CN101812664B - 支撑机构及具有该机构的自动升降装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种支撑机构，其包括安装板、承载板、连接件及限位件，连接件及限位件相互平行地连接于安装板与承载板之间，连接件包括连接柱及弹性元件，连接柱的上端与承载板活动连接，连接柱的下端与安装板活动连接，弹性元件呈压缩状的套设于连接柱外，且弹性元件的上端与承载板抵触，弹性元件的下端与安装板抵触，限位件的下端与安装板连接，限位件的上端沿承载板方向延伸，限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；本发明支撑机构具有缓冲减震功能，能避免承载板与被承载物的硬性机械接触，防止被承载物受到损坏，且结构简单、维护方便。另，本发明还公开了具有本发明支撑机构的自动升降装置。
Description
技术领域
本发明涉及一种支撑机构，尤其涉及一种具有缓冲功能的用于对平板类器件进行支撑的支撑机构及具有该支撑机构的自动升降装置。
背景技术
平板显示器(FPD，Flat Panel Display)因具有薄轻、功耗小、辐射低等优点，将成为显示器中的主流产品，平板显示器主要包括液晶显示LCD(LiquidCrystal Display)、等离子显示PDP(Plasma Display Panel)、有机电致发光显示OLED(Organic Light Emitting Display)以及表面传导电子发射显示SED(Surface-conduction Electron-emitter Display)等几大技术类型；各种类型显示器件的生产都需要利用玻璃等作为基板进行真空镀膜，将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上，以OLED为例，OLED的制作大都采用以ITO(indium tin oxide)玻璃或石英制成的基板，利用蒸镀设备在玻璃基板上相继沉积多层薄膜，其工艺一般为在玻璃基板上形成一透明阳极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极层；可见基板在OLED制程中起着举足轻重的作用，在OLED众多制作工序及后续工艺中，基板需要经过诸多工艺步骤，因此，在这些制成中，对基板需要进行多次支撑和升降，而OLED的基板多由非常薄且易碎的玻璃或石英制成，为了保证OLED的质量和精度，加工过程中对基板处理的自动化要求越来越高的同时，对用于基板的支撑、升降的支撑机构也要求有较高的精度。
现有的用于对基板进行支撑和升降的支撑机构，一种不具有缓冲减振功能，支撑机构直接抵触基板，在对基板进行支撑和升降过程中，硬性机械接触容易导致被支撑和/或被升降的基板破损，降低产品的良品率；另一种支撑机构具有气压减振功能或液压减振功能，这类支撑机构在安装时会将支撑机构以及气缸或液压缸等动力源引入真空蒸镀设备内，这样不可避免的给真空环境带来了来自设备本身的污染，降低真空设备的清洁度，影响蒸镀效果；同时，气缸或液压缸等引入真空设备，使支撑机构的结构复杂、安装困难，制造成本高，而支撑机构位于真空设备内，维修困难。
因此，急需一种具有缓冲减震功能、保证蒸镀设备高清洁度，且结构简单、维护方便的支撑机构。
发明内容
本发明的目的在于提供一种具有缓冲减震功能、保证蒸镀设备高清洁度，且结构简单、维护方便的支撑机构。
本发明的另一目的在于提供一种具有支撑机构的自动升降装置，该自动升降装置能维持蒸镀设备的高清洁度，且结构简单、维护方便。
为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种支撑机构，包括安装板、承载板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述安装板与所述承载板之间，其中，所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述承载板活动连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述承载板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述承载板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫。
较佳地，所述支撑机构还包括螺母，所述连接柱的下端依次穿过所述承载板及所述安装板与所述螺母螺纹连接，所述连接柱的上端与所述承载板相抵触；当安装板受力的作用沿连接柱向上运动或承载板受力的作用向下运动时，套设于连接柱外的弹性元件被进一步压缩，弹性元件产生的弹力对承载板施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防止承载板承载物件时产生较大的振动，进而避免承载与被承载物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏。
