CN102007332B - 高纯度用稳压器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种适合用于处理高纯度流体的领域的高纯度用稳压器。本发明的高纯度用稳压器，在将作为稳压器部件之一的塞子固定于主体一侧时，实现将塞子直接挂接于主体固定的新的塞子固定方式，因此，完全消除残留异物或产生噪音等问题，确保流体流动的安全性，从而适合用于高纯度用途，另外，因无需单独的部件，从而减少部件数量，实现装置的小型化。

Description

高纯度用稳压器
技术领域
本发明涉及一种用于减少管道压力的稳压器，尤其涉及适合用于处理高纯度流体的领域的高纯度用稳压器(Regulator for high purity)。
背景技术
一般而言，稳压器为减少压力的装置，在因管道压力过高而影响使用时，将压力调节至适合使用的大小。
例如，稳压器在输出压力开始高于规定的最大值时，减少或阻断流体压力，而当输出压力充分减少时，开放或增加流体。
上述稳压器一般包括具备于阀门部件入口的螺旋弹簧及对超过的入口压力敏感反应并关闭阀门部件的压力检测部件。
在上述装置中，随着阀门部件接近阀座，将限制通过稳压器的流体流动，而当达到一定压力水平时，阀门部件将与阀座接触，以停止继续限制流体流动，或阻断流体流动。
当输出压力降低至一定压力以下时，阀门将远离阀座以增加流体流动。
上述循环迅速重复，以根据所需设定值维持输出压力。
图1为现有稳压器一例剖面图。
如图1所示，在主体10上具备入口11和出口12；在主体10的上部，设置用于设定及调节压力的隔膜13、弹簧14及阀杆15等，与此同时，在下部设置用于限制入口11和出口12之间的流体流动的阀门部件；而在上述阀门部件16周围设置塞子17。
此时，在上述塞子17的外周面和设置塞子17的主体10的塞子安装孔25内周面，各形成螺丝部，以使上述塞子17以螺丝结合于塞子安装孔25的结构固定于主体10之上。
但是，在上例中，塞子和塞子安装孔的螺丝结合部分，存在残留异物等的问题，从而在用于半导体晶片制造工艺等高纯度用途时，将降低纯度。
即，上述稳压器在用于高纯度气体(gas)时存在一定的不足。
图2为现有稳压器另一例剖面图。
如图2所示，在主体10上具备入口11和出口12；在主体10的上部，设置用于设定及调节压力的隔膜13、弹簧14及阀杆15等，与此同时，在下部设置用于限制入口11和出口12之间的流体流动的阀门部件；而在上述阀门部件16周围设置塞子17。
此时，上述塞子17以被压缩部件18支撑的形式固定。
即，压缩部件下压塞子以将其固定于主体一侧。
但是，在上例中，流体通过形成于压缩部件的孔19流动，从而产生涡流，而上述涡流将产生噪音。
即，因一定的流量以一定的压力通过缝隙(孔)流动时产生的哨声效应，将产生如口哨声的严重的噪音。
另外，在上例中，塞子的固定需要单独的压缩部件，从而增加部件数量，使结构变得复杂，降低组装性并提高成本。
发明内容
因此，本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种高纯度用稳压器，其在将作为稳压器部件之一的塞子固定于主体一侧时，实现将塞子直接挂接于主体固定的新的塞子固定方式，因此，完全消除残留异物或产生噪音等问题，确保流体流动的安全性，从而适合用于高纯度用途，另外，因无需单独的部件，从而减少部件数量，实现装置的小型化。
本发明的目的是这样实现的：提供一种高纯度用稳压器，其特征在于：包括具备入口及出口的主体；设置于上述主体上部的隔膜、弹簧及阀杆；设置于主体下部的阀门部件；及用于固定阀门部件的塞子；此时，上述塞子挂接于一体形成于主体的钩子。
此时，上述钩子在塞子安装位置周边两侧，在相对的位置形成
Figure BPA00001235477800021
形状的一对，而上述塞子利用从圆形部件体突出的四角形的突出部，可向旁边旋转并结合至钩子。
本发明所提供的高纯度用稳压器，采用通过一体形成于主体的钩子挂接塞子的形式，因此，消除现有技术中残留异物的问题，确保流体流动的安全性，从而可有效用于半导体晶片制造工艺等处理高纯度流体的领域。
另外，因无需单独的部件即可将塞子固定于主体一侧，从而减少部件数量，节省成本，简化结构，实现装置的小型化。
另外，通过根本上消除产生噪音的原因，从而可实现无噪音的肃静的工作环境。
附图说明
图1为现有稳压器一例剖面图；
图2为现有稳压器另一例剖面图；
图3为本发明一实施例高纯度用稳压器剖面图；
图4为本发明一实施例高纯度用稳压器塞子示意图；
图5为在本发明一实施例高纯度用稳压器中，安装塞子前后状态示意图。
*附图标记*
