CN102011918A - 一种高精度直驱式气浮转台 - Google Patents
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- 238000005188 flotation Methods 0.000 title abstract 3
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 claims abstract description 8
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 6
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 6
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 208000020442 loss of weight Diseases 0.000 description 1
- 239000004579 marble Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000008447 perception Effects 0.000 description 1
- 239000010979 ruby Substances 0.000 description 1
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
一种高精度直驱式气浮转台,包括:支撑座(1)、吊环螺钉(2)、手柄(3)、密封环(4)、轴向节流器(5)、径向节流器(6)、安装基座(7)、径向轴承外圈(8)、O形橡胶密封圈I(9)、气浮面组件(10)、O形橡胶密封圈II(11)、压块(12)、电机安装座(13)、插头座(14)、插头I(15)、插头II(16)、力矩电机定子(17)、力矩电机转子(18)、小压圈(19)、光栅盘(20)、读数头(21)、读数头支架(22)、压盖(23)、封板(24)和大压圈(25);该转台分度精度高,端面跳动和径向跳动小,解决了大负载情况下的精确分度问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种高精度直驱式气浮转台,可应用于卫星等大型精密系统总装和部装过程中的坐标转移、部件定位、精度测量等,还可应用于航空航天、汽车制造等行业的精密加工和精密测量,通过改变结构尺寸、气路参数、选择合适的驱动电机等方法可形成系列化产品,应用于更广泛的领域,本发明应用的技术涵盖了光、机、电等领域。
背景技术
卫星总装时的精确测量分为结构系统精测、推进和控制系统精测,包括动量轮、陀螺、星敏感器、发动机等的安装精度测量;有效载荷精测,包括天线、相机、光谱仪等观测设备的安装精度测量,测量方法主要是电子经纬仪配合精密转台的测量方法。精测时,卫星安装在精密转台上随转台旋转,通过电子经纬仪对卫星的测量可确定卫星中心轴的位置,从而确定测量基准,建立星上坐标系。星上电子设备的安装精度,直接影响到设备的使用精度,目前使用的精密转台采用蜗轮-蜗杆减速器的驱动方式,使用精密机械轴承作为旋转承载部件,定位精度约为10″,电子经纬仪的误差为0.5″,再加上环境误差、人体的视觉误差等,整个测量系统的误差为30″。这个测量精度不能满足现代高分辨率卫星的总装需求,采用更高定位精度的转台是降低整个测量系统误差的关键。
发明内容
本发明需解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供了一种精密气浮分度转台,该转台分度精度高,端面跳动和径向跳动小,解决了大负载情况下的精确分度问题。
本发明的技术解决方案是:一种高精度直驱式气浮转台,包括:支撑座、吊环螺钉、手柄、密封环、轴向节流器、径向节流器、安装基座、径向轴承外圈、O形橡胶密封圈I、气浮面组件、O形橡胶密封圈II、压块、电机安装座、插头座、插头I、插头II、力矩电机定子、力矩电机转子、小压圈、光栅盘、读数头、读数头支架、压盖、封板和大压圈;支撑座为薄壁圆筒,圆筒底面向外是安装法兰,封板安装在支撑座的底面;吊环螺钉固定在支撑座侧壁上;手柄和安装基座固定在气浮面组件上,其中安装基座的回转中心与气浮面组件的回转中心重合;密封环、轴向节流器和径向轴承外圈固定在电机安装座上,O形橡胶密封圈I卡在电机安装座的沟槽内,力矩电机定子通过大压圈固定在电机安装座上;径向节流器安装在径向轴承外圈的侧壁上;气浮面组件为截面“T”型的柱形结构,气浮面组件套入径向轴承外圈内,运输时通过压块将气浮面组件和电机安装座固定;O形橡胶密封圈II卡在密封环的沟槽内;电机安装座为带有中心空腔的回转体,放置在支撑座内部,与支撑座在上端面连接;插头座固定在支撑座上;插头I和插头II固定在插头座上;力矩电机转子通过小压圈固定在气浮面组件上;光栅盘通过压盖固定在气浮面组件上;读数头固定在读数头支架上;数头支架固定在大压圈上。
所述的轴向节流器孔径范围为0.1-0.2mm。
所述的径向节流器的孔径范围为0.05-0.15mm。
所述的气浮面组件的平面度的数值范围为0.001~0.005mm,圆柱度的数值范围为0.0005~0.002mm。
本发明与现有技术相比的有益效果是:
A)总体结构形式采用力矩电机直接驱动转台主轴,即电机转子与转台主轴直接耦合,省去中间传动环节,缩小了外形尺寸,简化了机械结构;
B)取消中间传动装置,传动链缩短,减小了传动装置的回程间隙,有利于保证转台的分度精度,可以获得优良的动态和静态稳定度;
C)轴向何径向气浮轴承的采用使转台的轴向何径向跳动更小,分度误差和摩擦力矩更小,整体性能优于普通精密机械轴承转台。
附图说明:
图1为本发明的立体外形示意图;
图2为本发明气浮面组件的安装孔布局示意图;
图3为本发明详细结构图;
图4为本发明光栅盘及读数头的安装及调整示意图;
图5为本发明气浮面组件的组成图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细的描述:
本发明的精密分度转台的外形如图1所示:
A)运输时需要用压块12通过螺钉固定在电机安装座13上,以压紧气浮面组件10及与之相连的其它部分,使用时需拆除运输用压块12及相应锁紧螺钉;
B)待旋转驱动的对象固定在气浮面组件10的上表面,以安装基座7为定心基准、以气浮面组件10为端面定位基准进行安装,通过螺钉进行连接固定,固定孔的分布见图2,ΦD1、ΦD2和ΦD3分别为各个安装孔的分度圆直径;
C)利用吊环螺钉2进行吊装、转运,正常工作时可用将其拆下并用内六方紧定螺钉封住吊环螺钉孔;
D)使用时需将支撑座1固定在双零及以上级大理石平台上,或相应等级的其它材质的平台上;
E)使用时气浮面组件10的上表面与水平面的夹角不得大于30°;
装置的具体组成结构关系如下:
本发明一种精密分度转台,如图3所示包括:支撑座1、吊环螺钉2、手柄3、密封环4、轴向节流器5、径向节流器6、安装基座7、径向轴承外圈8、O形橡胶密封圈I 9、气浮面组件10、O形橡胶密封圈II 11、压块12、电机安装座13、插头座14、插头I 15、插头II 16、力矩电机定子17、力矩电机转子18、小压圈19、光栅盘20、读数头21、读数头支架22、压盖23、封板24、大压圈25以及连接螺钉等。
支撑座1薄壁圆筒,圆筒底面向外设置安装法兰,封板24安装在支撑座1的底面,起到密封盒防尘的作用;吊环螺钉2固定在支撑座1侧壁上,用于起吊、运送和放置;手柄3的作用是可以手动旋转转台;密封环4的作用是连通轴向节流器5已经对连通性进行了说明,并通过管路与从支撑座1的一侧与外部气源和径向节流器6连接,形成稳定的气路,根据需要,轴向节流器的回路和径向节流器的回路可以连通后再连入气源,也可以分别接不同气源;轴向节流器5和径向节流器6的作用是分别和气浮面组件10在轴向和径向形成气膜,进而形成轴向和径向的气浮轴承;安装基座7的作用是用于待测试件的定心;O形橡胶密封圈I 9和O形橡胶密封圈II 11的作用是进行气体密封,与管路一起组成密闭的气路;气浮面组件10为截面“T”型的柱形结构见附图5,气浮面组件10套入径向轴承外圈8内,径向轴承外圈8与电机安装座13的内环槽形成环形回路,联通径向节流器6;气浮面组件10包括台面10-1、内六角圆柱头螺钉10-2、转轴10-3和销钉10-4;压块12的作用是运输时将气浮面组件10和电机安装座13固定在一起;电机安装座13为带有中心空腔的回转体,为了减重从而降低转动惯量,电机安装座13可以设计成倒“工”型结构,放置在支撑座1内部,与支撑座1在上端面连接,和气浮组件10形成气浮面,还用于固定力矩电机定子17,力矩电机的定子和力矩电机转子18之间形成电磁场,是转台的动力源,驱动气浮面组件10旋转;插头座14的作用是固定插头I 15和插头II 16,与支撑座1固定;力矩电机定子17通过大压圈25固定在电机安装座13上;力矩电机转子18通过小压圈19固定在气浮组件10上;光栅盘20通过压盖23固定在气浮组件10上;读数头21固定在读数头支架22上;数头支架22固定在大压圈25上。光栅盘20与支撑座1之间的相对转动被读数头21感知并显示,即为精密分度台的转动角度。
本发明的精密分度转台的光栅盘读数头的安装及调节示意图如图4所示:
A)读数头21通过螺钉固定在读数头支架22上,通过调整读数头支架22与光栅盘20的位置关系来调整光栅盘20与读数头21的位置关系,以保证可靠读数和较小的测量误差;
B)通过调整倾角调节紧定螺钉(旋入/旋出)来调整光栅盘20与读数头21的相对距离的远、近;
C)通过调整两个倾角调节紧定螺钉27(旋入/旋出)的不同旋入长度来调整光栅盘20与读数头21的一个方向的角度,保证产品技术要求;
D)通过配合调整4个锁紧和调节螺钉26来调整光栅盘20与读数头21另一个方向的角度,从而保证光栅盘20与读数头21之间的相对位置满足产品技术要求。
支撑座1采用HT300材料,铸造后需进行消除应力处理,表面需清理并喷漆防锈;轴向节流器5和径向节流器6采用在铜套上镶嵌红宝石件的结构实现,以保证整体的工艺可实现性和寿命;安装基座7是安装的基准,对实际使用效果有很大影响,因此选用淬火后的耐磨和耐腐蚀的9Cr18不锈钢;淬火后硬度不小于HRC58;径向轴承外圈8相当于径向轴承的外圈,考虑耐腐蚀性和硬度,选用9Cr18不锈钢淬火,保证寿命和加工精度;气浮面组件10结构见图5,包括台面10-1、内六角圆柱头螺钉10-2、转轴10-3和销钉10-4,相当于径向轴承的内圈河端面轴承的下压面的组合体,考虑工艺实现性,采用分体加工后组合配磨的方式实现,不但可以降低成本,还可以降低工艺实现难度;考虑耐腐蚀性和硬度,台面10-1和转轴10-3都选用9Cr18不锈钢淬火,保证寿命和加工精度;运输用压块12的用途是防止运输时气浮面组件的损伤,用LY12铝材,不至于对台面10-1造成伤害;电机安装座13是关主件,起到连接电机定子的作用,同时也是端面轴承的支撑面,考虑耐腐蚀性和硬度,选用9Cr18不锈钢淬火,用棒材锻造后静加工,保证寿命和加工精度;节流器的孔径对气浮轴承的性能有很重要的影响,因此需严加控制;而气浮面组件的平面度和圆柱度直接影响分度台的运动精度,是重要技术指标。轴向节流器5孔径范围为0.1-0.2mm。径向节流器6的孔径范围为0.05-0.15mm。气浮面组件10的平面度的数值范围为0.001~0.005mm,圆柱度的数值范围为0.0005~0.002mm。插头座14、小压圈19、读数头支架22、压盖23、封板24和大压圈25都是结构件,选材时保证读够的强度和刚度即可,没有特别要求。
