CN101958368A - 太阳电池及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供转换效率高的太阳电池及其制造方法。太阳电池的制造方法是通过串联连接多个电池单元而构成的太阳电池的制造方法，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，该方法包括：划分部形成工序，其在前述基板上，形成按每一前述电池单元划分前述第1电极层的形成区域的疏液性的划分部；以及第1电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述基板上涂敷包含要成为前述第1电极层的第1电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第1电极层。

Description

太阳电池及其制造方法
技术领域
本发明涉及太阳电池及其制造方法。
背景技术
太阳电池将光能转换为电能，其依所使用的半导体而被提出了各种类型的结构。近年来，制造工序简单且能够期待高的转换效率的CIGS型的太阳电池备受关注。CIGS型的太阳电池通过串联连接多个电池单元而构成，一个电池单元例如由形成于基板上的第1电极膜、形成于第1电极膜上的包括化合物半导体(铜-铟-镓-硒化合物)层的薄膜和形成于该薄膜上的第2电极膜构成。第1电极膜通过在第1电极膜的一部分形成槽而按每一电池单元被分割，以跨相邻的电池单元间的方式形成。此外，薄膜及第2电极膜通过在薄膜及第2电极膜的一部分形成到达第1电极膜的槽而按每一电池单元被分割。进而，在薄膜的一部分设置到达第1电极膜的槽，通过在该槽内形成第2电极膜而将第1电极膜与第2电极膜电连接。由此，各电池单元的第2电极膜与相邻的其他电池单元的第1电极膜相连接，各电池单元彼此串联连接(例如，参照专利文献1)。
【专利文献1】特开2002-319686号公报
上述太阳电池中的用于按各电池单元进行分割的槽，通过采用激光照射和/或金属针等对第1电极膜或第2电极膜及薄膜的一部分进行划线处理而形成。在此，在形成上述各槽时，需要密切的注意，以便对于其他部件在质量方面不会产生不良状况。因此，除了形成槽的划线区域之外，还需要考虑加工上的偏离量，确保进一步宽幅的区域。可是，由于占用上述宽幅的区域，会存在对太阳电池的功能不起作用的非发电区域增大、转换效率下降的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题的至少一部分而提出的，其可以作为以下的方式或应用例而实现。
[应用例1]本应用例的太阳电池的制造方法，是通过串联连接多个电池单元而构成的太阳电池的制造方法，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，该方法包括：划分部形成工序，其在前述基板上，形成按每一前述电池单元划分前述第1电极层的形成区域的疏液性的划分部；以及第1电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述基板上涂敷包含要成为前述第1电极层的第1电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第1电极层。
根据该结构，在基板上以按每一电池单元划分第1电极层的方式形成划分部，在通过该划分部所划分的区域涂敷包含要成为第1电极层的第1电极材料的液体材料。因为划分部具有疏液性，所以液体材料在与划分部的边界受排拒，而保持于通过划分部所划分的区域内。然后，通过对所涂敷的液体材料进行烧制，而形成第1电极层。由此，第1电极层以电池单元为单位而形成。因而，因为不需要为了以电池单元为单位分割第1电极层而如以往那样进行采用了激光照射和/或金属针等的划线处理，所以不会对其他部件造成损伤等，此外能够防止划线处理时的残渣的产生，能够提供可靠性高的太阳电池。此外，因为不需要如以往那样设定考虑了划线处理中的尺寸误差的划线宽度等，所以可以增加发电区域的形成区域，能够使转换效率提高。
