CN102074457A - 用于集成电路制造的烤箱 - Google Patents

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CN102074457A CN 201010527050 CN201010527050A CN102074457A CN 102074457 A CN102074457 A CN 102074457A CN 201010527050 CN201010527050 CN 201010527050 CN 201010527050 A CN201010527050 A CN 201010527050A CN 102074457 A CN102074457 A CN 102074457A
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沈国平
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Abstract

本发明涉及一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制烤箱的烘烤过程的控制装置，控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器、控制第一烘烤时间的第一定时器，控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器、控制第二烘烤时间的第二定时器；用于集成电路制造的烤箱在使用时，第一温控器感应到达到第一烘烤温度时，第一定时器开始计时，当达到第一烘烤时间后，用于集成电路制造的烤箱经过升温或降温的过程，当第二温控器感应到达到第二烘烤温度时，第二定时器开始计时，当达到第二烘烤时间后，烘烤过程结束。由于本发明具有两个温控器及两个定时器，可以通过设定两个烘烤温度及两个烘烤时间来实现对集成电路的二段式烘烤。

Description

用于集成电路制造的烤箱
技术领域
本发明涉及一种用于集成电路制造的烤箱。
背景技术
现有的用于集成电路制造的烤箱通常只具有一个温控器和一个定时器，在对集成电路进行烘烤时，只能实现一段式烘烤，及只能设定一个烘烤温度及一个烘烤时间，当烤箱达到所设的的烘烤温度时，定时器开始计时，当达到所设定的烘烤时间后，烤箱停止工作，完成一段式烘烤。
而有些集成电路产品要求具有更高的稳定性，此时，就需要对该集成电路进行二段式烘烤，即当恒定在一个温度点进行一段时间烘烤后，通过升降温作业再进入第二个温度点进行一段时间的烘烤，然后才关闭加热器执行降温作业直到室温。此类经过二段式烘烤的产品稳定性更高，可以在更为严苟作业条件下工作。
发明内容
本发明的目的是提供一种可以实现二段式烘烤的用于集成电路制造的烤箱。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制所述的烤箱的烘烤过程的控制装置，所述的控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器、控制第一烘烤时间的第一定时器，所述的控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器、控制第二烘烤时间的第二定时器；所述的用于集成电路制造的烤箱在使用时，所述的第一温控器感应到达到所述的第一烘烤温度时，所述的第一定时器开始计时，当达到所述的第一烘烤时间后，所述的用于集成电路制造的烤箱经过升温或降温的过程，当所述的第二温控器感应到达到所述的第二烘烤温度时，所述的第二定时器开始计时，当达到所述的第二烘烤时间后，所述的烘烤过程结束。
由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：
由于本发明的用于集成电路制造的烤箱具有两个温控器及两个定时器，可以通过设定两个烘烤温度及两个烘烤时间来实现对集成电路的二段式烘烤，使集成电路产品具有更高的稳定性。
附图说明
附图1为本发明的用于集成电路制造的烤箱的控制电路图；
附图2为本发明的用于集成电路制造的烤箱的控制面板示意图。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本发明作进一步描述。
实施例一：参见附图1和附图2所示。
一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制烤箱的烘烤过程的控制装置，控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器TX1、控制第一烘烤时间的第一定时器TR1，控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器TX2、控制第二烘烤时间的第二定时器TR2。
该用于集成电路制造的烤箱在使用时，第一温控器TX1感应到达到设定好的第一烘烤温度时，第一定时器TR1开始计时，当达到设定好的第一烘烤时间后，该用于集成电路制造的烤箱经过升温或降温的过程，当第二温控器TX2感应到达到设定好的第二烘烤温度时，第二定时器TR2开始计时，当达到第二烘烤时间后，烘烤过程结束，实现了对集成电路的二段式烘烤，以使其达到更好的稳定性。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制所述的烤箱的烘烤过程的控制装置，所述的控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器、控制第一烘烤时间的第一定时器，其特征在于：所述的控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器、控制第二烘烤时间的第二定时器；所述的用于集成电路制造的烤箱在使用时，所述的第一温控器感应到达到所述的第一烘烤温度时，所述的第一定时器开始计时，当达到所述的第一烘烤时间后，所述的用于集成电路制造的烤箱经过升温或降温的过程，当所述的第二温控器感应到达到所述的第二烘烤温度时，所述的第二定时器开始计时，当达到所述的第二烘烤时间后，所述的烘烤过程结束。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103777663A (zh) * 2014-02-19 2014-05-07 铜陵市佳龙飞电容器有限公司 电容器热聚合时便于控制温度时间的控制器

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6210895A (ja) * 1985-07-08 1987-01-19 リンナイ株式会社 高周波調理器
JP2001153374A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Sanyo Electric Co Ltd 加熱調理装置
US6345150B1 (en) * 1999-11-30 2002-02-05 Wafermasters, Inc. Single wafer annealing oven
CN200997065Y (zh) * 2006-07-27 2007-12-26 威宇科技测试封装有限公司 一种烤箱温度监控系统
CN101324404A (zh) * 2007-06-12 2008-12-17 爱斯佩克株式会社 热处理装置
CN201569926U (zh) * 2009-10-29 2010-09-01 上海威林制冷空调工程有限公司 一种粉粒状物料的干燥控制装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6210895A (ja) * 1985-07-08 1987-01-19 リンナイ株式会社 高周波調理器
JP2001153374A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Sanyo Electric Co Ltd 加熱調理装置
US6345150B1 (en) * 1999-11-30 2002-02-05 Wafermasters, Inc. Single wafer annealing oven
CN200997065Y (zh) * 2006-07-27 2007-12-26 威宇科技测试封装有限公司 一种烤箱温度监控系统
CN101324404A (zh) * 2007-06-12 2008-12-17 爱斯佩克株式会社 热处理装置
CN201569926U (zh) * 2009-10-29 2010-09-01 上海威林制冷空调工程有限公司 一种粉粒状物料的干燥控制装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103777663A (zh) * 2014-02-19 2014-05-07 铜陵市佳龙飞电容器有限公司 电容器热聚合时便于控制温度时间的控制器

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