背景技术
光刻是将掩膜版上的电路图形转移到硅片表面的光刻胶上,光刻胶显影后形成光刻胶掩蔽图形(简称为光刻图形)。光刻后通常进行刻蚀或离子注入。半导体集成电路制造中,通常需要经过多次光刻工序。除硅片第一层图形(最下层)形成过程中的光刻外,每一层图形的光刻都要测量套刻精度,以便监测当前层光刻图形与硅片上已有图形是否对准。
请参阅图1,硅片上具有方环形的套刻标记图形10和当前层光刻图形20。套刻标记图形10是之前工序在硅片上形成的,例如采用光刻和刻蚀工艺,用于给即将形成的新的一层图形提供对准的基准。方环形是一种典型的套刻标记的形状。具有套刻标记图形10的这一层硅片图形称为被对准层。当前层光刻图形包括两部分,一部分用于形成后续工艺的窗口,如刻蚀窗口、离子注入窗口;另一部分用于测量套刻精度,如图1中的光刻图形20。测量套刻精度,就是分别测量当前层光刻图形20与被对准层套刻标记图形10内部四条边界的距离a、b、c、d,当前层与被对准层在x轴方向的偏移值为(d-c)/2,在y轴方向的偏移值为(a-b)/2。
有时多步光刻工序会出现共用套刻标记图形的情况,例如对硅片上的同一层图形进行多次光刻,每次光刻用于形成不同位置的离子注入窗口,每次光刻后紧跟着进行一次离子注入。由于离子注入不会在硅片上形成新的一层图形,因此为了节省套刻标记图形占用的面积,通常会让多次光刻共用一个套刻标记图形,即每次测量套刻精度都以一个套刻标记图形作为基准,这个套刻标记图形是之前工序在硅片上形成的。可是套刻标记图形在共用过程中会经受多次离子轰击,其内边界往往因损伤而难以辨别及测量。请参阅图2,这是图1中A-A剖视图。当经受多次离子注入工序后,套刻标记图形10的内边界因损伤而难以辨别,这样测量套刻精度就变得不准确。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种共用套刻标记图形时,例如对硅片上的同一层图形进行多次光刻和离子注入时,保护套刻标记图形的方法。
为解决上述技术问题,本发明保护套刻标记的方法,所述套刻标记图形已形成于硅片上,所述方法应用于对硅片进行多次光刻,每次光刻后紧跟着进行离子注入的情况,所述多次光刻共用所述套刻标记图形;
所述方法为:每次光刻时,形成的光刻图形至少包括三部分,第一部分形成刻蚀或离子注入窗口,第二部分用于与套刻标记图形之间测量套刻精度,第三部分覆盖在套刻标记图形的内边界的上方;对套刻标记图形和光刻图形的第二部分之间测量套刻精度;每次离子注入后,去除光刻胶。
本发明由于在每次离子注入之前,使用光刻图形的一部分保护套刻标记图形的至少是内边界,使得离子注入时套刻标记图形的内边界不会受到离子轰击,从而使得套刻标记图形的内边界不会受到损伤而可以多次复用。
具体实施方式
本发明保护套刻标记图形的方法,应用于共用套刻标记图形的情况。更具体地,是针对硅片上的同一层图形进行多次光刻,每次光刻后紧跟着进行离子注入的情况。此时每次光刻用于形成不同的离子注入窗口,多次光刻共用一个套刻标记图形。例如,CMOS工艺中的p型轻掺杂漏注入(LDD)和n型轻掺杂漏注入,就是对硅片上的同一层图形进行两次光刻,每次光刻后紧跟着进行离子注入。
套刻标记图形已通过之前工序形成于硅片上,是被对准层图形,通常是通过光刻和刻蚀工序形成被对准层图形。
本发明所述方法为:在每次离子注入之前的光刻时,将光刻图形的一部分覆盖在套刻标记图形的至少是内边界的上方;在每次离子注入之后,去除光刻胶。
