CN102062664A - 一种电容极板型真空度测量装置 - Google Patents

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刘保龙
张朝
孙杰
李龙韬
陈同
吴冬雨
张正珣
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刘保龙
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Abstract

本发明涉及一种电容极板型真空度测量装置，它包括柔性橡胶板I和柔性橡胶板II，柔性橡胶板I内壁设有柔性金属极板I，柔性橡胶板II内壁设有柔性金属极板II，两柔性橡胶板I和柔性橡胶板II端部设有刚性密封圈连接，柔性金属极板I和柔性金属极板II通过导线与相应控制电路连接。当测量某一密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的柔性橡胶板变形带动金属极板变形，从而改变了由两块极板构成的电容器的电容，测量该电容值，通过计算即可被测密闭空间的真空度。

Description

一种电容极板型真空度测量装置
技术领域
本发明涉及一种电容极板型真空度测量装置。
背景技术
在工业生产中，经常遇到进行真空度测量的场合，但是目前真空度测量装置体积较大，且价值昂贵，使用步骤繁琐，限制了普通工业场合的应用。
发明内容
针对上述不足，本发明提供了一种电容极板型真空度测量装置，这种装置内部有固定气压，随空间真空度变化电容发生变化从而可以测出空间真空度。
本发明通过以下技术实现：
一种电容极板型真空度测量装置，电容极板型真空度测量装置，它包括柔性橡胶板I和柔性橡胶板II，柔性橡胶板I内壁设有柔性金属极板I，柔性橡胶板II内壁设有柔性金属极板II，两柔性橡胶板I和柔性橡胶板II端部设有刚性密封圈连接，柔性金属极板I和柔性金属极板II通过导线与相应控制电路连接。
所述柔性橡胶板I和柔性橡胶板II为两块圆形柔性橡胶板。
所述控制电路包括电阻I，它与柔性金属极板I和柔性金属极板II串联组成第一支路；同时还包括电阻II及串联的可调电容组成的第二支路；两支路并联，同时在电阻I和电阻II间连接交流电压表。
本发明的电容极板型真空度测量装置，主要由刚性密封圈，柔性橡胶板，柔性金属极板及相关电路组成，其特征为：该装置由相对两块圆形柔性橡胶板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，两块柔性金属极板平贴在柔性橡胶板的内侧，且向外引有导线，当测量某一密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的柔性橡胶板变形带动金属极板变形，从而改变了由两块极板构成的电容器的电容，用图2所示电路测量该电容值，通过计算即可被测密闭空间的真空度。
本发明的优点是，装置体积小，价格便宜，使用方便，操作安全，特别适合在普通工业场合使用。
附图说明：
图1是该装置的纵剖面构造图；
图2是电容测量电路图；
图3是该装置的纵剖面平面图。
图中，1、柔性橡胶板I，2、柔性金属极板I，3、柔性金属极板II，4、柔性橡胶板II，5、刚性密封圈，6电阻I，7、电阻II。
具体实施例
图1、图2、图3中，该装置由两个相对的柔性橡胶板I1及柔性橡胶板II4固定在刚性密封圈5上构成一个密闭空间，柔性金属极板I2和柔性金属极板II3分别平贴在柔性橡胶板I1和柔性橡胶板II4的内侧，柔性金属极板I2和柔性金属极板II3向外引有导线，当测量某一密闭空间的真空度时，该将装置放置其中，在气压的差作用下，该装置的柔性橡胶板I1和柔性橡胶板II4变形带动柔性金属极板I2及柔性金属极板II3变形，从而改变了由这两块极板构成电容器的电容，经图2电路测量该电容值，通过计算即可被测密闭空间的真空度。控制电路包括电阻I6，它与柔性金属极板I1和柔性金属极板II3串联组成第一支路；同时还包括电阻II7及串联的可调电容组成的第二支路；两支路并联，同时在电阻I6和电阻II7间连接交流电压表。

Claims (3)

1.一种电容极板型真空度测量装置，它包括柔性橡胶板I和柔性橡胶板II，柔性橡胶板I内壁设有柔性金属极板I，柔性橡胶板II内壁设有柔性金属极板II，两柔性橡胶板I和柔性橡胶板II端部设有刚性密封圈连接，柔性金属极板I和柔性金属极板II通过导线与相应控制电路连接。
2.如权利要求1所述的电容极板型真空度测量装置，其特征是，所述柔性橡胶板I和柔性橡胶板II为两块圆形柔性橡胶板。
3.如权利要求1所述的电容极板型真空度测量装置，其特征是，所述控制电路包括电阻I，它与柔性金属极板I和柔性金属极板II串联组成第一支路；同时还包括电阻II及串联的可调电容组成的第二支路；两支路并联，同时在电阻I和电阻II间连接交流电压表。
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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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