CN101943827A - 液晶涂布机 - Google Patents

液晶涂布机 Download PDF

Info

Publication number
CN101943827A
CN101943827A CN2010101908769A CN201010190876A CN101943827A CN 101943827 A CN101943827 A CN 101943827A CN 2010101908769 A CN2010101908769 A CN 2010101908769A CN 201010190876 A CN201010190876 A CN 201010190876A CN 101943827 A CN101943827 A CN 101943827A
Authority
CN
China
Prior art keywords
liquid crystal
beaker
pipe
inlet
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2010101908769A
Other languages
English (en)
Inventor
郑载宽
崔在文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Top Engineering Co Ltd
Original Assignee
Top Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Top Engineering Co Ltd filed Critical Top Engineering Co Ltd
Publication of CN101943827A publication Critical patent/CN101943827A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341Filling or closing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

本发明提供一种液晶涂布机,其包括:涂布头单元;电子秤,其称量烧杯和通过涂布头单元滴入烧杯内的液晶的重量;以及控制单元,根据从电子秤获取的关于烧杯和液晶的重量的数据,控制单元指示液晶吸入单元从烧杯吸取液晶,液晶吸入单元根据控制单元的指令从烧杯吸取液晶。本发明提供自动将液晶从烧杯清空的优点。

Description

液晶涂布机
技术领域
本发明涉及一种液晶涂布机。
背景技术
液晶显示器(LCD)包括用密封胶(或密封剂)图案彼此附接到一起的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)阵列基板和彩色滤光片阵列基板、以及夹在TFT和彩色滤光片阵列基板之间的液晶层。
LCD通过控制施加在各像素内液晶层上的电压并由此容许光以变化的光量透过而产生图像。
液晶(liquid crystal,LC)涂布机用于以多个对应于基准液晶量的LC液滴的形式将一定量的液晶涂布到限定在TFT阵列基板或彩色滤光片阵列基板上的各个面板区上,下文将TFT阵列基板或彩色滤光片阵列基板称作母板。在将上述一定量的液晶排放到各个面板区上之后,两个母板彼此结合。其后,将已结合的母板切割成分离的面板。
LC涂布机包括涂布头单元。涂布头单元包括缸体和活塞。缸体包括流入通道、流出通道和活塞孔。活塞插入活塞孔内。LC涂布机旋转并使活塞向上滑行以容许液晶通过流入通道流入活塞孔,或者LC涂布机旋转并使活塞向下滑行以容许液晶以液滴形式通过流出通道和喷嘴朝各个面板区排放。
基于待涂布到各面板区上的基准液晶量,计算每个液晶液滴的基准重量。一个液晶液滴重量必需与一个液晶液滴的基准重量相等。然后,计算从喷嘴滴落的液晶液滴的数量,该数量与待排放到各面板区上的基准液晶量对应。并且,计算为了将一个液晶液滴从喷嘴朝面板区滴落活塞在缸体内必需向下滑行的距离。
计算距离的方式如下。活塞旋转以关闭流入通道并同时打开流出通道,并且向下滑行给定距离,以通过流出通道从喷嘴朝置于电子秤上的烧杯滴落一个液晶液滴(第一步骤)。由电子秤称量液晶液滴和烧杯的重量(第二步骤)。
通过从电子秤测得的重量减去烧杯的重量,得到一个液晶液滴的重量(第三步骤)。
第一至第三步骤以重复方式执行,但活塞向下滑行的距离改变,直到从喷嘴滴落的一个液晶液滴的重量与每个液滴的基准重量相等为止(第四步骤)。
