CN2291656Y - 电容式气压传感器 - Google Patents

电容式气压传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN2291656Y
CN2291656Y CN 96230800 CN96230800U CN2291656Y CN 2291656 Y CN2291656 Y CN 2291656Y CN 96230800 CN96230800 CN 96230800 CN 96230800 U CN96230800 U CN 96230800U CN 2291656 Y CN2291656 Y CN 2291656Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
utility
stator
model
insulating substrate
corrugated diaphragm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 96230800
Other languages
English (en)
Inventor
苏守义
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHANGHAI NO 23 RADIO FACTORY
Original Assignee
SHANGHAI NO 23 RADIO FACTORY
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHANGHAI NO 23 RADIO FACTORY filed Critical SHANGHAI NO 23 RADIO FACTORY
Priority to CN 96230800 priority Critical patent/CN2291656Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN2291656Y publication Critical patent/CN2291656Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种电容式气压传感器,其主要特征是其定片印制在绝缘基片上,动片与波纹膜片焊成一体,波纹膜片与绝缘基片采用周边密封焊接并形成真空腔,在该真空腔内的定片与动片组成平板电容,因而电容变量不受外界气压和湿度变化的影响。还可通过调整波纹膜片的变形特性,使得随着气压的降低,电容量变化愈来愈大,测量灵敏度愈来愈高,适于高空测量气压和飞行高度。

Description

电容式气压传感器
本实用新型涉及一种电容式气压传感器，特别是一种内电容式气压传感器，适用于气象及航空领域中地面至30公里高度范围内的大气压力、飞行高度等参数的测量。
现在采用的内电容式气压传感器为真空膜盒内电容式气压传感器，如美国AIR从司研制的数字式气压传感器，就是在一块陶瓷基片的两面印有圆形金属图案作为平板电容器的定片，再在印有图案的陶瓷基片的两面分别焊接金属平膜片作为平板电容器的动片，形成二组并联的平板电容器，该两片金属平膜片形成一真空膜盒。这种传感器的结构虽简单，但其电容变量较小，总量仅为5pf，在150-10hpa范围内其灵敏度仅为46.7hpa/0.1pf。
本实用新型的目的就是为了提供一种既结构简单、且电容量变化大、灵敏度高的内电容式气压传感器。
本实用新型的目的是这样实现的：充分利用平板电容器的电容量与极片间距离的平方成反比的特性，尽量缩小两极片之间的距离并增大两极片的面积以及改变波纹膜片特性以增大电容变量，来提高其测试灵敏度。
以下结合附图对本实用新型一实施例进行详细说明：
图1为本实用新型纵截面的结构剖视图。
由图可知，本实用新型包括有定片1、动片2、波纹膜片3、绝缘基片4。首先在陶瓷绝缘基片4上印制出银合金定片1，在铜合金波纹膜片3内侧设置一铜动片2，将铜合金波纹膜片3与陶瓷绝缘基片4进行周边密封焊接形成真空腔体，于是定片1与动片2组成一组平板电容，其电容量可从定片1、动片2上测得。由于平板电容处于真空状态，介质为真空，彻底消除了外界气压及湿度变化对电容产生的影响，通过调整波纹膜片的变形特性，同样可达到随着气压的降低，电容量的变化则愈来愈大，测量灵敏度愈来愈高，在150-10hpa范围内其灵敏度可达22.5hpa/0.1pf，因而本实用新型特别适用于高空测量气压、飞行高度等参数。

Claims (1)

1.一种电容式气压传感器，包括有定片1、动片2、波纹膜片3、绝缘基片4，其特征在于定片1印制在绝缘基片4上，动片2设置在靠波纹膜片3内侧，波纹膜片3与绝缘基片4采用周边密封焊接成一真空腔，定片1与动片2组成一组平板电容。
CN 96230800 1996-09-28 1996-09-28 电容式气压传感器 Expired - Fee Related CN2291656Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 96230800 CN2291656Y (zh) 1996-09-28 1996-09-28 电容式气压传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 96230800 CN2291656Y (zh) 1996-09-28 1996-09-28 电容式气压传感器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN2291656Y true CN2291656Y (zh) 1998-09-16

Family

ID=33908135

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 96230800 Expired - Fee Related CN2291656Y (zh) 1996-09-28 1996-09-28 电容式气压传感器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN2291656Y (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102062664A (zh) * 2009-11-17 2011-05-18 刘保龙 一种电容极板型真空度测量装置
CN101231204B (zh) * 2007-01-23 2011-05-18 曼柴油机欧洲股份公司 缸压测量装置
CN102356307A (zh) * 2009-04-23 2012-02-15 罗斯蒙德公司 具有真空电介质的电容性表压传感器

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101231204B (zh) * 2007-01-23 2011-05-18 曼柴油机欧洲股份公司 缸压测量装置
CN102356307A (zh) * 2009-04-23 2012-02-15 罗斯蒙德公司 具有真空电介质的电容性表压传感器
CN102356307B (zh) * 2009-04-23 2015-04-08 罗斯蒙特公司 具有真空电介质的电容性表压传感器
CN102062664A (zh) * 2009-11-17 2011-05-18 刘保龙 一种电容极板型真空度测量装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Mason et al. A generic multielement microsystem for portable wireless applications
CA2341182A1 (en) Sealed capacitive pressure sensors
CN208238995U (zh) 一种陶瓷电阻式压力传感器
CN114323363B (zh) 一种电容式真空压力传感器
CN2291656Y (zh) 电容式气压传感器
CN114323408A (zh) 多量程多灵敏度压力mems芯片
CN201754114U (zh) 一种低频宽电压输出范围的绝压传感器
CN110220636A (zh) 一种毛细连通管式差压传感器及测量方法
CN1670534A (zh) 一种用于微型飞行器的微型低速空速计
CN208333606U (zh) 一种陶瓷电阻式液位传感器
CN210922761U (zh) 一种液位检测装置及其控制电路
CN204679199U (zh) 分体式溅射薄膜压力传感器
CN204679198U (zh) 便装式溅射薄膜压力传感器
CN107843384A (zh) 一种石英薄膜片真空规管
CN216315621U (zh) 一种集成动态采集的电子烟气压感应系统
CN2280285Y (zh) 电容式气压传感器
CN212414754U (zh) 传感装置与电子烟
WO2005066599A3 (en) Modified dual diaphragm pressure sensor
CN2784934Y (zh) 电容式加速度传感器信号变换电路
CN208172033U (zh) 一种微型无线风速风向仪
CN2131197Y (zh) 压力开关
CN110542465A (zh) 一种陶瓷电阻式液位传感器
CN221280441U (zh) 用于电抗器振动信号测量的peng自取能传感器
CN2319792Y (zh) 小量程液位传感器
CN214702551U (zh) 一种贴片式温度传感器

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee