CN101946403B - 压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟 - Google Patents

压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟 Download PDF

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Abstract

具备：压电振动片(4)，其具有以平行配置的状态使基端侧固定于基部(12)，并在前端侧形成有重锤金属膜(21)的一对振动腕部(10、11)；基底基板(2)，其上表面装配有该压电振动片；盖基板，以使装配的压电振动片收容于空腔内的方式与基底基板接合；以及调整膜(34)，从平面上看该调整膜以与一对振动腕部的附近邻接的状态，沿着该振动腕部的长边方向从基端侧延伸到前端侧地形成在两基板中的至少任一个上，通过加热使所述空腔内的真空度上升，通过加热，该调整膜局部地蒸镀到邻接的振动腕部的侧面。

Description

压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟
技术领域
本发明涉及制造在接合的两块基板之间形成的空腔内密封了压电振动片的表面安装型(SMD)压电振动器、制造该压电振动器的压电振动器的制造方法、具有压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟。
背景技术
近年来，在便携电话或便携信息终端设备上，采用利用了水晶等作为时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等的压电振动器。已知多种多样的这种压电振动器，但作为其中之一，众所周知表面安装型压电振动器。作为这种压电振动器，已知一般以由基底基板和盖基板上下夹持形成有压电振动片的压电基板的方式进行接合的3层构造型。这时，压电振动器收容于在基底基板和盖基板之间形成的空腔(密闭室)内。
此外，在近年，不仅开发了上述的3层构造型，而且还开发了2层构造型。这种类型的压电振动器由于基底基板和盖基板直接接合而成为2层构造，在两基板之间形成的空腔内收容有压电振动片。该2层构造型的压电振动器与3层构造的压电振动器相比在可实现薄型化等的方面优越，因而适于使用。
此外，作为收容于空腔内的压电振动片，众所周知音叉型压电振动片。音叉型的压电振动片具有平行配置的一对振动腕部和将该一对振动腕部的基端侧固定为一体的基部，当被施加规定的驱动电压时，一对振动腕部沿着互相接近或分离的方向振动。此外，众所周知进行该振动时的频率F，在设振动腕部的腕长(长边方向的长度)为L、腕宽为W时，由F＝k(W/L2)求出(式中的k为比例常数)。
可是，一般在压电振动器中已设定标称频率。该标称频率是保证压电振动片在被施加规定的驱动电压而振动时的频率的值。即，压电振动片需要调整频率，以在施加时标称频率的范围内振动。
为此，进行压电振动片的频率调整。一般，频率调整分两次即粗调工序和微调工序进行。粗调工序是在制作压电振动片的阶段进行的工序，是对频率进行粗调，使之某一程度接近标称频率的工序。微调工序是在空腔内密封压电振动片后进行的工序，是对该频率进行精细调整，以使压电振动片最终在标称频率的范围内振动的工序。特别是，该微调工序是决定压电振动片的质量的重要工序。
作为该微调工序，一般采用在使压电振动片振动后，一边测量频率一边用激光等来加热成膜在该压电振动片的外表面上的重锤金属膜而局部地除去的方法(例如，参照专利文献1)。依据该方法，通过除去重锤金属膜，压电振动片的重量稍微变轻，因此该压电振动片的频率升高。因此，能够使压电振动片的频率逐渐升高(追随)，能够使之接近标称频率。
另一方面，在制造压电振动器时，与上述的频率调整同样重要的工作是提高空腔内的真空度并调整串联谐振电阻值(R1)的工作。该串联谐振电阻值依赖于空腔内的真空度。具体而言，在空腔内的真空度达到一定水平之前，串联谐振电阻值以接近适宜电阻值的方式降低，而真空度在一定水平以上的情况下该电阻值上没有大的变动。可是，该空腔内的真空度是影响压电振动片的频率的一个要素。因而，串联谐振电阻值需要在微调工序时已经调整为适宜谐振串联电阻值。
作为调整串联谐振电阻值的方法，众所周知例如利用设置在空腔内的铝等的吸气材料的方法(例如，参照专利文献2及专利文献3)。在该方法中，首先用激光等来加热吸气材料并加以激活。这样，被激活的吸气材料一边蒸发一边吸收空腔内的空气。其结果是，能够提高空腔内的真空度，并能调整串联谐振电阻值。此外，下面，将提高真空度并调整串联谐振电阻值的方法称为吸气。
如此，在制造表面安装型压电振动器时，为了确保作为产品的质量，将压电振动片密封于空腔内后，必须分别实施吸气及微调工序。
图29是传统技术的压电振动器的拆下盖基板的状态的平面图，图30是沿图29的D-D线的剖视图。如图30所示，作为表面安装型压电振动器200，提出由基底基板201和盖基板202形成组装件(package)209，并在组装件209的内部形成的空腔C收容压电振动片203的压电振动器。基底基板201和盖基板202在两者间配置接合膜207，从而通过阳极接合来接合。
压电振动器一般要求抑制等效电阻值(有效电阻值，Re)为低值。等效电阻值低的压电振动器可以用低电力来使压电振动片振动，因此成为能量效率良好的压电振动器。
作为抑制等效电阻值的一般的方法之一，众所周知如图29所示那样使密封压电振动片203的空腔C内接近真空的方法。作为使空腔C内接近真空的方法，众所周知在空腔C内密封铝等的吸气材料210，并从外部照射激光而使该吸气材料220激活的方法(吸气)(例如，参照专利文献2及3)。依据该方法，通过成为激活状态的吸气材料210，能够吸收阳极接合时发生的氧，因此能使空腔C内接近真空。
专利文献1：日本特开2003-133879号公报
专利文献2：日本特开2006-86585号公报
专利文献3：日本特表2007-511102号公报
发明内容
但是，上述的压电振动器的制造方法尚有以下的不良情况。
最初，在进行微调工序时加热重锤金属膜的情况下，形成该重锤金属膜的压电振动片也被一并加热，因此无论怎样压电振动片都会受加热导致的负载。因此，希望尽量不加负载地进行微调工序。但是，重锤金属膜容易产生膜厚的不均匀，因此容易对压电振动片施加加热导致的负载。即，由于膜厚不均匀，在每照射1个脉冲的激光时，在变动的频率上会产生差异。即，即使照射1个脉冲的激光想要除去所预想的量的重锤金属膜，由于膜厚不均匀，会除去与预想有出入的意料之外量的重锤金属膜。因此，变动的频率上会产生差异。因此，有时必须对压电振动片进行反复照射，担心加热产生的负载蓄积到压电振动片而对压电振动片产生负面影响。
特别是，已除去的重锤金属膜无法复原，因此无法将一度升高的频率恢复至较低。因而，不得不一点一点慎重地除去重锤金属膜。因此，加热导致的负载容易蓄积到压电振动片，并且产生负面影响的可能性较高。
此外，确保质量所需的作业即吸气及微调工序在分别不同的定时进行，因此无论如何压电振动器的制造都会花时间，无法进行有效率的作业。
本发明考虑上述状况构思而成，其目的在于提供一种表面安装型压电振动器，以在尽量减少加热导致的负载的蓄积的情况下，能更加高精度地进行频率的微调，并能有效率地进行吸气及微调。此外，提供制造该压电振动器的压电振动器的制造方法、具有压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟。
作为搭载图29所示的音叉型压电振动片203的压电振动器200的频率调整方法，已知有这样的方法：在压电振动片203的振动腕210的前端附着频率调整用的金属重锤材料211，照射激光而熔化除去局部的重锤材料211，从而以减少其质量的方式进行修整的方法(例如，参照专利文献1)。
但是，在传统的频率调整方法中，由于修整重锤材料211而减少振动腕210的质量，所以只能向增加压电振动器200的频率的方向进行频率调整。由于没有在将重锤材料211过剩修整而压电振动器200的频率超过目标值的情况下，将该频率降低到目标值的方法，所以不得不废弃压电振动器200。其结果是，存在压电振动器200的成品率低下的问题。
本发明鉴于上述那样的问题构思而成，其目的是提供可提高成品率的压电振动器及其制造方法。
本发明为了解决上述课题而提供以下方案。
本发明的压电振动器，其特征在于包括：压电振动片，其基端侧以平行配置的状态固定于基部，在前端侧具有形成重锤金属膜的一对振动腕部；基底基板，在该基底基板的上表面装配有该压电振动片；盖基板，以在空腔内收容所装配的所述压电振动片的方式接合于基底基板；以及调整膜，从平面上看时该调整膜以与所述一对振动腕部的附近邻接的状态，沿着该振动腕部的长边方向从基端侧延伸到前端侧地形成在所述两基板中的至少任一个上，通过加热使所述空腔内的真空度上升，通过所述加热，该调整膜局部地蒸镀到邻接的所述振动腕部的侧面。
