CN101936718B - 正弦条纹投影装置以及三维轮廓测量方法 - Google Patents
正弦条纹投影装置以及三维轮廓测量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101936718B CN101936718B CN2010101305371A CN201010130537A CN101936718B CN 101936718 B CN101936718 B CN 101936718B CN 2010101305371 A CN2010101305371 A CN 2010101305371A CN 201010130537 A CN201010130537 A CN 201010130537A CN 101936718 B CN101936718 B CN 101936718B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wavelength
- projection
- phase
- projection arrangement
- observation station
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本发明公开了三种正弦条纹投影装置以及一种利用该正弦条纹投影装置实现的三维轮廓测量方法,该方法包括:S1、校正从该正弦条纹投影装置出射的各波长光的强度;S2、获取各波长条纹间的实际相位移;S3、进行该相机的标定,并依次对各波长条纹投影进行相位-高度标定;S4、通过该投影装置依次将各波长条纹投影至被测物,通过相机拍摄被测物表面的各波长条纹投影图像,然后根据各波长条纹投影图像计算出各观测点的初始相位,并对该些初始相位解包裹;S5、根据相位-高度标定由各观测点的经过解包裹的初始相位分别获取该个观测点的高度坐标,再根据相机标定获取该个观测点的三维坐标。本发明的该测量方案运行速度高、测量精度高,并且成本低廉。
Description
技术领域
本发明涉及正弦条纹投影装置以及一种利用该正弦条纹投影装置实现的三维轮廓测量方法,特别是涉及一种基于多波长正弦条纹结构光投影的三维轮廓测量方法。
背景技术
在精密的三维轮廓测量中,业内普遍使用高精度马达或者精密投影仪等设备来实现不同波长条纹投影间的相位移。但是,上述设备均不可避免地存在着种种缺陷,例如:高精度马达价格昂贵、装配要求高,很难实现设备的批量生产;而精密投影仪不但同样价格昂贵,而且透光率低、不易聚焦。以上的种种问题便严重影响了精密的三维轮廓测量技术在电子制造以及其它各个工业领域中的广泛应用。
发明内容
本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中的三维轮廓测量设备价格昂贵、光学品质不佳的缺陷,提供一种基于多波长正弦条纹结构光投影的高速高精度低成本的正弦条纹投影装置以及利用该正弦条纹投影装置实现的三维轮廓测量方法。
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种正弦条纹投影装置,其特点在于,其包括多个波长不同的点光源,每个该点光源的后方均设有一凹面镜,该多个点光源发出的光经由一根光纤的传输后,依次通过一准直镜组、一光栅、一投影镜头以及一折射板,并从该折射板以不同的相位出射。
其中,该准直镜组包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的一光阑。
本发明的另一技术方案为:一种正弦条纹投影装置,其特点在于,其包括一点光源,该点光源的后方设有一凹面镜,该点光源发出的光依次通过一LCD、一准直镜组、一光栅、一投影镜头以及一折射板,其中通过该LCD对进入后续光路的光的波长进行控制,不同波长的光从该折射板以不同的相位出射。
其中,该准直镜组包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的两个光阑。
本发明的又一技术方案为:一种正弦条纹投影装置,其特点在于,其包括多个波长不同的点光源,每个该点光源的后方均设有一凹面镜,每个该点光源发出的光在经由准直镜组并被半反射镜折转90°之后,均依次通过一光栅、一投影镜头以及一折射板,并从该折射板以不同的相位出射。
其中,该准直镜组包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的一光阑。
本发明的又一技术方案为:一种利用上述正弦条纹投影装置实现的三维轮廓测量方法,其特点在于,该方法包括:S1、调整从该正弦条纹投影装置出射的各波长光的强度,使得当该投影装置分别进行各波长条纹的投影时,通过一相机拍摄到的各波长条纹投影图像的平均灰度相同;S2、通过该投影装置依次将各波长条纹投影至一校正板或一被测物的平滑区域,获取各波长条纹间的实际相位移;S3、进行该相机的标定,并依次对各波长条纹投影进行相位-高度标定;S4、通过该投影装置依次将各波长条纹投影至被测物,通过该相机拍摄被测物表面的各波长条纹投影图像,然后根据各波长条纹投影图像计算出各观测点的初始相位,并对该些初始相位解包裹;S5、根据相位-高度标定由各观测点的经过解包裹的初始相位分别获取该各观测点的高度坐标,再根据相机标定获取该各观测点的三维坐标。