本发明可在大承载的情况下实现旋转精确定位,定位精度可达±2″。应用于高分辨率卫星总装和部装过程中的坐标转移、部件定位和精度测量,是现代化卫星装配过程中不可缺少的设备之一。
本发明未详细描述内容为本领域技术人员公知技术。
Claims (4)
1.一种高精度直驱式气浮转台,其特征在于包括:支撑座(1)、吊环螺钉(2)、手柄(3)、密封环(4)、轴向节流器(5)、径向节流器(6)、安装基座(7)、径向轴承外圈(8)、O形橡胶密封圈I(9)、气浮面组件(10)、O形橡胶密封圈II(11)、压块(12)、电机安装座(13)、插头座(14)、插头I(15)、插头II(16)、力矩电机定子(17)、力矩电机转子(18)、小压圈(19)、光栅盘(20)、读数头(21)、读数头支架(22)、压盖(23)、封板(24)和大压圈(25);支撑座(1)为薄壁圆筒,圆筒底面向外是安装法兰,封板(24)安装在支撑座(1)的底面;吊环螺钉(2)固定在支撑座(1)侧壁上;手柄(3)和安装基座(7)固定在气浮面组件(10)上,其中安装基座(7)的回转中心与气浮面组件(10)的回转中心重合;密封环(4)、轴向节流器(5)和径向轴承外圈(8)固定在电机安装座(13)上,O形橡胶密封圈I(9)卡在电机安装座(13)的沟槽内,力矩电机定子(17)通过大压圈(25)固定在电机安装座(13)上;径向节流器(6)安装在径向轴承外圈(8)的侧壁上;气浮面组件(10)为截面“T”型的柱形结构,气浮面组件(10)套入径向轴承外圈(8)内,运输时通过压块(12)将气浮面组件(10)和电机安装座(13)固定;O形橡胶密封圈II(11)卡在密封环(4)的沟槽内;电机安装座(13)为带有中心空腔的回转体,放置在支撑座(1)内部,与支撑座(1)在上端面连接;插头座(14)固定在支撑座(1)上;插头I(15)和插头II(16)固定在插头座(14)上;力矩电机转子(18)通过小压圈(19)固定在气浮面组件(10)上;光栅盘(20)通过压盖(23)固定在气浮面组件(10)上;读数头(21)固定在读数头支架(22)上;数头支架(22)固定在大压圈(25)上。
2.根据权利要求1所述的一种高精度直驱式气浮转台,其特征在于:所述的轴向节流器(5)孔径范围为0.1-0.2mm。
3.根据权利要求1所述的一种高精度直驱式气浮转台,其特征在于:所述的径向节流器(6)的孔径范围为0.05-0.15mm。
4.根据权利要求1所述的一种高精度直驱式气浮转台,其特征在于:所述的气浮面组件(10)的平面度的数值范围为0.001~0.005mm,圆柱度的数值范围为0.0005~0.002mm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010105360560A CN102011918B (zh) | 2010-11-04 | 2010-11-04 | 一种高精度直驱式气浮转台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010105360560A CN102011918B (zh) | 2010-11-04 | 2010-11-04 | 一种高精度直驱式气浮转台 |
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---|---|
CN102011918A true CN102011918A (zh) | 2011-04-13 |
CN102011918B CN102011918B (zh) | 2012-08-22 |
Family
ID=43842196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102628541A (zh) * | 2012-04-10 | 2012-08-08 | 张瑞杰 | 一种气浮转台结构 |
CN103542241A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-29 | 广州市昊志机电股份有限公司 | 一种气浮转台 |
CN104061944A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-09-24 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种旋转轴系角速率精度标定检测装置 |
CN104019749B (zh) * | 2014-06-20 | 2016-08-24 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法 |