此外，本发明的压电振动器的制造方法，制造包括以下部分的压电振动器：压电振动片，其基端侧以平行配置的状态固定于基部，在前端侧具有形成重锤金属膜的一对振动腕部；基底基板，在该基底基板的上表面装配有该压电振动片；盖基板，以在空腔内收容所装配的所述压电振动片的方式接合于基底基板；以及调整膜，从平面上看时该调整膜以与所述一对振动腕部的附近邻接的状态，沿着该振动腕部的长边方向从基端侧延伸到前端侧地形成在所述两基板中的至少任一个上，通过加热使所述空腔内的真空度上升，其特征在于，包括：调整膜形成工序，在所述基底基板和所述盖基板中的至少任一个上形成所述调整膜；接合工序，将所述压电振动片装配到所述基底基板的上表面后，接合基底基板和所述盖基板而将压电振动片密封在所述空腔内；吸气工序，使密封于所述空腔内的所述压电振动片振动并一边测量串联谐振电阻值及频率一边局部地加热所述调整膜而使之蒸发，将空腔内的真空度调整到一定水平以上的同时，将频率调整到目标值附近的近似范围内；以及微调工序，在该吸气工序后，接着一边测量频率一边加热所述重锤金属膜，微调所述近似范围内的频率而接近所述目标值，在进行所述吸气工序时，根据所述近似范围与所测量的频率之差决定所述调整膜的加热位置，并且在位于所述加热位置附近的所述振动腕部的侧面使加热的调整膜局部地蒸镀，由此改变振动特性。
在本发明的压电振动器及压电振动器的制造方法中，首先进行在基底基板和盖基板中的至少任一个基板形成通过加热提高空腔内的真空度的调整膜的调整膜形成工序。这时，调整膜形成为从平面上看时以邻接一对振动腕部的附近的状态，沿着该振动腕部的长边方向从基端侧延伸到前端侧。此外，从平面上看是指将压电振动片投影到基底基板或盖基板上的方式从上表面或从下表面观察压电振动器。
接着，进行将压电振动片装配到基底基板的上表面后，接合基底基板和盖基板的接合工序。由此，能够将压电振动片密封到空腔内。
接着，进行吸气工序，一边使密封于空腔内的压电振动片振动并测定串联谐振电阻值，一边局部地加热调整膜而使之蒸发，将空腔内的真空度调整为一定水平以上。在此，一定水平是指即便将真空度提高到该水平以上，对串联谐振电阻值没有大的变动的状态。由此，能够确保适宜串联谐振电阻值。
此外，在吸气工序中，调整空腔内的真空度，同时利用调整膜，一边测量频率一边将该频率调整到目标值附近的近似范围内。在此，目标值是指用于确保质量的压电振动器的标称频率。
对进行该吸气工序时的频率的调整方法进行说明，则首先以从平面上看时与一对振动腕部的附近邻接的状态形成调整膜。因而，加热调整膜而使之蒸发时，局部地蒸镀到位于加热位置的附近的振动腕部的侧面。这时，如果蒸镀有调整膜的位置为振动腕部的基端侧，就有频率升高的倾向，如果是前端侧就有频率降低的倾向。因而，通过变更调整膜的加热位置，能够对频率进行增减。因而，根据近似范围和实际测量的频率之差，决定调整膜的加热位置，并且使蒸发到振动腕部的侧面的调整膜局部地蒸镀，从而能够改变振动腕部的振动特性。因而，进行吸气的同时，能够将一对振动腕部的频率调整到目标值附近的近似范围内。
如此，通过进行吸气工序，能够确保适宜串联谐振电阻值，并能使频率预先跟随而落到近似范围内。此外，关于空腔内的真空度，并不因调整膜的加热位置而发生变化。
其次，接着进行一边测量频率一边加热重锤金属膜，微调近似范围内的频率而接近目标值的微调工序。由此，能够将压电振动片的频率调整到目标值的标称频率。
该结果，能够制造在互相接合的基底基板与盖基板之间形成的空腔内收容了压电振动片的表面安装型压电振动器。
特别是，以往，频率调整不得不依赖重锤金属膜，因此需要慎重地除去几次膜厚不均匀的重锤金属膜。对此，在本发明中，在微调工序前频率已经调整到目标值的近似范围内，因此仅除去一点重锤金属膜即可。因而，不怎么受膜厚不均匀的影响而能在短时间内高精度地进行微调。因而，能够谋求高质量化。此外，由于不需要以往那样要几次加热重锤金属膜，所以能够抑制加热导致的负载的蓄积。在这一点上，能够谋求压电振动器的高质量化。
而且，能够并行地进行以往在分别不同的定时进行的吸气和微调，因此能够简化制造工序，并能提高制造效率。
此外，本发明的压电振动器，其特征在于：所述调整膜形成为从平面上看时被夹持在所述一对振动腕部之间。
此外，本发明的压电振动器的制造方法，其特征在于：在进行所述调整膜形成工序时，将所述调整膜形成为从平面上看时被夹持在所述一对振动腕部之间。
依据本发明的压电振动器及压电振动器的制造方法，在进行调整膜形成工序时，将调整膜形成为从平面上看时被夹持在一对振动腕部之间。即，该调整膜位于一对振动腕部的两者附近。因而，仅通过加热1个部位的调整膜，就能使调整膜蒸镀到一对振动腕部的两者侧面。即，以分别邻接于一对振动腕部的方式形成一对调整膜，不需要加热该一对调整膜的作业。因而，能够进一步简化制造工序。
此外，本发明的压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，即包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片；收容所述压电振动片的组装件；以及形成在所述振动腕部的第一质量调整膜，通过除去所述第一质量调整膜的一部分，可以使所述压电振动片的频率增加，所述压电振动器的制造方法的特征在于：在所述组装件的内部形成第二质量调整膜，该第二质量调整膜邻接于所述第一质量调整膜，并且具有在与所述第一质量调整膜邻接的区域，通过除去所述第二质量调整膜的至少一部分来使所述压电振动片的频率降低的工序。
如果除去第一质量调整膜的一部分，压电振动片的频率就会增加，因此如果有物质附着到第一质量调整膜的形成区间，压电振动片的频率就会降低。在本发明中，采用在与第一质量调整膜邻接的区域除去第二质量调整膜的结构，因此可以使伴随除去的生成物附着到第一质量调整膜的形成区间，能够降低压电振动片的频率。由此，即便第一质量调整膜被过剩地除去而压电振动器的频率超过目标范围的情况下，也可以通过除去第二质量调整膜使压电振动器的频率落入目标范围内。因而，能够提高压电振动器的成品率。
此外最好通过从所述组装件的外部照射激光来进行所述第二质量调整膜的除去。
依据该结构，可以与第一质量调整膜的除去同样地除去第二质量调整膜，能够容易进行压电振动器的频率调整。
此外优选通过隔着接合膜阳极接合一对基板来形成所述组装件，并且具有同时形成所述接合膜及所述第二质量调整膜的工序。
依据该结构，能够简化制造工艺并能减少制造成本。
另一方面，本发明的压电振动器，其特征在于，包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片；收容所述压电振动片的组装件；以及形成在所述振动腕部的第一质量调整膜，通过除去所述第一质量调整膜的一部分，可以增加所述压电振动片的频率，邻接于所述第一质量调整膜，在所述组装件的内部形成有第二质量调整膜，在与所述第一质量调整膜邻接的区域，至少除去一部分所述第二质量调整膜。
此外其特征在于，使伴随所述第二质量调整膜的除去而产生的生成物的至少一部分，附着到所述振动腕部的长度方向的所述第一质量调整膜的形成区间。
依据这些结构，朝着降低压电振动片的频率的方向调整频率，因此能够提高压电振动器的成品率。
此外优选所述第二质量调整膜为吸气材料。
依据该结构，无需与吸气材料区分地形成第二质量调整膜，因此能够降低压电振动器的成本。
此外，本发明的振荡器，其特征在于：将上述本发明的压电振动器作为振子电连接到集成电路。
此外，本发明的电子设备，其特征在于：使上述本发明的压电振动器与计时部电连接。
此外，本发明的电波钟，其特征在于：使上述本发明的压电振动器与滤波部电连接。
在本发明的振荡器、电子设备及电波钟中，由于具备减少加热导致的负载的蓄积，并通过更加高精度地进行频率的微调来高质量化，并且通过有效率地进行吸气及微调来低成本化的压电振动器，因此同样能实现高质量化及低成本化。
此外，由于具备提高了成品率的压电振动器，所以能够减少振荡器、电子设备及电波钟的成本。
本发明提供一种压电振动器，包括：压电振动片，其基端侧以平行配置的状态固定于基部，在前端侧具有形成重锤金属膜的一对振动腕部；基底基板，在该基底基板的上表面装配有该压电振动片；盖基板，以在空腔内收容所装配的所述压电振动片的方式接合于基底基板；以及调整膜，从平面上看时该调整膜以与所述一对振动腕部的附近邻接的状态，沿着该振动腕部的长边方向从基端侧延伸到前端侧地形成在所述基底基板和所述盖基板中的至少任一个上，通过加热使所述空腔内的真空度上升，通过所述加热，该调整膜局部地蒸镀到邻接的所述振动腕部的侧面，通过改变所述调整膜的加热位置能够增减所述振动腕部的频率。
其中，所述调整膜形成为从平面上看时被夹持在所述一对振动腕部之间。
本发明提供一种压电振动器，包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片；收容所述压电振动片的组装件；以及形成在所述振动腕部的第一质量调整膜，通过除去所述第一质量调整膜的一部分，可以增加所述压电振动片的频率，邻接于所述第一质量调整膜，在所述组装件的内部形成有第二质量调整膜，在与所述第一质量调整膜邻接的区域，至少除去一部分所述第二质量调整膜，使伴随所述第二质量调整膜的除去而产生的生成物的至少一部分，附着到所述振动腕部的长度方向的所述第一质量调整膜的形成区间而降低所述压电振动片的频率。
其中，所述第二质量调整膜为吸气材料。
本发明提供一种压电振动器的制造方法，制造包括以下部分的压电振动器：压电振动片，其基端侧以平行配置的状态固定于基部，在前端侧具有形成重锤金属膜的一对振动腕部；基底基板，在该基底基板的上表面装配有该压电振动片；盖基板，以在空腔内收容所装配的所述压电振动片的方式接合于基底基板；以及调整膜，从平面上看时该调整膜以与所述一对振动腕部的附近邻接的状态，沿着该振动腕部的长边方向从基端侧延伸到前端侧地形成在所述基底基板和所述盖基板中的至少任一个上，通过加热使所述空腔内的真空度上升，其中，包括：调整膜形成工序，在所述基底基板和所述盖基板中的至少任一个上形成所述调整膜；接合工序，将所述压电振动片装配到所述基底基板的上表面后，接合基底基板和所述盖基板而将压电振动片密封在所述空腔内；吸气工序，使密封于所述空腔内的所述压电振动片振动并一边测量串联谐振电阻值及频率一边局部地加热所述调整膜而使之蒸发，将空腔内的真空度调整到给定水平以上，同时将频率调整到目标值附近的近似范围内；以及微调工序，在该吸气工序后，接着一边测量频率一边加热所述重锤金属膜，微调所述近似范围内的频率而接近所述目标值，在进行所述吸气工序时，根据所述近似范围与所测量的频率之差决定所述调整膜的加热位置，并且在位于所述加热位置附近的所述振动腕部的侧面使加热的调整膜局部地蒸镀，由此改变振动特性。
其中，在进行所述调整膜形成工序时，将所述调整膜形成为从平面上看时被夹持在所述一对振动腕部之间。
本发明提供一种压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，即包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片；收容所述压电振动片的组装件；以及形成在所述振动腕部的第一质量调整膜，通过除去所述第一质量调整膜的一部分，可以使所述压电振动片的频率增加，所述压电振动器中，在所述组装件的内部形成第二质量调整膜，该第二质量调整膜邻接于所述第一质量调整膜，并且具有如下工序，即在与所述第一质量调整膜邻接的区域，通过除去所述第二质量调整膜的至少一部分，从而使伴随所述第二质量调整膜的除去而产生的生成物的至少一部分，附着到所述振动腕部的长度方向的所述第一质量调整膜的形成区间来使所述压电振动片的频率降低。
其中，通过从所述组装件的外部照射激光来进行所述第二质量调整膜的除去。
其中，通过隔着接合膜阳极接合一对基板来形成所述组装件，并且具有同时形成所述接合膜及所述第二质量调整膜的工序。
本发明提供一种振荡器，将所述的压电振动器作为振子电连接至集成电路。
本发明提供一种电子设备，使所述的压电振动器与计时部电连接。
本发明提供一种电波钟，使所述的压电振动器与滤波部电连接。
(发明效果)
依据本发明的压电振动器，能够做成减少加热导致的负载的蓄积，并通过更加高精度地进行频率的微调来高质量化，并且通过有效率地进行吸气及微调来低成本化的表面安装型压电振动器。
此外，依据本发明的压电振动器的制造方法，能够制造上述的压电振动器。
此外，依据本发明的压电振动器的制造方法，能够除去第二质量调整膜，由此能够降低压电振动片的频率。从而，即便第一质量调整膜被过剩地除去而压电振动器的频率超过目标范围的情况下，也可以通过除去第二质量调整膜使压电振动器的频率落入目标范围内。因而，能够提高压电振动器的成品率。
此外，依据本发明的振荡器、电子设备及电波钟，由于具备上述的压电振动器，同样能实现高质量化及低成本化。
附图说明
图1是表示本发明的压电振动器的第一实施方式的外观斜视图。
图2是图1所示的压电振动器的内部结构图，是在拆下盖基板的状态下俯视压电振动器的图。
图3是沿着图2所示的A-A线的压电振动器的剖视图。
图4是图1所示的压电振动器的分解斜视图。
图5是构成图1所示的压电振动器的压电振动片的俯视图。
图6是图5所示的压电振动片的仰视图。
图7是沿图5所示的剖面箭头B-B的图。
图8是表示制造图1所示的压电振动器时的流程的流程图。
图9是表示沿着图8所示的流程图制造压电振动器时的一个工序的图，是表示在盖基板的本源即盖基板用圆片(wafer)形成多个凹部及接合膜的状态的图。
图10是表示沿着图8所示的流程图制造压电振动器时的一个工序的图，是表示在基底基板的本源即基底基板用圆片形成吸气材料、贯通电极、迂回电极及接合膜的状态的图。
图11是图10所示的状态的基底基板用圆片的整体图。
图12是表示沿着图8所示的流程图制造压电振动器时的一个工序的图，是以在空腔内收容压电振动片的状态阳极接合基底基板用圆片和盖基板用圆片的圆片体的分解斜视图。
图13是表示沿着图8所示的流程图制造压电振动器时的一个工序的图，是表示加热振动腕部的基端侧的吸气材料而使之蒸发的状态的图。
图14是本发明的压电振动器的第二实施方式的压电振动器的内部结构图，是拆下盖基板的状态下俯视压电振动器的图。
图15是表示本发明的振荡器的一个实施方式的结构图。
图16是表示本发明的电子设备的一个实施方式的结构图。
图17是表示本发明的电波钟的一个实施方式的结构图。
图18是表示使用本发明的压电振动器的实施例的结果的图。
图19是实施方式的压电振动器的外观斜视图。
图20是图19所示的压电振动器的内部结构图，是拆下盖基板的状态下俯视压电振动片的图。
图21是沿着图20的A-A线的压电振动器的剖视图。
图22是图19所示的压电振动器的分解斜视图。
图23是构成图19所示的压电振动器的压电振动片的平面图。
图24是图23所示的压电振动片的底面图。
图25是沿图23的B-B线的剖视图。
图26是压电振动器的制造方法的流程图。
图27是在空腔内收容压电振动片的状态下阳极接合基底基板用圆片和盖基板用圆的圆片体的分解斜视图。
图28A是表示吸气工序产生的频率变化的图表。
图28B是表示吸气工序产生的频率变化的图表。
图29是拆下传统压电振动器的盖基板的状态的平面图。
图30是沿图29的C-C线的剖视图。
附图标记说明
1 压电振动器；2 基底基板；3 盖基板；4 压电振动片；10、11 振动腕部；12 基部；21 重锤金属膜(第一质量调整膜)；21a粗调膜(重锤金属膜)；21b 微调膜(重锤金属膜)；34 吸气材料(调整膜)；35 接合膜；40 基底基板用圆片(基底基板)；50盖基板用圆片(盖基板)；70 吸气材料(第二质量调整膜)；71除去沟；100 振荡器；101 振荡器的集成电路；110 便携信息设备(电子设备)；113 电子设备的计时部；130 电波钟；131 电波钟的滤波部；C 空腔。
具体实施方式
〔第一实施方式〕
以下，参照图1至图13，对本发明的第一实施方式进行说明。
本实施方式的压电振动器1，如图1至图4所示，形成为由基底基板2和盖基板3层叠为2层的箱状，是在内部的空腔C内收容了压电振动片4的表面安装型压电振动器。
此外，在图4中为了方便图示而省略了后面描述的激振电极15、引出电极19、20、装配电极16、17及重锤金属膜21的图示。
如图5至图7所示，压电振动片4是由水晶、钽酸锂或铌酸锂等的压电材料形成的音叉型振动片，在被施加规定电压时振动。
该压电振动片4具有：平行配置的一对振动腕部10、11；将该一对振动腕部10、11的基端侧固定成一体的基部12；形成在一对振动腕部10、11的外表面上并使一对振动腕部10、11振动的由第一激振电极13和第二激振电极14构成的激振电极15；以及与第一激振电极13及第二激振电极14电连接的装配电极16、17。
此外，本实施方式的压电振动片4具备在一对振动腕部10、11的两主表面上沿着该振动腕部10、11的长边方向分别形成的沟部18。该沟部18从振动腕部10、11的基端一侧形成至大致中间附近。
由第一激振电极13和第二激振电极14构成的激振电极15是使一对振动腕部10、11以规定的谐振频率在彼此接近或分离的方向上振动的电极，在一对振动腕部10、11的外表面，以分别电性切断的状态构图而形成。具体而言，如图7所示，第一激振电极13主要形成在一个振动腕部10的沟部18上和另一振动腕部11的两侧面上，第二激振电极14主要形成在一个振动腕部10的两侧面上和另一振动腕部11的沟部18上。
此外，第一激振电极13及第二激振电极14如图5及图6所示，在基部12的两主表面上，分别经由引出电极19、20电连接至装配电极16、17。再者压电振动片4成为经由该装配电极16、17被施加电压。
此外，上述的激振电极15、装配电极16、17及引出电极19、20，通过覆盖例如铬(Cr)、镍(Ni)、铝(Al)或钛(Ti)等的导电膜来形成。
此外，在一对振动腕部10、11的前端侧覆盖了用于进行调整(频率调整)的重锤金属膜21，以使本身的振动状态在规定频率的范围内振动。再者，该重锤金属膜21分为在粗调频率时使用的粗调膜21a和在微调时使用的微调膜21b。利用该粗调膜21a及微调膜21b进行频率调整，从而能够将一对振动腕部10、11的频率收缩在器件的标称频率范围内。
这样构成的压电振动片4，如图3及图4所示，利用金等的凸点(bump)B，凸点接合至基底基板2的上表面。更具体地说，以在基底基板2的上表面构图的后面描述的迂回电极36、37上形成的2个凸点B上分别接触的状态凸点接合一对装配电极16、17。由此，压电振动片4以从基底基板2的上表面浮置的状态被支撑，并且成为分别电连接装配电极16、17和迂回电极36、37的状态。
此外，压电振动片4的接合方法并不限于凸点接合。例如，也可用导电粘合剂来接合压电振动片4。但是，通过进行凸点接合，能够使压电振动片4从基底基板2的上表面浮置，并能自然确保振动所需的最低限的振动间隙。因而，优选凸点接合。
上述盖基板3是用玻璃材料例如碱石灰玻璃构成的透明绝缘基板，如图1、图3及图4所示，形成为板状。并且，在接合基底基板2的接合面一侧，形成有收容压电振动片4的矩形状的凹部3a。
该凹部3a是叠合两基板2、3时成为收容压电振动片4的空腔C的空腔用的凹部。再者，盖基板3以使该凹部3a对置于基底基板2一侧的状态对该基底基板2阳极接合。此外，基底基板2与盖基板3的接合方法，并不限于阳极接合。但是，通过阳极接合，能够牢固地接合两基板2、3，因此是优选的。
上述基底基板2是用与盖基板3相同的玻璃材料例如碱石灰玻璃构成的透明绝缘基板，如图1至图4所示，可对盖基板3叠合的大小形成为板状。
在该基底基板2形成有贯通该基底基板2的一对贯通孔30、31。这时，一对贯通孔30、31形成为收容于空腔C内。更详细地说，本实施方式的贯通孔30、31形成为使一个贯通孔30位于所装配的压电振动片4的基部12一侧，使另一贯通孔31位于振动腕部10、11的前端一侧。并且，在该一对贯通孔30、31形成有以埋入该贯通孔30、31的方式形成的一对贯通电极32、33。这些贯通电极32、33，如图3所示，完全堵塞贯通孔30、31而维持空腔C内的气密，并且承担使后面描述的外部电极38、39和迂回电极36、37导通的作用。
在基底基板2的上表面侧(接合盖基板3的接合面一侧)，如图1至图4所示，构图有通过加热使空腔C内的真空度上升的吸气材料(调整膜)34、阳极接合用的接合膜35、及一对迂回电极36、37。此外，接合膜35及一对迂回电极36、37由导电材料(例如，铝)构成。
吸气材料34用铝等形成，从平面上看时以与一对振动腕部10、11的附近邻接的状态，沿着该振动腕部10、11的长边方向从基端侧延伸到前端侧。更具体地说，吸气材料34如图2及图4所示，在一对振动腕部10、11的外侧面一侧形成一对。
此外，接合膜35以包围形成在盖基板3的凹部3a的周围的方式沿着基底基板2的周边而形成。
此外，一对迂回电极36、37构图成为使一对贯通电极32、33中的一个贯通电极32与压电振动片4的一个装配电极16电连接，并且使另一贯通电极33与压电振动片4的另一装配电极17电连接。
更详细地说，一个迂回电极36形成在一个贯通电极32的正上方，以使该迂回电极36位于压电振动片4的基部12的正下方。此外，另一迂回电极37形成为从邻接于一个迂回电极36的位置沿着振动腕部10、11迂回到该振动腕部10、11的前端侧后，位于另一贯通电极33的正上方。
并且，在该一对迂回电极36、37上分别形成有凸点B，利用该凸点B装配压电振动片4。由此，压电振动片4的一个装配电极16经由一个迂回电极36与一个贯通电极32导通，另一装配电极17经由另一迂回电极37与另一贯通电极33导通。
此外，在基底基板2的下表面，如图1、图3及图4所示，形成有与一对贯通电极32、33分别电连接的外部电极38、39。即，一个外部电极38经由一个贯通电极32及一个迂回电极36电连接至压电振动片4的第一激振电极13。此外，另一外部电极39经由另一贯通电极33及另一迂回电极37电连接至压电振动片4的第二激振电极14。
在使这样构成的压电振动器1动作时，对形成在基底基板2的外部电极38、39施加规定的驱动电压。由此，能够使电流在压电振动片4的由第一激振电极13及第二激振电极14构成的激振电极15中流过，并能使一对振动腕部10、11以规定频率沿着接近/分离的方向振动。再者，利用该一对振动腕部10、11的振动，能够用作时刻源、控制信号的定时源或参考信号源等。
接着，参照图8所示的流程图，对利用基底基板用圆片(基底基板)40和盖基板用圆片(盖基板)50一次性制造多个上述压电振动器1的制造方法进行说明。此外，在本实施方式中，利用圆片状的基板而一次性制造多个压电振动器1，但并不限于此，预先加工出尺寸与基底基板2及盖基板3的外形匹配的圆片，一次仅制造一个等也可。
最初，进行压电振动片制作工序，制作图5至图7所示的压电振动片4(S10)。具体而言，首先将未加工的朗伯(Lambert)水晶以规定角度切片而做成固定厚度的圆片。接着，磨擦该圆片而进行粗加工后，通过蚀刻来除去加工变质层，其后进行抛光(polish)等的镜面研磨加工，做成规定厚度的圆片。接着，对圆片进行清洗等的适当的处理后，利用光刻技术，以压电振动片4的外形形状对该圆片进行构图，并且进行金属膜的成膜及构图，形成激振电极15、引出电极19、20、装配电极16、17及重锤金属膜21。由此，能够制作出多个压电振动片4。
此外，在制作出压电振动片4后，进行谐振频率的粗调。这是通过对重锤金属膜21的粗调膜21a照射激光使一部分蒸发，从而改变重量来进行的。此外，更加高精度地调整谐振频率的微调是在装配后进行的。对此，将在后面进行说明。
接着，进行将后面成为盖基板3的盖基板用圆片50制作到刚要进行阳极接合之前的状态的第一圆片制作工序(S20)。首先，将碱石灰玻璃研磨加工至规定厚度并加以清洗后，形成通过蚀刻等来除去最表面的加工变质层的圆板状的盖基板用圆片50(S21)。接着，如图9所示，进行凹部形成工序(S22)，即通过蚀刻等来在盖基板用圆片50的接合面沿行列方向形成多个空腔用的凹部3a。在该时刻，结束第一圆片制作工序。
接着，与上述工序同时或者在上述工序前后的定时，进行将后面成为基底基板2的基底基板用圆片40制作到刚要进行阳极接合之前的状态的第二圆片制作工序(S30)。首先，将碱石灰玻璃研磨加工至规定厚度并加以清洗后，形成经蚀刻等而除去了最表面的加工变质层的圆板状的基底基板用圆片40(S31)。
接着，进行在基底基板用圆片40形成多个一对贯通电极32、33的贯通电极形成工序(S32)。具体而言，首先，用喷砂法或压力加工等方法形成多个一对贯通孔30、31。然后，在这些多个一对贯通孔30、31内形成一对贯通电极32、33。通过该一对贯通电极32、33密封一对贯通孔30、31并确保基底基板用圆片40从上表面侧到下表面侧的导电性。
接着，进行调整膜形成工序(S33)，即在基底基板用圆片40的上表面对铝等进行构图，在基底基板用圆片40形成吸气材料34。这时，将吸气材料34形成为从平面上看时以邻接于一对振动腕部10、11的附近的状态，沿着该振动腕部10、11的长边方向从基端侧延伸至前端侧。
然后，如图10及图11所示，进行在基底基板用圆片40的上表面构图导电材料而形成接合膜35的接合膜形成工序(S34)，并且进行形成多个分别与各一对贯通电极32、33电连接的迂回电极36、37的迂回电极形成工序(S35)。此外，图10及图11所示的虚线M示出在后面进行的切断工序中切断的切断线。
通过进行这些工序，结束第二圆片作成工序。
可是，在图8中，设工序顺序为调整膜形成工序(S33)、接合膜形成工序(S34)、迂回电极形成工序(S35)的顺序，但顺序上没有限制，此外将所有工序同时进行也可。不管是何种工序顺序，都能得到相同的作用效果。因而，根据需要适宜变更工序顺序也可。
接着，进行接合基底基板用圆片40与盖基板用圆片50的接合工序(S40)。对该接合工序做详细说明，则最先进行将制作的多个压电振动片4分别经由迂回电极36、37接合至基底基板用圆片40的上表面的装配工序(S41)。首先在一对迂回电极36、37上分别形成金等的凸点B。然后，将压电振动片4的基部12承载于凸点B上后，一边将凸点B加热至规定温度一边将压电振动片4按压在凸点B上。由此，压电振动片4被机械支撑于凸点B上，并且装配电极16、17和迂回电极36、37成为电连接的状态。因而，在该时刻压电振动片4的一对激振电极15成为分别对一对贯通电极32、33导通的状态。
特别是，压电振动片4被凸点接合，因此以从基底基板用圆片40的上表面浮置的状态被支撑。
在压电振动片4的装配结束后，进行将盖基板用圆片50对基底基板用圆片40叠合的叠合工序(S42)。具体而言，以未图示的基准标记等为标志，将两圆片40、50对准到正确的位置。由此，所装配的压电振动片4成为被收容于由形成在基底基板用圆片40的凹部3a和两圆片40、50包围的空腔C内的状态。
在叠合工序后，将叠合后的两块圆片40、50置于未图示的阳极接合装置，在规定的温度气氛下施加规定电压而进行阳极接合(S43)。具体而言，对接合膜35和盖基板用圆片50之间施加规定电压。这样，在接合膜35与盖基板用圆片50的界面发生电化学反应，两者分别牢固密合而阳极接合。从而，能够将压电振动片4密封于空腔C内，并能够得到基底基板用圆片40和盖基板用圆片50接合的图12所示的圆片体60。再者，图12中，为了方便观看图面，图示了分解圆片体60的状态，并从基底基板用圆片40省略了接合膜35的图示。此外，图12所示的虚线M示出在后面进行的切断工序中切断的切断线。通过进行该阳极接合，结束接合工序。
并且，在结束上述的阳极接合后，进行外部电极形成工序(S50)，即在基底基板用圆片40的下表面对导电材料进行构图，形成多个分别与一对贯通电极32、33电连接的一对外部电极38、39。通过该工序，能够利用外部电极38、39使密封于空腔C内的压电振动片4动作。
接着，进行吸气工序(S60)，即一边使密封于空腔C内的压电振动片4振动并测量串联谐振电阻值，一边局部地加热吸气材料34而使之蒸发，从而将空腔C内的真空度调整到一定水平以上。
具体地说，对形成在基底基板用圆片40的下表面的一对外部电极38、39施加电压而使压电振动片4振动。然后，一边测量串联谐振电阻值一边通过盖基板用圆片50而从外部照射激光，加热吸气材料34并使之蒸发。由此，能够确保适宜串联谐振电阻值。
此外，在吸气工序中，调整空腔C内的真空度的同时，利用吸气材料34，一边测量频率，一边将该频率调整到目标值附近的近似范围内。
对进行该吸气工序时的频率的调整方法进行说明，则最先，吸气材料34以从平面上看时与一对振动腕部10、11的附近邻接的状态形成。因而，加热吸气材料34而使之蒸发时，局部地蒸镀到位于加热位置附近的振动腕部10、11的侧面。这时，如果吸气材料34蒸镀的位置为振动腕部10、11的基端侧，就有频率变高的倾向，如果是前端侧就有频率降低的倾向。因而，通过变更吸气材料34的加热位置，能够使频率增减。因而，根据近似范围与实际测量的频率之差决定吸气材料34的加热位置，并且通过使蒸发到振动腕部10、11的侧面的吸气材料34局地蒸镀，能够改变振动腕部10、11的振动特性。因而，与进行吸气的同时，能够将一对振动腕部10、11的频率调整到目标值附近的近似范围内。