[应用例2]本应用例的太阳电池的制造方法，是通过串联连接多个电池单元而构成的太阳电池的制造方法，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，该方法包括：划分部形成工序，其在前述第1电极层上，形成按每一前述电池单元划分前述半导体层的形成区域的疏液性的划分部；以及半导体层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述第1电极层上涂敷包含要成为前述半导体层的半导体材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述半导体层。
根据该结构，在第1电极层上以按每一电池单元划分半导体层的方式形成划分部，在通过该划分部所划分的区域涂敷包含要成为半导体层的半导体材料的液体材料。因为划分部具有疏液性，所以液体材料在与划分部的边界受排拒，而保持于通过划分部所划分的区域内。然后，通过对所涂敷的液体材料进行烧制，而形成半导体层。由此，半导体层以电池单元为单位而形成。因而，因为不需要为了以电池单元为单位分割半导体层而如以往那样进行采用了激光照射和/或金属针等的划线处理，所以不会对其他部件造成损伤等，此外能够防止划线处理时的残渣的产生，能够提供可靠性高的太阳电池。此外，因为不需要如以往那样设定考虑了划线处理中的尺寸误差的划线宽度等，所以可以增加发电区域的形成区域，能够使转换效率提高。
[应用例3]本应用例的太阳电池的制造方法，是通过串联连接多个电池单元而构成的太阳电池的制造方法，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，该方法包括：划分部形成工序，其在前述第1电极层上，形成按每一前述电池单元划分前述第2电极层的形成区域的疏液性的划分部；以及第2电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述半导体层上涂敷包含要成为前述第2电极层的第2电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第2电极层。
根据该结构，在基板上以按每一电池单元划分第2电极层的方式形成划分部，在通过该划分部所划分的区域涂敷包含要成为第2电极层的第2电极材料的液体材料。因为划分部具有疏液性，所以液体材料在与划分部的边界受排拒，而保持于通过划分部所划分的区域内。然后，通过对所涂敷的液体材料进行烧制，而形成第2电极层。由此，第2电极层以电池单元为单位而形成。因而，因为不需要为了以电池单元为单位分割第2电极层而如以往那样进行采用了激光照射和/或金属针等的划线处理，所以不会对其他部件造成损伤等，此外能够防止划线处理时的残渣的产生，能够提供可靠性高的太阳电池。此外，因为不需要如以往那样设定考虑了划线处理中的尺寸误差的划线宽度等，所以可以增加发电区域的形成区域，能够使转换效率提高。
[应用例4]本应用例的太阳电池的制造方法，是通过串联连接多个电池单元而构成的太阳电池的制造方法，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，该方法包括：第1划分部形成工序，其在前述基板上，形成按每一前述电池单元划分前述第1电极层的形成区域的疏液性的第1划分部；第1电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述基板上涂敷包含要成为前述第1电极层的第1电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第1电极层；第2划分部形成工序，其在前述第1电极层上，形成按每一前述电池单元划分前述半导体层的形成区域的疏液性的第2划分部；半导体层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述第1电极层上涂敷包含要成为前述半导体层的半导体材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述半导体层；第3划分部形成工序，其在前述第1电极层上，形成按每一前述电池单元划分前述第2电极层的形成区域的疏液性的第3划分部；以及第2电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述半导体层上涂敷包含要成为前述第2电极层的第2电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第2电极层。
根据该结构，在基板上以按每一电池单元划分第1电极层的方式形成划分部，在通过该划分部所划分的区域涂敷包含要成为第1电极层的第1电极材料的液体材料。因为划分部具有疏液性，所以液体材料在与划分部的边界受排拒，而保持于通过划分部所划分的区域内。然后，通过对所涂敷的液体材料进行烧制，而形成第1电极层。由此，第1电极层以电池单元为单位而形成。同样，通过对半导体层进行划分的划分部，半导体层以电池单元为单位而形成。此外，通过对第2电极层进行划分的划分部，第2电极层以电池单元为单位而形成。因而，因为不需要如以往那样进行采用了激光照射和/或金属针等的划线处理，所以不会对其他部件造成损伤等，此外能够防止划线处理时的残渣的产生，能够提供可靠性高的太阳电池。此外，因为不需要如以往那样设定考虑了划线处理中的尺寸误差的划线宽度等，所以可以增加发电区域的形成区域，能够使转换效率提高。
[应用例5]在上述应用例的太阳电池的制造方法的前述第1～第3划分部形成工序中，通过涂敷包含要成为前述第1～第3划分部的疏液性材料的液体材料，并使所涂敷的前述液体材料干燥，而形成前述第1～第3划分部。
根据该结构，划分部，通过涂敷包含疏液性材料的液体材料并使其干燥而形成。这样，因为划分部的形成和形成于通过该划分部所划分的区域的层的形成通过印刷法和/或喷墨法等而进行，所以能够使制造工序简单化，并提高生产率。
[应用例6]在上述应用例的太阳电池的制造方法的前述第1～第3划分部形成工序中，前述第1～第3划分部通过预定温度的加热处理而失去疏液性。
根据该结构，因为划分部在预定温度下失去疏液性，所以通过在失去疏液性之后，形成其他层，能够确保各层间的紧密附着性。
[应用例7]在上述应用例的太阳电池的制造方法的前述第1～第3划分部形成工序中，涂敷包含要成为前述划分部的以氟烷基硅烷为主成分的前述疏液性材料的前述液体材料。
根据该结构，通过具有疏液性的氟烷基硅烷，能够使各层按每一电池单元进行分割。
[应用例8]本应用例的太阳电池，其通过串联连接多个电池单元而构成，具备：基板；形成于前述基板上的第1电极层；形成于前述第1电极层上的半导体层；以及形成于前述半导体层上并且形成于前述半导体层的到达前述第1电极层的端面的第2电极层。
根据该结构，第2电极层形成于半导体层上和半导体层的端面。即，第2电极层形成于各电池单元的最外周部分。从而，能够扩大第1电极层、半导体层与第2电极层相重叠的区域、即对发电起作用的发电区域，能够提高转换效率。
[应用例9]在上述应用例的太阳电池中，在形成于前述半导体层的前述端面的前述第2电极层与其他相邻的前述电池单元之间，具有空间部分。
根据该结构，第2电极层形成于各电池单元的最外周部分，并且在第2电极层与相邻的其他电池单元之间，形成空间部分。即，削减了各电池单元的对发电不起作用的非发电区域。从而，可以削减太阳电池中所占的对发电不起作用的非发电区域，使对发电起作用的发电区域增加，能够使转换效率提高。
附图说明
图1是表示太阳电池的结构的剖面图。
图2是表示太阳电池的制造方法的工序图。
图3是表示太阳电池的制造方法的工序图。
符号说明
1…太阳电池，10…基板，11…基底层，12…第1电极层，12A…包含要成为第1电极层的第1电极材料的液体材料，13…半导体层，13a…第1半导体层，13aA…包含要成为第1半导体层的第1半导体材料的液体材料，13b…第2半导体层，13bA…包含要成为第2半导体层的第2半导体材料的液体材料，14…第2电极层，14A…包含要成为第2电极层的第2电极材料的液体材料，31、33…槽部，33a…空间，33b…空间部分，40…电池单元，50…划分第1电极层的形成区域的划分部，51a…划分第1半导体层的形成区域的划分部，51b…划分第2半导体层的形成区域的划分部，52…划分第2电极层的形成区域的划分部，60…连接部。
具体实施方式
以下，关于将本发明具体化了的实施方式边参照附图边进行说明。还有，为了使各附图中的各部件成为在各图面上可以辨识的程度的大小，按各部件使缩小量不同而进行图示。
(太阳电池的结构)
首先，关于太阳电池的结构进行说明。还有，在本实施方式中，关于CIGS型的太阳电池的结构进行说明。图1是表示本实施方式的太阳电池的结构的剖面图。
如图1所示，太阳电池1由电池单元40的集合体构成，该电池单元40包括基板10、形成于基板10上的基底层11、形成于基底层11上的第1电极层12、形成于第1电极层12上的半导体层13、形成于半导体层13上的第2电极层14。
第1电极层12通过第1槽部31按每一电池单元被分割，形成为跨相邻的电池单元40间。形成于第1电极层12上的半导体层13及第2电极层14通过空间部分33b按每一电池单元被分割。并且，在半导体层13上和半导体层13的到达第1电极层12的端面形成第2电极层14。由此，使各电池单元40的第2电极层14与相邻的其他电池单元40的第1电极层12电连接，将各电池单元40串联连接。这样，通过适宜设定串联连接的电池单元40的个数，可以任意地设计改变太阳电池1中的预期电压。
基板10是至少第1电极层12侧的表面具有绝缘性的基板。具体地，例如能够采用玻璃(青板玻璃等)基板、不锈钢基板、聚酰亚胺基板、碳基板等。
基底层11是形成于基板10上的具有绝缘性的层，其例如能够设置以SiO2(氧化硅)为主成分的绝缘层和/或氟化铁层。该基底层11具有绝缘性，并且还具有确保基板10与形成于基板10上的第1电极层12的紧密附着性的功能。还有，在基板10本身具有上述特性的情况下，能够将基底层11进行省略。
第1电极层12形成于基底层11上。第1电极层12具有导电性，其例如能够采用钼(Mo)等。
半导体层13由第1半导体层13a和第2半导体层13b构成。第1半导体层13a形成于第1电极层12上，其是包含铜(Cu)、铟(In)、镓(Ga)、硒(Se)的p型半导体层(CIGS半导体层)。
第2半导体层13b形成于第1半导体层13a上，其是硫化镉(CdS)、氧化锌(ZnO)、硫化铟(InS)等的n型半导体层。
第2电极层14是具有透明性的电极层，其例如是ZnOAl等的透明电极体(TCO：Transparent Conducting Oxides，透明导电氧化物)、AZO等。第2电极层14形成于第2半导体层13b上及半导体层13的端面，在连接部60处第1电极层12与第2电极层14电连接。这样，通过在半导体层13的端面形成第2电极层14并在与其他相邻的电池单元40之间设置空间部分33b，如果换言之则通过将第2电极层14设置于电池单元40的最外周部分，能够更宽阔地设置第1电极层12、半导体层13与第2电极层14相重叠的区域、即对发电起作用的发电区域。
若太阳光等的光入射于如上所述构成的CIGS型的太阳电池1，则在半导体层13内产生成对的电子(-)与空穴(+)，并且电子(-)与空穴(+)在p型半导体层(第1半导体层13a)与n型半导体层(第2半导体层13b)的接合面处，电子(-)聚集于n型半导体层，空穴(+)聚集于p型半导体层。其结果是，在n型半导体层与p型半导体层之间产生电动势。在该状态下，通过将外部导线连接于第1电极层12和第2电极层14，能够将电流获取到外部。
(太阳电池的制造方法)
接下来，关于太阳电池的制造方法进行说明。还有，在本实施方式中，关于CIGS型的太阳电池的制造方法进行说明。图2及图3是表示本实施方式的太阳电池的制造方法的工序图。
在图2(a)的基底层形成工序中，在青板玻璃、不锈钢等的基板10的一个表面形成以SiO2(氧化硅)为主成分的绝缘层和/或氟化铁层的基底层11。基底层11能够通过热处理等而形成。还有，在基板10本身具有上述基底层效果的情况下，能够省略基底层形成工序。
在图2(b)的第1划分部形成工序中，在基底层11上，形成按每一电池单元40划分第1电极层12的形成区域的疏液性的划分部50。具体地，在基底层11上，通过采用印刷法和/或喷墨法等，涂敷包含要成为划分部50的疏液性材料的液体材料，并使所涂敷的液体材料干燥，而形成具有疏液性的划分部50。还有，作为疏液性材料，能够采用以氟烷基硅烷为主成分的材料。
在图2(c)、(d)的第1电极层形成工序中，在通过划分部50所划分的区域，在基底层11上，涂敷包含要成为第1电极层12的第1电极材料的液体材料12A。具体地，采用印刷法和/或喷墨法等，将包含要成为第1电极层12的钼(Mo)的液体材料12A涂敷在通过划分部50所划分的区域。涂敷于基底层11上的液体材料12A，虽然在通过划分部50所划分的区域濡湿扩展，但是因为划分部50具有疏液性，所以划分部50排拒液体材料12A，从而能够可靠地将液体材料12A维持于涂敷区域。然后，如图2(d)所示，通过利用预定温度的加热处理对所涂敷的液体材料12A进行烧制，形成第1电极层12。还有，在液体材料12A的烧制过程中，划分部50的疏液性失去，并且丧失作为划分部50的形态，从而在形成有划分部50的区域，形成第1槽部31。
接下来，关于第2划分部形成工序进行说明。第2划分部形成工序是用于按每一电池单元40划分半导体层13(第1半导体层13a、第2半导体层13b)的形成区域的工序，其由第2之1划分部形成工序和第2之2划分部形成工序而进行。在图2(e)的第2之1划分部形成工序中，在第1电极层12上，形成按每一电池单元40划分第1半导体层13a的形成区域的疏液性的划分部51a。具体地，在第1电极层12上，通过采用印刷法和/或喷墨法等，涂敷包含要成为划分部51a的疏液性材料的液体材料，并使所涂敷的液体材料干燥，而形成具有疏液性的划分部51a。还有，作为疏液性材料，能够采用以氟烷基硅烷为主成分的材料。
接下来，关于半导体层形成工序进行说明。首先，在图2(f)、(g)的第1半导体层形成工序中，在通过划分部51a所划分的区域，在第1电极层12上，涂敷包含要成为第1半导体层13a的第1半导体材料的液体材料13aA。具体地，通过印刷法和/或喷墨法等，将包含要成为第1半导体层13a的化合物半导体材料的液体材料13aA涂敷在通过划分部51a所划分的区域，所述化合物半导体材料包括铜(Cu)、铟(In)、镓(Ga)及硒(Se)。所涂敷的液体材料13aA，虽然在通过划分部51a所划分的区域濡湿扩展，但是因为划分部51a具有疏液性，所以划分部51a排拒液体材料13aA，从而能够可靠地将液体材料13aA维持于涂敷区域。然后，如图2(g)所示，通过利用预定温度的加热处理对所涂敷的液体材料13aA进行烧制，形成第1半导体层13a。由此，形成p型半导体层(CIGS层)。还有，在液体材料13aA的烧制过程中，划分部51a的疏液性失去，并且丧失作为划分部51a的形态，从而在形成有划分部51a的区域，形成槽部33。
在图3(h)的第2之2划分部形成工序中，在槽部33的第1电极层12上，形成按每一电池单元40划分第2半导体层13b的形成区域的疏液性的划分部51b。具体地，在第1电极层12上，通过采用印刷法和/或喷墨法等，涂敷包含要成为划分部51b的疏液性材料的液体材料，并使所涂敷的液体材料干燥，而形成具有疏液性的划分部51b。还有，作为疏液性材料，能够采用以氟烷基硅烷为主成分的材料。
在图3(i)、(j)的第2半导体层形成工序中，在通过划分部51b所划分的区域，在第1半导体层13a上，涂敷包含要成为第2半导体层13b的第2半导体材料的液体材料13bA。具体地，通过印刷法和/或喷墨法等，将包含要成为第2半导体层13b的第2半导体材料的液体材料13bA涂敷在通过划分部51b所划分的区域，所述第2半导体材料包括CdS、ZnO和/或InS等。所涂敷的液体材料13bA，虽然在通过划分部51b所划分的区域濡湿扩展，但是因为划分部51b具有疏液性，所以划分部51b排拒液体材料13bA，从而能够可靠地将液体材料13bA维持于涂敷区域。然后，如图3(j)所示，通过利用预定温度的加热处理对所涂敷的液体材料13bA进行烧制，形成第2半导体层13b。由此，形成n型半导体层。并且，形成包括第1半导体层13a和第2半导体层13b的半导体层13。还有，在液体材料13bA的烧制过程中，划分部51b的疏液性失去，并且丧失作为划分部51b的形态，从而在形成有划分部51b的区域，形成槽部33。
在图3(k)的第3划分部形成工序中，在第1电极层12上，形成按每一电池单元40划分第2电极层14的形成区域的疏液性的划分部52。具体地，在第1电极层12上，通过采用印刷法和/或喷墨法等，涂敷包含要成为划分部52的疏液性材料的液体材料，并使所涂敷的液体材料干燥，而形成具有疏液性的划分部52。还有，作为疏液性材料，能够采用以氟烷基硅烷为主成分的材料。还有，在第3划分部形成工序中，以在半导体层13与划分部52之间形成空间33a的方式，形成划分部52。这是为了，在下一工序中，在该空间33a形成第2电极层14。
在图3(l)、(m)的第2电极层形成工序中，在通过划分部52所划分的区域，在半导体层13上及空间33a中，涂敷包含要成为第2电极层14的第2电极材料的液体材料14A。具体地，通过印刷法和/或喷墨法等，将包含要成为第2电极层14的ZnOAl等透明电极(TCO)材料的液体材料14A涂敷在通过划分部52所划分的区域。涂敷于半导体层13及空间33a的液体材料14A，虽然在通过划分部52所划分的区域濡湿扩展，但是因为划分部52具有疏液性，所以划分部52排拒液体材料14A，从而能够可靠地将液体材料14A维持于涂敷区域。然后，如图3(m)所示，通过利用预定温度的加热处理对所涂敷的液体材料14A进行烧制，形成第2电极层14。而且，由此，第1电极层12与第2电极层14电连接。还有，在液体材料14A的烧制过程中，划分部52的疏液性失去，并且丧失作为划分部52的形态，从而在形成有划分部52的区域，形成空间部分33b。
通过经由上述的工序，制造出串联连接多个电池单元40而成的CIGS型的太阳电池1。
从而，根据上述的实施方式，存在以下所示的效果。
(1)形成划分部50，按每一电池单元40分割第1电极层12。此外，形成划分部51a、51b，按每一电池单元40分割半导体层13(13a、13b)。进而，形成划分部52，按每一电池单元40分割第2电极层14。这样，在本实施方式中，不需要采用激光照射和/或金属针等对每一电池单元40进行分割(划线处理)。因而，不存在对于其他部件的损伤，此外不会产生因划线处理等引起的部件的残渣。由此，能够提供可靠性高的太阳电池。此外，因为不需要设定考虑了划线处理中的误差的划线宽度等，所以可以增加发电区域的形成区域，能够使转换效率提高。
(2)在与半导体层13之间空出空间33a而形成有划分部52。而且，在空间33a中形成有第2电极层14。由此，因为第2电极层14形成于电池单元40的最外周部分，所以能够增加第1电极层12、半导体层13与第2电极层14相重叠的区域、即对发电起作用的发电区域。
还有，并非限定于上述的实施方式，而可举出以下那样的变形例。
(变形例1)虽然在上述实施方式中，采用印刷法和/或喷墨法涂敷了包含要成为第1电极层12的第1电极材料的液体材料12A等，但是并非限定于此。例如，也可以通过浸渍法将液体材料12A涂敷于基板10上。即使如此，也因为划分部50具有疏液性，所以划分部50排拒液体材料12A，从而能够将液体材料12A涂敷在预定的区域。还有，关于其他的液体材料13aA、13bA、14A也同样地，也可以采用浸渍法进行涂敷。
(变形例2)虽然在上述实施方式中，关于第1～第3划分部形成工序进行了说明，但是也可以实施其中的至少一个划分部形成工序，并省略其他的划分部形成工序。即使如此，也能够削减划线处理，能够减轻对于其他部件的损伤。
(变形例3)虽然在上述实施方式中，关于从第2电极层14侧受光的CIGS型的太阳电池1的结构等进行了说明，但是也可以是除了从第2电极层14侧之外也可以从基板10侧受光的CIGS型的太阳电池1。还有，在该情况下，基板10采用具有透明性的基板。例如，是玻璃基板、PET、有机类透明基板等。通过采用具有透明性的基板，能够实现从基板10面的受光。此外，将第1电极层12形成为具有透明性的电极层，例如形成为ZnOAl等的透明电极(TCO：Transparent Conducting Oxide，透明导电氧化物)层。这是为了，通过形成具有透明性的电极层，使来自基板10侧的入射光朝向半导体层13透射。即使是这样的结构，也能够得到上述同样的效果。

Claims (9)

1.一种太阳电池的制造方法，所述太阳电池通过串联连接多个电池单元而构成，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，其特征在于，该方法包括：
划分部形成工序，其在前述基板上，形成按每一前述电池单元划分前述第1电极层的形成区域的疏液性的划分部；以及
第1电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述基板上涂敷包含要成为前述第1电极层的第1电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第1电极层。
