CN101924057A - 载板及连续等离子体镀膜装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种载板及连续等离子体镀膜装置，包括底板，底板上纵向装有第一安装件，横向装有第二安装件，第一安装件和第二安装件纵横交错，形成基片定位槽。可以通过调整第一安装件和第二安装件的位置或规格，形成不同规格的基片定位槽，放置不同规格的基片，且基片定位槽能够方便基片的放置和定位，可以减少载板的种类、方便使用、降低成本。

Description

载板及连续等离子体镀膜装置
技术领域
本发明涉及一种半导体加工装置，尤其涉及一种载板及连续等离子体镀膜装置。
背景技术
在晶体硅太阳能电池工艺中，广泛使用一种连续等离子体镀膜装置。
如图1所示，为现有技术中这种装置的结构示意图，包括装载加热腔1、工艺腔2、卸载冷却腔3等，基片4位于载板5上，在传动系统作用下，在各个腔室中按照一定的节拍运动，完成装载、加热、工艺、冷却等功能。
如图2所示，为了提高效率，这种装置采用批量处理，一个载板5上放置多个基片4。由于设备工艺的要求，载板5需要满足一定的性能，例如耐温性，耐等离子体腐蚀，机械强度等，一般载板材料选择石墨，碳纤维等。载板结构设计还需要考虑基片4在载板5上的定位，由于基片4有多种规格，例如125mm×125mm、156mm×156mm方形片，200mm、300mm圆形片等，需要准备多种载板以适合多种基片4的规格。
如图3所示，为现有技术中一种载板结构，在载板5上打孔，孔中插入定位柱，通过定位柱对基片4定位。图3中，A为一种定位柱排列方式，B为另一种排列方式，排列方式的形状和尺寸按照基片4的尺寸进行设计。
上述现有技术至少存在以下缺点：
载板通用性差，由于不同孔的间距不能太小，可以安装的基片种类受到限制；基片种类多时，定位孔数量多、零件加工难度大、成本高、基片安装时容易出错。
发明内容
本发明的目的是提供一种通用性强、使用方便、成本低的载板及连续等离子体镀膜装置。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
本发明的载板，包括底板，所述底板上纵向装有第一安装件，横向装有第二安装件，第一安装件和第二安装件纵横交错，形成基片定位槽。
本发明的连续等离子体镀膜装置，该装置包括上述的载板。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的载板及连续等离子体镀膜装置，由于底板上纵向装有第一安装件，横向装有第二安装件，第一安装件和第二安装件纵横交错，形成基片定位槽。可以通过调整第一安装件和第二安装件的位置或规格，形成不同规格的基片定位槽，放置不同规格的基片，且基片定位槽能够方便基片的放置和定位，可以减少载板的种类、方便使用、降低成本。
附图说明
图1为现有技术中连续等离子体镀膜装置的结构示意图；
图2为现有技术中载板放置基片的平面示意图；
图3为现有技术中载板的平面结构示意图；
图4为本发明的载板的具体实施例的平面结构示意图；
图5为图4的A部放大图；
图6为本发明的具体实施例中安装件的结构示意图。
具体实施方式
本发明的载板其较佳的具体实施例一：
如图4、图5所示，载板包括底板6，底板6上纵向装有第一安装件7，横向装有第二安装件8，第一安装件7和第二安装件8纵横交错，可以根据基片4的规格组成一定的形状，对基片4的安装进行定位。在此实施例中，基片4为方形，第一安装件7和第二安装件8为长条形，交错形成方形定位槽。
如图6所示，第一安装件7和第二安装件8的下部或上部分别设有多个凹槽9，两个安装件在凹槽9处安装，形成方形的空间，用于安装基片4。调整凹槽9的位置，可以形成另一个尺寸的方形空间，用于安装另一种方形基片4；
具体实施例二：
根据需要，第一安装件7和第二安装件8可以设计成其它特殊的形状，交错布置后，可以得到其他形状的空间，例如圆形、椭圆形等，用于安装其他形状的基片4。在这种情况下，第一安装件7和第二安装件8可以设计多种不同规格的形状备用，可以根据基片4的形状更换，以适应不同的基片4。
本发明的连续等离子体镀膜装置，其较佳的具体实施方式是，该装置包括上述的载板。
由于基片4厚度较小，一般小于1mm，因此安装件7、8的厚度可以比较小，加工的工作量较小，优选为2mm；安装件种类可以有一种也可以有多种，多个部分拼接而成时，可以减小加工难度；安装件的材料可以与底板6相同，也可以与底板6不同；安装件之间采用定位凹槽进行安装，也可以使用其他方式，例如螺钉、销钉安装等方式，优选为定位凹槽安装，以使拆装简单；安装件之间安装的凹槽形状可以为方形、圆形、梯形等形状；安装件材料可以与底板6相同，例如石墨，碳纤维等，也可以不同，优选为相同材料。
本发明中，一种载板可以安装多种基片，减少载板种类；载板加工容易，安装件可以拼接，成本低；安装容易，使用安装件定位槽定位，减少出错概率；是一种对各种基片可以通用的载板，方便使用，降低成本。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种载板，其特征在于，包括底板，所述底板上纵向装有第一安装件，横向装有第二安装件，第一安装件和第二安装件纵横交错，形成基片定位槽。
2.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述第一安装件和第二安装件分别有多种规格，形成的基片定位槽包括多种规格的圆形、方形或椭圆形。
3.根据权利要求2所述的载板，其特征在于，当形成的基片定位槽为方形时，所述第一安装件和第二安装件分别为长条形。
4.根据权利要求3所述的载板，其特征在于，所述长条形的第一安装件和第二安装件的下部或上部分别设有多个凹槽，且两个安装件之间通过凹槽安装。
5.根据权利要求4所述的载板，其特征在于，所述凹槽的形状为方形、圆形或梯形。
6.根据权利要求1、2或3所述的载板，其特征在于，所述第一安装件和第二安装件之间通过螺钉或销钉安装。
7.根据权利要求1、2或3所述的载板，其特征在于，所述第一安装件和第二安装件的材料与所述底板的材料相同。
8.根据权利要求7所述的载板，其特征在于，所述的材料为石墨或碳纤维。
9.根据权利要求1、2或3所述的载板，其特征在于，所述第一安装件和第二安装件的厚度小于或等于2mm。
10.一种连续等离子体镀膜装置，其特征在于，该装置包括权利要求1至9任一项所述的载板。
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