例如，当频率低于近似范围时，如图13所示，加热一对振动腕部10、11的基端侧(例如，图13中二点划线所示的范围)的吸气材料34即可。由此，能够提高频率并使频率接近近似范围。
如此，通过进行吸气工序，能够确保适宜串联谐振电阻值，并能预先使频率跟随而落入近似范围内。此外，关于空腔C内的真空度，并不因吸气材料34的加热位置而发生变化。
其次，接着进行微调工序(S70)，即一边测量频率一边用激光等加热重锤金属膜21的微调膜21b，微调近似范围内的频率接近目标值。由此，能够将压电振动片4的频率微调，以使该频率落入标称频率的规定范围内。
在频率的微调结束后，进行沿着图12所示的切断线M切断已接合的圆片体60而进行小片化的切断工序(S80)。其结果是，能够一次性制造多个在互相阳极接合的基底基板2与盖基板3之间形成的空腔C内密封了压电振动片4的图1所示的2层构造式表面安装型的压电振动器1。
再者，在进行切断工序(S80)而小片化为各个压电振动器1后，进行吸气工序(S60)及微调工序(S70)的工序顺序也可。但是，如上所述，通过先进行吸气工序(S60)及微调工序(S70)，能在圆片体60的状态下进行微调，因此更加有效率地微调多个压电振动器1。因而，能够提高生产率，因此是优选的。
其后，进行内部的电特性检查(S90)。即，测定压电振动片4的谐振频率、谐振电阻值、驱动电平特性(谐振频率及谐振电阻值的激振电力依赖性)等并加以核对。此外，将绝缘电阻特性等一并核对。并且，最后进行压电振动器1的外观检查，对尺寸或质量等进行最终核对。由此结束压电振动器1的制造。
该结果是，能够一次性制造多个在互相接合的基底基板与盖基板之间形成的空腔内收容压电振动片的表面安装型压电振动器。
特别是，以往，对频率调整而言不得不依赖微调膜21b，因此需要慎重地除去几次膜厚不均匀的微调膜21b。对此，在本发明中，在微调工序前频率已经调整到目标值的近似范围内，因此仅除去一点微调膜21b即可。因而，不怎么受膜厚不均匀的影响而能够在更短时间内高精度地进行微调。因而，能够谋求高质量化。此外，由于不需要以往那样要加热几次微调膜21b，所以能够抑制加热导致的负载的蓄积。在这一点上，能够谋求压电振动器1的高质量化。
而且，能够并行地进行以往在分别不同的定时进行的吸气和微调，因此能够简化制造工序，并能提高制造效率。
〔第二实施方式〕
接着，参照图14，对本发明的第二实施方式进行说明。此外，在该第二实施方式中对于与第一实施方式中的构成要素相同的部分采用相同的附图标记并省略其说明。
第二实施方式与第一实施方式的不同点是在调整膜形成工序中形成的吸气材料34。即，在第一实施方式中，在一对振动腕部10、11的外侧面一侧形成一对吸气材料34，但在第二实施方式中，形成为从平面上看时被夹持在一对振动腕部10、11之间。即，吸气材料34位于一对振动腕部10、11这两个附近。
依据本实施方式，不仅得到第一实施方式所示的作用效果，而且仅仅通过只加热一个部位的吸气材料34，能够使吸气材料34蒸镀到一对振动腕部10、11这两者的侧面。即，以分别邻接于一对振动腕部10、11的方式形成一对吸气材料34，不需要加热该一对吸气材料34的作业。因而，能够进一步简化制造工序。
〔第三实施方式〕
图19是实施方式的压电振动器的外观斜视图。图20是图19所示的压电振动器的内部结构图，是在拆下盖基板的状态下俯视压电振动片的图。图21是沿着图20的A-A线的压电振动器的剖视图。图22是压电振动器的分解斜视图。此外在图22中，为了方便图示而省略了压电振动片的激振电极15、引出电极19、20、装配电极16、17及重锤金属膜21的图示。
如图19至图22所示，本实施方式的压电振动器1是具备将基底基板2和盖基板3层叠为2层的组装件9，并在组装件9内部的空腔C内收容了压电振动片4的表面安装型压电振动器1。
(压电振动片)
图23是压电振动片的平面图，图24是压电振动片的底面图。图25是沿图23的B-B线的剖视图。
如图23至图25所示，压电振动片4是由水晶、钽酸锂或铌酸锂等的压电材料形成的音叉型振动片，在被施加规定电压时振动。该压电振动片4包括：平行配置的一对振动腕部10、11；将该一对振动腕部10、11的基端侧固定成一体的基部12；形成在一对振动腕部10、11的外表面上并使一对振动腕部10、11振动的由第一激振电极13和第二激振电极14构成的激振电极15；以及与第一激振电极13及第二激振电极14电连接的装配电极16、17。此外压电振动片4具备在一对振动腕部10、11的两主表面上分别沿着该振动腕部10、11的长边方向而形成的沟部18。该沟部18从振动腕部10、11的基端侧形成到大致中间附近。
由第一激振电极13和第二激振电极14构成的激振电极15是使一对振动腕部10、11以规定的谐振频率沿着互相接近或分离的方向振动的电极，在一对振动腕部10、11的外表面以分别电性切断的状态构图。具体而言，第一激振电极13主要形成在一个振动腕部10的沟部18上和另一振动腕部11的两侧面上，第二激振电极14主要形成在一个振动腕部10的两侧面上和另一振动腕部11的沟部18上。
此外，第一激振电极13及第二激振电极14，在基部12的两主表面上，分别经由引出电极19、20电连接至装配电极16、17。再者压电振动片4成为经由该装配电极16、17被施加电压。此外，上述的激振电极15、装配电极16、17及引出电极19、20，通过覆盖例如铬(Cr)、镍(Ni)、铝(Al)或钛(Ti)等的导电膜来形成。
此外，在一对振动腕部10、11的前端，覆盖有重锤金属膜(第一质量调整膜)21，该重锤金属膜21用于进行质量调整(频率调整)，以使本身的振动状态在规定频率的范围内振动。此外，该重锤金属膜21分为对频率进行粗调时使用的粗调膜21a和微调时使用的微调膜21b。通过利用该粗调膜21a及微调膜21b进行频率调整，能够将一对振动腕部10、11的频率收缩在器件的标称(目标)频率的范围内。
这样构成的压电振动片4，如图21、图22所示，利用金等的凸点B，凸点接合至基底基板2的上表面。更具体地说，以在基底基板2的上表面构图的后面描述的迂回电极36、37上形成的2个凸点B上分别接触的状态凸点接合一对装配电极16、17。由此，压电振动片4以从基底基板2的上表面浮置的状态被支撑，并且成为分别电连接的装配电极16、17和迂回电极36、37的状态。
(压电振动器)
如图19～图22所示，本实施方式的压电振动器1具备将基底基板2和盖基板3层叠为2层的组装件9。
如图19、图21及图22所示，盖基板3是用玻璃材料例如碱石灰玻璃构成的透明绝缘基板，形成为板状。并且，在接合基底基板2的接合面一侧形成有收容压电振动片4的矩形状的凹部3a。该凹部3a是叠合两基板2、3时成为收容压电振动片4的空腔C的空腔用的凹部。并且，盖基板3以使该凹部3a与基底基板2一侧对置的状态阳极接合至该基底基板2。
基底基板2是用与盖基板3相同的玻璃材料例如碱石灰玻璃构成的透明绝缘基板，如图19至图22所示，可对盖基板3叠合的大小形成为板状。
如图20及图21所示，在该基底基板2形成有贯通该基底基板2的一对贯通孔(through hole)30、31。一对贯通孔30、31形成在空腔C的对角线的两端部。并且，在该一对贯通孔30、31形成有以埋入该贯通孔30、31的方式形成的一对贯通电极32、33。该贯通电极32、33用Ag膏等的导电材料构成。在基底基板2的下表面，形成有对一对贯通电极32、33分别电连接的一对外部电极38、39。
如图20及图22所示，在该基底基板2的上表面侧(接合盖基板3的接合面一侧)，利用导电材料(例如，铝)构图阳极接合用的接合膜35和一对迂回电极36、37。其中接合膜35以包围形成在盖基板3的凹部3a的周围的方式沿着基底基板2的周边而形成。此外，一对迂回电极36、37构图成为使一对贯通电极32、33中的一个贯通电极32与压电振动片4的一个装配电极16电连接，并且使另一贯通电极33与压电振动片4的另一装配电极17电连接。
在使这样构成的压电振动器1动作时，对形成在基底基板2的外部电极38、39施加规定的驱动电压。由此，能够使电流在压电振动片4的由第一激振电极13及第二激振电极14构成的激振电极15中流过，并能使一对振动腕部10、11以规定频率沿着接近/分离的方向振动。再者，利用该一对振动腕部10、11的振动，能够用作时刻源、控制信号的定时源或参考信号源等。
(吸气材料)
如图20及图22所示，本实施方式的压电振动器在空腔的内部具有吸气材料(第二质量调整膜)70。吸气材料70通过照射激光来激活而吸附周围气体，可以用例如铝(Al)、钛(Ti)或锆(Zr)等的金属或者它们的合金等来形成。本实施方式的吸气材料70利用与接合膜35及迂回电极36、37相同的金属铝，与接合膜35及迂回电极36、37同时形成在基底基板2的上表面。此外吸气材料70也可以形成在盖基板3的空腔用凹部3a的内表面。
本实施方式的吸气材料70配置在与形成在压电振动片4的振动腕部10、11的重锤金属膜21邻接的区域。具体而言，配置成为使吸气材料70的至少一部分与振动腕部10、11的长度方向上的重锤金属膜21的形成区间重叠。此外使整个吸气材料70配置在振动腕部10、11的长度方向上的重锤金属膜21的形成区间的内部或配置在比重锤金属膜21的形成区间靠振动腕部10、11的前端侧也可。
