CN205590834U - 盛放石英坩埚用的碳碳坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种坩埚，特别是涉及一种盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，包括石墨底座、碳碳坩埚和上盖,碳碳坩埚放在底座上，上盖与碳碳坩埚扣合，碳碳坩埚为左右两瓣式结构，碳碳坩埚的下端为底口卡槽，底座包括底口和底托，底托上端有梯形凹槽，底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中，底口上端嵌入底口卡槽，底口与碳碳坩埚组合成一体式坩埚形状。本实用新型采用了碳碳材料的坩埚壁，节省了石墨的用量，两瓣式结构可拆卸，方便石英坩埚的取出，且底座分成两部分，减少了石墨底座的破坏范围，底托破损几率低，石墨利用率高，极大的节省了单晶硅生产的成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种坩埚，特别是涉及一种盛放石英坩埚用法碳碳坩埚。
背景技术
单晶硅是半导体和太阳能电池的关键材料，石英坩埚的用途是拉硅单晶用的，目前盛放石英坩埚的一般用石墨坩埚，石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性，在高温使用过程中，热膨胀系数小，对急热急冷具有一定的应变性，对酸碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优良的化学稳定性。但是石英坩埚在高温状态下会软化，由于软化石英坩埚在拆卸时会与石墨坩埚粘连，不好拆卸，严重时得破坏石墨坩埚，造成不必要的浪费。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供方便拆卸的承托坩埚结构，减少石墨用量，降低成本，具体是一种两瓣式结构的碳碳坩埚，底座也分为两部分。
为了实现上述目的，本实用新型所采取的技术手段是：
盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，包括石墨底座和碳碳坩埚,碳碳坩埚放在底座上，还包括上盖，上盖与碳碳坩埚扣合，碳碳坩埚为左右两瓣式结构，碳碳坩埚的下端为底口卡槽，底座包括底口和底托，底托上端有梯形凹槽，底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中，底口上端嵌入底口卡槽，底口与碳碳坩埚组合成一体式坩埚形状。
所述的底口下端与底座连接处是中空的，空隙高度为5mm。
所述的底托上部两端与碳碳坩埚连接处留有1-3mm的间隙。
所述的上盖与碳碳坩埚的接合处为凹凸结构，上盖的外侧为凸台，凸台的高度为10-20mm。
本实用新型的有益效果是：坩埚壁采用碳碳材料，减少了石墨的用量，设计成两瓣式结构，方便拆卸，盖上上盖后避免了石英坩埚放入后，碳碳坩埚向两边倾斜。底座分成底口与底托两部分，可以更好的拆卸石英坩埚，底口与底托结合处留有间隙，即使石英坩埚与石墨底口粘连在一起需要破坏取出石英坩埚时，也只需破坏石墨底口，这样节省了石墨的用量，最大限度的降低了单晶硅的生产成本，而且如果没有留下这个间隙，那么底口与底座应该是一个圆面整体的接触，这样如果接触时间一长，底口或者底托出现氧化物突出或者形变，就会导致接触面不平整，底口放置不平，留有的间隙把面接触改为了线接触，防止了以上现象的发生。底托与坩埚壁结合处的两端留有1-3mm的间隙，避免二者受热膨胀产生相互的挤压作用力。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中，1、上盖，2、碳碳坩埚，3、底口，4、底托。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步说明。
具体实施例，如图1所示，盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，包括石墨底座和碳碳坩埚2,碳碳坩埚2放在底座上，还包括上盖1，上盖1与碳碳坩埚2扣合，碳碳坩埚2为左右两瓣式结构，碳碳坩埚2的下端为底口卡槽，底座包括底口3和底托4，底托4上端有梯形凹槽，底口的下端嵌入底托4的梯形凹槽中，底口3上端嵌入底口卡槽，底口3与碳碳坩埚2组合成一体式坩埚形状。
所述的底口3下端与底托4连接处是中空的，空隙高度为5mm，可以更好的拆卸石英坩埚，底口3与底托4结合处留有间隙，即使石英坩埚与石墨底口3粘连在一起需要破坏取出石英坩埚时，也只需破坏石墨底口3，这样节省了石墨的用量，最大限度的降低了单晶硅的生产成本，而且如果没有留下这个间隙，那么底口3与底托4应该是一个圆面整体的接触，这样如果接触时间一长，底口3或者底托4出现氧化物突出或者形变，就会导致接触面不平整，底口3放置不平，留有的间隙把面接触改为了线接触，防止了以上现象的发生。底托4与碳碳坩埚壁结合处的两端留有1-3mm的间隙，避免二者受热膨胀产生相互的挤压作用力。
所述的上盖1与碳碳坩埚2的接合处为凹凸结构，上盖1的外侧为凸台，凸台的高度为10-20mm，保证与碳碳坩埚2结合顺畅紧密，不会因太短而开裂。
本实用新型在使用时先将底托4和底口3放置好，然后将两瓣碳碳坩埚壁放在底座上拼接好，将石英坩埚放入碳碳坩埚后，加上上盖，避免碳碳坩埚发生倾斜。当要取出石英坩埚时，只需拿掉上盖，分开两瓣式结构坩埚壁，石英坩埚就留在了底座上，这样方便拆卸，省时省力，使用方法简洁。
Claims (4)
1.盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，包括石墨底座和碳碳坩埚(2),碳碳坩埚(2)放在底座上，其特征在于：还包括上盖(1)，上盖(1)与碳碳坩埚(2)扣合，碳碳坩埚(2)为左右两瓣式结构，碳碳坩埚(2)的下端为底口卡槽，底座包括底口(3)和底托(4)，底托(4)上端有梯形凹槽，底口(3)的下端嵌入底托(4)的梯形凹槽中，底口(3)上端嵌入底口卡槽，底口(3)与碳碳坩埚(2)组合成一体式坩埚形状。
2.根据权利要求1所述的盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，其特征在于：所述的底口(3)下端与底座(4)连接处是中空的，空隙高度为5mm。
3.根据权利要求1所述的盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，其特征在于：所述的底托(4)上部两端与碳碳坩埚(2)连接处留有1-3mm的间隙。
4.根据权利要求1所述的盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，其特征在于：所述的上盖(1)与碳碳坩埚(2)的接合处为凹凸结构，上盖(1)的外侧为凸台，凸台的高度为10-20mm。
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