较佳地，所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽；当安装板向上运动或承载板向下运动时，限位件限制安装板向上运动或承载板向下运动的位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触；同时，缓冲垫固定于所述安装槽内，当缓冲垫承受安装板与承载板之间的压力时，可减小其横向变形，增强其缓冲能力，增长使用寿命。
本发明提供的自动升降装置固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述自动升降装置包括驱动机构、支撑机构及至少三组顶杆机构，所述支撑机构的上端与所述真空腔体的底板固定连接，下端与所述驱动机构连接，所述顶杆机构的下端与所述支撑机构的下端固定连接，所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接；所述驱动机构驱动所述支撑机构及所述顶杆机构做往复运动，其中，所述支撑机构包括安装板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述真空腔体的底板与所述安装板之间，所述安装板与所述驱动机构连接；所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述真空腔体的底板固定连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述真空腔体的底板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述真空腔体的底板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，下端与所述安装板固定连接。
较佳地，所述连接柱的上端穿过所述安装板与所述真空腔体的底板螺纹连接，所述连接柱的下端与所述安装板相抵触；当安装板受到驱动机构驱动时，安装板沿连接柱向上运动，带动顶杆机构向上运动，弹性元件被进一步压缩，弹性元件产生的弹力对顶杆机构施加在被抵触物件上的力起到缓冲作用，防止顶杆机构抵触物件时产生较大的振动，进而避免顶杆机构与被抵触物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏。
较佳地，所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽；当安装板向上运动时，限位件限制安装板向上运动的位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触；同时，缓冲垫固定于所述安装槽内，当缓冲垫承受安装板与真空腔体底板之间的压力时，可减小其横向变形，增强其缓冲能力，增长使用寿命。
较佳地，所述顶杆机构具有连接板及从所述连接板上凸伸出的顶杆，所述连接板与所述安装板固定连接，所述顶杆伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接；顶杆机构的连接板与安装板固定连接，通过一个驱动机构就可带动顶柱机构及支撑机构运动，不需要多个驱动机构，使驱动难度降低，进而提高基板的处理效率；而顶杆机构的与真空腔体密封地枢接，避免动力源给真空环境造成污染，影响产品工艺效果，提高真空环境的清洁度，保证产品的良品率。
较佳地，所述自动升降装置还包括波纹管，所述波纹管的上端与所述真空腔体的底部密封连接，与所述波纹管密封连接的真空腔体处开设有通道孔，所述顶杆的上端自由的穿过所述通道孔，所述顶杆的下端套于所述波纹管内，所述波纹管的下端与所述连接板密封连接；顶杆下端及连接板位于真空腔体外，使支撑机构及驱动机构安装于真空腔体外，因此，避免动力源给真空环境造成污染，影响产品工艺效果，提高真空环境的清洁度，保证产品的良品率；同时，波纹管的上端与真空腔体的底部密封连接，下端与连接板密封连接，波纹管将支撑机构及驱动机构与真空腔体密封隔离，实现真空腔体的静密封，保证其高清洁度。
与现有技术相比，由于本发明支撑机构，包括安装板、承载板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述安装板与所述承载板之间，其中，所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述承载板活动连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件的上端与所述承载板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述承载板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；当安装板受力的作用沿连接柱向上运动或承载板受力的作用向下运动时，弹性元件被进一步压缩，弹性元件产生的弹力对承载板施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防止承载板承载物件时产生较大的振动，进而避免承载板与被承载物件之间的硬性接触使被抵承载件受到损坏；安装板向上运动或承载板向下运动过程中，限位件限制安装板或承载板运动的位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触，防止被承载物件受到损坏；同时，该支撑机构结构简单，组装快捷，维修方便，使生产成本大大降低；而该支撑机构在使用时可与被支撑物件隔开，避免动力源污染被支撑物件，从而保证被支撑物件的清洁度，提高产品的质量。由于本发明自动升降装置具有上述支撑机构，因此，本发明自动升降装置也具有上述优点。
附图说明
图1是本发明支撑机构的截面结构示意图。
图2是图1中A部分的放大图。
图3是图1中B部分的放大图。
图4是本发明自动升降装置的截面结构示意图。
图5是本发明自动升降装置的使用状态的截面结构示意图。
具体实施方式
现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。
如图1-图3所示，本发明支撑机构30，包括安装板32、承载板31、连接件34及限位件33，连接件34及限位件33相互平行地连接于安装板32与承载板31之间，其中，连接件34包括连接柱341及弹性元件342，连接柱341的上端与承载板31活动连接，连接柱341的下端与安装板32活动连接，弹性元件342呈压缩状的套设于连接柱341外，且弹性元件342的上端与承载板31抵触，弹性元件342的下端与安装板32相抵触，限位件33的下端与安装板32连接，限位件33的上端沿承载板31的方向延伸，限位件33的上端还设置有柔软的缓冲垫332。具体地，连接柱在本发明中优选为螺栓341，弹性元件在本发明中优选为弹簧342，安装板32上设置有安装孔321及安装孔322，承载板31上设置有螺纹安装孔311，螺栓341的下端依次贯穿螺纹安装孔311及安装孔321并与螺母344螺纹连接，连接柱341的上端与承载板31的上表面相抵触且低于承载板31的上表面，在螺栓341上套设有两约束环343a、343b，弹簧342呈压缩状的套设在连接柱341外，且弹簧342的上端与约束环343a相抵触，弹簧342的下端与约束环343b相抵触，因此，在弹簧342弹力的作用下，约束环343a与承载板31抵触，约束环343b与安装板32相抵触，弹簧342呈压缩状的被固定于安装板32与承载板31之间；限位件33的下端贯穿安装板32上的安装孔322并通过螺母333a、333b与所述安装板32螺纹连接，通过调节螺母333a及螺母333b，可调节限位件33的高度，进而调节安装板32或承载板31移动的位移，限位件33的上端沿承载板31的方向延伸，限位件33的上端具有内凹形成的安装槽331，所述缓冲垫332通过螺钉固定于所述安装槽内331且凸出所述安装槽331；当安装板32受到力的作用沿连接柱341向上运动或承载板31受力的作用沿连接柱341向下运动时，弹簧342被进一步压缩，弹簧342产生的弹力对承载板31施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防止承载板31承载物件时产生较大的振动，进而避免承载板31与被承载物件之间的硬性接触使被承载的物件受到损坏；另外，限位件33限制安装板32向上运动或承载板31向下运动的位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触；缓冲垫332固定于所述安装槽331内，当缓冲垫332承受安装板32的压力时，可减小其横向变形，增强其缓冲能力，增长使用寿命。
