CN102080266B - 适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置。它包括炉壁,设置在炉壁上的电热元件支承座,通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座上,其特征在于电热元件支承座的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。本发明具有突出的实质性特点:电热元件支承座通过连接组件与炉壁呈镶嵌式可拆卸配合,通过拆卸连接组件,可方便的拆下电热元件支承座进行更换,不再额外破坏原本完好的保温层,使得维修更换更为方便,且维修工程小、成本低。
Description
所属技术领域
本发明涉及一种坩埚烧结炉的电热场装置,尤其涉及一种适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置。
背景技术
多晶硅坩埚烧结炉工作时,炉内温度高达1250度左右,固定在炉壁上的电热元件支承座上的工作弯钩部直接与高温电加热元件(如高温电热丝)接触,长时间工作,容易导致工作弯钩部的断裂。断裂后,需要大面积破坏炉壁上的保温层,然后再修复保温层和更换电热元件支承座。维修更换工程大,消耗的时间长,且可能破坏原本完好的保温层,增加了维修成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,电热元件支承座通过连接组件与炉壁可更换式装配,若电热元件支承座上的工作部断裂,通过拆卸连接组件,方便的拆下电热元件支承座更换,不需要额外破坏完整的保温层,维修更换极其方便,而维修工程小、成本低,解决现有技术存在的维修不便,维修工程大,以及维修成本高等问题。
本发明的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,包括炉壁,设置在炉壁上的电热元件支承座,通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座上,其特征在于电热元件支承座的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。电热元件支承座通过连接组件与炉壁呈镶嵌式可拆卸配合,若电热元件支承座的工作部断裂,通过拆卸连接组件,方便的拆下电热元件支承座进行更换,不需要额外破坏完整的保温层,维修更换极其方便,且维修工程小、成本低。
作为对上述技术方案的进一步完善和补充,本发明采用如下技术措施:所述连接组件包括通过连接件固定在炉壁上的连接座,一端钩挂在连接座上、另一端钩挂在电热元件支承座连接部上的连接挂钩,所述电热元件支承座的连接部上设有与连接挂钩的钩接部相适应的挂钩槽。
每个电热元件支承座上至少对应的设置两个连接挂钩,分别设置在电热元件支承座的顶部和底部,或者分别设置在电热元件支承座相对的两侧面。
每个电热元件支承座仅顶部配合一个连接挂钩。
上下相临的电热元件支承座的分别设于阴阳配合部,即相临的上电热元件支承座和相临的下电热元件支承座上分别设置相配合的凹部和凸部。
所述的连接座横截面为半包围的框型,连接座的开口端设有挂钩横杆;所述电热元件支承座上设置挂钩槽开口平面与所述的挂钩槽成直角;所述连接挂钩两端为直角形挂钩部,该连接挂钩的一端钩挂在挂钩横杆上,另一端钩挂在挂钩槽内。
所述的电热元件支承座的连接部与连接座之间充填陶瓷纤维板、或硅钙板、或其结合;或纳米保温板与陶瓷纤维板、硅钙板的组合。
所述电热元件支承座的工作部为弯钩支承部,该弯钩支承部的中部设有轴向的加强板。
所述加强板上部开设电热元件走线孔,所述弯钩支承部被加强板分割成相对的两个承接部。
本发明具有突出的实质性特点:电热元件支承座通过连接组件与炉壁呈镶嵌式可拆卸配合,通过拆卸连接组件,可方便的拆下电热元件支承座进行更换,不再额外破坏原本完好的保温层,使得维修更换更为方便,且维修工程小、成本低。
附图说明
图1是本发明的第一种剖视结构示意图。
图2是本发明的第二种剖视结构示意图。
图3是本发明的第三种剖视结构示意图。
图4是本发明的第四种剖视结构示意图。
图5是图1-图4中A-A向剖视结构示意图。
图6是本发明的第五种剖视结构示意图。
图7是本发明的第六种剖视结构示意图。
图8是本发明的第七种剖视结构示意图。
图9是本发明的第八种剖视结构示意图。
图10是图6-图9中A-A向剖视结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对本发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例1:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,如图1和图5所示,包括炉壁1,设置在炉壁1上的电热元件支承座2,通过刚玉管支撑的电热元件,刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座2上。
电热元件支承座2的工作部为弯钩支承部,该弯钩支承部的中部设有轴向的加强板10。加强板10上部开设电热元件走线孔11,弯钩支承部被加强板10分割成相对的两个承接部12。刚玉管的两端分别支承在横向相邻的两个电热元件支承座上相对的两个弯钩支承部上。
电热元件支承座2的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。连接组件包括通过连接件7(连接件7通常为螺栓、或螺钉等。)固定在炉壁1上的连接座3,一端钩挂在连接座3上、另一端钩挂在电热元件支承座2连接部上的连接挂钩4,电热元件支承座2的连接部上设有与连接挂钩4的钩接部相适应的挂钩槽5。连接座3横截面为半包围的框型,连接座3的开口端设有挂钩横杆6。电热元件支承座上设置挂钩槽开口平面与挂钩槽5成直角。连接挂钩4两端为直角形挂钩部,该连接挂钩4的一端钩挂在挂钩横杆6上,另一端钩挂在挂钩槽5内。
每个电热元件支承座2的顶部和底部对应的设置两个连接挂钩4。如图1所示。
此外,为了使电热元件支承座2之间也具有足够的保温性能,电热元件支承座2的连接部与连接座3之间充填陶瓷纤维板、或硅钙板、或其结合;或纳米保温板与陶瓷纤维板、硅钙板的组合。
使用时,拆下连接件,则连接组件即可与炉壁分离,也就使得电热元件支承座2与炉壁相分离,然后,再拆下连接组件,更换好的电热元件支承座2,将连接组件安装到好的电热元件支承座2上,最后通过连接件固定到炉壁上,更换非常方便,不需要破坏保温层,即可完成。
实施例2:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,每个电热元件支承座2仅顶部配合一个连接挂钩4。且,上下相临的电热元件支承座2的分别设于阴阳配合部,即相临的上电热元件支承座2和相临的下电热元件支承座2上分别设置相配合的凹部8和凸部9。如图2所示,电热元件支承座2的顶部设有方形凸起,与带方形凸起电热元件支承座2相邻的上方的电热元件支承座2上设有与该方形凸起配合的方形凹槽。其余结构同实施例1。
实施例3:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,如图3所示,电热元件支承座2的顶部设有圆弧形凸起,与带圆弧形凸起电热元件支承座2相邻的上方的电热元件支承座2上设有与该圆弧形凸起配合的圆弧形凹槽。其余结构同实施例2。
实施例4:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,如图4所示,电热元件支承座2的顶部设有三角形凸起,与带三角形凸起电热元件支承座2相邻的上方的电热元件支承座2上设有与该三角形凸起配合的三角形凹槽。其余结构同实施例2。
实施例5:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,如图6和图10所示,每个电热元件支承座2的两侧面上设置两个连接挂钩4,其余同实施例1。
实施例6:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,上下相临的电热元件支承座2的分别设于阴阳配合部,即相临的上电热元件支承座2和相临的下电热元件支承座2上分别设置相配合的凹部8和凸部9。如图7所示,电热元件支承座2的顶部设有方形凸起,与带方形凸起电热元件支承座2相邻的上方的电热元件支承座2上设有与该方形凸起配合的方形凹槽。其余结构同实施例5。
实施例7:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,如图8所示,电热元件支承座2的顶部设有圆弧形凸起,与带圆弧形凸起电热元件支承座2相邻的上方的电热元件支承座2上设有与该圆弧形凸起配合的圆弧形凹槽。其余结构同实施例5。
实施例8:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,如图9所示,电热元件支承座2的顶部设有三角形凸起,与带三角形凸起电热元件支承座2相邻的上方的电热元件支承座2上设有与该三角形凸起配合的三角形凹槽。其余结构同实施例5。
Claims (8)
1.适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,包括炉壁(1),设置在炉壁(1)上的电热元件支承座(2),通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座(2)上,其特征在于电热元件支承座(2)的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配,所述连接组件包括通过连接件(7)固定在炉壁(1)上的连接座(3),一端钩挂在连接座(3)上、另一端钩挂在电热元件支承座(2)连接部上的连接挂钩(4),所述电热元件支承座(2)的连接部上设有与连接挂钩(4)的钩接部相适应的挂钩槽(5)。
2.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于每个电热元件支承座(2)上至少对应的设置两个连接挂钩(4),分别设置在电热元件支承座(2)的顶部和底部,或者分别设置在电热元件支承座(2)相对的两侧面。
3.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于相临上下电热元件支承座(2)分别设有阴阳配合部,即相临的上电热元件支承座(2)和相临的下电热元件支承座(2)上分别设置相配合的凹部(8)和凸部(9)。
4.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于每个电热元件支承座(2)仅顶部配合一个连接挂钩(4)。
5.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述的连接座(3)横截面为半包围的框型,连接座(3)的开口端设有挂钩横杆(6);所述电热元件支承座上设置挂钩槽开口平面与所述的挂钩槽(5)成直角;所述连接挂钩(4)两端为直角形挂钩部,该连接挂钩(4)的一端钩挂在挂钩横杆(6)上,另一端钩挂在挂钩槽(5)内。
6.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述的电热元件支承座(2)的连接部与连接座(3)之间充填陶瓷纤维板、或硅钙板、或其结合;或纳米保温板与陶瓷纤维板、硅钙板的组合。
7.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述电热元件支承座(2)的工作部为弯钩支承部,该弯钩支承部的中部设有轴向的加强板(10)。
8.根据权利要求7所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述加强板(10)上部开设电热元件走线孔(11),所述弯钩支承部被加强板(10)分割成相对的两个承接部(12)。
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