2.一种太阳电池的制造方法，所述太阳电池通过串联连接多个电池单元而构成，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，其特征在于，该方法包括：
划分部形成工序，其在前述第1电极层上，形成按每一前述电池单元划分前述半导体层的形成区域的疏液性的划分部；以及
半导体层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述第1电极层上涂敷包含要成为前述半导体层的半导体材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述半导体层。
3.一种太阳电池的制造方法，所述太阳电池通过串联连接多个电池单元而构成，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，其特征在于，该方法包括：
划分部形成工序，其在前述第1电极层上，形成按每一前述电池单元划分前述第2电极层的形成区域的疏液性的划分部；以及
第2电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述半导体层上涂敷包含要成为前述第2电极层的第2电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第2电极层。
4.根据权利要求1所述的太阳电池的制造方法，所述太阳电池通过串联连接多个电池单元而构成，所述电池单元具备基板、形成于前述基板上的第1电极层、形成于前述第1电极层上的半导体层和形成于前述半导体层上的第2电极层，其特征在于，该方法包括：
第1划分部形成工序，其在前述基板上，形成按每一前述电池单元划分前述第1电极层的形成区域的疏液性的第1划分部；
第1电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述基板上涂敷包含要成为前述第1电极层的第1电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第1电极层；
第2划分部形成工序，其在前述第1电极层上，形成按每一前述电池单元划分前述半导体层的形成区域的疏液性的第2划分部；
半导体层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述第1电极层上涂敷包含要成为前述半导体层的半导体材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述半导体层；
第3划分部形成工序，其在前述第1电极层上，形成按每一前述电池单元划分前述第2电极层的形成区域的疏液性的第3划分部；以及
第2电极层形成工序，其在通过前述划分部所划分的区域，在前述半导体层上涂敷包含要成为前述第2电极层的第2电极材料的液体材料，并对所涂敷的前述液体材料进行烧制，而形成前述第2电极层。
5.根据权利要求4所述的太阳电池的制造方法，其特征在于：
在前述第1～第3划分部形成工序中，通过涂敷包含要成为前述第1～第3划分部的疏液性材料的液体材料，并使所涂敷的前述液体材料干燥，而形成前述第1～第3划分部。
6.根据权利要求4或5所述的太阳电池的制造方法，其特征在于：
在前述第1～第3划分部形成工序中，前述第1～第3划分部通过预定温度的加热处理而失去疏液性。
7.根据权利要求4～6中的任意一项所述的太阳电池的制造方法，其特征在于：
在前述第1～第3划分部形成工序中，涂敷包含要成为前述第1～第3划分部的以氟烷基硅烷为主成分的前述疏液性材料的前述液体材料。
8.一种太阳电池，其通过串联连接多个电池单元而构成，其特征在于，具备：
基板；
形成于前述基板上的第1电极层；
形成于前述第1电极层上的半导体层；以及
形成于前述半导体层上并且形成于前述半导体层的到达前述第1电极层的端面的第2电极层。
9.根据权利要求8所述的太阳电池，其特征在于：
在形成于前述半导体层的前述端面的前述第2电极层与其他相邻的前述电池单元之间，具有空间部分。
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