CN203668551U - 新型多晶硅铸锭装置 - Google Patents
新型多晶硅铸锭装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203668551U CN203668551U CN201320721348.0U CN201320721348U CN203668551U CN 203668551 U CN203668551 U CN 203668551U CN 201320721348 U CN201320721348 U CN 201320721348U CN 203668551 U CN203668551 U CN 203668551U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon
- field structure
- thermal field
- silicon liquid
- crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种新型多晶硅铸锭装置,它包括炉体、热场结构和支架,其特征是所述的炉体内设有硅液渗漏承接装置和热场结构,且硅液渗漏承接装置设在热场结构下部,支架设在炉体上,这样因某些意外原因而流出的液态硅就不会流到炉体上,而是漏在了热场结构下部的硅液渗漏承接装置内,避免炉体烧毁而引发的安全事故,本实用新型得到的一种新型多晶硅铸锭装置,结构简单,装置稳定牢固不易损坏,即使石英坩埚破裂炉体和隔热笼也不会被烧毁的,且有专门用于盛装渗漏液态硅的硅液渗漏承接装置,大大提高了工作安全性,不易引发安全事故,适合大范围推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅,尤其是新型多晶硅铸锭装置。
背景技术
目前现有的多晶硅铸锭装置的多晶硅炉热场结构下方没有专门用来盛装漏出硅液的装置,例如专利申请号为201110370471.8的中国专利就公布了这样一种多晶硅铸锭装置,这种增加了多晶硅铸锭装置提纯和晶体生长效果,运动轻巧平稳,且操作平稳,但这种多晶硅铸锭装置工作安全性较低,当热场结构内的石英坩埚破裂后,液态的硅就会从石英坩埚和石墨坩埚中流出,且液态的硅会烧毁隔热笼和不锈钢材质的炉体,甚至导致安全事故的发生,造成较大的损失。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种工作安全性高的,炉体不易烧毁的新型多晶硅铸锭装置。
为了达到上述目的,本实用新型所设计的一种新型多晶硅铸锭装置,它包括炉体、热场结构和支架,其特征是所述的炉体内设有硅液渗漏承接装置和热场结构,且硅液渗漏承接装置设在热场结构的热场结构下部,支架设在炉体上,这样因某些意外原因而流出的液态硅就不会流到炉体上,而是漏在了热场结构下部的硅液渗漏承接装置内,避免炉体烧毁而引发的安全事故。
为了能确保硅液渗漏承接装置的牢固性,使其不易被破裂,硅液渗漏承接装置内还铺设有衬层,衬层上设有凸台,且凸台上设有溢流沟,凸台内设有安装通孔,这样可以避免液态硅从硅液渗漏承接装置的安装通孔中渗漏出去,且当液态硅无意中流到凸台上时,也可通过凸台上的溢流沟流入硅液渗漏承接装置中。
为了能达到硅的进一步提纯和多晶硅铸锭形成的目的,热场结构包括坩埚和石墨坩埚,石墨坩埚设在坩埚的外部,石墨坩埚的下侧设有石墨冷却块,坩埚的四周设有隔热笼,硅液渗漏承接装置设在隔热笼内且设在石墨冷却块的下方,这样当坩埚由于某些原因破裂后,液态硅可流入硅液渗漏承接装置中,而不会烧毁隔热笼和炉体,并由此引发安全事故。
为了能在炉体内放置生产装置,硅液渗漏承接装置上设有支撑柱,且支撑柱的支撑柱一端设在炉体的底部,支撑柱的支撑柱另一端设在硅液渗漏承接装置的安装通孔内,且支撑柱穿过硅液渗漏承接装置和隔热笼支撑在石墨冷却块的下方,这样就可通过支撑柱在炉体内设置热场结构、隔热笼和硅液渗漏承接装置。
为了让硅液渗漏承接装置更为牢固,且可承受液态硅的高温,衬层为陶瓷层或石墨层,坩埚为石英坩埚,炉体为不锈钢材质,且硅液渗漏承接装置上设有一个以上的凸台,炉体的底部也设有一个以上的支撑柱,这样可使整个装置更为稳定,且大大降低了安全隐患。
本实用新型得到的一种新型多晶硅铸锭装置结构简单,装置稳定牢固不易损坏,即使石英坩埚破裂炉体和隔热笼也不会被烧毁的,且有专门用于盛装渗漏液态硅的硅液渗漏承接装置,大大提高了工作安全性,不易引发安全事故,适合大范围推广使用。
附图说明
图1是本实用新型的侧面剖视图;
图2是本实用新型硅液渗漏承接装置结构示意图。
图中:炉体1、热场结构2、支架3、硅液渗漏承接装置4、热场结构下部5、衬层6、凸台7、溢流沟8、安装通孔9、坩埚10、石墨坩埚11、石墨坩埚下侧13、石墨冷却块14、隔热笼16、支撑柱18、支撑柱一端19、支撑柱另一端21。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。
实施例1
如图1和图2所示,本实施例描述的一种新型多晶硅铸锭装置,包括炉体1、热场结构2和支架3,所述的炉体1内设有硅液渗漏承接装置4和热场结构2,且硅液渗漏承接装置4设在热场结构2的热场结构下部5,支架3设在炉体1上,硅液渗漏承接装置4内还铺设有衬层6,衬层6上设有凸台7,且凸台7上设有溢流沟8,凸台7内设有安装通孔9,热场结构2包括坩埚10和石墨坩埚11,石墨坩埚11设在坩埚10的外部,石墨坩埚11的石墨坩埚下侧13设有石墨冷却块14,坩埚10的四周设有隔热笼16,硅液渗漏承接装置4设在隔热笼16内且设在石墨冷却块14的下方,硅液渗漏承接装置4上设有支撑柱18,且支撑柱18的支撑柱一端19设在炉体1的底部,支撑柱18的支撑柱另一端21设在硅液渗漏承接装置4的安装通孔9内,且支撑柱18穿过硅液渗漏承接装置4和隔热笼16支撑在石墨冷却块14的下方,衬层6为陶瓷层或石墨层,坩埚10为石英坩埚,炉体1为不锈钢材质,且硅液渗漏承接装置4上设有一个以上的凸台7,炉体1的底部也设有一个以上的支撑柱18。
Claims (3)
1.一种新型多晶硅铸锭装置,它包括炉体(1)、热场结构(2)和支架(3),其特征是所述的炉体(1)内设有硅液渗漏承接装置(4)和热场结构(2),且硅液渗漏承接装置(4)设在热场结构(2)的热场结构下部(5),支架(3)设在炉体(1)上;所述的硅液渗漏承接装置(4)内铺设有衬层(6),衬层(6)上设有凸台(7),且凸台(7)上设有溢流沟(8),凸台(7)内设有安装通孔(9);所述的热场结构(2)包括坩埚(10)和石墨坩埚(11),石墨坩埚(11)设在坩埚(10)的外部,石墨坩埚(11)的石墨坩埚下侧(13)设有石墨冷却块(14),坩埚(10)的四周设有隔热笼(16),硅液渗漏承接装置(4)设在隔热笼(16)内且设在石墨冷却块(14)的下方。
