂30激活以后，对所述铜管31进行冷焊，进行密封。然后，用保护帽13对冷焊口311进行保护，如图3。

参见图5，图5为本发明另一实施例的结构示意图。本实施例中，所述气体通道12为一管腔体123，所述吸气剂室11为一金属密封罐111，所述金属密封罐111与所述管腔体123连通。金属密封罐111与管腔体123的连通方式有多种，本实施例优选所述金属密封罐111通过一金属连接管112与所述管腔体123连通。通过吸气剂放入口113把吸气剂30放入本发明的金属密封罐111的腔体内后，连接真空室10，抽真空达到一定真空度后，对金属密封罐111进行加热以激活其中的吸气剂30。本实施例同样也是一个相对于真空室10独立的结构，可实现高温激活吸气剂30而真空室10内部的温度较低的功能。即可对该金属密封罐111单独加热以实现高温激活吸气剂30而不会对真空室10内的器件造成热损坏。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种真空抽气装置，包括真空室、真空泵及吸气剂，所述吸气剂用于高温加热激活以获得和维持容器的真空度，其特征在于，容置所述吸气剂的容器为独立设置在所述真空室与所述真空泵之间的吸气剂容腔，所述吸气剂容腔分别与所述真空室及所述真空泵连通。

2.如权利要求1所述的真空抽气装置，其特征在于，所述吸气剂容腔分别通过第一连接端及第二连接端与所述真空室和所述真空泵连接，所述吸气剂容腔包括：

气体通道，分别与所述真空室及所述真空泵连通以实现抽真空；

吸气剂室，与所述气体通道连通。

3.如权利要求2所述的真空抽气装置，其特征在于，所述第二连接端为一铜管，所述铜管一端与所述吸气剂室连接，所述铜管另一端通过法兰与所述真空泵连接。

4.如权利要求3所述的真空抽气装置，其特征在于，所述气体通道为一与所述铜管连接的金属管，所述金属管设置于所述吸气剂室内，所述金属管上均布通气孔。

5.如权利要求4所述的真空抽气装置，其特征在于，所述金属管与所述铜管为一体结构。

6.如权利要求2所述的真空抽气装置，其特征在于，所述气体通道为一管腔体，所述吸气剂室为一金属密封罐，所述金属密封罐与所述管腔体连通。

7.如权利要求6所述的真空抽气装置，其特征在于，所述金属密封罐通过一金属连接管与所述管腔体连通。

8.如权利要求2所述的真空抽气装置，其特征在于，所述吸气剂室在靠近所述第一连接端处设置有吸气剂放入口。

9.如权利要求8所述的真空抽气装置，其特征在于，所述吸气剂放入口处还设置有挡环，所述挡环用于将所述吸气剂约束在所述吸气剂室内。

10.如权利要求2所述的真空抽气装置，其特征在于，还包括保护帽，所述保护帽用于静态真空时保护第二连接端，所述吸气剂室与所述铜管连接处设置有用于连接所述保护帽的凸台。

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