CN102081111A - 探针卡 - Google Patents

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张�杰
祁建华
季海英
张志勇
叶守银
王锦
叶建明
凌俭波
方华
汪瑞祺
刘远华
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Abstract

本发明的探针卡作为测试机台与待测芯片的测试接口，其包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座；所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内；所述多根探针固定在所述探针座上；所述母电路板用于连接测试机台，其上设有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板引脚电连接一个所述测试机台引脚；所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚；所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接；一个所述母板引脚活动电连接一个所述子板引脚。本发明的探针卡与测试系统测量路径短，测量精准度高，且测试成本低。

Description

探针卡
技术领域
本发明涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种探针卡。
背景技术
探针卡是一种测试接口，用于连接测试机台和待测芯片。
参见图1，现有技术中的一种圆形探针卡，其包括圆形电路板110、探针120和环状探针座130，所述圆形电路板110的中央设有圆孔，所述环状探针座130设置在该圆孔内，所述探针120通过绝缘树脂140固定于所述探针座130上，该探针120与待测芯片300的焊盘(pad)电连接；所述圆形电路板110上设有探针引脚111和测试机台引脚112(图1中探针引脚和测试机台引脚的数量只是一种示意)，所述探针引脚111的数量与所述测试机台引脚112的数量相等，一个所述探针引脚111电连接一个所述测试机台引脚112；所述探针120通过环氧针150与所述探针引脚111连接；测试时，通过弹簧针连接所述测试机台引脚112与测试架台，测试信号从测试机台输出，经所述弹簧针、测试机台引脚112、探针引脚111、环氧针150和探针120，最后输入待测芯片。
待测芯片类型不同，探针定义就不同，探针与探针引脚之间的连接方式也不同，因此，测试不同类型的待测芯片需要不同的探针卡。
圆形探针卡的优点是探针卡与测试机台的连接距离短，从而测试结果精准，但是圆形探针卡的价格高，不同的待测芯片又需要不同的探针卡，因此，测试成本较高。
参见图2，现有技术的一种矩形探针卡，其包括矩形电路板210、探针220和环状探针座230，所述矩形电路板210的中央设有圆孔，所述环状探针座230设置在该圆孔内，所述探针220通过绝缘树脂240固定于所述探针座230上，该探针220与待测芯片300的焊盘(pad)电连接；所述矩形电路板210上设有探针引脚211和测试机台引脚212(图2中探针引脚和测试机台引脚的数量只是一种示意)，所述探针引脚211的数量与所述测试机台引脚212的数量相等，一个所述探针引脚211电连接一个所述测试机台引脚212；所述探针220通过环氧针250与所述探针引脚211连接；测试时，通过排线连接所述测试机台引脚212与测试架台，测试信号从测试机台输出，经所述排线、测试机台引脚212、探针引脚211、环氧针250和探针220，最后输入待测芯片。
同样地，待测芯片类型不同，探针与探针引脚之间的连接方式不同，即测试不同类型的待测芯片需要不同的探针卡。
相对于圆形探针卡，矩形探针卡的面积小，可容纳的引脚数少，因此，价格比较低，但是，矩形探针卡与测试机台的连接距离长，测量精准度低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种探针卡，测量精准度高、测试成本低。
为了达到上述的目的，本发明提供一种探针卡，作为测试机台与待测芯片的测试接口，包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座；所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内；所述多根探针固定在所述探针座上；所述母电路板用于连接测试机台，其上设有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板引脚电连接一个所述测试机台引脚；所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚；所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接；一个所述母板引脚活动电连接一个所述子板引脚。
上述探针卡，其中，所述母板引脚通过弹簧针与所述子板引脚活动连接。
上述探针卡，其中，所述母电路板与和子电路板通过弹簧针活动连接后测试机台的连接距离短，所述子电路板单独使用与测试机台的连接距离长。
上述探针卡，其中，所述子电路板通过固定件安装在所述母电路板的下方。
上述探针卡，其中，所述固定件包括螺母和螺钉，所述螺母设置在所述母电路板的底端，所述子电路板上设有安装孔，所述螺钉穿过所述安装孔拧紧在所述螺母内，将所述子电路板安装在所述母电路板的下方。
上述探针卡，其中，所述探针引脚均匀或者对称地排布在所述子电路板的孔的圆周外，所述母板引脚均匀或者对称地排布在所述探针引脚形成的圆周外。
上述探针卡，其中，所述母电路板的中央设有一圆孔，所述子板引脚均匀或者对称地排布在所述圆孔的圆周外，所述测试机台引脚均匀或者对称地排布在所述母电路板的边缘。
本发明的探针卡使用子电路板连接探针，母电路板连接测试机台，子电路板与母电路板活动连接，测试不同类型的芯片时，更换子电路板即可，测量精准度高且测试成本低。
附图说明
本发明的探针卡由以下的实施例及附图给出。
图1是现有技术中圆形探针卡的结构示意图。
图2是现有技术中矩形探针卡的结构示意图。
图3是本发明的探针卡的侧视图。
图4是本发明中母电路板的俯视图。
图5是本发明中安装探针后子电路板的俯视图。
图6是本发明中固定件的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合图3～图6对本发明的探针卡作进一步的详细描述。
本发明的探针卡包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座；
所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内；
所述多根探针固定在所述探针座上；
所述母电路板上设有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板引脚电连接一个所述测试机台引脚；
所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚；
所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接；
一个所述母板引脚活动电连接一个所述子板引脚。
本发明的探针卡使用子电路板连接探针，母电路板连接测试机台，子电路板与母电路板活动连接，测试不同类型的芯片时，更换子电路板即可，测量精准度高且测试成本低。
现以具体实施例详细说明本发明的探针卡：
参见图3～图5，本实施例的探针卡包括母电路板410、子电路板420、多根探针430和探针座440；
所述子电路板420通过固定件450安装在所述母电路板410的下方；
本实施例中，所述母电路板410采用现有技术中圆形探针卡的圆形电路板，该圆形电路板面积较大、引脚数量多，与测试机台的连接距离短；
所述母电路板410可采用任何与测试机台连接距离短的电路板；
本实施例中，所述子电路板420采用现有技术中矩形探针卡的矩形电路板，该矩形电路板价格低，与测试机台的连接距离长；
所述子电路板420可采用任何与测试机台连接距离长、价格低的电路板；
所述子电路板420设有一圆孔，所述探针座440设置在该圆孔内；
所述多根探针430通过绝缘材料460固定在所述探针座440上；
本实施例中，所述探针座440为环形探针座，所述探针座440由绝缘材料制成，例如树脂，所述绝缘材料460例如采用树脂；
所述子电路板420上设有探针引脚421和母板引脚422，所述探针引脚421用于连接所述探针430，所述母板引脚422用于连接所述母电路板410；
所述探针引脚421的数量等于所述母板引脚422的数量，一个所述探针引脚421电连接一个所述母板引脚422；
本实施例中，所述探针引脚421均匀或对称地排布在所述子电路板420的圆孔的圆周外，所述母板引脚422均匀或对称地排布在所述探针引脚421形成的圆周外；
所述探针430通过环氧针470与所述探针引脚421连接，该探针430与待测芯片(图中未示)的焊盘电连接，待测芯片类型不同，探针定义就不同，探针与探针引脚之间的连接方式也不同；
所述母电路板410上设有子板引脚411和测试台引脚412，所述子板引脚411用于连接所述子电路板420，所述测试台引脚412用于连接测试机台；
所述子板引脚411的数量等于所述测试台引脚412的数量，一个所述子板引脚411电连接一个所述测试台引脚412；
所述母电路板410的中央设有一圆孔413，所述子板引脚411均匀或对称地排布在所述圆孔413的圆周外，所述测试台引脚412均匀或对称地排布在所述母电路板410的边缘；
一个所述母板引脚422活动电连接一个所述子板引脚411，所述子板引脚411的数量大于等于所述母板引脚422的数量；
如图3所示，本实施例中，所述母板引脚422通过弹簧针480与所述子板引脚411连接；
所述弹簧针480的两端各设有弹簧，该弹簧针480依靠压紧两端的弹簧来连接两个引脚，即所述弹簧针480采用的是活动连接方式，它可以非常方便地安装和拆卸；
所述母板引脚422还可通过其他方式与所述子板引脚411活动连接；
参见图6，本实施例中，所述固定件450包括螺母451和螺钉452，所述螺母451设置在所述母电路板410的底端，该螺母的内壁上设有内螺纹，所述螺钉的外壁上设有匹配的外螺纹453，所述子电路板420上设有安装孔423，安装时，所述子电路板420的安装孔423对准所述螺母451，所述螺钉452穿过所述安装孔423拧紧在所述螺母451内，实现所述子电路板420与所述母电路板410的固定连接。
使用本实施例的探针卡时，所述母电路板410的测试台引脚412通过弹簧针与测试机台连接，所述探针430与待测芯片的焊盘连接，测试机台输出的测试信号经所述测试机台引脚412、子板引脚411、弹簧针480、母板引脚422、探针引脚421、环氧针470，最后输入待测芯片。
针对不同类型的待测芯片，需要不同的子电路板与其连接，使用本实施例的探针卡测试不同类型的待测芯片时，只要将原来的子电路板拆卸下来，换上具有新的探针定义、新的连接方式的子电路板即可，因此，使用本实施例的探针卡测试成本低；另外，本实施例的探针卡采用母电路板与测试机台连接，连接距离短，因此，测量结果精准度高。