此外吸气材料70配置在可从压电振动器1的外部照射激光的位置。此外，由于本实施方式的盖基板3中的凹部3a的底面为非研磨面(磨砂玻璃状)，无法从盖基板3的外侧(从压电振动器1的上表面侧)照射激光。因此，要从基底基板2的外侧(从压电振动器1的下表面侧)照射激光。因此，吸气材料70配置在从基底基板2的下表面侧观看不与外部电极38、39重叠的位置。此外，吸气材料70在配置在从压电振动器1的下表面侧观看不与重锤金属膜21的重叠的位置，以使吸气材料70不会妨碍到对重锤金属膜21的激光照射。在本实施方式中，从压电振动器1的下表面侧观看，在一对振动腕部10、11的宽度方向两侧分别配置有吸气材料70、70。
对吸气材料70照射激光时，吸气材料70蒸发而被除去。在本实施方式中，对与重锤金属膜21邻接配置的吸气材料70照射激光，因此在重锤金属膜21的邻接区域形成有吸气材料的除去沟71。除去沟71形成为例如对振动腕部10、11的长度方向大致垂直地延伸的直线状。此外多个除去沟71以大致等间隔且大致平行地形成。
通过激光照射来蒸发的吸气材料吸收空腔内的氧而成为金属氧化物。该金属氧化物的一部分附着到压电振动片4的振动腕部10、11。特别是在本实施方式中，对与重锤金属膜21邻接配置的吸气材料70照射激光，因此金层氧化物附着到振动腕部10、11的长度方向上的重锤金属膜21的形成区间。
(压电振动器的制造方法)
图26是压电振动器的制造方法的流程图，图27是压电振动器的制造方法的说明图。此外在图27中，为了方便图示而省略了基底基板用圆片40上的接合膜35及吸气材料70的图示。此外，图27所示的虚线M，示出在后面进行的切断工序中切断的切断线。在本实施方式中，在基底基板用圆片40与盖基板用圆片50之间配置多个压电振动片4，一次性制造多个压电振动器。
首先，进行压电振动片制作工序制作出图23至图25所示的压电振动片4(S10)。此外在制作压电振动片4后，先进行谐振频率的粗调。这是这样进行的：对重锤金属膜21的粗调膜21a照射激光而使其一部分蒸发，从而改变重量。此外，以更加高精度调整谐振频率的微调是在装配后进行的。对此将在后面进行说明。
接着如图27所示，进行第一圆片制作工序(S20)，即直至刚要进行阳极接合前的状态制作后面成为盖基板的盖基板用圆片50。首先，将碱石灰玻璃研磨加工至规定厚度并加以清洗后，形成通过蚀刻等来除去了最表面的加工变质层的圆板状的盖基板用圆片50(S21)。其次，进行通过蚀刻等而在盖基板用圆片50的接合面沿行列方向形成多个空腔用的凹部3a的凹部形成工序(S22)。在该时刻，结束第一圆片制作工序。
接着，与上述工序同时或在上述工序前后的定时，进行第二圆片制作工序(S30)，即，直至刚要进行阳极接合前的状态制作后面成为基底基板的基底基板用圆片40。首先，将碱石灰玻璃研磨加工至规定厚度并加以清洗后，形成通过蚀刻等来除去了最表面的加工变质层的圆板状的基底基板用圆片40(S31)。其次，进行在基底基板用圆片40形成多个一对贯通电极32、33的贯通电极形成工序(S30A)。
接着如图22所示，同时进行在基底基板用圆片40的上表面对导电材料进行构图而形成接合膜35的接合膜形成工序(36)；形成迂回电极36、37的迂回电极形成工序(S37)；以及形成吸气材料70的吸气材料形成工序(S38)。此外，接合膜形成工序(36)、迂回电极形成工序(S37)及吸气材料形成工序(S38)，可以使全部或一部分工序为另外工序而以任意的工序顺序进行。
接着，进行将制作的多个压电振动片4分别经由迂回电极36、37接合至基底基板用圆片40的上表面的装配工序(S40)。首先，在一对迂回电极36、37上分别形成金等的凸点B。然后，将压电振动片4的基部12承载于凸点B上之后，一边将凸点B加热至规定温度一边将压电振动片4按压在凸点B上。由此，压电振动片4成为在凸点B上被机械支撑而从基底基板用圆片40的上表面浮置的状态，此外成为电连接有装配电极16、17和迂回电极36、37的状态。
在压电振动片4的装配结束后，如图27所示，进行将盖基板用圆片50对基底基板用圆片40叠合的叠合工序(S50)。具体而言，以未图示的基准标记等为标志，将两圆片40、50对准到正确的位置。由此，使装配的压电振动片4成为收容于两圆片40、50之间形成的空腔内的状态。
在叠合工序后，进行接合工序(S60)，即，将叠合后的两块圆片40、50置于未图示的阳极接合装置，在规定的温度气氛下施加规定电压而进行阳极接合。具体而言，在图22所示的接合膜35与盖基板用圆片50之间施加规定电压。这样，在接合膜35与盖基板用圆片50的界面发生电化学反应，使两者分别牢固地密合而阳极接合。由此，能够将压电振动片4密封于空腔C内，并能得到基底基板用圆片40和盖基板用圆片50接合的圆片体60。
并且，在结束上述的阳极接合后，进行外部电极形成工序(S70)，即，在基底基板用圆片40的下表面对导电材料进行构图，形成多个一对外部电极38、39。通过该工序，能够从外部电极38、39经由贯通电极32、33使密封于空腔C内的压电振动片4动作。
接着，进行对图22所示的吸气材料70照射激光而使之激活的吸气工序(S75)。该激光器可以采用下面的与微调工序相同的YAG激光器等。如上所述，无法从盖基板用圆片50的外侧照射激光，因此从基底基板用圆片40的外侧照射激光。由于本实施方式的吸气材料70配置在从基底基板用圆片40的外侧观看不与外部电极38、39重叠的位置，能够确实地对吸气材料70照射激光。因激光照射而吸气材料70(例如Al)蒸发时，吸收空腔内的氧而生成金属氧化物(例如Al2O3)。由此，消耗空腔内的氧，因此能够提高真空度。
接着，在圆片体60的状态下，进行对密封于空腔C内的各个压电振动器1的频率进行微调而收缩在规定范围内的微调工序(S80)。具体地说明，则对形成在基底基板用圆片40的下表面的一对外部电极38、39施加电压而使压电振动片4振动。然后，一边测量频率一边从基底基板用圆片40的外部照射激光，使重锤金属膜21的微调膜21b蒸发而进行修整(trimming)。此外在本实施方式中，吸气材料70配置在从基底基板用圆片40的外部来看不与重锤金属膜21重叠的位置，因此能够确实地对重锤金属膜21照射激光。通过激光照射来修整微调膜21b时，一对振动腕部10、11的前端侧的重量减少，所以压电振动片4的频率增加。由此，能够微调至使压电振动器1的频率落入标称频率的规定范围内。
可是，在通过激光照射来使微调膜21b过剩蒸发的情况下，压电振动器1的频率会超过标称频率。因此在工序S85中，判断压电振动器1的频率是否超过标称频率。当判断为“是(YES)”时，返回工序S75，进行第2次的吸气工序。
在第2次的吸气工序中，对与重锤金属膜21邻接配置的吸气材料70照射激光。由此在重锤金属膜21的邻接区域中吸气材料70蒸发而被除去，形成吸气材料的除去沟71。因激光照射而蒸发的吸气材料吸收空腔内的氧，因此伴随吸气而生成金属氧化物。所生成的金属氧化物的至少一部分，附着到与吸气材料70邻接配置的振动腕部10、11的前端侧(重锤金属膜21的形成区间)的侧面。由此，一对振动腕部10、11的前端侧的重量增加，因此能够降低压电振动片4的频率。
再者图29及图30所示的传统技术的压电振动器200中，吸气材料220配置在压电振动片203的振动腕部的基端侧。因此，伴随吸气而产生的生成物附着到振动腕部的基端侧。这时，可控制振动腕部的刚性(相当于弹簧-质量系统的弹簧常数)的增加，且压电振动片203的谐振频率会增加。
与之相对，在图22所示的本实施方式的压电振动器1中，在压电振动片4的振动腕部10、11的前端侧配置有吸气材料70。因此，伴随吸气而产生的生成物附着到振动腕部10、11的前端侧。这时，可控制振动腕部10、11的质量(相当于弹簧-质量系统的质量)的增加，会降低压电振动片4的谐振频率。
图28是表示吸气工序导致的频率变化的图表。通过图28，可知在吸气后频率降低。这认为是，随着吸气而生成的金属氧化物附着到邻接配置的振动腕部10、11的前端侧，增加了振动腕部10、11的前端侧的重量的缘故。
图28A是吸气材料的厚度为的情形，图28B是的情形。可知在图28A的情况下频率的变化率较小(-50～-150ppm)，在图28B的情况下频率的变化率较大(-150～-200ppm)。这认为是，吸气材料70越厚，就会通过吸气来生成越多量的金属氧化物，并会附着到振动腕部10、11的缘故。因此，预先将吸气材料70形成为较厚，并通过改变激光的照射范围，能够大幅调整压电振动器的频率。
通过第2次的吸气工序，压电振动器1的频率再次小于标称频率的情况下，进行第2次的微调工序(S80)。其具体方法如上所述。由此增加压电振动片4的频率，因此能够微调压电振动器1的频率，使之落入标称频率的规定范围内。由此工序S85的判断成为“否(NO)”而进行工序S90。此外在结束第2次的吸气工序后，在压电振动器1的频率落入标称频率的规定范围内的情况下，不做第2次的微调工序而进行工序S90也可。
在结束频率的微调工序后，进行沿着切断线M切断图27所示的圆片体60而小片化的切断工序(S90)。其结果是，能够一次性制造多个在互相阳极接合的基底基板2与盖基板3之间形成的空腔C内密封了压电振动片4的、图19所示的2层构造式表面安装型的压电振动器1。此外，在进行切断工序(S90)而小片化为各个压电振动器1后，进行吸气工序(S75)及微调工序(S80)的工序顺序也可。但是，如上所述，通过先进行吸气工序(S75)及微调工序(S80)，能够在圆片体60的状态下进行吸气及微调，因此能够更加有效率地制造多个压电振动器1。因而，能够提高生产率，因此是优选的。
