CN102022425A - 轴承装置、油分配机构和方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种轴承装置、油分配机构和方法。提供了用于油再分配的方法、衬垫和轴承装置。该轴承装置包括：具有至少一个保持头的环件；至少一个衬垫，其设置在环件内部，并且具有构造成以便接收至少一个保持头的底部凹陷部分；油分配机构，其构造成以便在该至少一个衬垫的前缘处注入油，以使其朝向该至少一个衬垫的后缘流动；以及油再分配机构，其在该至少一个衬垫上、构造成以便将油从该至少一个衬垫的后缘再分配到该至少一个衬垫的前缘。当沿由该至少一个衬垫支承的转子的旋转方向沿着环件的周边行进时，前缘是遇到的该至少一个衬垫的第一边缘，而后缘是遇到的该至少一个衬垫的第二边缘。

Description

轴承装置、油分配机构和方法

技术领域

本文公开的主题的实施例大体涉及用于对轴承装置内的保持衬垫再分配油的方法和系统，并且更具体而言涉及用于对轴承装置内的保持衬垫再分配油的机构和技术。

背景技术

涡轮机正不断进化，而且这个领域中的最新技术正在利用高速轴承。在轴承设计的许多领域中，转子轴承系统的设计直接影响机器的性能。传统设计已经对轴承提供了滚动元件，即可在保持头周围枢转同时支承转子的衬垫或瓦。但是，在高速和/或高压下会超过滚动元件的载荷能力和硬度极限，且因此降低了机器的性能和寿命预期。例如，在高于传统涡轮机的典型速度的圆周速度处，置于旋转轴的端部处以适应轴承速度极限的滚珠轴承可导致超临界操作(即在临界速度之上操作)，这可导致经受破坏性的且无法阻止的次同步旋转和较大的径向偏转的不稳定的转子。

虽然涡轮机的传统应用采用传统的圆周速度，但是除了别的优点之外，看起来可以更高速度操作的机器将改进功率消耗和衬垫中的热分布。但是，这些高于正常的速度可助长接下来论述的其它问题。

为了减小转子和轴承之间的摩擦，可引入油来分开机器的这两个构件。在现有技术中，这个系统已知为轴颈轴承。轴和轴承一般均为简单的抛光柱面，润滑剂填充轴端部和轴承的瓦之间的间隙。润滑剂不是仅仅在轴和瓦的表面之间“减小摩擦”，使一个更容易抵靠在另一个上滑动，而是润滑剂足够厚，使得一旦旋转，这些表面根本不发生接触。如果使用油的话，则一般在压力下将油供给到轴承中的孔中(如对于已加载的轴承所做的那样)。

在图1中显示了这种实例，这是美国专利No.6,361,215的图1的图示，该专利的整个内容通过引用而结合在本文中。图1显示了封闭沿箭头14所示的方向旋转的轴12的轴颈轴承10。轴颈轴承10包括由环件18保持就位的五个衬垫16。各个衬垫16包括插入衬垫16的凹陷区域22中的衬垫支承件20。衬垫支承件20连接到固定到环件18上的插入件24上。各个衬垫支承件20和凹陷区域22具有协作的球形表面，以允许衬垫16沿任何方向自由地枢转，以在轴12旋转时与轴12的表面一致。另外，轴颈轴承10具有油供应装置26，油供应装置26有规则地形成于环件18内部，以在衬垫16和轴12之间供应油。

但是，当轴12相对于衬垫16高于某个速度而旋转时，来油不足是在传统涡轮机中发现的问题之一。当圆周轴速度增大时，这个问题会恶化。来油不足是缺乏用于旋转轴和/或衬垫的足够的油，使得轴和衬垫之间的油膜被中断，这可在轴和衬垫之间导致高的摩擦，从而导致高温和随后的损害。

响应于这个问题，上述美国专利No.6,361,215提出了如图2所示的解决方案，图2对应于该专利的图3。图2显示了具有前缘28a和后缘28b的衬垫16的表面16a。衬垫16具有与凹槽30流动连通的油供应装置26。因此，油最初在凹槽30中提供在表面16a上。从那里起，油被转子(在沿着方向14旋转的同时)带向衬垫16的表面16a的内部。但是，如美国专利No.6,361,215在第5列、第43-47行处阐明的那样，油从表面16a的中心起被推向衬垫16的边缘32a和32b。为了改进表面16a上的油分配，美国专利No.6,361,215提出在衬垫16的侧部上增加凹槽34a和34b，以捕获从衬垫的中心向边缘32a和32b移动的油，以对该油进行再分配。因此，美国专利No.6,361,215的凹槽34a和34b具有两个区域，平行于边缘32a和32b的第一区域36a和36b，以及成角度、以便有利于从侧部朝向衬垫16的中心分配油的第二区域38a和38b。

但是，这个方法仅在后缘28b附近提供了油再分配，凹槽34a和34b的第二区域38a和38b位于此处，并且再分配从衬垫16的边缘朝向衬垫16的中心而发生。因此，油再分配受第二区域38a和38b的几何结构限制。图3显示了衬垫16的宽度W上的油的压力分配，其示出了来自图2中的表面16a的中心的油为何被轴12的旋转推动而朝向边缘32a和32b移动。

可在传统涡轮机中出现的另一个问题是气穴。气穴是在液体的压力下降到低于其蒸气压力的区域中的流动液体(例如油)的蒸气泡的形成。当转子以高速旋转时，油压可下降到低于其蒸气压力，从而导致气穴和冲击波的形成。因为由气穴形成的冲击波足够强到可显著地损害运动部件，所以气穴通常是不合乎期望的现象。

当新的应用的圆周轴速度需要超过预定速度的速度时，不得不处理和解决以上概述的问题，以便使这些应用恰当地起作用。虽然已经在轴颈轴承的背景中对以上问题进行了论述，但是这些问题会出现在其中轴相对于衬垫以高速旋转的其它轴承中。

因此，合乎期望的将是提供避免前述问题和缺点以及在考虑以下公开的主题之后本领域普通技术人员所理解的其它问题的装置、系统和方法。

发明内容

根据一个示例性实施例，存在一种轴承装置，其包括：具有至少一个保持头的环件；至少一个衬垫，其设置在环件内部，并且具有构造成以便接收至少一个保持头的底部凹陷部分；油分配机构，其构造成以便在该至少一个衬垫的前缘处注入油，以(使油)朝向该至少一个衬垫的后缘流动；以及油再分配机构，其在该至少一个衬垫上、构造成以便将油从该至少一个衬垫的后缘再分配到该至少一个衬垫的前缘。当沿由该至少一个衬垫支承的转子的旋转方向沿着环件的周边行进时，前缘是遇到的该至少一个衬垫的第一边缘，而后缘是遇到的该至少一个衬垫的第二边缘。

根据又一个示例性实施例，存在一种置于轴承装置中的衬垫。该衬垫包括：具有构造成以便接收轴承装置的环件的保持头的底部凹陷部分的主体；油分配机构，其构造成以便在衬垫的前缘处注入油，以(使其)朝向衬垫的后缘流动；以及油再分配机构，其在衬垫上、构造成以便将油从衬垫的后缘再分配到衬垫的前缘。当沿由衬垫支承的转子的旋转方向沿着环件的周边行进时，前缘是遇到的该衬垫的第一边缘，而后缘是遇到的该衬垫的第二边缘。

根据又一个示例性实施例，存在一种用于在构造成以便支承转子的轴颈轴承的衬垫上形成再分配油的机构的方法。该方法包括：从衬垫的侧部起在衬垫内部形成直的管道，其沿着该衬垫的长度延伸；通过沿着基本垂直于衬垫的长度的径向方向面向转子的衬垫表面形成第一通道和第二通道，第一通道和第二通道与管道流动连通；以及阻塞与衬垫的该侧部流动连通的管道的端部，从而使得流体不泄露出该管道。

附图说明

结合在说明书中且构成说明书的一部分的附图示出了一个或多个实施例，并且与描述一起阐明了这些实施例。在附图中：

图1是传统的轴颈轴承的示意图；

图2是图1的轴颈轴承的衬垫的表面的图示；

图3是在图2的衬垫的宽度上的压力分配的曲线图；

图4是根据一个示例性实施例的、(具有)形成以用于油再分配的通道和/或凹槽的轴颈轴承的示意图；

图5是根据一个示例性实施例的、具有用于油再分配的通道的衬垫的表面的示意图；

图6是显示了根据一个示例性实施例的衬垫的中心区域上的油压分配的曲线图；

图7是根据一个示例性实施例的衬垫的表面上的油压分配的图示；

图8是根据一个示例性实施例的具有通道的衬垫的截面；

图9是根据一个示例性实施例的具有两个通道的衬垫的表面的图示；

图10是根据一个示例性实施例的具有多个通道的衬垫的表面的图示；

图11是根据一个示例性实施例的具有用于油再分配的凹槽的衬垫的表面的图示；

图12是根据一个示例性实施例的具有多个凹槽的衬垫的表面的图示；

图13是根据一个示例性实施例的具有通道和凹槽的衬垫的表面的图示；

图14是根据一个示例性实施例的具有用于油回送的通道的衬垫的图示；

图15是根据一个示例性实施例的具有不平行于凹槽的通道的衬垫的图示；

图16是示出了根据一个示例性实施例的、用于在衬垫中形成油再分配机构的方法的步骤的流程图。

具体实施方式

示例性实施例的以下描述参照附图。相同的参考标号在不同的附图中表示相同或类似的元件。以下详细描述不限制本发明。相反，本发明的范围由所附的权利要求书限定。为了简单起见，关于轴颈轴承的术语和结构来对以下实施例进行论述。但是，接下来将论述的实施例不限于这些结构和系统，而是这些实施例可应用于包括旋转且由衬垫支承的轴或转子的其它轴承和系统。

整个说明书中对“一个实施例”或“一实施例”的引用意味着结合一个实施例描述的特定特征、结构或特性包括在所公开的主题的至少一个实施例中。因此，短语“在一个实施例中”或“在一实施例中”在整个说明书中的各个地方的出现并不一定指同一个实施例。另外，可以以任何适当的方式将特定的特征、结构或特性结合在一个或多个实施例中。

根据图4所示的一个示例性实施例，轴颈轴承40包括环件42，环件42构造成以便保持多个衬垫44，各个衬垫44具有工作表面44a。衬垫44由挡板46保持，以便在轴(未显示)沿方向A以高速(例如在100m/s和170m/s之间或更高)旋转时防止衬垫44沿旋转方向A滑动。用于防止轴向移位的对应的保持板48将衬垫44保持在环件42附近。保持板48在图4中被示为通过螺钉50固定到环件42上。在其它应用中，如本领域的技术人员将认识到的那样，保持板48可通过其它方式固定到环件42上。环件42、挡板46和保持板48限定了衬垫44可在其中绕着保持头(未显示)枢转的预定的体积。例如在具有相同的第一作者S.Palomba的、序号为No.xxxx的、于yyy提交的名称为“Bearing Device，Retention Mechanism and Method for Retaining atLeast One Pad(轴承装置、用于保持至少一个衬垫的保持机构和方法)”的美国专利申请中对关于将衬垫44保持到环件42上的细节进行了论述，该专利的整个公开通过引用而结合在本文中。

根据图5所示的示例性实施例，衬垫44的表面44a可设有各种凹槽和/或通道，以促进油回送。为了限定油回送的过程，考虑了转子(未在图5中显示)以给定的外部速度v(转子上距转子的旋转轴线最远的点的线速度)旋转，并且相对于衬垫44的旋转方向是从前缘52a到后缘52b。将前缘52a连接到后缘52b上的衬垫44的边缘标记为54a和54b。油继续传送在衬垫44和转子之间的油沿从前缘52a到后缘52b的方向移动时出现。如果油沿相反的方向(即从后缘52b到前缘52a)移动，则出现油回送。

图2示出了其中使用油继续传送对油进行再分配的传统衬垫。相信当转子相对于衬垫的速度低(小于70m/s)时，衬垫可经历油继续传送。但是，对于更高的速度，以及对于凹槽和/或通道的不同的布置，相信油回送占优势，如接下来将论述的那样。

图5显示了其中仅通道形成于衬垫44中的一个实施例。一个通道56可包括入口通道56a、出口通道56b和将入口通道56a连接到出口通道56b上的管道56c。注意到入口通道56a提供为距后缘52b比距前缘52a更近，这是出于下面的原因。虽然图5显示了在距边缘54a一定距离处的入口通道56a和出口通道56b，但是入口通道和出口通道可提供为更接近边缘54a或更接近衬垫44的中心部分。入口通道56a和出口通道56b被示为具有类似于图8中的结构的通道。在图6中显示了沿着通道56计算出的压力。在图6中还显示了沿着线A-A的衬垫44的一部分(沿着图5中的轴线X切取)。注意到压力在更接近后缘52b的P0处最高。入口通道56a处的压力P1比更接近前缘52a的出口通道56b处的压力P2更高。因此，入口通道56a和出口通道56b之间的压差ΔP决定油流量。只要入口和出口位于衬垫上，使得它们的压差是正的，就会实现油回送过程。

图6所示的压力曲线取决于许多因素，例如轴承半径、衬垫和转子之间的油膜的长度和厚度、油的粘性等。因此，压力曲线在轴颈轴承与轴颈轴承间以及在应用与应用间会有所改变。但是，对于给定的轴颈轴承，并且如果上述因素对于该轴颈轴承是已知的，则可例如通过使用雷诺方程来计算图6所示的压力曲线。因此，对于给定的轴颈轴承和特定的条件，合乎需要的是入口通道56a定位成更接近P0，而出口通道56b定位成接近P2。但是，取决于应用，入口通道56a和出口通道56b不一定与高压点P0和低压点P2匹配。在一个示例性实施例中，入口通道56a的位置可具有比出口通道56b的位置的压力更高的压力，以便促进油逆向流动，即从后缘52b朝向前缘52a流动。通过在通道56处具有这种压力分配，实现了油回送状态。

图7示出了衬垫44之上的油膜的计算出的压力的二维表示。标记1至8代表从最高压力(8)至最低压力(1)的任意标度。注意到在衬垫的中心区域中，油将从区域8朝向区域1(见线58)流动，即油回送。

如图8所示的通道56可通过从衬垫44a的侧部起沿着直线钻孔以形成管道56c来制造。图8显示了相对于衬垫44沿着方向14转动的转子60。可钻出入口通道56a和出口通道56b，直到到达管道56c为止。如这个图所示，入口通道56a和出口通道56b两者从表面44a起在衬垫44内部延伸。然后，阻塞件62可通过螺钉联接、螺栓联接、焊接等方式连接到管道56c的端部上，以防止进入入口通道56a的油离开衬垫44。当工作时，在入口通道56a处比在出口通道56b处具有更高压力的油将进入入口通道56a，移动穿过管道56c，并且离开出口通道56b，从而从后缘朝向前缘将油再分配在衬垫上。

这个油“再分配”机构附加于对衬垫44提供油的、与通道64相关联的油“分配”机构之外，并且与之不同。图8显示了构造成用来保持衬垫44的保持头65。根据一个示例性实施例，入口通道56a、出口通道56b和管道56c可各自具有4mm的直径，而管道56c可具有约10mm的长度。但是，这些数字仅是说明性的，并且它们取决于衬垫的实际大小、转子的大小和重量等。

如果两个通道56形成于衬垫44的表面44a上，则入口和出口的分布可为如图9所示的那样，即与出口通道56b相对于前缘52a的位置相比，入口通道56a更接近后缘52b。另外，入口和/或出口可由相对于衬垫44的表面44a具有更低的高度的区域66包围，以在入口和/或出口处存储少量的油。区域66可如本领域的技术人员将认识到的那样构造成具有不同的形状。图9还显示了油源64和来自源64的油的流动的方向65。

根据一个示例性实施例，入口通道56a和出口通道56b设置成远离边缘54a和54b，以避免对于低速的潜在的油继续传送状态。限定“设置成远离”的特定距离可在应用与应用之间不同，并且其取决于转子的速度和其它变量(如本领域的普通技术人员将容易地理解的那样)。

根据图10所示的一个示例性实施例，衬垫可具有多于两个通道56的组合。一些通道56可形成为接近衬垫44的中心区域，而一些通道56可形成为接近边缘54a和54b。而且，在一种应用中，各个通道56的区域56c的长度是不同的，以便更均匀地覆盖衬垫区44a。

根据图11所示的一个示例性实施例，代替具有带有完全在衬垫44的表面44a之下形成的管道的通道56，可在表面44a上的高压点和低压点之间形成凹槽80。各个凹槽80具有第一端部82a，第一端部82a设置成比第二端部82b更接近后缘52b，并且由于更高压力的原因，存在于端部82a处的油被迫朝向第二端部82b行进，在第二端部82b处，压力更低。如果凹槽定位成使得在端部区域82a处的油压比在端部区域82b处的油压更高，则凹槽80也可实现油回送。

根据一个示例性实施例，凹槽80形成为使得端部82a和82b均不与边缘52a和52b连通。相信凹槽80和图2所示的凹槽36a和36b之间的这种差别确定了不同的油流动状态，即对于凹槽80(图11)的油回送状态，以及对于凹槽36a和36b的油继续传送状态。而且，凹槽80a可形成为尽可能地接近边缘54a和54b，如图12所示。在图12所示的一个实施例中，可行的是具有形成为更接近衬垫的中心区域的凹槽80和更接近衬垫的边缘的凹槽80a的组合。多个凹槽的长度不必对于所有凹槽而言均相同。在一种应用中，各个凹槽具有与其它凹槽不同的长度，或者凹槽对具有相同且与其它凹槽对不同的长度(同样如图12所示)。

在图13所示的一个示例性实施例中，衬垫44的表面44a可包括通道56、凹槽80以及凹槽80a和80b。在一种应用中，可行的是具有以不同的顺序(即凹槽80a、通道56、凹槽80、通道56、凹槽80、凹槽80a)或本领域的技术人员将认识到的其它顺序设置的通道56和凹槽80与80a。而且，可行的是具有叠置在通道56上的凹槽80，它们两者具有相同的长度或不同的长度。

在图14所示的一个示例性实施例中，更加详细地示出了油分配系统64。出口90构造成以便将油供应到凹槽92，凹槽92从一个边缘54a延伸到另一个边缘54b，即基本垂直于通道56的管道56c。凹槽92构造成以便积聚来自出口90的油，以及将其尽可能广泛地分配在衬垫44的表面44a上。在另一个示例性实施例中，通道56的出口通道56b可设有对应的凹槽56d，以积聚从入口通道56a接收到的油，以及将其更均匀地分配回到衬垫44的表面44a。根据又一个示例性实施例，两个或更多个通道56的出口可由同一个凹槽56e连接，如图14所示。通道56和凹槽80的数量可在应用与应用之间有所不同，但是其优选在2至4的范围中。

根据图15所示的另一个实施例，通道56可不平行(即成小于90度的角α，更优选地为45度或更小)于凹槽80a，或在通道56之间互相不平行。在另一种应用中，凹槽80和/或凹槽80a可不平行于边缘54a和54b。

以上论述的示例性实施例中的一个或多个的一个优点在于，在不需要外部功率源的情况下对油进行再分配，从而减少衬垫上的来油不足。

根据图16所示的一个示例性实施例，存在一种用于在构造成以便支承转子的轴颈轴承的衬垫上形成再分配油的机构的方法。该方法包括：步骤1602，从衬垫的侧部起在衬垫内部形成直的管道，以沿着衬垫的长度延伸；步骤1604，通过沿着基本垂直于衬垫的长度的径向方向面向转子的衬垫表面形成第一通道和第二通道，第一通道和第二通道与管道流动连通；以及步骤1606，阻塞与衬垫的该侧部流动连通的管道的端部，从而使得流体不泄露出管道。

所公开的示例性实施例提供了具有再分配油机构的轴承装置和衬垫。应当理解的是，本描述不意在限制本发明。相反，示例性实施例意在覆盖包括在由所附的权利要求书限定的本发明的精神和范围中的备选方案、修改和等效物。另外，在示例性实施例的详细描述中，阐述了许多特定细节，以便提供对所要求保护的发明的全面的理解。但是，本领域技术人员将理解，可在没有这种特定细节的情况下实践各个实施例。

虽然在实施例中以特定的结合的方式对本示例性实施例的特征和元素进行了描述，但是各个特征和元素可在不具有实施例的其它特征和元素的情况下单独使用，或者可在具有或不具有本文公开的其它特征和元素的情况下以各种组合的方式使用。

本书面描述使用实例来公开本发明，包括最佳模式，而且还使得本领域的任何技术人员能够实践本发明，包括制作和使用任何装置或系统以及执行任何所结合的方法。本发明的可获得专利保护的范围由权利要求书所限定，并且可包括本领域的技术人员想到的其它实例。如果这种其它实例具有无异于权利要求书的字面语言的结构性元素，或者如果它们包括在权利要求书的字面语言内的等效的结构性元素，则这种其它实例意在处于权利要求书的范围内。

Claims (10)

1.一种轴承装置，包括：

具有至少一个保持头的环件；

设置在所述环件内部、并且具有构造成以便接收所述至少一个保持头的底部凹陷部分的至少一个衬垫；

构造成用来在所述至少一个衬垫的前缘处注入油以朝向所述至少一个衬垫的后缘流动的油分配机构；以及

在所述至少一个衬垫上、构造成以便将油从所述至少一个衬垫的后缘再分配到所述至少一个衬垫的前缘的油再分配机构，

其中，当沿由所述至少一个衬垫支承的转子的旋转方向沿着所述环件的周边行进时，所述前缘是遇到的所述至少一个衬垫的第一边缘，而所述后缘是遇到的所述至少一个衬垫的第二边缘。

2.根据权利要求1所述的轴承装置，其特征在于，所述油再分配机构包括：

通过所述至少一个衬垫的表面形成、距所述后缘比距所述前缘更近的至少一个输入通道；

通过所述至少一个衬垫的所述表面形成、距所述前缘比距所述后缘更近的至少一个输出通道；以及

构造成以便将所述至少一个输入通道连接到所述至少一个输出通道上的管道，所述管道完全在所述至少一个衬垫的所述表面下方形成。

3.根据权利要求1所述的轴承装置，其特征在于，所述轴承装置进一步包括：

沿着所述至少一个衬垫沿轴向延伸并且构造成与所述油再分配机构流体连通的凹槽。

4.根据权利要求1所述的轴承装置，其特征在于，所述油再分配机构包括：

至少一个凹槽，该至少一个凹槽在所述至少一个衬垫的所述表面中、构造成沿着所述环件的周向方向从所述前缘朝向所述后缘延伸，但不与所述前缘或所述后缘流动连通，使得所述至少一个凹槽促进油回送而不是油继续传送，

其中，所述油回送包括将油从所述后缘传递到所述前缘，而所述油继续传送包括将油从所述后缘传递到下一个衬垫。

5.一种置于轴承装置中的衬垫，所述衬垫包括：

具有构造成以便接收所述轴承装置的环件的保持头的底部凹陷部分的主体；

构造成以便在所述衬垫的前缘处注入油以朝向所述衬垫的后缘流动的油分配机构；以及

在所述衬垫上、构造成以便将所述油从所述衬垫的后缘再分配到所述衬垫的前缘的油再分配机构，

其中，当沿由所述衬垫支承的转子的旋转方向沿着所述环件的周边行进时，所述前缘是遇到的所述衬垫的第一边缘，而所述后缘是遇到的所述衬垫的第二边缘。

6.根据权利要求5所述的衬垫，其特征在于，所述油再分配机构包括：

通过所述衬垫的表面形成、距所述后缘比距所述前缘更近的至少一个输入通道；

通过所述衬垫的所述表面形成、距所述前缘比距所述后缘更近的至少一个输出通道；以及

构造成以便将所述至少一个输入通道连接到所述至少一个输出通道上的管道，所述管道完全在所述衬垫的所述表面下方形成。

7.根据权利要求5所述的衬垫，其特征在于，所述油再分配机构包括：

至少一个凹槽，该至少一个凹槽在所述衬垫的所述表面上，构造成沿着所述环件的周向方向从所述前缘朝向所述后缘延伸，但不与所述前缘或所述后缘流动连通，使得所述至少一个凹槽促进油回送而不是油继续传送，

其中，所述油回送包括将油从所述后缘传递到所述前缘，而所述油继续传送包括将油从所述后缘传递到下一个的衬垫。

8.一种用于在构造成以便支承转子的轴颈轴承的衬垫上形成再分配油的机构的方法，所述方法包括：

从所述衬垫的侧部起在所述衬垫内部形成直的管道，以沿着所述衬垫的长度延伸；

通过沿着基本垂直于所述衬垫的长度的径向方向面向所述转子的衬垫的表面形成第一通道和第二通道，所述第一通道和第二通道与所述管道流动连通；以及

阻塞与所述衬垫的所述侧部流动连通的所述管道的端部，使得流体不泄露出所述管道。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括：

完全在所述衬垫的表面下方形成所述管道。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括：

在所述衬垫的所述表面中形成从所述衬垫的后缘朝向前缘延伸的凹槽，其中，当沿所述转子的旋转方向沿着所述衬垫行进时，所述前缘是遇到的所述衬垫的第一边缘，而所述后缘是遇到的所述衬垫的第二边缘。

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