第一步骤的重复执行致使烧杯被填充有液晶。因此,操作者频繁地将液晶从烧杯清空。烧杯具有有限尺寸,因为烧杯尺寸增大就减小了电子秤能称量的液晶的最大重量。
通常,按照1/1000毫克的刻度,电子秤能称量的最大重量达到5克。举例而言,假定烧杯的重量是2.5克。这就表示加上烧杯的重量,电子秤还能称量重量等于或小于2.5克的东西。也就是说,当电子秤的最大称量能力保持恒定时,烧杯的尺寸越大,由于加上烧杯的重量,电子秤能称量的重量则越小。
电子秤精确称量的重量范围限定为可靠称量范围L。因此,电子秤将要称量的烧杯和烧杯内容纳的液晶的重量,必需在可靠称量范围L内。
图1是曲线图,其示出由电子秤称量的烧杯和液晶的称量重量与烧杯和液晶的实际重量怎样彼此相关。如图1所示,当电子秤称量可靠称量范围L内的烧杯和烧杯内的液晶时,通过从烧杯和烧杯内的液晶的实际重量减去烧杯和烧杯内的液晶的称量重量而得到的值,落在误差容许范围内。可靠称量范围L具有最大值L最大和最小值L最小
过去,容许电子秤称量可靠称量范围之外以及可靠称量范围之内的烧杯和烧杯内的液晶的重量。这就表示当烧杯和烧杯内的液晶的重量在可靠称量范围之外时,烧杯和烧杯内的液晶的称量重量并不精确。
发明内容
本发明的一个目的是自动地将液晶从烧杯清空。
本发明的另一目的是将液晶从烧杯清空,以允许电子秤称量可靠称量范围内的烧杯和烧杯内的液晶的重量。
根据本发明的方面,提供一种液晶涂布机,其包括:涂布头单元;电子秤,其称量烧杯和通过涂布头单元滴入烧杯内的液晶的重量;以及控制单元,根据从电子秤获取的关于烧杯和液晶的重量的数据,控制单元指示液晶吸入单元从烧杯吸取液晶,液晶吸入单元根据控制单元的指令从烧杯吸取液晶。
结合附图,从以下本发明的详述中将更清楚本发明的前述以及其它目的、特征、方面以及优点。
附图说明
包含进来以帮助进一步理解本发明并且结合进说明书并构成说明书一部分的附图说明本发明的实施例,并与说明书一起用于解释本发明的原理。
在附图中:
图1是曲线图,其示出由电子秤称量的烧杯和液晶的称量重量与烧杯和液晶的实际重量怎样彼此相关;
图2是根据本发明一个实施方式的液晶涂布机的立体图;
图3是示出图2所示的液晶吸入单元、烧杯、电子秤、以及控制单元之间关系的框图;
图4是示出液晶吸入单元的变型、烧杯、电子秤、以及控制单元之间关系的框图;以及
图5A至5D这些视图示出了用于能够使图3所示的液晶吸入单元从烧杯吸取液晶的步骤次序。
具体实施方式
参见附图,如下描述根据本发明一个实施方式的液晶涂布机。
图2是根据本发明一个实施方式的液晶涂布机的立体图。
如图2所示,LC涂布机包括主框架11、工作台12、托台13、第一驱动单元14、涂布头单元支撑框架15、第二驱动单元17、涂布头单元20、电子秤30、控制单元40(参见图3和4)、以及液晶吸入单元100。
工作台12固定地安装在主框架11上。
托台13以能够使托台13沿Y轴方向能移动的方式安装在工作台12上。母板MP安装在托台13上。
驱动托台13的线性马达(未示出)安装在工作台12上。
两个第一驱动单元14分别安装在工作台12的两侧上。第一驱动单元14的一端连接到主框架11,且第一驱动单元14的另一端连接到涂布头单元支撑框架15。第一驱动单元14沿Y轴方向移动涂布头单元支撑框架15。第一驱动单元14可为线性马达。
涂布头单元支撑框架15横跨在托台13上方。
涂布头单元20安装在涂布头单元支撑框架15上。涂布头单元20朝母板涂布液晶。
第二驱动单元17的一端连接到涂布头单元支撑框架15,且第二驱动单元17的另一端连接到涂布头单元20。第二驱动单元17沿X轴方向移动涂布头单元20。第二驱动单元17可为线性马达。
电子秤30安装在主框架11上。烧杯31放置在电子秤30上。电子秤30称量烧杯31的重量和烧杯31内的液晶的重量。
电子秤将关于烧杯31和烧杯31内的液晶的称量重量的数据发送到控制单元40。控制单元通过从烧杯31和烧杯31内的液晶的称量重量减去烧杯31的重量,计算得到液晶重量。在朝烧杯31滴落LC液滴之前,将关于烧杯31的重量的数据输入控制单元40。
当电子秤30称量的烧杯和液晶的重量与最大值L最大一致时,控制单元40指示涂布头单元20停止向烧杯31滴入LC液滴。并且,控制单元40指示液晶吸入单元100继续从烧杯31吸取液晶,直到电子秤30称量的烧杯和液晶的重量与最小值L最小一致为止。
之所以这样做,是因为当电子秤称量可靠称量范围之外的烧杯和烧杯内的液晶的重量时,不能精确称量烧杯和烧杯内的液晶的重量。