10：主体          11：入口
12：出口          13：隔膜
14：弹簧          15：阀杆
16：阀门部件      17：塞子(Plug)
18：压缩部件      19：孔
20：钩子          21：突出部
22：夹具插入槽    23：衬垫
24：阀门贯通孔    25：塞子安装孔
具体实施方式
下面，结合附图对本发明进行详细说明。
图3为本发明一实施例高纯度用稳压器剖面图。
如图3所示，在上述高纯度用稳压器的主体10上，形成用于流体的流入和排出的入口11和出口12，而在其上部组装用于调节适当压力的隔膜13、弹簧14及阀杆15等。
另外，用于限制入口11和出口12之间流体流动的阀门部件16，在其上端部接触于隔膜并被弹簧弹性支承的形式，被可上下移动的设置。
在此，上述阀门部件16、隔膜13等运行机制，与通常的稳压器所具有的运行机制没有多少不同，因此，在此不再赘述。
尤其是，设置于上述阀门部件16周围的塞子17，以新的固定形式被固定。
例如，上述塞子17固定衬垫23的部件，以挂接固定于与主体10一体形成的钩子20形式安装。
即，本发明塞子17不是与现有技术一样结合于主题一侧或利用单独的部件固定的形式，而以形成于主体10一侧的钩子20固定塞子17的形式被固定。
为此，如图4所示，上述塞子17具有圆盘形状的部件体，而在部件体上面形成作为实际上挂接于钩子一侧的部分的正四边形突出部21。
另外，在塞子17的部件体中心形成阀门贯通孔24，从而使阀门部件16贯通设置于其中。
另外，为在组装或分解塞子17操作的便利，在部件体上面，即在除突出部21之外的上面，形成位于两侧对称位置的两个夹具插入槽22，从而在将夹具(未图示)挂接于夹具插入槽22之后，在旋转塞子17的同时，较容易组装或分解塞子17。
固定上述塞子17的钩子20，在作为安装钩子20的位置的主体10的孔25周边，在相对的位置形成一对。
此时，钩子20呈
Figure BPA00001235477800041
字形状，从而以固定塞子17的上面边缘的形式，即约束塞子17以防止其向上脱离的形式固定塞子17。
因此，在上述构成的本发明高纯度用稳压器中，安装塞子17的方法如下：
图5为在本发明一实施例高纯度用稳压器中，安装塞子前后状态示意图。
如图5所示，首先在安装阀门部件16的状态下，在主体10的塞子安装孔25内固定衬垫23的位置之后，在其上安装塞子17的顺序进行组装。
为安装上述塞子17，沿避免塞子17的突出部21和主体10的钩子20之间干扰的方向，向两侧钩子20的开放端内侧插入塞子17部件体。
当然，在此时，阀门部件16在适当被按下的状态下，插入塞子17的阀门贯通孔24内。
接着，利用夹具或其他工具按住塞子17，并在此状态下，向旁边旋转90°左右，将突出部21挂接于钩子20，从而完成塞子17的安装。
在此，因塞子17的下侧安装有具有弹力的衬垫23，从而在向下加压时，塞子17可下到下面，而在接触压力时，即在将突出部21挂接于钩子20的状态下，通过衬垫23的复原力塞子17向上，从而紧贴于钩子20一侧。
因此，塞子17的上部由钩子20固定，而下部有衬垫23的复原力，因此，可维持塞子17坚固的安装状态。
如上所述，钩子20一体形成于主体10并固定塞子17，而且同时由塞子17固定衬垫23，从而不仅可完美地维持阀门部件16周边气密性的同时，无需单独的部件或螺丝结合，可以固定形式安装塞子17，因此，结构简单，并可减少整体大小。

Claims (4)

1.一种高纯度用稳压器，其特征在于：包括具备入口(11)及出口(12)的主体(10)；设置于上述主体(10)上部的隔膜(13)、弹簧(14)及阀杆(15)；设置于主体(10)下部的阀门部件(16)；及用于固定上述阀门部件(16)的塞子(17)；而且，上述塞子(17)以挂接固定于一体形成在上述主体(10)的钩子(20)的形式安装，
上述塞子(17)通过利用从部件体突出的突出部(21)向一侧旋转以结合于上述钩子(20)。
2.根据权利要求1所述的高纯度用稳压器，其特征在于：上述钩子(20)在作为安装钩子(20)的位置的塞子安装位置周边两侧，在相对的位置形成一对。
3.根据权利要求1或2所述的高纯度用稳压器，其特征在于：上述钩子(20)呈
Figure FDA0000144705510000011
字形状，从而以固定塞子(17)的上面边缘的形式固定塞子(17)。
4.根据权利要求1所述的高纯度用稳压器，其特征在于：上述塞子(17)包括用于在结合时使用夹具的夹具插入孔(22)。
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