CN102105823A - 形成有间隔壁和像素的基板的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种光学元件的制造方法，该方法可防止通过喷墨法涂布油墨时相邻的像素间的油墨的混色，而且不会对液晶面板或有机EL等显示器的驱动造成不良影响。光学元件的制造方法包括：在基材(1)上形成具有拒液性的间隔壁(2)的工序；检出间隔壁(2)的缺陷部(3)的工序；将位于缺陷部(3)周围的间隔壁(2)的一部分除去的工序；在除去了间隔壁(2)的部位涂布包含拒油墨剂(侧链具有多氟烷基和双键的聚合物)的间隔壁修正液(4)，并且使其固化的工序；以及在由间隔壁(2)划分出的像素区域内通过喷墨法涂布油墨，形成像素的工序。

Description

形成有间隔壁和像素的基板的制造方法
技术领域
本发明涉及例如通过喷墨法制成的形成有间隔壁和像素的基板的制造方法。本发明还涉及液晶显示装置等所用的彩色滤光片的制造方法、有机EL元件的制造方法。
背景技术
近年来，作为彩色滤光片和有机EL元件的制造方法，提出了采用喷墨法的低成本化工艺。
例如，彩色滤光片的制造中，形成具有拒液性的间隔壁后，通过喷墨法向由间隔壁划分出的像素区域内涂布R(红)、G(绿)、B(蓝)的油墨，从而形成具有着色层的像素。
此外，有机EL显示元件的制造中，形成具有拒液性的间隔壁后，通过喷墨法向由间隔壁划分出的像素区域内涂布作为空穴传输材料、发光材料的溶液的油墨，从而形成具有空穴传输层、发光层等的像素。
彩色滤光片的制造中，间隔壁存在缺口等缺陷的情况下，因隔着该缺陷相邻的像素点中所涂布的不同颜色的油墨的彼此接触等原因，可能会发生混色。
有机EL显示元件的制造中，间隔壁存在缺口等缺陷的情况下，因隔着该缺陷相邻的像素点中所涂布的发出不同颜色的油墨的彼此接触等原因，可能会发生混色。此外，即使在仅使用相同的油墨进行制膜的情况下，油墨的膜厚控制也很困难。
专利文献1中提出了如下技术：在形成间隔壁后，用包含斥油墨剂的修正液修正产生于间隔壁的气孔缺陷，通过喷墨法形成着色层。
专利文献1：日本专利特开2008-76725号公报
发明的揭示
专利文献1中，因为所使用的修正液的表面张力低，所以需要在涂布修正液前涂布底涂液。即，为了进行修正，需要涂布两种不同的液体。
此外，因为斥油墨剂不具有光反应性，所以斥油墨剂不会固定化于间隔壁。以往，因为在形成了着色层后形成保护涂层，所以材料从间隔壁或着色层溶出至液晶层的可能性小，但近年来，为了实现液晶的低成本化，未设置有保护涂层的彩色滤光片增多。因此，在组装液晶面板时，斥油墨成分可能会从彩色滤光片溶出而对液晶面板的驱动造成影响。特别是斥液成分存在更多地位于间隔壁的最表面的倾向，所以如果未被固定化，则存在容易溶出的可能性。
本发明的课题是提供一种光学元件的制造方法，该方法可防止通过喷墨法涂布油墨时相邻的像素间的油墨的混色，而且不会对液晶面板或有机EL等显示器的驱动造成不良影响。
本发明以下述的光学元件的制造方法作为技术内容。
<1>一种光学元件的制造方法，该光学元件具有形成有间隔壁和像素的基材，其特征在于，依次包括：在基材上形成具有拒液性的间隔壁的工序；检出间隔壁的缺陷部的工序；将位于缺陷部周围的间隔壁的一部分除去的工序；在除去了间隔壁的部位涂布包含下述感光性组合物(X)的间隔壁修正液，并且使感光性组合物(X)固化的工序；以及在由间隔壁划分出的像素区域内通过喷墨法涂布油墨，形成像素的工序；所述感光性组合物(X)包含聚合物(a)，该聚合物(a)具有含以下述式(1)表示的基团或以下述式(2)表示的基团的侧链和含乙烯性双键的侧链；
-CFXRf  (1)
式(1)中，X表示氢原子、氟原子或三氟甲基，Rf表示可具有醚性氧原子的碳数20以下的氢原子中的至少1个被氟原子取代了的烷基或者氟原子；
-(SiR1R2O)n-SiR1R2R3    (2)
式(2)中，R1、R2独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基，R3表示氢原子或碳数1～10的有机基团，n表示1～200的整数。
<2>如上述<1>所述的制造方法，其特征在于，所述间隔壁具有遮光性。
<3>如上述<1>或<2>所述的制造方法，其特征在于，所述聚合物(a)的氟原子含量为5～50质量％，聚合物(a)在感光性组合物(X)的全部固体成分中所占的比例为0.01～30质量％。
<4>如上述<1>～<3>中的任一项所述的制造方法，其特征在于，所述聚合物(a)的重均分子量在500以上且低于100000。
<5>如上述<1>～<4>中的任一项所述的制造方法，其特征在于，所述具有拒液性的间隔壁由包含聚合物(a)的负型感光性组合物形成，该聚合物(a)具有含以下述式(1)表示的基团或以下述式(2)表示的基团的侧链和含乙烯性双键的侧链；
-CFXRf    (1)
式(1)中，X表示氢原子、氟原子或三氟甲基，Rf表示可具有醚性氧原子的碳数1～20的氢原子中的至少1个被氟原子取代了的烷基或者氟原子；
-(SiR1R2O)n-SiR1R2R3    (2)
式(2)中，R1、R2分别独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基，R3表示氢原子或碳数1～10的有机基团，n表示1～200的整数。
<6>如上述<1>～<5>中的任一项所述的制造方法，其特征在于，光学元件是彩色滤光片。
<7>如上述<1>～<5>中的任一项所述的制造方法，其特征在于，光学元件是有机EL元件。
利用本发明的制造方法，可容易地修正间隔壁的缺陷，经修正的间隔壁处也具有拒液性，因此可防止通过喷墨法涂布油墨时相邻的像素间的油墨的混色。此外，利用本发明的制造方法，可制成不会对液晶面板或有机EL等显示器的驱动造成不良影响的光学元件。
附图的简单说明
图1是模式地表示本发明的光学元件的制造方法的一部分的工序图。
实施发明的最佳方式
以下，进一步详细说明本发明。还有，本说明书中，只要没有特别说明，％表示质量％。(甲基)丙烯酰基作为表示丙烯酰基和甲基丙烯酰基这两者的统称使用。(甲基)丙烯酸酯作为表示丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯这两者的统称使用。(甲基)丙烯酸作为表示丙烯酸和甲基丙烯酸这两者的统称使用。(甲基)丙烯酰胺作为表示丙烯酰胺和甲基丙烯酰胺这两者的统称使用。(甲基)烯丙基作为表示烯丙基和甲基烯丙基这两者的统称使用。将以通式(1)表示的基团称为基团(1)。其它基团也同样。将以式(11)表示的单体称为单体(11)。其它单体也同样。
<间隔壁修正液>
本发明的间隔壁修正液包含感光性组合物(X)，该感光性组合物(X)包含聚合物(a)，该聚合物(a)具有含基团(1)或基团(2)的侧链和含乙烯性双键的侧链。
(聚合物(a))
本发明的聚合物(a)中的含基团(1)或基团(2)的侧链可以通过聚合反应直接形成，也可以通过聚合反应后的化学转化而形成。此外，含乙烯性双键的侧链可以通过聚合反应后的化学转化而形成。