较佳地,在步骤S2中利用反傅里叶法获取各波长条纹间的实际相位移。
较佳地,步骤S3中对每个波长的条纹投影进行相位-高度标定的过程包括以下步骤:S11、通过该投影装置将当前波长的条纹投影于校正板上,并将校正板依次放置于与该投影装置距离不同的一第一位置、一第二位置及一第三位置处,通过该相机拍摄当校正板分别处于该三个位置处时该波长条纹在校正板上的投影图像,并获取同一观测点在本步骤的三次拍摄中的相位 S12、在该第一位置的相位图中取一与条纹方向相交的直线,在该直线上取点P1’、P2’、P3’,并使该P1’、P2’、P3’点的相位分别等于 记录该P1’、P2’、P3’点的坐标。
较佳地,在步骤S4中,设该相机拍摄到的各波长条纹投影图像中观测点的灰度为 其中I0为背景光强度, 为步骤S2中获取的各波长条纹的实际相位移且设 A为从该正弦条纹投影装置出射的光强,a为该观测点的初始相位,i=1...n,n>=4且n∈z;根据方程组 计算出该观测点的初始相位a。
较佳地,取I0=0,且n>=3。
较佳地,在步骤S5中,根据相位-高度标定求得观测点的高度坐标的过程包括以下步骤:S21、在该直线上取点Pc’,并使该Pc’点的相位等于该观测点的经过解包裹的初始相位;S22、设该观测点的高度坐标为Hc,由公式[(H1-H3)*(H2-Hc)]/[(H2-H3)*(H1-Hc)]=[(P1’-P3’)*(P2’-Pc’)]/[(P2’-P3’)*(P1’-Pc’)]求得Hc,其中H1、H2、H3为校正板分别处于该三个位置时在步骤S11中所述的该同一观测点的高度坐标。
较佳地,当被测物表面空间分布不连续时,通过该投影装置对被测物进行垂直投影。
本发明的积极进步效果在于:本发明的该测量方案运行速度高、测量精度高,并且成本低廉,可以很好地应用于电子制造SMT(表面组装技术,Surface Mounted Technology)工艺中的锡膏测量以及元器件引脚测量。
附图说明
图1为本发明的第一种正弦条纹投影装置的结构示意图。
图2为本发明的第二种正弦条纹投影装置的结构示意图。
图3为本发明的第三种正弦条纹投影装置的结构示意图。
图4为本发明的三维轮廓测量方法中采用的校正板的示意图。
图5为本发明的三维轮廓测量方法中采用的相位-高度标定的原理图。
具体实施方式
下面结合附图给出本发明较佳实施例,以详细说明本发明的技术方案。
为了对被测物的三维轮廓进行测量,特别是为了在电子制造SMT工艺中实现高速高精度的锡膏测量,以有效地提高电子组装品的质量,本发明采用多波长的正弦条纹结构光照射被测物表面,由于被测物的三维面形会对结构光照明光束产生空间调制,这便导致了结构光的形变,当从另一视角通过一相机观察这些形变时,便能够基于形变数据实现对被测物面形的三维重建。
在本发明中采用一正弦条纹投影装置来实现上述结构光的投影。
如图1所示,本发明提出的第一种正弦条纹投影装置包括多个波长不同的点光源,图1中以设置有四个点光源1a、1b、1c、1d的情况为例,其中该四个点光源1a、1b、1c、1d所发出的光的波长分别为λ1、λ2、λ3、λ4,每个该点光源的后方均设有一凹面镜,该多个点光源发出的光经由同一根光纤2的传输后,将依次通过一准直镜组3、一光栅4、一投影镜头5以及一折射板6,由于不同波长的光在通过物体时的折射率不同,因此不同波长的光会从该折射板6以不同的相位出射,即各波长条纹之间会形成一定的相位差。其中,在该正弦条纹投影装置中,该准直镜组3包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的一光阑。该投影装置能够利 用单一的装置结构实现多个波长的正弦条纹的投影,并且使得各波长条纹之间形成一定的相位差。其中对各个点光源的点亮/关闭可以采用简单的电控方式进行,当根据实际应用需要在不同波长的正弦条纹之间进行切换时,只需点亮所需波长的点光源、同时关闭其余波长的各点光源即可,因此该切换操作不但简便易行,而且得益于电控的高速率,该投影装置的切换速度也是非常迅速的,并且该投影装置还具有成本低廉的优势。
如图2所示,本发明提出的第二种正弦条纹投影装置包括一点光源1e,该点光源1e的后方同样设有一凹面镜,该点光源1e发出的光将依次通过一LCD 7、一准直镜组3’、一光栅4、一投影镜头5以及一折射板6。在该投影装置中,通过该LCD 7对进入后续光路的光的波长进行选择控制,以根据不同的应用需求在该LCD 7之后获得不同波长的光,例如λ1、λ2或λ3,该些不同波长的光将最终从该折射板6以不同的相位出射。类似地,该准直镜组3’包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的两个光阑。该投影装置同样利用单一的装置结构实现了多个波长的正弦条纹的投影,并且保证在各波长条纹之间形成一定的相位差。当根据实际应用需要在不同波长的正弦条纹之间进行切换时,只需对该LCD 7进行相应的控制,便能够获得所需的某一波长的正弦条纹投影,因此该切换操作同样简便易行、切换速度高,并且该投影装置同样成本低廉。
如图3所示,本发明提出的第三种正弦条纹投影装置包括多个波长不同的点光源,图3中以设置有三个点光源1a、1b、1c的情况为例,其中该三个点光源1a、1b、1c所发出的光的波长分别为λ1、λ2、λ3,每个该点光源的后方均设有一凹面镜,每个该点光源发出的光均会先各自经由一相应的准直镜组3”并被一相应的半反射镜8折转90°,然后不同波长的光均将依次通过一光栅4、一投影镜头5以及一折射板6,并最终从该折射板6以不同的相位出射。在该投影装置中,该准直镜组3”同样包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的一光阑。该投影装置同样利 用单一的装置结构实现了多个波长的正弦条纹的投影,,并且使得各波长条纹之间形成一定的相位差,其中对各个点光源的点亮/关闭也可以采用简单的电控方式进行,当根据实际应用需要在不同波长的正弦条纹之间进行切换时,该第三种投影装置的切换原理与上述的第一种投影装置完全相同,因此同样具有切换操作简便易行、切换速度高、成本低廉的优点。
当采用上述三种正弦条纹投影装置中的任意一种进行三维轮廓测量时,本发明的该三维轮廓测量方法包括以下步骤:
S1、调整从该正弦条纹投影装置出射的各波长光的强度,使得当该投影装置分别进行各波长条纹的投影时,通过一相机拍摄到的各波长条纹投影图像的平均灰度相同。
设从上述投影装置出射的各波长光的强度为Ai(i=1...n,n代表上述投影装置能够实现的不同波长的正弦条纹投影的数量),考虑到各波长光的亮度不同,而且锡膏或者其他的被测物材料对不同波长光线的反射和吸收率也不同,因此在一般情况下A1、A2...An并不相同,所以首先需要通过一校正步骤来统一该些光强参数。该校正步骤为:通过该投影装置依次将各波长条纹投影至一校正板(如图4所示)或一实际物体表面上,并通过一相机拍摄各波长条纹在该校正板或者该实际物体表面上的投影图像;计算每个波长的条纹投影下的投影图像中的区域平均灰度,并对上述投影装置进行参数调整,改变从其出射的各波长光的亮度,使得各波长条纹投影在该相机CCD中形成相同的平均灰度,即A1=A2=...An=A。
S3、利用相机小孔模型进行该相机的标定,以获取该相机的内外参数;并依次对各波长条纹投影进行相位-高度标定,即通过该相机识别校正板上的圆圈中心,并利用相机的标定参数计算出校正板平面的位置,该标定方法利用一个参考平面完成校正,克服了该投影装置本身的误差缺陷,因此较为 稳定、少干扰。
具体地,如图5所示,对每个波长的条纹投影进行相位-高度标定的过程包括以下步骤:S11、通过该装置将某个波长的条纹投影于校正板上,将校正板依次放置于与该投影装置距离不同的一第一位置d1、一第二位置d2及一第三位置d3处,通过该相机拍摄当校正板分别处于该三个位置d1、d2、d3处时该波长的条纹在校正板上的投影,并获取同一个观测点(u0,v0)在本步骤的三次拍摄中的相位 S12、在该第一位置d1的相位图中取一与条纹方向垂直或相交的直线le,在该直线le上取点P1’、P2’、P3’,并使该P1’、P2’、P3’点的相位分别等于 记录该P1’、P2’、P3’点的坐标。
S4、通过该装置依次将各波长条纹投影至被测物,较佳地,当被测物表面高度变化剧烈、空间分布不连续以及具有空洞时,通过该投影装置对被测物进行垂直投影,接着通过该相机拍摄被测物表面的各波长条纹投影图像,然后根据各波长条纹投影图像计算出由该相机观测到的各观测点的初始相位,并对该些初始相位解包裹。
I1=I0+A(1+cos(a));
对余弦函数进行三角分解得:
I1=I0+A(1+cos(a));
上述方程组中的未知数仅为:背景光强度I0,从该投影装置出射的光的强度A,该观测点的初始相位a。当n>=4(即该投影装置至少可以实现四种波长的正弦条纹投影)时,便可以利用迭代最小二乘法对该方程组求解,从而获得初始相位a的值,然后对该值解包裹得 (k∈z)。进一步地,在实际应用中应尽量减少背景光的影响,即在无照明时,使得相机CCD的感光接近于零,在这种情况下通常可以忽略背景光强度I0,即认为I0=0,此时,只需满足n>=3便可以对以上方程组求解。通过同样的方式,便可以逐个获得全部观测点的经过解包裹的初始相位。
S5、根据相位-高度标定,由各观测点的经过解包裹的初始相位分别获取该各观测点的高度坐标,再根据相机标定获取该各观测点的三维坐标。
其中,仍如图5所示,根据相位-高度标定求得观测点的高度坐标的过程包括以下步骤:S21、设某一观测点经过解包裹的初始相位为 在该直线le上取点Pc’,并使该Pc’点的相位等于 S22、设该观测点的高度坐标为Hc,则Hc可由公式[(H1-H3)*(H2-Hc)]/[(H2-H3)*(H1-Hc)]=[(P1’-P3’)*(P2’-Pc’)]/[(P2’-P3’)*(P1’-Pc’)]求得,其中H1、H2、H3为校正板分别处于上述三个位置d1、d2、d3时上述观测点(u0,v0)的高度坐标,而诸如(P1’-P3’)等等表示的则是相位图面中的欧氏距离。解得该观测点的高度坐标Hc后,通过相机内部参数模型即可得出该观测点在相机空间中的三维坐标(x,y,Hc)。通过同样的方式,便可以逐个获得全部观测点的三维空间坐标,继而便能够重建出相机观测区域中被测物的三维轮廓。
上述步骤S1~S5的具体实现,为本领域技术人员公知的技术手段,并非本发明的发明点所在,在此不再赘述。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式,但是本领域的技术人员应当理 解,这些仅是举例说明,本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下,可以对这些实施方式做出多种变更或修改,但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种利用一正弦条纹投影装置实现的三维轮廓测量方法,其特征在于,该正弦条纹投影装置采用方案一、方案二和方案三中的一种,
在该方案一中,该正弦条纹投影装置包括多个波长不同的点光源,每个该点光源的后方均设有一凹面镜,该多个点光源发出的光经由一根光纤的传输后,依次通过一准直镜组、一光栅、一投影镜头以及一折射板,并从该折射板以不同的相位出射;
在该方案二中,该正弦条纹投影装置包括一点光源,该点光源的后方设有一凹面镜,该点光源发出的光依次通过一LCD、一准直镜组、一光栅、一投影镜头以及一折射板,其中通过该LCD对进入后续光路的光的波长进行控制,不同波长的光从该折射板以不同的相位出射;
在该方案三中,该正弦条纹投影装置包括多个波长不同的点光源,每个该点光源的后方均设有一凹面镜,每个该点光源发出的光在经由准直镜组并被半反射镜折转90°之后,均依次通过一光栅、一投影镜头以及一折射板,并从该折射板以不同的相位出射;
该方法包括:
S1、调整从该正弦条纹投影装置出射的各波长光的强度,使得当该投影装置分别进行各波长条纹的投影时,通过一相机拍摄到的各波长条纹投影图像的平均灰度相同;
S2、使用该投影装置依次将各波长条纹投影至一校正板或一被测物的平滑区域,获取各波长条纹间的实际相位移;
S3、进行该相机的标定,并依次对各波长条纹投影进行相位-高度标定;
S4、通过该投影装置依次将各波长条纹投影至被测物,通过该相机拍摄被测物表面的各波长条纹投影图像,然后根据各波长条纹投影图像计算出各观测点的初始相位,并对该些初始相位解包裹;
S5、根据相位-高度标定由各观测点的经过解包裹的初始相位分别获取该 各观测点的高度坐标,再根据相机标定获取该各观测点的三维坐标。
2.如权利要求1所述的三维轮廓测量方法,其特征在于,
在该方案一中,该准直镜组包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的一光阑;
在该方案二中,该准直镜组包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的两个光阑;
在该方案三中,该准直镜组包括一第一凸透镜、一第二凸透镜以及设于该第一和第二凸透镜之间的一光阑。
3.如权利要求1或2所述的三维轮廓测量方法,其特征在于,在步骤S2中利用反傅里叶法获取各波长条纹间的实际相位移。
6.如权利要求5所述的三维轮廓测量方法,其特征在于,取I0=0,且 n>=3。
7.如权利要求4所述的三维轮廓测量方法,其特征在于,根据相位-高度标定求得观测点的高度坐标的过程包括以下步骤:
S21、在该直线上取点Pc’,并使该Pc’点的相位等于该观测点的经过解包裹的初始相位;
S22、设该观测点的高度坐标为Hc,由公式[(H1-H3)*(H2-Hc)]/[(H2-H3)*(H1-Hc)]=[(P1’-P3’)*(P2’-Pc’)]/[(P2’-P3’)*(P1’-Pc’)]求得Hc,其中H1、H2、H3为校正板分别处于该三个位置时在步骤S11中所述的该同一观测点的高度坐标。
8.如权利要求1或2所述的三维轮廓测量方法,其特征在于,当被测物表面空间分布不连续时,通过该投影装置对被测物进行垂直投影。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010101305371A CN101936718B (zh) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 正弦条纹投影装置以及三维轮廓测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010101305371A CN101936718B (zh) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 正弦条纹投影装置以及三维轮廓测量方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101936718A CN101936718A (zh) | 2011-01-05 |
CN101936718B true CN101936718B (zh) | 2012-07-18 |
Family
ID=43390177
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010101305371A Expired - Fee Related CN101936718B (zh) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 正弦条纹投影装置以及三维轮廓测量方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101936718B (zh) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5683002B2 (ja) * | 2011-02-01 | 2015-03-11 | Jukiオートメーションシステムズ株式会社 | 3次元測定装置、3次元測定方法及びプログラム |
CN102183213B (zh) * | 2011-03-02 | 2012-09-05 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法 |
CN102679909B (zh) * | 2012-05-10 | 2014-09-17 | 天津大学 | 一种光纤干涉条纹投射中初相位及调制度测量控制方法 |
CN103398675B (zh) * | 2013-08-10 | 2016-06-15 | 南昌航空大学 | 一种基于条纹周期校正的复杂大物体三维测量方法 |
CN103575235A (zh) * | 2013-11-08 | 2014-02-12 | 湖北汽车工业学院 | 一种基于数字条纹投影的微型三维测量系统 |
CN104299211B (zh) * | 2014-09-25 | 2020-12-29 | 苏州笛卡测试技术有限公司 | 一种自由移动式三维扫描方法 |
JP6794981B2 (ja) * | 2015-03-17 | 2020-12-02 | ソニー株式会社 | 情報処理装置および方法 |
US10401145B2 (en) * | 2016-06-13 | 2019-09-03 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Method for calibrating an optical arrangement |
CN106179984B (zh) * | 2016-08-29 | 2019-01-08 | 上海邮政科学研究院 | 一种交叉带分拣机供件台邮件在主环方向投影尺寸的计算方法 |
CN106500628B (zh) * | 2016-10-19 | 2019-02-19 | 杭州思看科技有限公司 | 一种含有多个不同波长激光器的三维扫描方法及扫描仪 |
CN106683188A (zh) * | 2016-11-17 | 2017-05-17 | 长春理工大学 | 透明目标的双表面三维重构方法、装置和系统 |
CN107044833B (zh) * | 2017-03-24 | 2019-03-05 | 南京理工大学 | 一种基于改进的傅立叶变换轮廓技术的超快三维形貌测量方法及其系统 |
CN109425292B (zh) * | 2017-08-29 | 2020-06-16 | 西安知微传感技术有限公司 | 基于一维线结构光的三维测量系统标定装置及方法 |
CN107862719B (zh) * | 2017-11-10 | 2020-10-27 | 未来机器人(深圳)有限公司 | 相机外参的标定方法、装置、计算机设备和存储介质 |
CN108955559A (zh) * | 2018-03-26 | 2018-12-07 | 天津工业大学 | 一种非平行条件下三维测量系统结构参数快速标定方法 |
CN109003308B (zh) * | 2018-06-27 | 2022-03-18 | 浙江大学 | 一种基于相位编码的特殊成像范围相机标定系统及方法 |
CN110375671B (zh) * | 2019-02-19 | 2021-04-02 | 西安理工大学 | 一种相位误差的自校正方法 |
CN109781033B (zh) * | 2019-03-04 | 2020-11-06 | 杭州晶耐科光电技术有限公司 | 一种透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置 |
CN111006599B (zh) * | 2019-10-30 | 2021-07-20 | 东北大学 | 基于像素光栅和计算机视觉的物体表面微尺度测量方法 |
CN111476788B (zh) * | 2020-04-27 | 2023-08-25 | 武汉精立电子技术有限公司 | 一种显示屏夹层缺陷检测方法及系统 |
CN111651954B (zh) * | 2020-06-10 | 2023-08-18 | 嘉兴市像景智能装备有限公司 | 基于深度学习对smt电子元件三维重建的方法 |
EP4286791A4 (en) * | 2021-02-23 | 2024-03-20 | Huawei Tech Co Ltd | OPTICAL SYSTEM, DEVICE AND TERMINAL |
CN113409367B (zh) * | 2021-07-08 | 2023-08-18 | 西安交通大学 | 条纹投影测量点云逐点加权配准方法、设备和介质 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003042734A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Ricoh Co Ltd | 表面形状測定方法及び表面形状測定装置 |
CN101135860A (zh) * | 2007-09-04 | 2008-03-05 | 上海微电子装备有限公司 | 一种光刻装置和用于光刻装置的对准系统及对准方法 |
JP2009025189A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Nikon Corp | 計測器 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10122834A (ja) * | 1996-10-24 | 1998-05-15 | Tokyo Gas Co Ltd | 三次元形状の非接触測定方法及び測定装置 |
-
2010
- 2010-03-23 CN CN2010101305371A patent/CN101936718B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003042734A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Ricoh Co Ltd | 表面形状測定方法及び表面形状測定装置 |
JP2009025189A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Nikon Corp | 計測器 |
CN101135860A (zh) * | 2007-09-04 | 2008-03-05 | 上海微电子装备有限公司 | 一种光刻装置和用于光刻装置的对准系统及对准方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101936718A (zh) | 2011-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101936718B (zh) | 正弦条纹投影装置以及三维轮廓测量方法 | |
JP6170566B2 (ja) | 歯科用カメラを校正するための校正デバイス及び方法 | |
CN106767527B (zh) | 一种三维轮廓的光学混合检测方法 | |
CN101526336B (zh) | 基于量块的线结构光三维视觉传感器标定方法 | |
CN101308012B (zh) | 双单目白光三维测量系统标定方法 | |
CN101419708B (zh) | 一种基于一维靶标的结构光传感器标定方法 | |
CN103791860B (zh) | 基于视觉检测技术的微小角度测量装置及方法 | |
KR102469816B1 (ko) | 3차원 재구성 시스템 및 3차원 재구성 방법 | |
CN108692677A (zh) | 基于反射光场偏振与空时编码的表面三维重建方法和系统 | |
CN106933071B (zh) | 调焦调平装置及方法 | |
KR102160351B1 (ko) | 이중 층 정렬 장치 및 방법 | |
CN103226009A (zh) | 一种自成像结构光投影和相移装置及方法 | |
CN101509759B (zh) | 用于视觉检测系统的自标定系统及方法 | |
CN107543683A (zh) | 一种透射元件像差的高精度大动态范围测量系统及测量方法 | |
CN109443214A (zh) | 一种结构光三维视觉的标定方法、装置及测量方法、装置 | |
US20150323416A1 (en) | Method and device for measuring a decentration and tilt of faces of an optical element | |
Matthias et al. | Evaluation of system models for an endoscopic fringe projection system | |
CN104501741A (zh) | 一种用于三维面形测量的正交光栅相移方法 | |
KR20090101661A (ko) | Lcd패널을 이용한 모아레 형상측정장치 | |
CN110146032A (zh) | 基于光场分布的合成孔径相机标定方法 | |
CN108507492A (zh) | 一种平曲面透射元件表面的高精度大动态范围测量方法及测量系统 | |
CN110567392B (zh) | 一种凸自由曲面反射镜面形测试方法 | |
CN203132512U (zh) | 一种结构光投影和相移装置 | |
CN109458959A (zh) | 一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法 | |
CN107817088A (zh) | 离轴抛物镜光轴方向的标定方法及系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120718 Termination date: 20170323 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |