CN102684055A - 一种调节反射镜曲率半径的装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种调节反射镜曲率半径的装置，所述装置包括连接器机构；所述连接器机构与反射镜外表面中心相连接，所述连接器机构在水平方向运动可以调节反射镜的曲率半径。本发明提供的一种调节反射镜曲率半径的装置，安装在激光器的反射镜的外侧，该结构简单、易于装配，当激光器的泵浦功率发生变化时，通过连接器机构调节反射镜的曲率半径，反射镜的曲率半径的变形量可补偿热透镜焦距的变化，使得输出镜的基模高斯光斑尺寸和光远场发散角保持不变，维持激光系统的稳定工作，避免激光器内部的材料发生激光损伤；进一步地，采用压电陶瓷材料和压电陶瓷电源进行驱动，实现了反射镜曲率半径的连续变化，保证在泵浦功率较大变化范围时激光器的稳定工作。

Description

一种调节反射镜曲率半径的装置

技术领域

本发明涉及激光器技术领域，特别涉及一种调节反射镜曲率半径的装置。

背景技术

激光器工作时激光介质吸收的泵浦光能量，除一部分以激光方式输出外，其他能量大多数转变为热并沉积在激光工作物质内使其产生温升，在不断重复泵浦和热传导作用下，工作物质内温度梯度不断增加，工作物质中温度梯度的存在使原本折射率完全均匀的工作物质变为类透镜介质，光束通过工作物质后发生聚焦，俗称为热自聚焦。热自聚焦不但使激光束发散角迅速增加，不利于后续继续利用，更为严重的是会在工作物质内部产生实焦点，它将在材料内部产生激光损伤。

为了减轻热透镜效应对激光器件的影响，目前广泛采用将工作物质端面磨成凹面以作补偿，但只能对特定泵浦功率下的特定的热透镜效应进行补偿，同时加工精确的凹面晶体会增大工艺成本。

另外，在晶体外形一定的条件下，利用“基模热稳腔”思想设计谐振腔是一种常用方法，即当激光的参数满足一定条件时，能使基模参数在一定泵浦功率范围内保持不变或变化甚缓。这种方法通常要求激光介质尽可能靠输出耦合镜一端，腔长比激光晶体长的多，同样的这种形式的激光器只能在泵浦功率在较小范围内变化的情况下稳定工作，如果泵浦功率范围变化较大，这种稳腔结构将会被打破，输出光远场发散角及束宽都会发生比较大的变化。为了实现较大泵浦功率范围内实现激光器的稳定工作，人们设法寻找外加的附加补偿装置来实现热透镜效应的补偿。

2007年8月15日公告授权200710067328.5号中国发明专利说明书中公开了一种激光棒热透镜效应的补偿方法，其特点是将激光器中光学谐振腔的反射镜设置成向激光棒方向凸起的凸面镜，在反射镜上设置由步进马达驱动的移动机构，步进马达由控制电脑控制驱动，使反射镜与激光棒之间的距离为a＝f-R/2-d/2n，其中，R为反射镜的曲率半径，d为激光棒的长度，n为激光棒的折射率，f为热透镜焦距，在确定了反射镜的曲率半径后，就可以利用电脑驱动步进马达带动球面镜沿着光轴平移，自动驱动马达实现完全自动补偿。这种补偿装置存在以下问题：马达带动球面镜移动时难以保证始终沿着光轴，对调节要求很高；谐振腔内通常包含其他元件，这会限制补偿的范围。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种调节反射镜曲率半径的装置。

一种调节反射镜曲率半径的装置，所述装置包括连接器机构；

所述连接器机构与反射镜外表面中心相连接，所述连接器机构在水平方向运动可以调节反射镜的曲率半径。

其中，所述连接器机构包括连接器、连接器支座和连接器驱动单元，所述连接器安装在所述连接器支座上并垂直于反射镜的外表面，所述连接器一端与反射镜外表面相连接，另一端与所述连接器驱动单元相连接，所述连接器驱动单元用于驱动所述连接器在水平方向上移动以调节所述连接器对所述反射镜外表面的作用力。

其中，所述连接器与反射镜外表面的连接方式为粘接或机械连接。

其中，所述连接器与所述连接器驱动单元相连接端设有外螺纹，所述连接器驱动单元设有与所述外螺纹相匹配的内螺纹，转动所述连接器驱动单元可以推动所述连接器在水平方向移动。

其中，所述连接器为压电陶瓷材料，所述连接器驱动单元为压电陶瓷电源，所述连接器与所述连接器驱动单元通过电缆相连接，所述连接器驱动单元通过电压的变化控制所述连接器水平方向移动。

其中，所述连接器驱动单元连接有激光泵浦反馈装置，所述激光泵浦反馈装置用于在泵浦功率发生变化时，控制所述连接器驱动单元电压，实现所述连接器在水平方向的位置调整。

其中，所述连接器贯穿所述连接器支座，所述连接器与所述连接器支座直接采用螺纹方式连接。

其中，所述连接器支座顶部有卡槽，所述连接器安装在所述卡槽内，所述连接器在所述卡槽内可以在水平方向移动。

上述技术方案提供的一种调节反射镜曲率半径的装置，安装在激光器的反射镜的外侧，该结构简单、易于装配，当激光器的泵浦功率发生变化时，通过连接器机构调节反射镜的曲率半径，反射镜的曲率半径的变形量可补偿热透镜焦距的变化，使得输出镜的基模高斯光斑尺寸和光远场发散角保持不变，维持激光系统的稳定工作，避免激光器内部的材料发生激光损伤；进一步地，采用压电陶瓷材料和压电陶瓷电源进行驱动，实现了反射镜曲率半径的连续变化，保证在泵浦功率较大变化范围时激光器的稳定工作。

附图说明

图1是本发明实施例一的激光器的结构示意图；

图2是本发明曲率半径调节原理图；

图3是本发明等效谐振腔的示意图；

图4是本发明实施例二的激光器热透镜效应的补偿装置的结构示意图。

其中，1、底座；2、反射镜；3、激光介质；4、输出镜；5、连接器机构；2-1、夹持机构；3-1、冷却模块；4-1、输出镜调节机构；5-1、连接器；5-2、连接器支座；5-3、连接器驱动单元；a、外表面；b、内表面。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

激光器一般包括底座1和依次安装在底座1上的反射镜2、激光介质3和输出镜4。其中，反射镜2通过夹持机构2-1固定安装在底座1上，反射镜2与夹持机构2-1之间可采用紧固件等方式的机械连接，也可以采用粘结等方式的非机械连接；反射镜2与连接器一端5-1之间可采用机械连接，也可以采用粘结等方式的非机械连接；激光介质3通过冷却模块3-1固定安装在底座1上，输出镜4通过输出镜调节机构4-1固定安装在底座1上，其中，反射镜2可为曲面镜或者为平面镜，以下的技术方案以曲面镜为例。

在激光器工作时，激光介质3可等效成焦距为f的薄透镜，因此激光器可以简化为如图2所示模型，反射镜2和输出镜4的曲率半径分别为R、R₂，腔长L，内含焦距为f的薄透镜，该薄透镜距反射镜2和输出镜4的距离分别为d₁、d₂。

可以得到输出镜4上的基模高斯光束束宽ω₂：

${\mathrm{\ω}}_2^2=\±\frac{\mathrm{\λL}}{\mathrm{\π}}{\left[\frac{g_1^{*}}{g_2^{*}(1-g_1^{*}{g}_2^{*})}\right]}^{1/2}$

其中：

$g_1^{*}=1-\frac{L}{R}-\frac{d_2}{f}(1-\frac{d_1}{R})$

$g_2^{*}=1-\frac{L}{R_2}-\frac{d_1}{f}(1-\frac{d_2}{R_2})$

当激光器的泵浦功率发生变化时，激光介质3的等效热透镜的焦距f会发生变化，导致输出镜4上的高斯光束束宽ω2发生变化，进而影响激光远场发散角及光束质量，公式表明光束尺寸是与反射镜2的曲率半径R、激光介质3的位置及热透镜的焦距f相关的。

如图3所示，

反射镜2的内表面b的半宽：

当反射镜2发生微小形变，其内表面b的中心点由A移到A′，

由于该反射镜2的边缘固定，反射镜2变形后的曲面仍可看成球面，相应球心由O移至O′，曲率半径变为R′，

则当曲面镜发生微小形变Δx时，其曲率半径R′为：

$R^{\′}=\frac{{2R}^2+{\mathrm{\Δx}}^2-2R\sqrt{R^2-r^2}-2\mathrm{R\Δx}+2\sqrt{R^2-r^2}\mathrm{\Δx}}{2R-2\sqrt{R^2-r^2}-\mathrm{\Δx}}$

曲率半径变化量为： $\mathrm{\ΔR}=R^{\′}-R=\frac{{\mathrm{\Δx}}^2+2\sqrt{R^2-r^2}\mathrm{\Δx}}{2R-2\sqrt{R^2-r^2}-\mathrm{\Δx}}$

由上述的推断公式可知，当热透镜的焦距f发生变化时，可通过调节反射镜2的曲率半径R，使其补偿焦距f的变化以使得输出镜4的基模高斯光斑尺寸ω₂和光远场发散角保持不变，维持了激光系统的稳定工作。

