CN102056390B - 一种组合等离子体放电装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种组合等离子体放电装置，包括一个位于中间的平板之间的放电和两侧的滚轴之间的放电，该平板之间的放电是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成，在该平板地电极与高压电极之间设有一个或两个介质阻挡层，在该平板地电极的中部位置开设有进气孔；该滚轴之间的放电位于该平板放电的两侧，具有多组滚轴之间的放电组，该放电组之间设有绝缘介质并设有一定的间隔，在该两侧放电组的上方设有变频风机，在两侧设有薄膜材料进口和出口缝隙，多组电源分别与中间放电体和两侧的滚轴放电组连接。利用本发明，可产生不同的等离子体放电频率和强度，通过集成这些不同放电区域，可实现对材料表面的综合处理。

Description

一种组合等离子体放电装置
技术领域
本发明涉及等离子体应用技术领域，尤其是一种组合等离子体放电装置，是在常压下中间为平板放电，两侧为滚轴放电的组合，在该组合的两侧分别设有薄膜进出系统和变频风机抽气系统。
背景技术
常压等离子体技术是在近年来才迅速发展起来的，并已得到广泛的应用，目前人们所普遍采用的大气压等离子体技术主要是介质阻挡的高频高压放电，一般是采用一种电极结构和一组电源的形式，所采用的放电气体大都只限于空气，因此即使高频高压放电，所产生的等离子体放电的强度变化并不明显。采用不同的放电结构的多组放电形式并利用不同的放电气体的组合，可以实现不同能量密度的等离子体，利用不同能量密度的等离子体可以实现对材料表面的不同处理效果。
此外，目前等离子体放电所产生的废气不能很好的集中处理，影响设备操作人员的工作环境，如何实现对废气的集中收集也是等离子体技术应用中十分重要的一环。
发明内容
(一)要解决的技术问题
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种新型的大气压下组合等离子体放电装置，可以产生不同的等离子体放电频率和强度，通过集成这些不同放电区域，形成对材料表面的不同处理效果，实现综合处理，达到单一等离子体处理所难以达到的效果。
(二)技术方案
为达到上述目的，本发明提供了一种组合等离子体放电装置，包括一个位于中间的平板之间的放电和两侧的滚轴之间的放电，该平板之间的放电是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成，在该平板地电极与高压电极之间设有一个或两个介质阻挡层，在该平板地电极的中部位置开设有进气孔；该滚轴之间的放电位于该平板放电的两侧，具有多组滚轴之间的放电组，该放电组之间设有绝缘介质并设有一定的间隔，在该两侧放电组的上方设有变频风机，在两侧设有薄膜材料进口和出口缝隙，多组电源分别与中间放电体和两侧的滚轴放电组连接。
上述方案中，该装置所采用的电源是一种高频高压电源，该电源的频率范围是1至30KHz，电压范围是5至15KV。
上述方案中，该平板地电极与高压电极之间具有一放电间隙，该放电间隙为2至5mm。
上述方案中，在该平板地电极的中部位置开设的进气孔，在平板电极的放电间隙中引入氩气以及其它反应气体。
上述方案中，该放电组之间设有绝缘介质，其中一组电极为地电极与大地连接，另一组电极为高压电极与高频电源的高压端连接。
上述方案中，该变频风机通过排气管道排除放电所生产的废气。
上述方案中，该装置在放电电极之间设有薄膜导向轴，薄膜材料能够通过该导向轴穿过等离子体放电区。
上述方案中，该多组电源和多组放电体用壳体包覆，该壳体与大地连接。
(三)有益效果
本发明提供的这种组合等离子体放电装置，其优点是：
1、在大气压下产生不同强度空气放电。
2、在大气压下实现不同放电气体放电。
3、实现放电废气的集中收集。
4、放电区间气体温度低。
另外，本发明是在大气压下产生不同强度和不同反应气体的放电，主要用途是：对穿过等离子体放电区的各种薄膜材料进行表面改性或接枝处理。
附图说明
图1是依照本发明实施例提供的组合等离子体放电装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。
参阅本发明实施例的结构示意图图1：该装置由安装在框架102上的一个平板地电极111和与该地电极有一定间隙的高压电极109构成，在该平板地电极111与高压电极109之间设有一个或两个介质阻挡层110，在平板地电极111的中部位置开设有进气孔114，在该平板放电的两侧设有多组滚轴之间的放电组104和107，该放电组之间设有绝缘介质并设有一定的间隔，在该两侧放电组的上方设有变频风机105，在两侧设有薄膜材料进口119和出口缝隙120，多组电源115、101和113分别与中间放电体和两侧的滚轴放电组连接，该多组电源和多组放电体用壳体106包覆，该壳体106与大地连接。
在壳体106内分别安装有薄膜导向轴103，被处理的薄膜112通过导向轴103可以穿过等离子体的放电区116、117和118。
当在高压电极与地电极之间加上高频电压时，其高压电极与地电极之间的缝隙中产生等离子体的放电。
外壳壳体和框架采用金属材料制成，绝缘介质采用玻璃或陶瓷等材料制成。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种组合等离子体放电装置，该装置包括一个位于中间的平板放电体和位于该平板放电体两侧的滚轴放电组，其特征在于：
该平板放电体是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成，在该平板地电极与高压电极之间设有一个或两个介质阻挡层，在该平板地电极的中部位置开设有进气孔；
该滚轴放电组在该平板放电体的两侧各有一个，每个该滚轴放电组均具有第一放电组(104)和第二放电组(107)，该第一放电组(104)与该第二放电组(107)之间设有绝缘介质并设有一定的间隔，在每个该滚轴放电组的上方均设有变频风机，并且，在该组合等离子体放电装置的两侧分别设有一个薄膜材料进口和一个出口缝隙，多组电源分别与平板放电体和滚轴放电组连接。
2.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该装置所采用的电源是一种高频高压电源，该电源的频率范围是1至30KHz，电压范围是5至15KV。
3.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该平板地电极与高压电极之间具有一放电间隙，该放电间隙为2至5mm。
4.根据权利要求3所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：在该平板地电极与高压电极之间的放电间隙中引入氩气。
5.根据权利要求2所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：在该第一放电组(104)和该第二放电组(107)中，其中一个放电组为地电极与大地连接，另一个放电组为高压电极与该高频高压电源的高压端连接。
6.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该变频风机通过排气管道排除放电所生产的废气。
7.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该多组电源、平板放电体和滚轴放电组用壳体包覆在一起，该壳体与大地连接。
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