换而言之,本发明在每次离子注入之前的光刻时,所形成的光刻图形都包括三部分,第一部分是形成后续刻蚀工艺或离子注入工艺的窗口;第二部分用于与套刻标记图形之间测量套刻精度;第三部分是保护用途的光刻图形,即覆盖在套刻标记图形的至少是内边界的上方(也可以是覆盖在整个套刻标记图形的上方),保护套刻标记图形的至少是内边界的形貌,便于测量套刻精度。与传统工艺相比,上述光刻图形仅增加了第三部分。
请参阅图3和图4,图3是在硅片上方以俯视角度朝下观察的示意图,图4是图3中B-B剖视图。硅片上具有方环形的套刻标记图形30,套刻标记图形30是之前工序在硅片上形成的。仍以CMOS工艺中的p型轻掺杂漏注入(LDD)和n型轻掺杂漏注入为例,本发明保护套刻标记图形的方法具体包括如下步骤:
第1步,采用光刻工艺,在硅片表面形成第一光刻图形40,第一光刻图形40包括三部分,第一部分是形成离子注入窗口的部分未图示;第二部分是用于测量套刻精度的为光刻图形41;第三部分覆盖在套刻标记图形30的内边界的上方的为光刻图形42。然后测量光刻图形41与套刻标记图形30之间的套刻精度(如图1所示)。此时,虽然套刻标记图形30的内边界被光刻图形42覆盖,但不会影响套刻精度的测量。
第2步,采用离子注入工艺,在第一光刻图形40所形成的离子注入窗口(未图示)进行离子注入;由于套刻标记图形30的内边界被光刻图形42保护,因此不会受到离子轰击的影响;
第3步,去除硅片表面的光刻胶,即去除第一光刻图形40;此时套刻标记图形30的内边界又暴露出来;
第4步,采用光刻工艺,在硅片表面形成第二光刻图形40,第二光刻图形40也包括三部分,第一部分是形成离子注入窗口的部分未图示;第二部分是用于测量套刻精度的为光刻图形41;第三部分覆盖在套刻标记图形30的内边界的上方的为光刻图形42。然后测量光刻图形41与套刻标记图形30之间的套刻精度(如图1所示)。
第5步,采用离子注入工艺,在第一光刻图形40所形成的离子注入窗口(未图示)进行离子注入;由于套刻标记图形30的内边界被光刻图形42保护,因此不会受到离子轰击的影响;
第6步,去除硅片表面的光刻胶,即去除第二光刻图形40;此时套刻标记图形30的内边界又暴露出来。
上述实施例中,第1步光刻和第4步光刻共用了套刻标记图形30。显然,按照上述实施例的第1-3步、第4-6步循环,本发明可适用于多次的光刻、离子注入、去除光刻胶的复杂工艺,只要在每次光刻时都覆盖在套刻标记图形30的至少是内边界上即可使多次光刻共用套刻标记图形30。
如图3和图4所示,套刻标记图形30的内边界(图3中的虚线)为正方形,保护光刻图形42为方环形。被覆盖住的套刻标记图形30的宽度是y,即保护光刻图形42与套刻标记图形30相重合部分的宽度。保护光刻图形42与套刻标记图形30不重合部分的宽度为x。保护光刻图形42的总宽度为x+y。在一个优选的实施例中,x=y=1μm。
图3所示的套刻标记图形30为方环形,这是一种典型的套刻标记的形状。套刻标记图形也可以是其他形状,例如两个矩形(如图5所示),又如四个矩形(如图6所示),这都可视为方环形的一部分。当套刻标记图形是方环形的一部分,光刻图形的保护部分也是方环形的相应部分,只需覆盖住套刻标记图形的至少是内边界即可。
上述实施例中的形状、位置、数值等均为示意,在不违反本发明思想与精神的前提下所作的任何变动或修饰,均应视作在本发明的保护范围内。