CN105928960A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-09-07 | 重庆大学 | 一种精密气浮转台 |
CN106425521A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-02-22 | 广东技术师范学院 | 一种高速直驱机床第四轴 |
CN107725592A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-02-23 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种环形狭缝节流的气浮转台 |
CN107953117A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-24 | 哈工大机器人集团(哈尔滨)华粹智能装备有限公司 | 一种大型重载超精密卧式空心气浮转台 |
CN110067811A (zh) * | 2019-05-30 | 2019-07-30 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种气浮转台 |
CN111022490A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-04-17 | 天津津航技术物理研究所 | 一种基于高精度转台的增加轴系刚性的轴承 |
CN111421412A (zh) * | 2020-05-20 | 2020-07-17 | 清华大学 | 一种磨削工作台和晶圆减薄设备 |
CN112067906A (zh) * | 2020-09-30 | 2020-12-11 | 南京工业职业技术大学 | 一种测试转台装置及其自动控制方法 |
CN113530977A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-10-22 | 中国计量大学 | 一种一字型分体式扁轴气浮轴系结构 |
CN115818207A (zh) * | 2023-02-10 | 2023-03-21 | 季华实验室 | 一种基板传送装置、控制方法及相关设备 |
CN117571036A (zh) * | 2023-11-21 | 2024-02-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种编码器旋转装置及其装调方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3106189B1 (ja) * | 1999-10-05 | 2000-11-06 | 工業技術院長 | 静圧流体軸受 |
JP2005147379A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-09 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | エアスピンドル |
JP3832084B2 (ja) * | 1998-04-09 | 2006-10-11 | 日本精工株式会社 | 静圧空気軸受直線案内装置 |
CN100335877C (zh) * | 2006-04-30 | 2007-09-05 | 北京航空航天大学 | 控制力矩陀螺用力矩测试气浮转台 |
JP2007321811A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | National Univ Corp Shizuoka Univ | 非接触支持装置 |
CN201151486Y (zh) * | 2007-10-25 | 2008-11-19 | 北京航空航天大学 | 气浮台 |
CN101718302A (zh) * | 2009-12-18 | 2010-06-02 | 中国计量学院 | 分体式超精密气体静压轴系 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3832084B2 (ja) * | 1998-04-09 | 2006-10-11 | 日本精工株式会社 | 静圧空気軸受直線案内装置 |
JP3106189B1 (ja) * | 1999-10-05 | 2000-11-06 | 工業技術院長 | 静圧流体軸受 |
JP2005147379A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-09 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | エアスピンドル |
CN100335877C (zh) * | 2006-04-30 | 2007-09-05 | 北京航空航天大学 | 控制力矩陀螺用力矩测试气浮转台 |
JP2007321811A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | National Univ Corp Shizuoka Univ | 非接触支持装置 |
CN201151486Y (zh) * | 2007-10-25 | 2008-11-19 | 北京航空航天大学 | 气浮台 |