Claims (7)

1.一种探针卡，作为测试机台与待测芯片的测试接口，其特征在于，包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座；
所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内；
所述多根探针固定在所述探针座上；
所述母电路板用于连接测试机台，其上设有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板引脚电连接一个所述测试机台引脚；
所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚；
所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接；
一个所述母板引脚活动电连接一个所述子板引脚。
2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述母板引脚通过弹簧针与所述子板引脚活动连接。
3.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述母电路板与测试机台的连接距离短，所述子电路板与测试机台的连接距离长。
4.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述子电路板通过固定件安装在所述母电路板的下方。
5.如权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述固定件包括螺母和螺钉，所述螺母设置在所述母电路板的底端，所述子电路板上设有安装孔，所述螺钉穿过所述安装孔拧紧在所述螺母内，将所述子电路板安装在所述母电路板的下方。
6.如权利要求1、2或3所述的探针卡，其特征在于，所述探针引脚均匀或者对称地排布在所述子电路板的孔的圆周外，所述母板引脚均匀或者对称地排布在所述探针引脚形成的圆周外。
7.如权利要求1、2或3所述的探针卡，其特征在于，所述母电路板的中央设有一圆孔，所述子板引脚均匀或者对称地排布在所述圆孔的圆周外，所述测试机台引脚均匀或者对称地排布在所述母电路板的边缘。
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