图3是示出图2所示的液晶吸入单元、烧杯、电子秤、以及控制单元之间关系的框图。图3所示的实线箭头表示驱动单元旋转和上下移动具有入口的管的方向。如图3所示,液晶吸入单元100包括具有入口111的管110、驱动单元120、吸入泵130、以及液晶存储罐140。
吸入泵130将烧杯31内容纳的液晶通过具有入口111的管110传送到液晶存储罐140以供存储。
驱动单元120旋转并向下移动管110以将管110的入口111插入烧杯31内。并且驱动单元120向上移动并旋转管110以将管110的入口111从烧杯31抽出。
之所以这样做,是因为如果具有入口111的管110未从烧杯31完全抽出,则当电子秤30称量烧杯31和烧杯31内的液晶的重量时,余留在管110的入口111上的液晶会滴入烧杯31内。结果,除了烧杯31和烧杯31内的液晶的重量,电子秤还称量从管110的入口111滴落的液晶重量。
驱动单元120在市场上可购得。因此,略去对驱动单元120的描述。
吸入泵130连续地供应抽吸力以将液晶吸取到管110的入口111,直到管110的入口111从烧杯31完全抽出为止。这样做是为了防止在管110的入口111从烧杯31抽出期间,余留在管110的入口111上的液晶滴入烧杯31。
液晶存储罐140存储通过管110从烧杯31吸取的液晶。
图4是示出液晶吸入单元的变型、烧杯、电子秤、以及控制单元之间关系的框图。参见图4,现描述液晶吸入单元200的变型。
液晶吸入单元200的变型包括具有入口211的管210、形成在管210的入口211上的特富龙(Teflon,聚四氟乙烯)层220、吸入泵230、以及液晶存储罐240。
吸入泵230通过具有入口211的管210将烧杯31内容纳的液晶传送到液晶存储罐240以供存储。
位于入口211上的特富龙层220防止液晶余留在入口211的周围。这样在通过具有入口211的管210吸取烧杯31内的液晶之后,无需从烧杯31完全抽出管210的入口211。
管210的入口211可涂覆有用于防止液晶余留在入口211上的任何物质,例如氟树脂。替代在管210的入口211上形成特富龙层,管210可由特富龙制成。
非常少量的液晶可余留在管210的涂覆有特富龙的入口211上。为了安全可靠起见,液晶吸入单元200的变型可包括如图3所示的驱动单元120,以从烧杯31抽出管210。如图3所示,驱动单元120旋转并向下移动管110以将管110的入口111插入烧杯31,或者向上移动并旋转管110以将管110的入口111从烧杯31抽出。
吸入泵230连续地供应抽吸力以将液晶吸取到管210的入口211,直到管210的入口211从烧杯31完全抽出为止。这样做是为了防止在管210的入口211从烧杯31抽出期间,余留在管210的入口211上的液晶滴入烧杯31。
液晶存储罐240存储通过管210从烧杯31吸取的液晶。
现在描述如图3所示的液晶吸入单元的操作。图5A至5D示出了用于能够使图3所示的液晶吸入单元从烧杯吸取液晶的步骤次序。
举例而言,假定电子秤的最大称量能力达到5克,且电子秤的可靠称量范围是从2克(L最小)到4克(L最大)。
参见图3和图5A至图5D,当电子秤30称量的烧杯31和烧杯31内的液晶的重量与4克的L最大一致时,控制单元40指示液晶吸入单元100从烧杯31吸取液晶。
如图3和图5A所示,设置在液晶吸入单元100上的驱动单元120顺时针地旋转管110。
如图3和图5B所示,驱动单元120向下移动管110以将管110的入口111插入烧杯31。吸入泵130为管110的入口111提供抽吸力以吸取液晶。
如图3和图5C所示,液晶从烧杯31通过管110和吸入泵130流入液晶存储罐140。
当电子秤30称量的烧杯31和烧杯31内的液晶的重量与2克的L最小一致时,控制单元40指示液晶吸入单元100停止从烧杯31吸取液晶。
如图3和图5D所示,驱动单元120向上移动并且逆时针地旋转管110以从烧杯31抽出管110。吸入泵130连续地供应抽吸力以将液晶吸取到管110的入口111,直到管110的入口111从烧杯31完全抽出为止。这样做是为了防止在管110的入口111从烧杯31抽出期间,余留在管110的入口111上的液晶滴入烧杯31。
本发明提供自动地将液晶从烧杯清空的优点。此外,本发明也提供另一优点,即能够使电子秤称量总是处于可靠称量范围内的烧杯和烧杯内的液晶,由此获得从喷嘴滴入烧杯的液晶重量。
因为本发明能够以不脱离本发明主旨或本质特性的若干形式实施,因此也应理解,上述实施方式不局限于前述任何细节,除非另有指明,否则应当在所附权利要求限定的本发明的主旨和范围内广义地理解,且因此落入权利要求范围的边界和界限内、或者这些边界和界限的等同范围内的所有变化和修改意图为所附权利要求所涵盖。

