CN102020426A - 一种太阳能级直拉硅单晶埚底料清洗方法 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2010106152512A CN102020426B (zh) | 2010-12-30 | 2010-12-30 | 一种太阳能级直拉硅单晶埚底料清洗方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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CN102020426A true CN102020426A (zh) | 2011-04-20 |
CN102020426B CN102020426B (zh) | 2012-07-04 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN2010106152512A Expired - Fee Related CN102020426B (zh) | 2010-12-30 | 2010-12-30 | 一种太阳能级直拉硅单晶埚底料清洗方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN102020426B (zh) |
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GR01 | Patent grant | ||
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