当激光器的各元件的位置相对固定时，本发明提供一种激光器热透镜效应的补偿装置，用于改变反射镜2的曲率半径R以补偿焦距f发生变化对束宽ω₂的影响。

如图1所示，本发明的一种调节反射镜曲率半径的装置，该装置安装在激光器的反射镜2的外侧，该补偿装置包括连接器机构5，该连接器机构5抵住反射镜2的外表面的中心；当泵浦功率发生变化时，调节连接器机构5对反射镜外表面a的压力以调节反射镜2的曲率半径R，进而补偿激光器的热透镜焦距f的变化。其中，反射镜2可为圆形、方形、矩形或其它形状；反射镜2的内外表面可以镀制光学薄膜或不镀制光学薄膜，该光学薄膜可为金属或非金属薄膜。该连接器机构5包括连接器5-1、连接器支座5-2和连接器驱动单元5-3，连接器支座5-2固定安装在激光器的底座1上，连接器5-1设置在连接器支座5-2上，连接器5-1的一端与反射镜2的外表面a中心相连，另一端与连接器驱动单元5-3相连，连接器5-1抵住反射镜2的一端为尖端。本发明结构简单，易于装配。当泵浦功率发生变化时，根据泵浦功率的变化值，连接器驱动单元5-3驱动连接器5-1在水平方向上进行伸缩运动以改变该连接器5-1对反射镜2所施加的作用力，以使反射镜2的表面发生变形，变形后的反射镜2的曲率半径R发生了微小形变Δx，该变形量Δx可补偿热透镜的焦距f的变化，使得输出镜4的基模高斯光斑尺寸ω₂和光远场发散角保持不变，以维持激光系统的稳定工作，避免激光器内部的材料发生激光损伤。

本发明的连接器驱动单元5-3可以采用多种形式，以下举例说明：

实施例一

如图1所示，连接器5-1与连接器驱动单元5-3相连的一端设有外螺纹，连接器驱动单元5-3设有与外螺纹相匹配的内螺纹，转动连接器驱动单元5-3可推动连接器5-1在水平方向上的伸缩运动。本实施例的连接器5-1贯穿连接器支座5-2。

本实施例通过转动连接器驱动单元5-3改变连接器5-1对反射镜2的外表面a的作用力，从而改变反射镜2的曲率半径R的目的。如图1所示，通过手动调节连接器驱动单元5-3能够实现反射镜2的曲率半径的变化值Δx的最小值为0.1mm，假设反射镜的初始曲率半径R＝50mm，反射镜2的内表面b的半宽r＝10mm，则当Δx＝0.1mm时，曲率半径变为：R′＝55.1mm。当Δx＝-0.1mm时，曲率半径变为：R′＝45.4mm

实施例二

如图4，连接器5-1为压电陶瓷材料，连接器驱动单元5-3为压电陶瓷电源，连接器5-1通过电缆与连接器驱动单元5-3连接，本实施例连接器支座5-2的顶部具有卡槽，连接器5-1安装在该卡槽内。调节连接器驱动单元5-3的电压带动连接器5-1伸缩，使得连接器5-1作用在反射镜2的外表面a的作用力发生变化，从而实现改变反射镜2的内表面b的曲率半径R的目的。

由于压电陶瓷材料能够实现高精度的位移变化，其位移精度可以达到0.05μm，假设反射镜2的初始曲率半径为R＝50mm，反射镜2的内表面b的半宽r＝10mm，当Δx＝0.05μm时，曲率半径变为：R′＝50.0024mm。当Δx＝-0.05μm时，曲率半径变为：R′＝49.9974mm。如此高的调节精度可以实现反射镜2在一定范围内曲率半径R的连续变化，更加有利于科研实验与工作中对于曲率半径R精确调节的需要。

为了进一步地实现自动化调节反射镜2的曲率半径，本实施例的连接器驱动单元5-3连接有激光泵浦反馈装置，当泵浦功率发生变化时，将自动计算出相应的热透镜焦距f的变化，自动改变连接器驱动单元5-3的驱动电压，实现反射镜2的曲率半径R的自适应调整。

以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (8)

1.一种调节反射镜曲率半径的装置，其特征在于，所述装置包括连接器机构；

所述连接器机构与反射镜外表面中心相连接，所述连接器机构在水平方向运动可以调节反射镜的曲率半径。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述连接器机构包括连接器、连接器支座和连接器驱动单元，所述连接器安装在所述连接器支座上并垂直于反射镜的外表面，所述连接器一端与反射镜外表面相连接，另一端与所述连接器驱动单元相连接，所述连接器驱动单元用于驱动所述连接器在水平方向上移动以调节所述连接器对所述反射镜外表面的作用力。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述连接器与反射镜外表面的连接方式为粘接或机械连接。

4.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述连接器与所述连接器驱动单元相连接端设有外螺纹，所述连接器驱动单元设有与所述外螺纹相匹配的内螺纹，转动所述连接器驱动单元可以推动所述连接器在水平方向移动。

5.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述连接器为压电陶瓷材料，所述连接器驱动单元为压电陶瓷电源，所述连接器与所述连接器驱动单元通过电缆相连接，所述连接器驱动单元通过电压的变化控制所述连接器水平方向移动。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述连接器驱动单元连接有激光泵浦反馈装置，所述激光泵浦反馈装置用于在泵浦功率发生变化时，控制所述连接器驱动单元电压，实现所述连接器在水平方向的位置调整。

7.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述连接器贯穿所述连接器支座，所述连接器与所述连接器支座直接采用螺纹方式连接。

8.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述连接器支座顶部有卡槽，所述连接器安装在所述卡槽内，所述连接器在所述卡槽内可以在水平方向移动。

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