式(1)中的Rf为可具有醚性氧原子的碳数20以下的氢原子中的至少1个被氟原子取代了的烷基时，所述烷基中的氢原子可以被除氟原子以外的其它卤素原子取代。作为其它卤素原子，较好是氯原子。此外，醚性氧原子可以存在于该烷基的碳-碳键之间，也可以存在于该烷基的末端。此外，该烷基的结构可以例举直链结构、分支结构、环结构或部分具有环的结构，较好是直链结构。
作为基团(1)的具体例子，可以例举以下的基团：
-CF3、-CF2CF3、-CF2CHF2、-(CF2)2CF3、-(CF2)3CF3、-(CF2)4CF3、-(CF2)5CF3、-(CF2)6CF3、-(CF2)7CF3、-(CF2)8CF3、-(CF2)9CF3、-(CF2)11CF3、-(CF2)15CF3、-CF(CF3)O(CF2)5CF3、
-CF2O(CF2CF2O)pCF3(p为1～8的整数)、
-CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)qC6F13(q为1～4的整数)、
-CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)rC3F7(r为1～5的整数)。
作为基团(1)，较好是全氟烷基或含1个氢原子的多氟烷基，特别好是全氟烷基，其中，所述烷基包括具有醚性氧原子的烷基。藉此，用感光性组合物(X)进行了修正的间隔壁的拒液性变得很好。此外，基团(1)的总碳数较好是4～6。此时可赋予间隔壁以足够的拒液性。此外，聚合物(a)和构成感光性组合物(X)的其它成分的相容性良好，在涂布感光性组合物(X)而形成涂膜时，聚合物(a)不会彼此凝集，修正部位容易成为平滑的表面。
式(2)中，各硅氧烷单元中的R1、R2可以相同或不同。从感光性组合物(X)的制膜性的角度来看，R1、R2较好是独立地为氢原子、碳数1～10的烷基、环烷基或芳基，更好是氢原子、甲基或苯基，特别好是所有的硅氧烷单元的R1、R2都为甲基。此外，R3为有机基团时，可以包含氮原子、氧原子等，R3较好是氢原子或碳数1～5的烃基。n较好是1～100的整数，更好是2～80的整数。
作为乙烯性双键，可以例举例如(甲基)丙烯酰基、烯丙基、乙烯基、乙烯基醚基等加成聚合性的不饱和基团等。这些基团的氢原子的部分或全部可被烃基取代。作为烃基，较好是甲基。
聚合物(a)可以如下制造：将包括具有基团(1)的单体(a1)或具有基团(2)的单体(a2)和具有反应性基团的单体(a3)的2种以上的单体共聚，再使所得的共聚物和具有可与所述反应性基团结合的官能团及乙烯性双键的化合物(z1)反应。
作为具有基团(1)的单体(a1)，较好是以下述式(11)表示的单体。
CH2＝CR4COO-Y-CFXRf      (11)
式(11)中，R4表示氢原子、氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、甲基或三氟甲基，Y表示单键或者碳数1～6的不含氟原子的2价有机基团，Rf表示可具有醚性氧原子的碳数20以下的氢原子中的至少1个被氟原子取代了的烷基或者氟原子。单体(11)中，-CFXRf的优选形式与基团(1)中所述的形式相同。单体(11)中，从获得的难易程度考虑，Y较好是碳数2～4的亚烷基。
作为单体(11)的例子，可以例举以下的单体：
CH2＝CR4COOR5CFXRf
CH2＝CR4COOR5NR6SO2CFXRf
CH2＝CR4COOR5NR6COCFXRf
CH2＝CR4COOCH2CH(OH)R7CFXRf
在这里，R4表示氢原子、氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、甲基或三氟甲基，R5表示碳数1～6的亚烷基，R6表示氢原子或甲基，R7表示单键或者碳数1～4的亚烷基，Rf表示与上述相同的含义。
作为R5的具体例子，可以例举-CH2-、-CH2CH2-、-CH(CH3)-、-CH2CH2CH2-、-C(CH3)2-、-CH(CH2CH3)-、-CH2CH2CH2CH2-、-CH(CH2CH2CH3)-、-CH2(CH2)3CH2-、-CH(CH2CH(CH3)2)-等。
作为R7的具体例子，可以例举-CH2-、-CH2CH2-、-CH(CH3)-、-CH2CH2CH2-、-C(CH3)2-、-CH(CH2CH3)-、-CH2CH2CH2CH2-、-CH(CH2CH2CH3)-等。
作为单体(11)的具体例子，可以例举(甲基)丙烯酸-2-(全氟己基)乙酯、(甲基)丙烯酸-2-(全氟丁基)乙酯等。单体(11)可以使用1种，也可以并用2种以上。
作为具有基团(2)的单体(a2)，较好是下述单体(21)。
CH2＝CR8COO-Z-(SiR1R2O)n-SiR1R2R3    (21)
式(21)中，R8表示氢原子或甲基，Z表示单键或碳数1～6的2价有机基团，R1、R2独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基，R3表示氢原子或碳数1～10的有机基团，n表示1～200的整数。单体(21)中，R1、R2、R3、n的优选形式与基团(2)中所述的形式相同。
Z较好是碳数1～6的2价烃基。作为具体例子，可以例举下述基团：
-CH2-、-CH2CH2-、-CH(CH3)-、-CH2CH2CH2-、-CH(CH3)2-、-CH(CH2CH3)-、-CH2CH2CH2CH2-、-CH(CH2CH2CH3)-、-CH2(CH2)3CH2-、-CH(CH2CH(CH3)2)-等。
单体(21)可以使用1种，也可以并用2种以上。
作为具有反应性基团的单体(a3)，可以例举具有羟基的单体、具有乙烯性双键的酸酐单体、具有羧基的单体、具有环氧基的单体等。还有，单体(a3)较好是实质上不含基团(1)和基团(2)。
共聚后的单体(a3)所具有的反应性基团通过和具有可与该反应性基团结合的官能团及乙烯性双键的化合物(z1)反应，形成具有含乙烯性双键的侧链的聚合物(a)。
作为具有羟基的单体的具体例子，可以例举(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸-3-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸-5-羟基戊酯、(甲基)丙烯酸-6-羟基己酯、(甲基)丙烯酸-4-羟基环己酯、单(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、(甲基)丙烯酸-3-氯-2-羟基丙酯、单(甲基)丙烯酸丙三醇酯、2-羟基乙基乙烯基醚、4-羟基丁基乙烯基醚、环己二醇单乙烯基醚、2-羟基乙基烯丙基醚、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N，N-双(羟甲基)(甲基)丙烯酰胺等。
另外，作为具有羟基的单体，可以是具有末端为羟基的聚氧化烯链的单体。例如，可以例举CH2＝CHOCH2C6H10CH2O(C2H4O)kH(在这里，k为1～100的整数，下同)、CH2＝CHOC4H8O(C2H4O)kH、CH2＝CHCOOC2H4O(C2H4O)kH、CH2＝C(CH3)COOC2H4O(C2H4O)kH、CH2＝CHCOOC2H4O(C2H4O)m(C3H6O)jH(在这里，m为0～100的整数，j为1～100的整数，m+j为1～100，下同)、CH2＝C(CH3)COOC2H4O(C2H4O)m(C3H6O)jH等。
作为具有乙烯性双键的酸酐单体的具体例子，可以例举马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐、甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐、3，4，5，6-四氢邻苯二酸酐、顺-1，2，3，6-四氢邻苯二酸酐、2-丁烯-1-基琥珀酸酐等。
作为具有羧基的单体的具体例子，可以例举丙烯酸、甲基丙烯酸、乙烯基乙酸、丁烯酸、衣康酸、马来酸、富马酸、肉桂酸或它们的盐。
作为具有环氧基的单体的具体例子，可以例举(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-3，4-环氧环己基甲酯。
本发明中的用于聚合的单体可以包含除具有基团(1)的单体(a1)、具有基团(2)的单体(a2)和具有反应性基团的单体(a3)以外的其它单体(a4)。
作为其它单体(a4)，可以例举烃系烯烃类、乙烯基醚类、异丙烯基醚类、烯丙基醚类、乙烯基酯类、烯丙基酯类、(甲基)丙烯酸酯类、(甲基)丙烯酰胺类、芳族乙烯基化合物、氯代烯烃类、共轭二烯类。这些化合物中可以包含官能团，官能团可以例举例如羰基、烷氧基等。
通过使可通过常规的聚合方法将上述单体聚合而得的共聚物和具有可与反应性基团结合的官能团及乙烯性双键的化合物(z 1)反应，可以得到聚合物(a)。
作为对应于反应性基团的和具有可与该反应性基团结合的官能团及乙烯性双键的化合物(z1)的组合，例如可例举以下的组合。
(1)对于羟基，含乙烯性双键的酸酐；
(2)对于羟基，含异氰酸酯基及乙烯性双键的化合物；
(3)对于羟基，含酰氯基及乙烯性双键的化合物；
(4)对于酸酐，含羟基及乙烯性双键的化合物；
(5)对于羧基，含环氧基及乙烯性双键的化合物；
(6)对于环氧基，含羧基及乙烯性双键的化合物。
作为具有乙烯性双键的酸酐的具体例子，可以例举前述的例子。
作为具有异氰酸酯基及乙烯性双键的化合物的具体例子，可以例举2-(甲基)丙烯酰氧基乙基异氰酸酯、1，1-双((甲基)丙烯酰氧基甲基)乙基异氰酸酯。
作为具有酰氯基及乙烯性双键的化合物的具体例子，可以例举(甲基)丙烯酰氯。
作为具有羟基及乙烯性双键的化合物的具体例子，可以例举前述的具有羟基的单体的例子。
作为具有环氧基及乙烯性双键的化合物的具体例子，可以例举前述的具有环氧基的单体的例子。
作为具有羧基及乙烯性双键的化合物的具体例子，可以例举前述的具有羧基的单体的例子。
作为上述的组合，特别好是对于羟基，使用1，1-双((甲基)丙烯酰氧基甲基)乙基异氰酸酯。这是因为聚合物(a)具有每1条侧链中含2个以上的乙烯性双键的侧链，聚合物(a)向间隔壁表面的固定化良好。
相对于进行共聚的单体的总质量的各单体的优选比例如下所述。
使用具有基团(1)的单体(a1)时，其比例较好为20～80质量％，更好为30～60质量％。
使用具有基团(2)的单体(a2)时，其比例较好为0.01～20质量％，更好为0.05～10质量％。
基团(1)或基团(2)该比例越高，则本发明的聚合物(a)的降低所形成的间隔壁的表面张力的效果越好，赋予间隔壁以高拒液性。另一方面，如果该比例过高，则与构成感光性组合物(X)的其它成分的相容性下降，可能无法获得平滑的表面。
具有反应性基团的单体(a3)的比例较好为20～70质量％，更好为30～50质量％。如果在该范围内，则聚合物(a)向间隔壁的固定化趋好。
共聚物和化合物(z1)按照[化合物(z1)的官能团]/[共聚物的反应性基团]的当量比值达到0.5～2.0的条件加料。当量比越高，则聚合物(a)向间隔壁的固定化越好。另一方面，如果当量比过高，则作为未反应的化合物(z1)的杂质增加，感光性组合物(X)的贮藏稳定性下降。更好是0.8～1.5。
聚合物(a)具有基团(1)时，聚合物(a)的氟原子的含有率较好是5～50质量％。含有率越高，则聚合物(a)的降低间隔壁的表面张力的效果越好，赋予间隔壁以高拒液性。另一方面，如果含有率过高，则与构成感光性组合物(X)的其它材料的相容性下降，涂膜的外观可能会劣化。聚合物(a)中的氟原子含有率的下限更好是10质量％，上限更好是30质量％。
聚合物(a)具有基团(2)时，聚合物(a)的硅原子的含有率较好是0.5～30质量％。含有率越高，则聚合物(a)的降低间隔壁的表面张力的效果越好，赋予间隔壁以高拒液性。另一方面，如果含有率过高，则与构成感光性组合物(X)的其它材料的相容性下降，涂膜的外观可能会劣化。聚合物(a)中的硅原子含有率的下限更好是0.5质量％，上限更好是10质量％。
聚合物(a)优选分子内具有2～100个的乙烯性双键。更好是6～50个。如果在该范围内，则聚合物(a)向间隔壁的固定化趋好。
聚合物(a)的重均分子量较好为500以上且不足100000，更好为1000以上且不足50000。如果分子量过小，则间隔壁的拒液性不易显现出来，除非增加聚合物(a)的含量；如果分子量过大，则与构成感光性组合物(X)的其它材料的相容性可能会下降。
感光性组合物(X)的全部固体成分中的聚合物(a)的比例较好为0.01～30质量％。如果该比例高，则降低所形成的间隔壁的表面张力的效果良好，赋予间隔壁以高拒液性。另一方面，如果该比例过高，则与构成感光性组合物(X)的其它材料的相容性下降，涂膜的外观可能会劣化。感光性组合物(X)的全部固体成分中的聚合物(a)的比例的下限更好是0.15质量％，上限更好是20质量％。还有，本说明书中，感光性组合物(X)的全部固体成分是指于150℃对感光性组合物(X)加热、重量变化达到每分钟不足0.1％时的残存成分。
较好是聚合物(a)的氟含量为5～50质量％，聚合物(a)在感光性组合物(X)的全部固体成分中所占的比例为0.01～30质量％。
本发明的聚合物(a)可以1分子内同时具有含基团(1)的侧链和含基团(2)的侧链。此外，本发明的感光性树脂组合物(X)可以同时包含具有含基团(1)的侧链的聚合物(a)和具有含基团(2)的侧链的聚合物(a)。这些情况下，感光性树脂组合物特别是可以同时发挥高拒液性和高油墨坠落性。
(自由基交联剂(b))
本发明的感光性组合物(X)较好是包含具有2个以上乙烯性双键的自由基交联剂(b)。藉此，感光性组合物(X)的光固化性提高，可赋予经修正的间隔壁以可耐受之后的油墨的涂布工艺的足够的耐化学品性。
作为自由基交联剂(b)的具体例子，可以例举二(甲基)丙烯酸二甘醇酯、二(甲基)丙烯酸四甘醇酯、二(甲基)丙烯酸三丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸1，9-壬二醇酯、三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙烷酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸二(三羟甲基)丙烷酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、氨酯丙烯酸酯等。它们可以使用1种，也可以并用2种以上。
感光性组合物(X)的全部固体成分中的自由基交联剂(b)的比例较好是40～80质量％，更好是50～70质量％。如果在该范围内，则经修正的间隔壁的耐化学品性良好。
(光聚合引发剂(c))
本发明的感光性组合物(X)较好是包含光聚合引发剂(c)。光聚合引发剂(c)较好是由通过光产生自由基的化合物形成。
作为光聚合引发剂(c)，可例举苯偶酰、丁二酮、甲基苯基乙醛酸酯、9，10-菲醌等α-二酮类，苯偶姻等偶姻类，苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚等偶姻醚类，噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2，4-二甲基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮、2，4-二氯噻吨酮、2，4-二异丙基噻吨酮、噻吨酮-4-磺酸等噻吨酮类，二苯酮、4，4’-双(二甲氨基)二苯酮、4，4’-双(二乙氨基)二苯酮等二苯酮类，乙酰苯、2-(4-甲苯磺酰氧基)-2-苯基乙酰苯、对二甲氨基乙酰苯、2，2’-二甲氧基-2-苯基乙酰苯、对甲氧基乙酰苯、2-甲基-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基-1-丙酮、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁-1-酮等乙酰苯类，蒽醌、2-乙基蒽醌、樟脑醌、1，4-萘醌等醌类，2-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸(正丁氧基)乙酯、4-二甲氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲氨基苯甲酸2-乙基己酯等氨基苯甲酸类，苯甲酰甲基氯、三卤代甲基苯基砜等卤素化合物，酰基氧化膦类，过氧化二叔丁基等过氧化物，1，2-辛二酮，1-[4-(苯基硫代)-，2-(O-苯甲酰肟)]、乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)等肟酯类等。特别好是1-[4-(苯基硫代)-，2-(O-苯甲酰肟)]、乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)等肟酯类等。
这些光聚合引发剂可以使用1种，也可以2种以上组合使用。尤其，上述氨基苯甲酸类、上述二苯酮类等有时可与其它光自由基发生剂一起使用，发挥敏化效果。此外，三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺、正丁胺、N-甲基二乙醇胺、甲基丙烯酸二乙氨基乙酯等脂肪族胺类也同样，有时可与其它光自由基发生剂一起使用，发挥敏化效果。
感光性组合物(X)的全部固体成分中的光聚合引发剂(c)的比例较好是0.1～50质量％，更好是0.5～30质量％。如果在该范围内，则感光性组合物(X)的灵敏度良好。
(遮光性粒子(d))
本发明的感光性组合物(X)较好是包含遮光性粒子(d)。藉此可赋予间隔壁以遮光性。
作为遮光性粒子，可以例举例如炭黑、苯胺黑、蒽醌类黑色颜料、苝类黑色颜料等。具体而言，可使用C.I.颜料黑1、6、7、12、20、31等。为了得到黑色，也可以使用红色颜料、蓝色颜料、绿色颜料等有机颜料或无机颜料的混合物。从价格、遮光性的强弱来看，较好是炭黑，炭黑可以通过树脂等进行表面处理。此外，为了调整色调，可以并用蓝色颜料或紫色颜料。
作为炭黑，从黑色矩阵的形状的角度来看，较好是由BET法测得的比表面积为50～200m2/g、更好是60～180m2/g的炭黑。这是因为使用比表面积不足50m2/g的炭黑时会引起黑色矩阵形状的劣化，使用比表面积大于200m2/g的炭黑时炭黑中会过度吸附分散助剂，为了发挥各种物性而需要掺入大量的分散助剂。
此外，作为炭黑，从灵敏度的角度来看，邻苯二甲酸二丁酯的吸油量较好是在120cc/100g以下，越少越好。
还有，炭黑的平均一次粒径较好为20～50nm，更好为25～45nm。这是因为如果平均一次粒径过小，则可能很难使其高浓度地分散，难以获得经时稳定性良好的感光性黑色组合物；如果平均一次粒径过大，则可能会导致黑色矩阵的形状劣化。
作为红色颜料，例如可以使用C.I.颜料红7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、246、254、255、264、272、279等。
作为蓝色颜料，例如可以使用C.I.颜料蓝15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、80等。
作为绿色颜料，例如可以使用C.I.颜料绿7、36等。
感光性组合物(X)的全部固体成分中的遮光性粒子(d)的比例较好是15～50质量％，更好是20～40质量％。如果比例过少，则无法获得所要的遮光性，如果过多，则可能会导致灵敏度下降。
(其它成分)
感光性组合物(X)较好是包含热固化剂。作为热固化剂，可以例举例如氨基树脂、具有2个以上的环氧基的化合物、具有2个以上的肼基的化合物、聚碳二亚胺化合物、具有2个以上的
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唑啉基的化合物、具有2个以上的氮丙啶基的化合物、多价金属类、具有2个以上的巯基的化合物、多异氰酸酯化合物等。
感光性组合物(X)较好是根据需要包含硅烷偶联剂。作为硅烷偶联剂的具体例子，可以例举四乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、甲基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、十七氟辛基乙基三甲氧基硅烷、含聚氧化烯链的三乙氧基硅烷、咪唑硅烷等。它们可以使用1种，也可以并用2种以上。
为了根据需要提高感光性组合物(X)的贮藏稳定性，感光性组合物(X)较好是包含阻聚剂。作为阻聚剂无特别限定，可使用二苯代苦味酰肼、三对硝基苯基甲基，对苯醌、对叔丁基儿茶酚、苦味酸、氯化铜、甲基氢醌、氢醌单甲醚(methoquinone)、叔丁基氢醌等反应的阻聚剂。其中，从保存稳定性的角度来看，较好是氢醌类阻聚剂，特别好是使用甲基氢醌。
阻聚剂的掺入量较好是感光性组合物(X)的全部固体成分中的0.01质量％～3质量％，更好是0.01质量％～1质量％。
感光性组合物(X)可以根据需要包含固化促进剂、增稠剂、增塑剂、消泡剂、均化剂、防凹陷剂、紫外线吸收剂等。
