CN102053361A - 一种可调标准具 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种可调标准具，其包括一透明基板、一第一中空圆柱模块、一第二中空圆柱模块和一MEMS腔片；所述第一中空圆柱模块的平面一端固定在透明基板上，另一端为凹面端；所述第二中空圆柱模块的凸面端与第一中空圆柱模块的凹面端相互匹配；所述MEMS腔片设置在第二中空圆柱模块的中空腔内，并且可以在中空腔内调节其位置。本发明可以调节标准具的自由光谱范围、插损曲线、群延迟曲线的中心波长，具有结构简单、控制精度高、使用电压低、功耗低等优点。
Description
技术领域
本发明涉及光无源器件领域，尤其涉及一种可调标准具。
背景技术
在涉及标准具的光无源器件中，很多应用需要标准具具有一定的调节能力，如调节标准具的自由光谱范围；插损曲线、群延迟曲线的中心波长。具体应用包括了可调的色散补偿器、可调激光器等。
具体的调节机制已包括了，一种是利用温度控制改变单晶硅标准具的折射率从而改变标准具的光程，其缺点是控制温度时间长；另一种是通过在空气隙腔内插入一倾斜度可调的标准具作为频率调谐元件，其缺点是存在机械移动部件，稳定性差；还有一种是利用改变加在腔两端的电场强度改变电光晶体/陶瓷的电光系数从而进行相位的调节，其缺点是工作电压高，对电路要求高，且插入损耗较大。
发明内容
本发明解决的技术问题是，提供一种可调标准具，具有结构简单、控制精度高、响应时间短、使用电压低、功耗低等优点。
一种可调标准具，其包括一透明基板、一第一中空圆柱模块、一第二中空圆柱模块和一MEMS腔片；所述第一中空圆柱模块的平面一端固定在透明基板上，另一端为凹面端；所述第二中空圆柱模块的凸面端与第一中空圆柱模块的凹面端相互匹配；所述MEMS腔片设置在第二中空圆柱模块的中空腔内，并且可以在中空腔内调节其位置。
进一步地，所述第一中空圆柱模块的平面一端与透明基板之间涂覆有UV胶。
进一步地，所述第二中空圆柱模块的凸面端与第一中空圆柱模块的凹面端之间涂覆有UV胶。
进一步地，所述MEMS腔片与第二中空圆柱模块的中空腔的内表面之间涂覆有UV胶。
进一步地，所述MEMS腔片接近透明基板的一侧的表面涂覆有高反膜。
进一步地，所述高反膜所在的面与所述透明基板所在的面相互平行。
与现有技术相对比，本发明提供的一种可调标准具，利用MEMS腔片进行空气隙腔长调节，并用球关节结构(第二中空圆柱模块的凸面端与第一中空圆柱模块的凹面端相互匹配)实现了一种新型的可调标准具，可以调节标准具的自由光谱范围、插损曲线、群延迟曲线的中心波长，具有结构简单、控制精度高、使用电压低、功耗低等优点。
附图说明
图1是本发明一种可调标准具实施例初始状态结构示意图。
图2是本发明一种可调标准具实施例成品状态结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
本发明的思想为，采用平移式MEMS作为一个腔片，再与另一个腔片构成空气隙可调标准具，采用凹凸球关节结构使两个腔片初步固定接近相互平行，再利用其中一个腔片支柱与套管之间微间隙作最后平行度修正和腔片之间间隙修正。
请参阅图1，其是本发明一种可调标准具实施例初始状态结构示意图。
一种可调标准具，包括一透明基板101、一第一中空圆柱模块102、一第二中空圆柱模块103和一MEMS腔片104。
透明基板101与第一中空圆柱模块102相邻设置。
第一中空圆柱模块102的平面一端固定在透明基板101上，另一端为凹面端。
第二中空圆柱模块103两端中，至少一端为凸面。且第二中空圆柱模块103的凸面端与第一中空圆柱模块102的凹面端相互匹配。
MEMS腔片104设置在第二中空圆柱模块103的中空腔内，并且可以中空腔内调节其位置。
另外，第一中空圆柱模块102的平面一端与透明基板101之间涂覆有UV胶。
第二中空圆柱模块103的凸面端与第一中空圆柱模块102的凹面端之间涂覆有UV胶。
MEMS腔片104与第二中空圆柱模块103的中空腔的内表面之间涂覆有UV胶。
MEMS腔片104接近透明基板101的一侧的表面涂覆有高反膜。高反膜所在的面与透明基板101所在的面相互平行。
本发明一种可调标准具组装的过程如下所述：
1)利用UV胶105预先固定第二中空圆柱模块103和MEMS腔片104，请参阅图1；
2)将第二中空圆柱模块103的凸面端与第一中空圆柱模块102的凹面端相互匹配，并涂上胶(或者UV胶)；
3)将第一中空圆柱模块102的平面一端固定在透明基板101上，二者之间涂上胶(或者UV胶)，通过第二中空圆柱模块103的凸面端与第一中空圆柱模块102的凹面端相互匹配，进行调节透明基板101和MEMS腔片104，使得透明基板101和MEMS腔片104相互平行，然后将胶的固化；
4)去除预先固定第二中空圆柱模块103和MEMS腔片104的UV胶105，调节透明基板101和MEMS腔片104之间的距离，达到所需的距离，同时利用MEMS腔片104和第二中空圆柱模块103之间微间隙做角度微调，以而获高精度空气间隙可扫描标准具，请参阅图2。
与现有技术相对比，本发明提供的一种可调标准具，利用MEMS腔片进行空气隙腔长调节，并用球关节结构(第二中空圆柱模块103的凸面端与第一中空圆柱模块102的凹面端相互匹配)实现了一种新型的可调标准具，可以调节标准具的自由光谱范围、插损曲线、群延迟曲线的中心波长，具有结构简单、控制精度高、使用电压低、功耗低等优点。
在上述实施例中，仅对本发明进行了示范性描述，但是本领域技术人员在阅读本专利申请后可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下对本发明进行各种修改。
Claims (6)
1.一种可调标准具，其特征在于，其包括一透明基板、一第一中空圆柱模块、一第二中空圆柱模块和一MEMS腔片；所述第一中空圆柱模块的平面一端固定在透明基板上，另一端为凹面端；所述第二中空圆柱模块的凸面端与第一中空圆柱模块的凹面端相互匹配；所述MEMS腔片设置在第二中空圆柱模块的中空腔内，并且可以在中空腔内调节其位置。
2.根据权利要求1所述的一种可调标准具，其特征在于，所述第一中空圆柱模块的平面一端与透明基板之间涂覆有UV胶。
3.根据权利要求1所述的一种可调标准具，其特征在于，所述第二中空圆柱模块的凸面端与第一中空圆柱模块的凹面端之间涂覆有UV胶。
4.根据权利要求1所述的一种可调标准具，其特征在于，所述MEMS腔片与第二中空圆柱模块的中空腔的内表面之间涂覆有UV胶。
5.根据权利要求1所述的一种可调标准具，其特征在于，所述MEMS腔片接近透明基板的一侧的表面涂覆有高反膜。
6.根据权利要求5所述的一种可调标准具，其特征在于，所述高反膜所在的面与所述透明基板所在的面相互平行。
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