CN101718302A (zh) * | 2009-12-18 | 2010-06-02 | 中国计量学院 | 分体式超精密气体静压轴系 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102628541A (zh) * | 2012-04-10 | 2012-08-08 | 张瑞杰 | 一种气浮转台结构 |
CN102628541B (zh) * | 2012-04-10 | 2014-09-17 | 张瑞杰 | 一种气浮转台结构 |
CN103542241A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-29 | 广州市昊志机电股份有限公司 | 一种气浮转台 |
CN103542241B (zh) * | 2013-09-25 | 2016-06-29 | 广州市昊志机电股份有限公司 | 一种气浮转台 |
CN104061944A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-09-24 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种旋转轴系角速率精度标定检测装置 |
CN104019749B (zh) * | 2014-06-20 | 2016-08-24 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法 |
CN105928960A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-09-07 | 重庆大学 | 一种精密气浮转台 |
CN106425521A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-02-22 | 广东技术师范学院 | 一种高速直驱机床第四轴 |
CN107725592A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-02-23 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种环形狭缝节流的气浮转台 |
CN107953117A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-24 | 哈工大机器人集团(哈尔滨)华粹智能装备有限公司 | 一种大型重载超精密卧式空心气浮转台 |
CN110067811A (zh) * | 2019-05-30 | 2019-07-30 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种气浮转台 |
CN110067811B (zh) * | 2019-05-30 | 2024-03-26 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种气浮转台 |
CN111022490A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-04-17 | 天津津航技术物理研究所 | 一种基于高精度转台的增加轴系刚性的轴承 |
CN111421412A (zh) * | 2020-05-20 | 2020-07-17 | 清华大学 | 一种磨削工作台和晶圆减薄设备 |
CN112067906A (zh) * | 2020-09-30 | 2020-12-11 | 南京工业职业技术大学 | 一种测试转台装置及其自动控制方法 |
CN113530977A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-10-22 | 中国计量大学 | 一种一字型分体式扁轴气浮轴系结构 |
CN113530977B (zh) * | 2021-07-30 | 2023-03-10 | 中国计量大学 | 一种一字型分体式扁轴气浮轴系结构 |
CN115818207A (zh) * | 2023-02-10 | 2023-03-21 | 季华实验室 | 一种基板传送装置、控制方法及相关设备 |
CN117571036A (zh) * | 2023-11-21 | 2024-02-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种编码器旋转装置及其装调方法 |
CN117571036B (zh) * | 2023-11-21 | 2024-07-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种编码器旋转装置及其装调方法 |
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Publication number | Publication date |
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CN102011918B (zh) | 2012-08-22 |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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