2.根据权利要求1所述的新型多晶硅铸锭装置,其特征是所述的硅液渗漏承接装置(4)上设有支撑柱(18),且支撑柱(18)的支撑柱一端(19)设在炉体(1)的底部,支撑柱(18)的支撑柱另一端(21)设在硅液渗漏承接装置(4)的安装通孔(9)内,且支撑柱(18)穿过硅液渗漏承接装置(4)和隔热笼(16)支撑在石墨冷却块(14)的下方。
3.根据权利要求1和2所述的新型多晶硅铸锭装置,其特征是所述的衬层(6)为陶瓷层或石墨层,坩埚(10)为石英坩埚,炉体(1)为不锈钢材质,且硅液渗漏承接装置(4)上设有一个以上的凸台(7),炉体(1)的底部也设有一个以上的支撑柱(18)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320721348.0U CN203668551U (zh) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 新型多晶硅铸锭装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320721348.0U CN203668551U (zh) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 新型多晶硅铸锭装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203668551U true CN203668551U (zh) | 2014-06-25 |
Family
ID=50964867
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201320721348.0U Expired - Fee Related CN203668551U (zh) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 新型多晶硅铸锭装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203668551U (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109454206A (zh) * | 2019-01-04 | 2019-03-12 | 重庆秉宪机械制造有限公司 | 一种水泵壳制造模具 |
CN109913940A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-06-21 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种支撑托盘和硅处理装置 |
CN113564702A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-10-29 | 江苏拓正茂源新能源有限公司 | 一种多晶硅铸锭炉的炉体保护装置 |
-
2013
- 2013-11-13 CN CN201320721348.0U patent/CN203668551U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109454206A (zh) * | 2019-01-04 | 2019-03-12 | 重庆秉宪机械制造有限公司 | 一种水泵壳制造模具 |
CN109913940A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-06-21 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种支撑托盘和硅处理装置 |
CN113564702A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-10-29 | 江苏拓正茂源新能源有限公司 | 一种多晶硅铸锭炉的炉体保护装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN203668551U (zh) | 新型多晶硅铸锭装置 | |
CN205590834U (zh) | 盛放石英坩埚用的碳碳坩埚 | |
CN203568856U (zh) | 分瓣式石墨护板 | |
CN106012004B (zh) | 一种多晶硅铸锭炉的溢流隔离装置 | |
CN201716116U (zh) | 一种石灰炉测温元件保护装置 | |
CN203501741U (zh) | 一种带气封装置的电极孔砖 | |
CN203360252U (zh) | 一种用于生产光学玻璃熟料的石英坩埚固定底座 | |
CN203980885U (zh) | 工频熔炼炉 | |
KR101756684B1 (ko) | 단결정 제조장치 및 단결정 제조방법 | |
CN204898122U (zh) | 一种多晶硅铸锭炉 | |
CN205774925U (zh) | 一种多晶硅铸锭炉的溢流隔离装置 | |
CN106757330A (zh) | 一种制备低碳低氧硅锭的坩埚炉 | |
CN201567389U (zh) | 一种单晶炉的石墨热场 | |
CN203834050U (zh) | 一种单晶炉热场石墨电极及单晶炉 | |
CN204058655U (zh) | 一种可视升降式单晶炉 | |
CN205676555U (zh) | 一种多晶硅铸锭炉 | |
CN204874821U (zh) | 多晶硅铸锭炉高效能型石墨坩埚 | |
CN203346427U (zh) | 转炉用镁铝碳砖 | |
CN202254826U (zh) | 加热炉炉顶异形预制件 | |
CN103130224A (zh) | 多晶硅铸锭炉漏硅检测承接装置 | |
CN201933203U (zh) | 适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置 | |
CN210832043U (zh) | 沸腾炉排渣装置 | |
CN204226847U (zh) | 一种高温管道隔热支座 | |
CN203513827U (zh) | 一种单晶硅生长热屏装置 | |
CN211394518U (zh) | 一种贮铁式主铁沟烘烤器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140625 Termination date: 20171113 |