Claims (7)

1.一种液晶涂布机,包括:
涂布头单元;
电子秤,电子秤称量烧杯和通过所述涂布头单元滴入所述烧杯内的液晶的重量;以及
控制单元,根据从所述电子秤获取的关于所述烧杯和液晶的重量的数据,所述控制单元用于指示液晶吸入单元从所述烧杯吸取液晶,所述液晶吸入单元根据所述控制单元的指令从所述烧杯吸取液晶。
2.如权利要求1所述的液晶涂布机,其中所述液晶吸入单元包括:
管;
驱动单元,驱动单元旋转并向下移动所述管以将管的入口插入所述烧杯,或者向上移动并旋转所述管以从所述烧杯抽出管的入口;
吸入泵,吸入泵向所述管的入口供应抽吸力;以及
液晶存储罐,液晶存储罐存储通过所述管从所述烧杯吸取的液晶。
3.如权利要求2所述的液晶涂布机,其中,所述吸入泵向所述管的入口连续地供应抽吸力,直到所述管的入口从所述烧杯完全抽出为止。
4.如权利要求1所述的液晶涂布机,其中所述液晶吸入单元包括:
管;
形成在所述管的入口上的特富龙层;
吸入泵,吸入泵向所述管的入口供应抽吸力;以及
液晶存储罐,液晶存储罐存储通过所述管从所述烧杯吸取的液晶。
5.如权利要求1所述的液晶涂布机,其中所述液晶吸入单元包括:
由特富龙制成的管;
吸入泵,吸入泵向所述管的入口供应抽吸力;以及
液晶存储罐,液晶存储罐存储通过所述管从所述烧杯吸取的液晶。
6.如权利要求4或5所述的液晶涂布机,其中,所述液晶吸入单元还包括驱动单元,驱动单元旋转并向下移动所述管以将管的入口插入所述烧杯,或者向上移动并旋转所述管以从所述烧杯抽出管的入口。
7.如权利要求1所述的液晶涂布机,其中,当所述电子秤称量的所述烧杯和所述烧杯内的液晶的重量与可靠称量范围的最大值一致时,所述控制单元指示所述涂布头单元停止向所述烧杯滴入液晶液滴,并且指示所述液晶吸入单元从所述烧杯吸取液晶,直到所述电子秤称量的所述烧杯和所述烧杯内的液晶的重量与可靠称量范围的最小值一致为止。
CN2010101908769A 2009-07-03 2010-06-03 液晶涂布机 Pending CN101943827A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2009-0060605 2009-07-03
KR1020090060605A KR101585025B1 (ko) 2009-07-03 2009-07-03 액정디스펜서

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101943827A true CN101943827A (zh) 2011-01-12

Family

ID=43435894

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010101908769A Pending CN101943827A (zh) 2009-07-03 2010-06-03 液晶涂布机

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101585025B1 (zh)
CN (1) CN101943827A (zh)
TW (1) TW201102174A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109164649A (zh) * 2018-10-25 2019-01-08 张家港康得新光电材料有限公司 一种液晶涂布装置及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1253304A (zh) * 1998-11-09 2000-05-17 松下电器产业株式会社 液晶显示元件的制造方法和制造装置以及液晶显示元件
CN1439516A (zh) * 2002-02-22 2003-09-03 精工爱普生株式会社 薄膜形成装置和方法、液晶装置的制造装置和制造方法
CN1536437A (zh) * 2003-04-10 2004-10-13 Hoya株式会社 抗蚀膜的形成方法及光掩膜的制造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3011890B2 (ja) * 1996-10-15 2000-02-21 轟産業株式会社 容器残留液吸引装置
KR100420524B1 (ko) * 2002-01-07 2004-03-02 엘지전자 주식회사 액정표시장치의 액정 주입방법 및 장치
KR100477373B1 (ko) * 2003-04-23 2005-03-17 코닉시스템 주식회사 액정 주입기 및 그를 이용한 액정 주입 방법
JP4889967B2 (ja) * 2005-07-01 2012-03-07 芝浦メカトロニクス株式会社 液状物質滴下装置及び液状物質滴下方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1253304A (zh) * 1998-11-09 2000-05-17 松下电器产业株式会社 液晶显示元件的制造方法和制造装置以及液晶显示元件
CN1439516A (zh) * 2002-02-22 2003-09-03 精工爱普生株式会社 薄膜形成装置和方法、液晶装置的制造装置和制造方法
US20070204795A1 (en) * 2002-02-22 2007-09-06 Seiko Epson Corporation System and methods for manufacturing a liquid crystal device
CN1536437A (zh) * 2003-04-10 2004-10-13 Hoya株式会社 抗蚀膜的形成方法及光掩膜的制造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109164649A (zh) * 2018-10-25 2019-01-08 张家港康得新光电材料有限公司 一种液晶涂布装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110003025A (ko) 2011-01-11
KR101585025B1 (ko) 2016-01-25
TW201102174A (en) 2011-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101246286B (zh) 液晶滴注装置
CN103118802B (zh) 液体自动供给机构和具备其的涂布装置
CN203748139U (zh) 一种电子产品
CN103562694B (zh) 自动化溶液分配器
KR100505180B1 (ko) 노즐세정장치를 구비한 액정적하장치 및 액정적하방법
CN101314281A (zh) 制造产品的方法
KR101378471B1 (ko) 액정 재료 도포 장치 및 액정 재료 도포 방법
CN102557465A (zh) 蚀刻玻璃基板的装置
TWI251098B (en) Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using thereof
US20080223483A1 (en) Method and apparatus for providing constant liquid rates and dispensing precisely repeatable liquid volumes
KR20040081336A (ko) 기판처리장치 및 송액장치
CN101943827A (zh) 液晶涂布机
CN103843109A (zh) 用以在流体中检测空气的系统及方法
CN104668149B (zh) 一种铅酸蓄电池注胶用点胶机
CN104069981B (zh) 狭缝喷嘴、基板处理装置及狭缝喷嘴的制造方法
CN105316228A (zh) 一种具有直线进给ccd相机的箱式dna测序仪
CN210294732U (zh) 用于负压毛细管的液晶灌胶全贴合装置
KR101010450B1 (ko) 액정적하장치
CN107899891B (zh) 一种用于大面积光栅制造的涂布装置及方法
CN100470336C (zh) 用于弥补分配在基板上的密封剂的任何不足和过量的方法
CN101470343A (zh) 掩模坯件的制造方法及涂布装置
CN102019255B (zh) 用于滴下液体的设备
CN202710236U (zh) 一种压力传感芯片的粘接结构
CN105273998A (zh) 一种具有门架的双重遮护箱式dna测序仪
US20230166520A1 (en) Liquid ejecting apparatus and control method of liquid ejecting apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20110112