其后，进行压电振动片4的电特性检查(S100)。即，测定压电振动片4的谐振频率、谐振电阻值、驱动电平特性(谐振频率及谐振电阻值的激振电力依赖性)等并加以核对。此外，将绝缘电阻特性等一并核对。然后，最后进行压电振动器1的外观检查，对尺寸或质量等进行最终核对。由此结束压电振动器1的制造。
如以上说明的那样，本实施方式的压电振动器的制造方法，采用具有在与重锤金属膜21邻接的区域通过除去吸气材料70的至少一部分来降低压电振动片4的频率的工序的构成。
一般，如果修整重锤金属膜21，压电振动片4的频率就会增加，因此如果在重锤金属膜21的形成区间附着了物质，压电振动片4的频率就会降低。依据本实施方式，由于采用在与重锤金属膜21邻接的区域除去吸气材料70的构成，可以使伴随吸气而产生的生成物附着到重锤金属膜21的形成区间，能够降低压电振动片4的频率。由此，即便将重锤金属膜21过剩修整而压电振动器1的频率超过标称频率的情况下，也可通过进行吸气，使压电振动器1的频率落入标称频率的规定范围内。因而，能够提高压电振动器的成品率。
〔振荡器〕
接着，参照图15，对本发明的振荡器的一个实施方式进行说明。
本实施方式的振荡器100如图15所示，构成为将压电振动器1电连接至集成电路101的振子。该振荡器100具备安装了电容器等的电子部件102的基板103。在基板103安装有振荡器用的上述集成电路101，在该集成电路101的附近安装有压电振动器1。这些电子部件102、集成电路101及压电振动器1通过未图示的布线图案分别电连接。此外，各构成部件通过未图示的树脂来模制(mould)。
在这样构成的振荡器100中，对压电振动器1施加电压时，该压电振动器1内的压电振动片4振动。通过压电振动片4所具有的压电特性，将该振动转换为电信号，以电信号方式输入至集成电路101。通过集成电路101对输入的电信号进行各种处理，以频率信号的方式输出。从而，压电振动器1作为振子起作用。
此外，根据需求有选择地设定集成电路101的结构，例如RTC(实时时钟)模块等，能够附加钟表用单功能振荡器等的功能之外，还能附加控制该设备或外部设备的工作日期或时刻，或者提供时刻或日历等的功能。
如上所述，依据本实施方式的振荡器100，由于具备减少加热导致的负载的蓄积，并通过更加高精度地进行频率的微调来高质量化的、通过有效率地进行吸气及微调来低成本化的压电振动器1，振荡器100本身也同样能提高动作的可靠性并能实现高质量化。而且，能够长期得到稳定的高精度的频率信号。
此外，由于具备提高成品率的压电振动器1，能够减少振荡器100的成本。
〔电子设备〕
接着，参照图16，就本发明的电子设备的一个实施方式进行说明。此外作为电子设备，举例说明了具有上述压电振动器1的便携信息设备110。最初本实施方式的便携信息设备110为例如以便携电话为首的，发展并改良了传统技术中的手表的设备。它是这样的设备：外观类似于手表，在相当于文字盘的部分配置液晶显示器，能够在该画面上显示当前的时刻等。此外，在用作通信机时，从手腕取下，通过内置于带的内侧部分的扬声器及麦克风，可进行与传统技术的便携电话同样的通信。但是，与传统的便携电话相比，明显小型且轻量。
下面，对本实施方式的便携信息设备110的结构进行说明。如图16所示，该便携信息设备110具备压电振动器1和供电用的电源部111。电源部111例如由锂二次电池构成。该电源部111上并联连接有进行各种控制的控制部112、进行时刻等的计数的计时部113、与外部进行通信的通信部114、显示各种信息的显示部115、和检测各功能部的电压的电压检测部116。而且，通过电源部111来对各功能部供电。
控制部112控制各功能部，进行声音数据的发送及接收、当前时刻的测量或显示等的整个系统的动作控制。此外，控制部112具备预先写入程序的ROM、读取写入到该ROM的程序并执行的CPU、和作为该CPU的工作区使用的RAM等。
计时部113具备内置了振荡电路、寄存器电路、计数器电路及接口电路等的集成电路和压电振动器1。对压电振动器1施加电压时压电振动片4振动，通过水晶所具有的压电特性，该振动转换为电信号，以电信号的方式输入到振荡电路。振荡电路的输出被二值化，通过寄存器电路和计数器电路来计数。然后，通过接口电路，与控制部112进行信号的发送与接收，在显示部115显示当前时刻或当前日期或者日历信息等。
通信部114具有与传统的便携电话相同的功能，具备无线电部117、声音处理部118、切换部119、放大部120、声音输入/输出部121、电话号码输入部122、来电音发生部123及呼叫控制存储器部124。
通过天线125，无线电部117与基站进行收发信息的声音数据等各种数据的交换。声音处理部118对从无线电部117或放大部120输入的声音信号进行编码及解码。放大部120将从声音处理部118或声音输入/输出部121输入的信号放大到规定电平。声音输入/输出部121由扬声器或麦克风等构成，扩大来电音或受话声音，或者将声音集音。
此外，来电音发生部123响应来自基站的呼叫而生成来电音。切换部119仅在来电时，通过将连接在声音处理部118的放大部120切换到来电音发生部123，在来电音发生部123中生成的来电音经由放大部120输出至声音输入/输出部121。
此外，呼叫控制存储器部124存放与通信的呼叫及来电控制相关的程序。此外，电话号码输入部122具备例如0至9的号码键及其它键，通过按压这些号码键等，输入通话目的地的电话号码等。
电压检测部116在通过电源部111对控制部112等的各功能部施加的电压小于规定值时，检测其电压降后通知控制部112。这时的规定电压值是作为使通信部114稳定动作所需的最低限的电压而预先设定的值，例如，3V左右。从电压检测部116收到电压降的通知的控制部112禁止无线电部117、声音处理部118、切换部119及来电音发生部123的动作。特别是，停止耗电较大的无线电部117的动作是必需的。而且，显示部115显示通信部114由于电池余量的不足而不能使用的提示。
即，通过电压检测部116和控制部112，能够禁止通信部114的动作，并在显示部115做提示。该提示可为文字消息，但作为更加直接的提示，在显示部115的显示画面的顶部显示的电话图像上打“×(叉)”也可。
此外，通过具备能够有选择地截断与通信部114的功能相关的部分的电源的电源截断部126，能够更加可靠地停止通信部114的功能。
如上所述，依据本实施方式的便携信息设备110，由于具备减少加热导致的负载的蓄积，并通过更加高精度地进行频率的微调来高质量化的、通过有效率地进行吸气及微调来低成本化的压电振动器1，便携信息设备110本身也同样能提高动作的可靠性并能实现高质量化。而且，能够长期显示稳定的高精度的时钟信息。
此外，由于具备提高成品率的压电振动器1，能够减少便携信息设备110的成本。
〔电波钟〕
接着，参照图17，就本发明的电波钟的一个实施方式进行说明。
如图17所示，本实施方式的电波钟130具备电连接到滤波部131的压电振动器1，是接收包含时钟信息的标准电波，并具有自动修正为正确的时刻并加以显示的功能的钟表。
在日本国内，在福岛县(40kHz)和佐贺县(60kHz)有发送标准电波的发送站(发送局)，分别发送标准电波。40kHz或60kHz这样的长波兼有沿地表传播的性质和在电离层和地表边反射边传播的性质，因此其传播范围宽，且由上述的两个发送站覆盖整个日本国内。
以下，对电波钟130的功能性结构进行详细说明。
天线132接收40kHz或60kHz长波的标准电波。长波的标准电波是将称为定时码的时刻信息AM调制为40kHz或60kHz的载波的电波。接收的长波的标准电波通过放大器133放大，通过具有多个压电振动器1的滤波部131来滤波并调谐。
本实施方式中的压电振动器1分别具备与上述载波频率相同的40kHz及60kHz的谐振频率的水晶振动器部138、139。
而且，滤波后的规定频率的信号通过检波、整流电路134来检波并解调。
接着，经由波形整形电路135而抽出定时码，由CPU136计数。在CPU136中，读取当前的年、累积日、星期、时刻等的信息。被读取的信息反映于RTC137，显示出正确的时刻信息。
载波为40kHz或60kHz，因此水晶振动器部138、139优选具有上述的音叉型结构的振动器。
再者，以上以日本国内为例进行了说明，但长波的标准电波的频率在海外是不同的。例如，在德国使用77.5KHz的标准电波。因而，在便携设备组装也可以应对海外的电波钟130的情况下，还需要不同于日本的频率的压电振动器1。
如上所述，依据本实施方式的电波钟130，由于具备减少加热导致的负载的蓄积，并通过更加高精度地进行频率的微调来高质量化的、通过有效率地进行吸气及微调来低成本化的压电振动器1，电波钟130本身也同样能提高动作的可靠性并能实现高质量化。而且，能够长期稳定地高精度计数时刻。
此外，由于具备提高成品率的压电振动器1，能够减少电波钟130的成本。
此外，本发明的技术范围并不局限于上述实施的方式，在不超出本发明的宗旨的范围内可做各种变更。
例如，在上述实施方式中，压电振动器1做成2层构造型的表面安装型压电振动器1，但并不限于此，也可以为3层构造型的压电振动器。即，利用具有包围压电振动片4的周围的框状部的压电振动器板，将该压电振动器板装配于基底基板2的上表面后，通过该压电振动器板来接合基底基板2与盖基板3，将压电振动片4密封于空腔内，从而做成压电振动器也可。
此外，在上述实施方式中，形成微调膜21b作为重锤金属膜21，通过加热微调膜21b来进行了微调工序，但并不限于此。例如，在一对振动腕部10、11的前端侧，将激振电极15形成为延伸到粗调膜21a的附近，并加热该激振电极15的一部分而进行微调工序也可。即，在这种情况下，激振电极15的一部分作为重锤金属膜21起作用。
此外，在上述实施方式中，列举了在基底基板2形成吸气材料34的情形，但形成在基底基板2和盖基板3中的至少任一基板即可。即，可以形成在盖基板3，也可以形成在两基板2、3。
此外，在上述实施方式中，作为压电振动片4的一个例子，举例说明了在振动腕部10、11的两面形成沟部18的带沟的压电振动片4，但没有沟部18的类型的压电振动片也可。但是，通过形成沟部18，能够在对一对激振电极15施加规定电压时，提高一对激振电极15间的电场效率，因此能够进一步抑制振动损耗而进一步改善振动特性。即，能够进一步降低CI值(Crystal Impedance)，并能将压电振动片4进一步高性能化。在这一点上，优选形成沟部18。
此外，在上述实施方式中，形成了一对贯通电极33、34，但并不限于此。但是，在利用圆片而制造压电振动器1的情况下，能够形成贯通电极33、34，能以圆片状使各个压电振动片4振动，能够在小片化之前进行吸气工序及微调工序。因此，优选形成贯通电极33、34。
此外，本发明的技术范围并不限于上述的实施方式，在不超出本发明的宗旨的范围内，可以对上述的实施方式做各种变更。即，在实施方式中列举的具体的材料或层结构等只是一个例子，可做适宜变更。
例如，在上述实施方式中除去一部分吸气材料70而进行了频率调整，但是也可以将不同于吸气材料70的第二质量调整膜对重锤金属膜21邻接配置，除去一部分该第二质量调整膜而进行频率调整。但是，如上述实施方式那样通过将吸气材料70用作第二质量调整膜，无需区别于吸气材料70地形成第二质量调整膜，因此能够减少压电振动器的成本。
此外，在上述实施方式中在基底基板2的表面形成了吸气材料70及接合膜35，但在盖基板3的表面形成也可。但是，如上述实施方式那样通过在基底基板一侧形成，可以与迂回电极36、37同时形成，能够简化制造工艺并减少制造成本。
此外，在上述实施方式中，通过接合膜35来阳极接合了基底基板2与盖基板3，但并不限于阳极接合。但是，通过进行阳极接合，能够将两基板2、3牢固地接合，因此是优选的。
此外，在上述实施方式中，凸点接合了压电振动片4，但并不限于凸点接合。例如，用导电粘合剂来接合压电振动片4也可。但是，通过凸点接合，能够使压电振动片4从基底基板2的上表面浮置，能够自然确保振动所需的最低限的振动间隙。因而，优选凸点接合。
实施例
接着，在图18示出在本发明的压电振动器1中，实际测量吸气材料34的加热位置不同而发生的频率变动的结果。
在进行测量时，使用第一实施方式所示的圆片体60，在吸气工序中利用激光进行了吸气材料34的加热。这时，将吸气材料34的加热位置分两个图形进行了测量。即，第1个图形是加热从吸气材料34的长边方向的大致中央附近到振动腕部10、11的基端侧的整个吸气材料34的振动器(下面，称为使基端侧吸气的振动器)。并且，第2个图形是加热从吸气材料34的长边方向的大致中央附近到振动腕部10、11的前端侧的整个吸气材料34的振动器(下面，称为使前端侧吸气的振动器)。此外，在该实施例中，为了更加显著地确认频率的变动，而超出为调整真空度所需要的量地加热吸气材料34。
然后，针对使基端侧吸气的振动器的6个样品及使前端侧吸气的振动器的3个样品，分别测量吸气前后的频率。
图18的图表是纵轴取以吸气前的频率为基准的吸气后的频率的变动(ΔF/F〔ppm〕)，分别描绘使基端侧吸气的振动器(通例：基端侧，○)及使前端侧吸气的振动器(通例：前端侧，◇)的测量结果的图表。
依据该结果，能够确认使基端侧吸气的振动器，频率在吸气后比吸气前明显上升。此外，能够确认使前端侧吸气的振动器，频率在吸气后比吸气前降低。
如此，通过加热吸气工序中使用的吸气材料34，能够确认频率在变动。而且，能够确认在加热基端侧的吸气材料34时频率上升，而加热前端侧时频率降低。因而，能够确认根据近似范围与所测量的频率之差决定吸气材料34的加热位置，由此可与吸气一并进行频率调整。
产业上的利用可能性
依据本发明的压电振动器，能够做成减少加热导致的负载的蓄积，并通过更加高精度地进行频率的微调来高质量化，并且通过有效率地进行吸气及微调来低成本化的表面安装型压电振动器。
此外，依据本发明的压电振动器的制造方法，能够制造上述的压电振动器。
此外，依据本发明的压电振动器的制造方法，能够通过除去第二质量调整膜来使压电振动片的频率降低。由此，即便将第一质量调整膜过剩地除去而压电振动器的频率超过目标范围的情况下，也可以通过除去第二质量调整膜来将压电振动器的频率收缩在目标范围内。因而，能够提高压电振动器的成品率。
此外，依据本发明的振荡器、电子设备及电波钟，由于具备上述的压电振动器，因此能同样谋求高质量化及低成本化。

Claims (12)

1.一种压电振动器，其特征在于，包括：
压电振动片，其基端侧以平行配置的状态固定于基部，在前端侧具有形成重锤金属膜的一对振动腕部；
基底基板，在该基底基板的上表面装配有该压电振动片；
盖基板，以在空腔内收容所装配的所述压电振动片的方式接合于基底基板；以及
调整膜，从平面上看时该调整膜以与所述一对振动腕部的附近邻接的状态，沿着该振动腕部的长边方向从基端侧延伸到前端侧地形成在所述基底基板和所述盖基板中的至少任一个上，通过加热使所述空腔内的真空度上升，
通过所述加热，该调整膜局部地蒸镀到邻接的所述振动腕部的侧面，通过改变所述调整膜的加热位置能够增减所述振动腕部的频率。
2.如权利要求1所述的压电振动器，其特征在于：所述调整膜形成为从平面上看时被夹持在所述一对振动腕部之间。
3.一种压电振动器，其特征在于，包括：
具备一对振动腕部的音叉型压电振动片；
收容所述压电振动片的组装件；以及
形成在所述振动腕部的第一质量调整膜，
通过除去所述第一质量调整膜的一部分，可以增加所述压电振动片的频率，
邻接于所述第一质量调整膜，在所述组装件的内部形成有第二质量调整膜，
在与所述第一质量调整膜邻接的区域，至少除去一部分所述第二质量调整膜，
使伴随所述第二质量调整膜的除去而产生的生成物的至少一部分，附着到所述振动腕部的长度方向的所述第一质量调整膜的形成区间而降低所述压电振动片的频率。
4.如权利要求3所述的压电振动器，其特征在于：所述第二质量调整膜为吸气材料。
5.一种压电振动器的制造方法，制造包括以下部分的压电振动器：压电振动片，其基端侧以平行配置的状态固定于基部，在前端侧具有形成重锤金属膜的一对振动腕部；基底基板，在该基底基板的上表面装配有该压电振动片；盖基板，以在空腔内收容所装配的所述压电振动片的方式接合于基底基板；以及调整膜，从平面上看时该调整膜以与所述一对振动腕部的附近邻接的状态，沿着该振动腕部的长边方向从基端侧延伸到前端侧地形成在所述基底基板和所述盖基板中的至少任一个上，通过加热使所述空腔内的真空度上升，其特征在于，包括：
调整膜形成工序，在所述基底基板和所述盖基板中的至少任一个上形成所述调整膜；
接合工序，将所述压电振动片装配到所述基底基板的上表面后，接合基底基板和所述盖基板而将压电振动片密封在所述空腔内；
吸气工序，使密封于所述空腔内的所述压电振动片振动并一边测量串联谐振电阻值及频率一边局部地加热所述调整膜而使之蒸发，将空腔内的真空度调整到给定水平以上，同时将频率调整到目标值附近的近似范围内；以及
微调工序，在该吸气工序后，接着一边测量频率一边加热所述重锤金属膜，微调所述近似范围内的频率而接近所述目标值，
在进行所述吸气工序时，根据所述近似范围与所测量的频率之差决定所述调整膜的加热位置，并且在位于所述加热位置附近的所述振动腕部的侧面使加热的调整膜局部地蒸镀，由此改变振动特性。
6.如权利要求5所述的压电振动器的制造方法，其特征在于：在进行所述调整膜形成工序时，将所述调整膜形成为从平面上看时被夹持在所述一对振动腕部之间。
7.一种压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，即包括：
具备一对振动腕部的音叉型压电振动片；
收容所述压电振动片的组装件；以及
形成在所述振动腕部的第一质量调整膜，
通过除去所述第一质量调整膜的一部分，可以使所述压电振动片的频率增加，
所述压电振动器的制造方法的特征在于：
在所述组装件的内部形成第二质量调整膜，该第二质量调整膜邻接于所述第一质量调整膜，并且
具有如下工序，即在与所述第一质量调整膜邻接的区域，通过除去所述第二质量调整膜的至少一部分，从而使伴随所述第二质量调整膜的除去而产生的生成物的至少一部分，附着到所述振动腕部的长度方向的所述第一质量调整膜的形成区间来使所述压电振动片的频率降低。
8.如权利要求7所述的压电振动器的制造方法，其特征在于：
通过从所述组装件的外部照射激光来进行所述第二质量调整膜的除去。
9.如权利要求7所述的压电振动器的制造方法，其特征在于：
通过隔着接合膜阳极接合一对基板来形成所述组装件，并且
具有同时形成所述接合膜及所述第二质量调整膜的工序。
10.一种振荡器，其特征在于：将权利要求1至4中任一项所述的压电振动器作为振子电连接至集成电路。
11.一种电子设备，其特征在于：使权利要求1至4中任一项所述的压电振动器与计时部电连接。
12.一种电波钟，其特征在于：使权利要求1至4中任一项所述的压电振动器与滤波部电连接。
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