CN101913465A - 基板储放匣 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种基板储放匣,包括框体、多条中空悬臂托杆以及至少一个减振装置。这些中空悬臂托杆是配置于框体的储放空间内,且各中空悬臂托杆具有自由端以及固定在框体上的固定端,而这些中空悬臂托杆在第一方向上分别具有第一振动频率。减振装置则是配置在至少一条中空悬臂托杆内,并邻近其自由端。而且,减振装置在第一方向上具有第二振动频率,其中第二振动频率与第一振动频率不相同。
Description
技术领域
本发明涉及一种储放装置,且特别是涉及一种可提高基板制作工艺效率的基板储放匣。
背景技术
随着科技的不断进步与发展,平面显示器已普遍地使用于日常生活中,而平面显示器在制造的过程中,大多是使用玻璃基板当作基材,且为了配合尺寸越做越大的平面显示器,玻璃基板的尺寸也须越做越大,相对上厚度也变为较薄。因此,在运送尺寸大、厚度薄的玻璃基板时,在运送过程中是必须非常小心谨慎的,否则将造成玻璃基板碎裂或破片的情况发生。而且,玻璃基板的平坦度也为影响液晶显示器品质的一项重要因素。
一般面板厂使用储存匣(cassette)来承载玻璃基板,以避免玻璃基板在搬运的过程中产生碎裂或破片。图1为现有一种基板储存匣放置基板的示意图。请参照图1,基板储存匣100包括框体110以及多条支撑杆120以及多个支撑柱130,其中这些支撑杆120的两端分别固定于框体110的相对两侧,而在框体110内隔出多层基板容置空间112。支撑柱130则是设置于支撑杆120上,以将基板101撑起使其与支撑杆120之间具有间隙,便于机械手臂(robot arm)103伸入至基板101与支撑杆120之间,以取放基板101。
基于上述,由于各层基板容置空间112(图面上找不到112的位置)的高度必须要足以让机械手臂103伸入其中,因此各层基板容置空间112之间可缩小的间距范围有限,难以提高基板储存匣100的空间利用率。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种基板储放匣,以提高基板的制作工艺效率及良率。
本发明提出一种基板储放匣,包括框体、多条中空悬臂托杆以及至少一个减振装置。这些中空悬臂托杆是配置于框体的储放空间内,且各中空悬臂托杆具有自由端以及固定在框体上的固定端,而这些中空悬臂托杆在第一方向上分别具有第一振动频率。减振装置则是配置在至少一条中空悬臂托杆内,并邻近其自由端。而且,减振装置在第一方向上具有第二振动频率,其中第二振动频率与第一振动频率不相同。
在本发明的一实施例中,上述的减振装置包括弹性元件以及摆锤,其中弹性元件具有第一端与第二端,且第一端是固定于上述的中空悬臂托杆内。摆锤则是连接于弹性元件的第二端,适于在中空悬臂托杆内于第一方向上摆动。
在本发明的一实施例中,上述的弹性元件的延伸方向可以大致上垂直于第一方向。举例来说,弹性元件为弹簧或弹性绞钢。
在本发明的一实施例中,上述的弹性元件与中空悬臂托杆的长度比为1∶84。
在本发明的一实施例中,上述的弹性元件的延伸方向可以大致上平行于第一方向。举例来说,弹性元件为弹簧。
在本发明的一实施例中,上述的各中空悬臂托杆包括杆体与端盖,其中端盖盖合于杆体并位于自由端,且弹性元件的第一端连接至端盖。
在本发明的一实施例中,上述的各中空悬臂托杆包括杆体与端盖,其中端盖盖合于杆体并位于自由端,且弹性元件的第一端连接至杆体。
在本发明的一实施例中,上述的减振装置包括支撑柱以及振动件,其中支撑柱是固定于中空悬臂托杆内,且支撑柱与中空悬臂托杆大致平行。振动件是套设于支撑柱上,且此振动件与支撑柱之间具有间隙,而使振动件可以在垂直支撑柱的方向上振动。
在本发明的一实施例中,上述的中空悬臂托杆至少其中一条的自由端截面积与固定端截面积不同。举例来说,在上述的基板储放匣中,至少一条中空悬臂托杆的自由端截面积小于固定端截面积。
本发明的基板储存匣是在中空悬臂托杆内设置减振装置,以通过减振装置来抵销中空悬臂托杆的振动,进而缩短中空悬臂托杆的振幅衰减时间,以使机械手臂可顺利伸入基板储存匣取放基板。由此可知,本发明不但可以改善基板在制作工艺中的运输效率,更可以降低在取放基板时因中空悬臂托杆的振动而使基板破损的机率,进而提高基板的制作工艺良率。
为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
附图说明
图1为现有一种基板储存匣放置玻璃基板的示意图;
图2A为本发明的一实施例中基板储存匣放置基板的正视示意图;
图2B为图2A的基板储放匣放置基板的侧视示意图;
图3为本发明的一实施例中中空悬臂杆的自由端的截面示意图;
图4为本发明的另一实施例中中空悬臂杆的侧视图;
图5为本发明的另一实施例中中空悬臂杆的自由端的截面示意图;
图6为本发明的另一实施例中中空悬臂杆的自由端的截面示意图;
图7为本发明的另一实施例中中空悬臂杆的分解示意图;
图8为本发明的另一实施例中中空悬臂杆的分解示意图;
图9为本发明的另一实施例中中空悬臂杆的分解示意图。
主要元件符号说明
100、200:基板储存匣
101、201:基板
103、203:机械手臂
110、210:框体
112:基板容置空间
120:支撑杆
130:支撑柱
212:储存空间
214:凸条
220、420、720:中空悬臂托杆
222、422:固定端
224、424:自由端
225:杆体
226:端盖
230、930:减振装置
232、932:弹性元件
232a:第一端
232b:第二端
234、934:摆锤
934a:开孔
D1:第一方向
d1、d2:长度
具体实施方式
图2A为本发明的一实施例中基板储存匣放置基板的正视示意图,图2B为图2A的基板储放匣放置基板的侧视示意图,图3则为图2的基板储存匣的中空悬臂托杆的自由端的截面示意图。请参照图2A、图2B及图3,基板储存匣200包括框体210、多条中空悬臂托杆220以及减振装置230。中空悬臂托杆220配置于框体210的储存空间212(图面上找不到212标示)内,且各中空悬臂托杆220分别具有固定端222与自由端224,其中固定端222是固定于框体210上。也就是说,中空悬臂托杆220的自由端224可在第一方向D1上往复振动。在本实施例中,中空悬臂托杆220的材质可选用碳纤维增强复合材料(Carbon Fiber Reinforced Polymers,简称CFRP),以降低中空悬臂托杆220因本身重量而下垂的程度。
详细来说,这些中空悬臂托杆220是在框体210的储存空间212内排列成行列,且位于同列的中空悬臂托杆220是用以承载同一片基板201。在本实施例中,中空悬臂托杆220为大小均匀的条状物,但本发明不以此为限。在其他实施例中,如图4所示,中空悬臂托杆420也可以是异形管(taper bar),也就是说,中空悬臂托杆420的固定端422的截面积与自由端424的截面积不同。举例来说,中空悬臂托杆420的固定端422的截面积可以大于自由端424的截面积,以缩短自由端424的振幅衰减时间。
另外,请再次参照图2A,框体210的两侧还可以设置有多个凸条214,其大致上与中空悬臂托杆220垂直。而位在同一水平面上的中空悬臂托杆220与凸条214是用以共同承载一片基板201。
如图2A及图2B所示,相邻的各行中空悬臂托杆220彼此间隔一定的间距,以供机械手臂203伸入此间距来取放基板201。由于在利用机械手臂203取放玻璃基板201时,会引起中空悬臂托杆220的自由端224在第一方向D1上产生振动,此时必须等待中空悬臂托杆220的振幅衰减到一定的程度后,才能进行下一次的取放片,以避免刮伤基板201。因此,为缩短悬臂托杆220的振幅衰减时间,本实施例是将减振装置230配置在中空悬臂托杆220内,并且邻近中空悬臂托杆220的自由端224。
在本实施例中,减振装置230可以包括弹性元件232与摆锤234,其中弹性元件232的延伸方向例如是与第一方向D1大致垂直,并与悬臂托杆220的延伸方向平行或垂直,但本发明不限于此。而且,弹性元件232具有固定于中空悬臂托杆220内的第一端232a以及连接至摆锤234的第二端232b,而摆锤234则是适于在第一方向D1上往复摆动。具体来说,弹性元件232的第一端232a例如是固定于中空悬臂托杆220的内部侧壁上,也就是说,弹性元件232的延伸方向是垂直于第一方向D1及中空悬臂托杆220的延伸方向。而且,弹性元件232可以是弹簧(如图3所示,其为图2A的中空悬臂托杆220在一实施例中在自由端的截面示意图),也可以是弹性绞钢(如图5所示,其为图2A的中空悬臂托杆220在另一实施例中在自由端的截面示意图)。在本实施例中,弹性元件232的长度d1与中空悬臂托杆的长度d2的比值约为1∶84。
在另一实施例中,如图6所示,其为图2A的中空悬臂托杆220在另一实施例中在邻近自由端处的剖面示意图,弹性元件232的第一端232a还可以固定于中空悬臂托杆220内部的顶面,也就是说弹性元件232的延伸方向是平行于第一方向D1,且此实施例的弹性元件232为可在第一方向D1上往复运动的弹簧或其他弹性元件,以带动摆锤234在第一方向D1上振动。
基于上述,在利用机械手臂203取放基板201时,中空悬臂托杆220的自由端224会在第一方向D1上具有第一振动频率,减振装置230的摆锤234则会在第一方向D1上具有第二振动频率,且第二振动频率与第一振动频率不相等,以抵销中空悬臂托杆220的自由端224的振动,进而缩短中空悬臂托杆220的自由端224的振幅衰减时间,并因此提高机械手臂203取放片的工作效率。
在本发明的另一实施例中,如图7所示,中空悬臂托杆720例如是由杆体225及端盖226所构成,其中端盖226是盖合于杆体225并位于自由端224。特别的是,弹性元件232的第一端232a可以固定于端盖226的内侧表面,并沿中空悬臂托杆220的延伸方向延伸,而使第二端232b位于中空悬臂托杆220内。举例来说,弹性元件232例如是弹簧(见图7,其为本发明的一实施例中中空悬臂托杆的分解示意图)、弹性绞钢(见图8其为本发明的另一实施例中中空悬臂托杆的分解示意图。)或可在第一方向D1上震荡的其他弹性元件。弹性元件232的第二端232b则是连接至摆锤234,而摆锤234即是通过弹性元件232的弹性得以在第一方向D1上以第二振动频率振动。
需要注意的是,虽然前述实施例中的减振装置230均是由弹性元件232与摆锤234所构成,但本发明不限于此。在其他实施例中,如图9所示,减振装置930还可以是由支撑柱932及振动件934所构成,其中支撑柱932是固定于中空悬臂托杆720内,且支撑柱932与中空悬臂托杆720大致平行。以本实施例来说,支撑柱932例如是固定在中空悬臂托杆720的端盖226上,但本发明不以此为限。
承上所述,振动件934是套设于支撑柱932上,且振动件934与支撑柱932之间具有间隙,而使振动件934可以在垂直支撑柱932的方向(也就是第一方向D1)上振动。具体来说,振动件934例如是具有开孔934a,而支撑柱932即是穿设开孔934a,且开孔934a的直径略大于支撑柱932的柱体直径。如此一来,当中空悬臂托杆720的自由端224在第一方向D1上以第一振动频率往复振动时,振动件934也会在第一方向D1上以第二振动频率往复振动,以抵销中空悬臂托杆720的振动能量,进而缩短中空悬臂托杆720的振幅衰减时间。
综上所述,本发明的基板储存匣是在中空悬臂托杆内设置减振装置,以通过减振装置来抵销中空悬臂托杆的振动,进而缩短中空悬臂托杆的振幅衰减时间。如此一来,用以取放基板的机械手臂即可按照正常程序连续取放基板,无须浪费过多的时间在等待中空悬臂托杆的振幅减小。由此可知,本发明不但可以提高基板的制作工艺效率,还可以降低在取放基板时因中空悬臂托杆的振动而使基板破损的机率。
虽然结合以上较佳实施例揭露了本发明,然而其并非用以限定本发明,任何熟悉此技术者,在不脱离本发明的精神和范围内,可作些许的更动与润饰,因此本发明的保护范围应以附上的权利要求所界定的为准。
Claims (12)
1.一种基板储放匣,包括:
框体,该框体内具有储放空间;
多条中空悬臂托杆,配置于该储放空间内,且各该中空悬臂托杆具有自由端与固定端,其中该些固定端固定于该框体上,而使该些中空悬臂托杆在一第一方向上具有第一振动频率;以及
至少一减振装置,配置于该些中空悬臂托杆至少其中之一内,并邻近该自由端,其中该减振装置在该第一方向上具有第二振动频率,且该第二振动频率与该第一振动频率不同。
2.如权利要求1所述的基板储放匣,其中该减振装置包括:
弹性元件,具有第一端与第二端,其中该第一端固定于该中空悬臂托杆内;以及
摆锤,连接于该弹性元件的该第二端,适于在该中空悬臂托杆内于该第一方向上摆动。
3.如权利要求2所述的基板储放匣,其中该弹性元件的延伸方向与该第一方向大致上垂直。
4.如权利要求3所述的基板储放匣,其中该弹性元件与该中空悬臂托杆的长度比为1∶84。
5.如权利要求3所述的基板储放匣,其中该弹性元件为弹簧或弹性绞钢。
6.如权利要求2所述的基板储放匣,其中该弹性元件的延伸方向与该第一方向大致上平行。
7.如权利要求6所述的基板储放匣,其中该弹性元件为弹簧。
8.如权利要求2所述的基板储放匣,其中各该中空悬臂托杆包括杆体与端盖,该端盖盖合于该杆体并位于该自由端,且该弹性元件的该第一端连接至该端盖。
9.如权利要求2所述的基板储放匣,其中各该中空悬臂托杆包括杆体与端盖,该端盖盖合于该杆体并位于该自由端,且该弹性元件的该第一端连接至该杆体。
10.如权利要求1所述的基板储放匣,其中该减振装置包括:
支撑柱,固定于该中空悬臂托杆内,且该支撑柱与该中空悬臂托杆大致平行;以及
振动件,套设于该支撑柱上,且该振动件与该支撑柱之间具有一间隙,而使该振动件适于在垂直该支撑柱的方向上振动。
11.如权利要求1所述的基板储放匣,其中该些中空悬臂托杆至少其中之一的该自由端截面积与该固定端截面积不同。
12.如权利要求11所述的基板储放匣,其中该些中空悬臂托杆至少其中之一的该自由端截面积小于该固定端截面积。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101913465A true CN101913465A (zh) | 2010-12-15 |
CN101913465B CN101913465B (zh) | 2012-05-30 |
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ID=43321154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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