本发明的间隔壁修正液较好是在感光性组合物(X)中添加溶剂而得的液体。本发明的感光性组合物(X)实质上不含溶剂。此外，本说明书中，溶剂不具有反应性。作为溶剂的具体例子，可以例举例如甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇等醇类溶剂，甲氧基醇、乙氧基醇等溶纤剂类溶剂，甲氧基乙氧基乙醇、乙氧基乙氧基乙醇等卡必醇类溶剂，乙酸乙酯、乙酸丁酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、乳酸乙酯等酯类溶剂，丙酮、甲基异丁基酮、环己酮等酮类溶剂，乙酸甲氧基乙酯、乙酸乙氧基乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯等溶纤剂乙酸酯类溶剂，乙酸甲氧基乙氧基乙酯、乙酸乙氧基乙氧基乙酯等卡必醇乙酸酯类溶剂，乙醚、乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、四氢呋喃等醚类溶剂，N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等非质子性酰胺溶剂，γ-丁内酯等内酯类溶剂，苯、甲苯、二甲苯、萘等不饱和烃类溶剂，正庚烷、正己烷、正辛烷等饱和烃类溶剂等非水类有机溶剂。更好是溶纤剂乙酸酯类溶剂，卡必醇乙酸酯类溶剂，醚类溶剂，酯类溶剂。特别好是PGMEA(丙二醇单甲醚乙酸酯、乙酸甲氧基丙酯、CH3OCH2CH(CH3)OCOCH3)、MBA(乙酸-3-甲氧基丁酯、CH3CH(OCH3)CH2CH2OCOCH3)、DMDG(二乙二醇二甲醚、H3COC2H4OCH3)或它们的混合物。
间隔壁修正液既可以是在感光性组合物(X)中添加溶剂而得的液体，也可以是未在感光性组合物(X)中添加溶剂的液体，其粘度较好为15～300mPa·sec，更好为30～150mPa·sec，特别好为55～90mPa·sec。如果粘度过低，则涂布包含感光性组合物(X)的间隔壁修正液时斑点会渗透扩散，难以获得所要的膜厚。如果粘度过高，则所涂布的斑点的膜厚增大，斑点上表面变得不平整，存在产生突起且突起高度增大的倾向。
由感光性组合物(X)形成的固化膜与水的接触角较好是在90度以上，更好是在95度以上。此外，与二甲苯的接触角较好为35度以上，更好为40度以上。
<光学元件的制造方法>
本发明的光学元件的制造方法依次包括：在透明基材上形成具有拒液性的间隔壁的工序[1]；检出间隔壁的缺陷部的工序[2]；将位于缺陷部周围的间隔壁的一部分除去的工序[3]；在除去了间隔壁的部位涂布包含下述感光性组合物(X)的间隔壁修正液，并且使感光性组合物(X)固化的工序[4]；以及在由间隔壁划分出的像素区域内通过喷墨法涂布油墨，形成像素的工序[5]。
图1是模式地表示本发明的光学元件的制造方法的一部分的工序图。图1[I]～[V]中，纸面左侧的图是从上方观察到的俯视示意图，纸面右侧的图是左侧的图的A-B剖面示意图。
图1[I]是表示在基板1上形成有间隔壁2且存在缺陷部3的状态的图。
图1[II]是表示将位于[I]中的缺陷部3周围的间隔壁的一部分除去后的状态的图。
图1[III]是表示用液体供给单元5涂布间隔壁修正液4的状态的图。
图1[IV]是表示间隔壁修正液4固化而形成了固化部位6的状态的图。
图1[V]是表示将固化部位6中向像素区域侧鼓出的不需要的部分除去后的状态的图。
以下，利用图1来具体说明本发明的制造方法。
(在基材上形成具有拒液性的间隔壁的工序[1])
作为形成具有拒液性的间隔壁2的方法，可以例举用可形成拒液性固化物的感光性组合物通过光刻法来形成具有拒液性的间隔壁2的方法(国际公开第2004/042474号文本等中记载的方法)；用感光性组合物通过光刻法形成间隔壁后，用氟化合物作为引入气体对间隔壁照射等离子体，藉此使间隔壁的表面拒液化，从而形成具有拒液性的间隔壁2的方法(日本专利特开2000-353594等中记载的方法)。前者的方法不需要高价的等离子体照射装置，且可形成具有高拒液性的间隔壁，因此优选。
作为可形成拒液性固化物的感光性组合物，较好是包含含氟化合物或含硅化合物、碱溶性感光性树脂、光聚合引发剂的负型感光性组合物。
作为含氟化合物或含硅化合物，较好是上述间隔壁修正液所包含的具有含基团(1)或基团(2)的侧链和含乙烯性双键的侧链的聚合物(a)。这是因为可形成具有高拒液性的间隔壁。
作为碱溶性感光树脂，可以例举例如作为具有乙烯性双键的单体的共聚物的具备具有酸性基团的侧链和具有乙烯性双键的侧链的聚合物、在环氧树脂中引入乙烯性双键和酸性基团而得的树脂。
作为光聚合引发剂，较好是上述间隔壁修正液所包含的光聚合引发剂(c)。
负型感光性组合物可以包含上述间隔壁修正液中所述的遮光性粒子、自由基交联剂、热固化剂、硅烷偶联剂等。负型感光性组合物包含遮光性粒子时，可赋予所形成的间隔壁以遮光性。
作为形成有间隔壁的像素的基材1，对其材质无特别限定，可以例举例如以下的材质：各种玻璃板，聚酯(聚对苯二甲酸乙二酯等)、聚烯烃(聚乙烯、聚丙烯等)、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚砜、聚酰亚胺、聚(甲基)丙烯酸类树脂等的热塑性塑料片，环氧树脂、不饱和聚酯等的热固性树脂的固化片等。尤其，从耐热性的角度来看，优选使用玻璃板或耐热性塑料。基材较好是透明基板。
此外，也可以使用形成有金属黑色矩阵或树脂黑色矩阵等黑色矩阵的基板。该情况下，较好是在黑色矩阵上形成间隔壁。
此外，也可以使用形成有氧化铟锡(ITO)等的透明电极或者铬或钼等的金属布线的基板。
具有拒液性的间隔壁如果不产生缺口等缺陷，则向由间隔壁围成的像素区域内涂布油墨时，可防止油墨鼓出至像素区域外。
所形成的间隔壁具有遮光性时，可赋予间隔壁作为黑色矩阵的功能。
间隔壁2的线宽的平均值较好是在100μm以下，更好是在40μm以下，特别好是在20μm以下。间隔壁2的线宽的平均值较好是在10μm以上。间隔壁2的高度的平均值较好是0.05～50μm，更好是0.2～10μm，特别好是0.5～3μm。
间隔壁2的形状没有特别限定，可以是倒锥形、矩形、正锥形中的任一种形状。由间隔壁2的侧壁和间隔壁2的底面形成的圆锥角较好是30°～150°。圆锥角过小或过大时，对比度都可能会下降。
由间隔壁2划分出的像素区域的宽度的平均值较好是在300μm以下，更好是在100μm以下。单个像素点的尺寸(面积)较好是5000μm2～150000μm2，更好是10000μm2～120000μm2，特别好是15000μm2～100000μm2。如果像素点的尺寸过小，则可能难以通过喷墨法使油墨喷入所需的像素点。另一方面，如果像素点的尺寸过大，则喷入的油墨可能不易在像素点内均匀地浸润扩散。
(检出间隔壁的缺陷部的工序[2])
作为检出间隔壁2的缺陷部3的方法，可以例举例如用CCD相机拍摄间隔壁2，将其与预先准备好的标准图案比较，从而识别缺陷的方法；用CCD相机拍摄间隔壁2，将输入的信号和与图案间隔相对应地发生了延迟的信号进行比较，从而检出规则的图案以外的数据作为缺陷的方法等。
(将位于缺陷部周围的间隔壁的一部分除去的工序[3])
在检出的间隔壁2的缺陷部3处，基板1的暴露表面的面积小，难以涂布间隔壁修正液4。因此，将位于缺陷部3周围的间隔壁2的一部分除去，扩大基板1的暴露表面的面积。为获得下一工序中的间隔壁修正液4容易涂布的状态，具体而言，较好是在间隔壁2的线条长度方向上除去50μm的量。
作为除去缺陷部3的间隔壁2的方法，可以例举例如用针进行刮擦的方法，照射激光的方法等。因为可进行更微细的加工，所以优选照射激光的方法。作为激光，较好是脉冲波的532nm或355nm的光。
(在除去了间隔壁的部位涂布包含下述感光性组合物(X)的间隔壁修正液，并且使感光性组合物(X)固化的工序[4])
作为涂布间隔壁修正液4的方法无特别限定，较好是如图1[III]所示用液体供给单元5涂布间隔壁修正液4。具体而言，因为可应对微小的修正点，所以较好是如日本专利特开平8-182949号公报所揭示的使间隔壁修正液4附着于针状构件，然后将其涂布于除去了间隔壁2的部位的方法；如日本专利特开2007-30144号公报所揭示的用内部填充有间隔壁修正液4的细长的针管吐出间隔壁修正液4，将其涂布于除去了间隔壁2的部位的方法。使用针状构件时，可以反复涂布间隔壁修正液4，直至得到所要的膜厚为止。
作为上述针状构件，如果使用附着间隔壁修正液4的一侧的前端部分被加工成平面状的针状构件，则可防止由前端部分的接触导致的间隔壁2的损伤。如果改变针状构件的前端部分的直径，则可应对各种大小的间隔壁2的缺陷。
涂布间隔壁修正液4后，间隔壁修正液4不含溶剂时无需进行干燥，即使间隔壁修正液4含有溶剂，溶剂也会自然挥发。采用干燥操作时，实施风干、加热干燥、真空干燥等即可。加热干燥时，较好是使用加热炉、加热板等在50～300℃的范围内进行1分钟～3小时。此外，间隔壁2的修正中，多数情况下会要求局部且短时间的干燥，因此使用红外线点加热器等仅对修正部位加热来进行干燥的方法也是优选的。
作为使间隔壁修正液4固化的方法无特别限定，较好是通过紫外线照射使其固化。特别是如果使用发出连续波的355nm的紫外线的激光光源，则其发光照度高，因此可照射足以在短时间内使修正液固化的能量，此外，因为可以只照射修正部位，所以生产性高。
使间隔壁修正液4固化时，其大小可能会如图1[IV]所示达到原本所需的间隔壁2的线宽以上，固化部位6可能会向像素区域侧鼓出。此时，较好是将固化部位6中向像素区域侧鼓出的不需要的部分除去。作为除去不需要的部分的方法，较好是照射上述的脉冲波的532nm或355nm的激光。
(在由间隔壁划分出的像素区域内通过喷墨法涂布油墨，形成像素的工序[5])
作为所用喷墨装置，根据油墨吐出方式，可以例举压电方式和热发泡方式，较好是使用压电方式的装置。这是因为热发泡方式的情况下，由于吐出油墨时进行加热，因此油墨可能会因该热量而变性，但压电方式的情况下，油墨不被加热。所吐出的油墨的液滴较好是5～500pL。如果液滴过小，则可能会发生溶剂在油墨飞行途中蒸发或喷射精度受到微小气流的影响而下降的情况。如果液滴过大，则可能会难以获得微小的像素。
接着，通过对油墨的涂膜进行真空干燥或加热干燥而使溶剂挥发。此外，为了在不发生油墨层的外观的不均的情况下高效地进行干燥，更好是并用真空干燥和加热干燥。干燥条件根据各成分的种类、配比等而不同，优选在如下的较宽的范围内进行：真空干燥为500～10Pa(表压)、10～300秒左右，加热干燥为50～120℃、10～2000秒左右。所用的油墨的溶剂的沸点低的情况下，不一定进行真空干燥或加热干燥，在室温下静置10～2000秒左右即可。
然后，可以通过加热板、加热炉等加热装置进行优选为150～250℃、5～90分钟的加热处理。通过进行加热处理，油墨包含热固性的成分时，可以促进其固化反应，赋予油墨层以实际使用所需的耐化学品性和耐热性。
(彩色滤光片的制造方法)
接着，对光学元件为彩色滤光片时的本发明的制造方法进行说明。
形成具有作为黑色矩阵的功能的遮光性间隔壁并进行修正后，通过喷墨法向由间隔壁划分出的像素区域内涂布红色、绿色和蓝色的彩色油墨，从而形成像素。此外，使用预先形成有黑色矩阵的基板，在该黑色矩阵上形成间隔壁并进行修正后，通过喷墨法向由间隔壁划分出的像素区域内分别涂布红色、绿色和蓝色的彩色油墨，从而形成像素。
所形成的像素的形状可以采用条纹型、马赛克型、三角型、4像素配置型等公知的任一种排列。
红色、绿色和蓝色的彩色油墨主要包含着色成分、粘合剂树脂成分和溶剂。作为着色成分，优选使用耐热性、耐光性等良好的颜料或染料。作为粘合剂树脂成分，优选透明且耐热性良好的树脂，可例举丙烯酸树脂、三聚氰胺树脂、聚氨酯树脂等。油墨为水性的情况下，溶剂由水及根据需要使用的水溶性有机溶剂形成，作为粘合剂树脂成分含有水溶性树脂或水分散性树脂，根据需要含有各种助剂。油墨为油性的情况下，溶剂为有机溶剂，作为粘合剂树脂成分含有可溶于有机溶剂的树脂，根据需要含有各种助剂。
另外，为了实现用彩色滤光片制造的液晶面板的高品质化，较好是根据需要在在黑色矩阵上形成感光性间隔物(photo-spacer)。
(有机EL元件的制造方法)
接着，对光学元件为有机EL显示元件时的本发明的制造方法进行说明。
首先，在玻璃等的透明基材上通过溅射法等制成氧化铟锡(ITO)等的透明电极的膜，根据需要将透明电极蚀刻成所需的图案。接着形成间隔壁并进行修正。然后，通过喷墨法在由间隔壁划分出的像素区域内依次涂布空穴传输材料、发光材料的溶液，干燥，形成空穴传输层、发光层。
作为空穴传输材料，可以使用例如噻吩类导电性高分子(PEDOT/PSS)的涂布液。
此外，作为发光材料，可以使用π共轭聚合物类发光材料和含染料的聚合物类发光材料。作为π共轭聚合物类发光材料，可以例举聚芴(PF)电介质(红色、绿色和蓝色)、螺旋聚合物(Poly-Spiro)电介质(红色、绿色和蓝色)、对聚苯电介质或聚噻吩电介质等。作为含染料的聚合物类发光材料，可例举染料分散PVK(红色、绿色和蓝色)等，该染料分散PVK(红色、绿色和蓝色)等是在聚乙烯咔唑(PVK)中分散磷光或荧光的低分子染料而得的发光材料。
作为溶剂，空穴传输材料的溶剂较好是使用水等高极性的溶剂，发光材料的溶剂较好是使用二甲苯等低极性的溶剂。
然后，通过蒸镀法等形成铝等的电极，从而得到有机EL显示元件的像素。
实施例
以下，示例合成例和实施例，对本发明进行具体说明，但本发明并不受其限定。还有，下文中，只要没有特别说明，份和％为质量基准。
重均分子量为通过凝胶渗透色谱法以聚苯乙烯为标准物质测定的值。
聚合物所含的氟原子的含有率通过以下的方法测定。使得到的聚合物在1200℃完全燃烧分解，将产生的气体吸收于50g水中。对得到的水溶液的氟化物离子量进行定量，算出聚合物所含的氟原子的含有率。
1分子中的乙烯性双键的数量为根据作为原料的单体的配比算出的理论值。
以下的各例中使用的化合物的缩写如下所示。
C6FMA：CH2＝C(CH3)COOCH2CH2(CF2)6F，
X-174DX：含二甲基硅氧烷链的甲基丙烯酸酯(信越化学工业株式会社(信越化学工業社)制，商品名：X-22-174DX)，
MAA：甲基丙烯酸，
2HEMA：甲基丙烯酸-2-羟基乙酯，
MMA：甲基丙烯酸甲酯，
IBMA：甲基丙烯酸异冰片酯，
2ME：2-巯基乙醇，
V70：2，2’-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)(和光纯药工业株式会社(和光純薬社)制，商品名：V-70)，
MOI：2-甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯，
DBTDL：二月桂酸二丁锡，
BHT：2，6-二叔丁基对甲酚，
ZCR-1569H：联苯型环氧丙烯酸酯(日本化药株式会社(日本化薬社)制，商品名：ZCR1569H，固体成分70质量％)，
IR369：自由基引发剂(汽巴精化公司(チバスペシヤルテイケミカルズ社)制，商品名：IRGACURE-369)，
OXE02：乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)(汽巴精化公司制，商品名：OXE02)，
DETX-S：异丙基噻吨酮(日本化药株式会社制，商品名：DETX-S)，
D310：五丙烯酸二季戊四醇酯(日本化药株式会社制，商品名：KAYARADD-310)，
A9300：(新中村化学工业株式会社(新中村化学工業社)制，商品名A9300)，
157S65：双酚A线型酚醛清漆型环氧树脂(日本环氧树脂株式会社(ジヤパンエポキシレジン社)制，商品名：EPIKOTE 157S65)，
KBM403：3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化学工业株式会社制，商品名：KBM-403)，
PGMEA：丙二醇单甲醚乙酸酯，
CHON：环己酮，
MBA：乙酸-3-甲氧基丁酯，
CB：炭黑分散液(平均二次粒径＝120nm，丙二醇单甲醚乙酸酯溶液，CB成分20质量％，固体成分25质量％)。
<聚合物(A1)、(A2)和(A3)的合成>
[合成例1]
在具备搅拌机的内容积1L的高压釜中加入丙酮(556g)、C6FMA(96g)、MAA(4.8g)、2-HEMA(96g)、MMA(43.2g)、链转移剂2-ME(6.2g)和聚合引发剂V-70(4.5g)，在氮气气氛下搅拌的同时，使其在40℃聚合18小时，获得聚合物(1)的溶液。向得到的聚合物(1)的丙酮溶液中加水进行再沉淀纯化，再通过石油醚进行再沉淀纯化，真空干燥，获得237g聚合物(1)。聚合物(1)的重均分子量为5600。
[合成例2]
在具备温度计、搅拌机、加热装置的内容量500mL的玻璃制烧瓶中加入聚合物(1)(100g)、MOI(47.7g)、DBTDL(0.19g)、BHT(2.4g)和丙酮(100g)，搅拌的同时使其在30℃聚合18小时，获得聚合物(2)的溶液。向得到的聚合物(2)的丙酮溶液中加水进行再沉淀纯化，再通过石油醚进行再沉淀纯化，真空干燥，获得135g聚合物(2)。重均分子量为8800。
[合成例3]
在具备搅拌机的内容积1L的高压釜中加入丙酮(557g)、C6FMA(120g)、2-HEMA(96g)、MMA(9.6g)、IBMA(38.4g)、链转移剂2-ME(6.5g)和聚合引发剂V-70(3.5g)，在氮气气氛下搅拌的同时，使其在40℃聚合18小时，获得聚合物的溶液。向得到的聚合物的丙酮溶液中加水进行再沉淀纯化，再通过石油醚进行再沉淀纯化，真空干燥，获得230g聚合物。该聚合物的重均分子量为5800。
在具备温度计、搅拌机、加热装置的内容量500mL的玻璃制烧瓶中加入上述聚合物(100g)、MOI(35.8g)、DBTDL(0.14g)、BHT(1.8g)和丙酮(100g)，搅拌的同时使其在30℃聚合18小时，获得聚合物(3)的溶液。向得到的聚合物(3)的丙酮溶液中加水进行再沉淀纯化，再通过石油醚进行再沉淀纯化，真空干燥，获得128g聚合物。重均分子量为8000。
[合成例4]
在具备搅拌机的内容积1L的高压釜中加入丙酮(554g)、X-174DX(12g)、2-HEMA(132g)、MMA(72g)、链转移剂2-ME(2.7g)和聚合引发剂V-70(6.2g)，在氮气气氛下搅拌的同时，使其在40℃聚合18小时，获得聚合物的溶液。向得到的聚合物的丙酮溶液中加水进行再沉淀纯化，再通过石油醚进行再沉淀纯化，真空干燥，获得215g聚合物。该聚合物的重均分子量为13000。
在具备温度计、搅拌机、加热装置的内容量500mL的玻璃制烧瓶中加入上述聚合物(100g)、MOI(65.6g)、DBTDL(0.26g)、BHT(3.3g)和丙酮(100g)，搅拌的同时使其在30℃聚合18小时，获得聚合物(4)的溶液。向得到的聚合物(4)的丙酮溶液中加水进行再沉淀纯化，再通过石油醚进行再沉淀纯化，真空干燥，获得165g聚合物(4)。重均分子量为22100。
得到的聚合物的重均分子量、聚合物所含的氟原子的含有率以及1分子中的乙烯性双键(C＝C)的数量示于表1。
[表1]
Figure BPA00001308880900221
<间隔壁形成用组合物的制备>
[间隔壁形成用组合物1]
将聚合物(2)(1.45份)、作为碱溶性感光性树脂的分散液的ZCR1569H(47.1份)、作为光聚合引发剂的OXE02(8.7份)、作为黑色着色剂的分散液的CB(232.0份)、作为自由基交联剂的D310(25.4份)、作为热固化剂的157S65(3.6份)、作为硅烷偶联剂的KBM403(5.8份)以及作为溶剂的PGMEA(576份)和CHON(100部)混合，获得间隔壁形成用组合物1的稀释液。间隔壁形成用组合物1的全部固体成分中的聚合物(2)的含量为0.97％。
<间隔壁修正液的制备>
[间隔壁修正液(X1)]
将聚合物(2)(0.43份)、作为自由基交联剂的D310(15.1份)、A9300(6.5份)、作为光聚合引发剂的IR369(3.2份)、DETX-S(1.1份)、作为黑色着色剂的分散液的CB(43.2份)、作为热交联剂的157S65(1.1份)、作为硅烷偶联剂的KBM403(1.7份)、作为阻聚剂的BHT(0.5份)和作为溶剂的MBA(27.6份)混合，获得间隔壁修正液1。间隔壁修正液1的全部固体成分中的聚合物(2)的含量为1.1％。
[间隔壁修正液(X2)～(X5)]
除了如表2所示改变各成分的配比以外，与间隔壁修正液(X1)同样地操作，获得间隔壁修正液(X2)～(X5)。
表2中，“-”表示未使用该材料。
[表2]
Figure BPA00001308880900231
[例1]
(彩色滤光片的制造)
使用狭缝涂布机在无碱玻璃基板上涂布间隔壁形成用组合物1后，以130Pa真空干燥30秒钟，再于100℃在加热板上干燥2分钟。在涂膜的上方，以30μm的间隔设置形成格子图案的掩模(线＝20μm，格子尺寸＝100μm×200μm)，以100mJ/cm2照射超高压汞灯。接着，将基材用加入了表面活性剂的0.1质量％氢氧化四甲铵水溶液在25℃进行显影处理40秒，用水清洗，使其干燥，从而形成遮光性间隔壁。
对形成有遮光性间隔壁的基板照射卤素灯光，用CCD相机拍摄遮光性间隔壁，将其与预先准备好的标准图案比较来进行检查，结果在遮光性间隔壁上检出了缺陷。上述装置装载有用于检出间隔壁的缺陷部的缺陷间隔壁观察部、用于除去间隔壁的缺陷部的激光器、缺陷修正用针。
对于间隔壁的缺陷部，用上述装置所装载的脉冲激光器(波长532nm)以狭缝直径50μm的条件照射3个脉冲，除去50μm的量的间隔壁。
使前端附着有间隔壁修正液(X1)的上述缺陷修正用针与除去了间隔壁的部位接触后移开，从而向间隔壁涂布修正液。重复该工序2次，涂布修正液以使间隔壁没有缺陷。然后，利用上述装置所装载的激光器(波长355nm)以5000mJ/cm2的曝光量对经修正的区域进行曝光，从而使其固化。
为了将经修正的间隔壁的线宽调整为20μm，用脉冲激光器(波长532nm)以狭缝直径50μm的条件照射3个脉冲，除去鼓出至像素区域的部分。
使用喷墨装置向由间隔壁划分出的100μm×200μm的区域内注入包含绿色、蓝色、红色的各种颜料的固体成分25％的热固化型油墨(180pL)。然后于100℃在加热板上干燥5分钟。然后，在200℃进行30分钟的加热处理，从而形成像素。油墨层的加热固化后的体积为40pL。
因为上述经修正的间隔壁具有拒液性，所以油墨不会从间隔壁溢出而引起混色等不良情况，可高精度地形成油墨层。
(电压保持率的测定)
考察间隔壁修正液(X1)的固化物对电压保持率的影响。在无碱玻璃板上形成作为透明电极的ITO，还准备了设置有聚酰亚胺取向膜(JSR公司制AL-1051)的TN单元。此外，作为液晶材料，准备了ZLI-1565(默克公司制)。通过与上述彩色滤光片的制作中采用的方法同样的方法在聚酰亚胺取向膜上涂布间隔壁修正液(X1)，使其固化。即，以有意地使修正液与液晶层接触的方式来制膜，进行评价。
通过栅极脉冲(栅极电压)VG的高阻抗FET(场效应晶体管)开关对上述TN单元施加恰好64微秒的由±5V、2.5Hz的矩形波形成的源极电压VS，然后断开。绘制TN单元的两电极间的电压VL的1/2周期，通过所得曲线求出电压保持率。测定温度为80℃。
初始电压保持率为92％。然后在温度60℃、相对湿度90％的气氛中保持1000小时后再次进行电压保持率测定，但未见电压保持率的变化。
[例2]
在例1的彩色滤光片的制造中，除了用间隔壁修正液(X2)来代替间隔壁修正液(X1)、以1000mJ/cm2的曝光量代替5000mJ/cm2的曝光量来使其固化以外，与例1同样地制作彩色滤光片。
因为上述经修正的间隔壁具有拒液性，所以油墨不会从间隔壁溢出而引起混色等不良情况，可高精度地形成油墨层。
在例1的电压保持率的测定中，除了用间隔壁修正液(X2)来代替间隔壁修正液(X1)、以1000mJ/cm2的曝光量代替5000mJ/cm2的曝光量来使其固化以外，与例1同样地进行电压保持率的测定。未见电压保持率的变化。
[例3]
在例1的彩色滤光片的制造中，除了用间隔壁修正液(X3)来代替间隔壁修正液(X1)、以2000mJ/cm2的曝光量代替5000mJ/cm2的曝光量来使其固化以外，与例1同样地制作彩色滤光片。
因为上述经修正的间隔壁具有拒液性，所以油墨不会从间隔壁溢出而引起混色等不良情况，可高精度地形成油墨层。
在例1的电压保持率的测定中，除了用间隔壁修正液(X3)来代替间隔壁修正液(X1)、以2000mJ/cm2的曝光量代替5000mJ/cm2的曝光量来使其固化以外，与例1同样地进行电压保持率的测定。未见电压保持率的变化。
[例4]
在例1的彩色滤光片的制造中，除了用间隔壁修正液(X3)来代替间隔壁修正液(X1)以外，与例1同样地制作彩色滤光片。
因为上述经修正的间隔壁的修正部位不具有拒液性，所以在修正部位检出了油墨从间隔壁溢出而发生了混色的像素。
[例5]
在例1的彩色滤光片的制造中，除了用间隔壁修正液(X4)来代替间隔壁修正液(X1)、以1000mJ/cm2的曝光量代替5000mJ/cm2的曝光量来使其固化以外，与例1同样地制作彩色滤光片。
因为上述经修正的间隔壁具有拒液性，所以油墨不会从间隔壁溢出而引起混色等不良情况，可高精度地形成油墨层。
在例1的电压保持率的测定中，除了用间隔壁修正液(X4)来代替间隔壁修正液(X1)以外，与例1同样地测定电压保持率。初始电压保持率为91％，但相对地，在温度60℃、相对湿度90％的气氛中保持1000小时后的电压保持率为71％，降低了20％。
产业上利用的可能性
使用了本发明的间隔壁修正液的光学元件的制造方法适合用于彩色滤光片、有机EL显示元件、液晶显示元件的ITO电极、电路布线基板等电子器件的制造。
这里引用2008年7月30日提出申请的日本专利申请2008-196201号的说明书、权利要求书、附图和摘要的全部内容作为本发明的说明书的揭示。
符号的说明
1：基材
2：间隔壁
3：缺陷部
4：间隔壁修正液
5：液体供给单元
6：固化部位

Claims (7)

1.一种光学元件的制造方法，该光学元件具有形成有间隔壁和像素的基材，其特征在于，依次包括：
在基材上形成具有拒液性的间隔壁的工序；
检出间隔壁的缺陷部的工序；
将位于缺陷部周围的间隔壁的一部分除去的工序；
在除去了间隔壁的部位涂布包含下述感光性组合物(X)的间隔壁修正液，并且使感光性组合物(X)固化的工序；以及
在由间隔壁划分出的像素区域内通过喷墨法涂布油墨，形成像素的工序；
所述感光性组合物(X)包含聚合物(a)，该聚合物(a)具有含以下述式(1)表示的基团或以下述式(2)表示的基团的侧链和含乙烯性双键的侧链；
-CFXRf(1)
式(1)中，X表示氢原子、氟原子或三氟甲基，Rf表示可具有醚性氧原子的碳数20以下的氢原子中的至少1个被氟原子取代了的烷基或者氟原子；
-(SiR1R2O)n-SiR1R2R3(2)
式(2)中，R1、R2独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基，R3表示氢原子或碳数1～10的有机基团，n表示1～200的整数。
2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述间隔壁具有遮光性。
3.如权利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，所述聚合物(a)的氟原子含量为5～50质量％，聚合物(a)在感光性组合物(X)的全部固体成分中所占的比例为0.01～30质量％。
4.如权利要求1～3中的任一项所述的制造方法，其特征在于，所述聚合物(a)的重均分子量在500以上且低于100000。
5.如权利要求1～4中的任一项所述的制造方法，其特征在于，所述具有拒液性的间隔壁由包含聚合物(a)的负型感光性组合物形成，该聚合物(a)具有含以下述式(1)表示的基团或以下述式(2)表示的基团的侧链和含乙烯性双键的侧链；
-CFXRf      (1)
式(1)中，X表示氢原子、氟原子或三氟甲基，Rf表示可具有醚性氧原子的碳数1～20的氢原子中的至少1个被氟原子取代了的烷基或者氟原子；
-(SiR1R2O)n-SiR1R2R3    (2)
式(2)中，R1、R2独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基，R3表示氢原子或碳数1～10的有机基团，n表示1～200的整数。
6.如权利要求1～5中的任一项所述的制造方法，其特征在于，光学元件是彩色滤光片。
7.如权利要求1～5中的任一项所述的制造方法，其特征在于，光学元件是有机EL元件。
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