如图1-图4所示，本发明自动升降装置100固定安装于真空腔体20外且其一端密封的伸入真空腔体20内，其包括驱动机构10、支撑机构30及四组顶杆机构40，支撑机构30的上端与真空腔体的底板22固定连接，下端与驱动机构10连接，顶杆机构40的下端均与支撑机构30的下端固定连接，上端伸入真空腔体20内且与真空腔体20密封地枢接；驱动机构10优选为气缸组件；支撑机构30包括安装板32、连接件34及限位件33，安装板32下端与气缸组件10连接，上端通过连接件34与真空腔体的底板22固定连接，连接件34包括连接柱341及弹性元件342，连接柱341的上端与真空腔体的底板22固定连接，连接柱341的下端与安装板32活动连接，弹性元件342呈压缩状的套设于连接柱341外，且弹性元件342的上端与真空腔体的底板22抵触，弹性元件342的下端与安装板32抵触；限位件33设置于真空腔体的底板22与安装板32之间且与连接件34相互平行，所述限位件33的下端与安装板32连接，所述限位件33的上端沿真空腔体的底板22的方向延伸，限位件33的上端还设置有柔软的缓冲垫332；顶杆机构20的下端对称的连接于支撑机构30的安装板32上，上端伸入真空腔体20内且与真空腔体20密封地枢接；具体地，连接柱在本发明中优选为螺栓341，弹性元件在本发明中优选为弹簧342，安装板32上设置有安装孔321及安装孔322，螺栓341的上端贯穿安装板32上的安装孔321与真空腔体的底板22螺纹连接，连接柱的下端与安装板32相抵触，在螺栓341上套设有两约束环343a、343b，弹簧342呈压缩状的套设在连接柱341外，弹簧342的上端与约束环343a相抵触，弹簧342的下端与约束环343b相抵触，因此，在弹簧342弹力的作用下，约束环343a与真空腔体的底板22抵触，约束环343b与安装板32相抵触，弹簧342呈压缩状的被固定于安装板32与真空腔体的底板22之间；限位件33的下端贯穿安装板32上的安装孔322并通过螺母333a、333b与所述安装板32连接，限位件33的上端沿真空腔体的底板22方向延伸，限位件33的上端具有内凹形成的安装槽331，所述缓冲垫332通过螺钉固定于所述安装槽内331且凸出所述安装槽331；顶杆机构40具有连接板401及从所述连接板401上凸伸出的顶杆402，连接板401与安装板32固定连接，顶杆402伸入真空腔体20内且与所述真空腔体20密封地枢接；具体地，真空腔体的底板22上开设有通道孔，顶杆402的上端自由的穿过通道孔伸入真空腔体20内，顶杆402的下端位于真空腔体20外使连接板401与安装板32固定连接，波纹管403套设于顶杆402的下端，波纹管403一端通过法兰404固定于真空腔体的底板22的通道孔处，使通道孔密封于波纹管403内，另一端通过法兰404固定于顶杆机构40的连接板401上，实现顶杆机构40与真空腔体20的密封。顶柱机构40的连接板401与支撑机构30的安装板32连接，安装板32与气缸组件10连接，通过气缸组件10驱动安装板32，安装板32带动顶柱机构40向上运动的同时，支撑机构30的弹簧342产生的弹力对顶杆机构40施加在被抵触物件上的力起到缓冲作用，防止顶杆机构40抵触物件时产生较大的振动，进而避免顶杆机构40与被抵触物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏，而限位件33可限制安装板32向上运动的位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触而损坏被支撑物。
结合图4、图5，对本发明自动升降装置100的原理进行详细说明。初始状态时，被支撑物放置于顶杆402上，气缸组件10由下向上运动时，驱动安装板32向上运动，安装板32带动连接于其上的顶杆机构40向上运动，顶杆402向上运动的同时，波纹管403被压缩，同时套设于连接柱341外的弹簧342也被进一步的压缩，弹簧342产生的弹力对顶杆402施加在被抵触物件上的力起到缓冲作用，防止顶杆402抵触物件时产生较大的振动，进而避免顶杆402与被抵触物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏；限位件33可限制安装板32向上运动的位移并能进一步起缓冲作用，进一步避免硬性机械接触，防止被抵触物件受到损坏；当被抵触物件被调节到位或被运送走后，气缸组件10向下运动，压缩弹簧342及波纹管403被释放复位，恢复初始位置；限位件33的缓冲垫332固定于安装槽331内，当缓冲垫332承受安装板32的压力时，可减小其横向变形，增强其缓冲能力，增长其使用寿命；限位件33的下端贯穿安装板32上的安装孔322并通过螺母与安装板32连接，可根据气缸组件10的冲程及实际应用调节限位件33上螺母的位置，调节限位件33的高度，进而调节限制安装板32运动的位移；波纹管403的上端与真空腔体的底部22密封连接，下端与连接板401密封连接，波纹管403将减振支撑机构30及驱动机构10与真空腔体20密封隔离，避免动力源给真空环境造成污染，实现真空腔体20的静密封，保证其高清洁度。
本发明自动升降装置100的支撑机构30包括安装板32、连接件34及限位件33，安装板32下端与气缸组件10连接，上端通过连接件34与真空腔体的底板22固定连接，连接件34包括连接柱341及弹性元件342，连接柱341的上端与真空腔体的底板22固定连接，连接柱341的下端与安装板32活动连接，弹性元件342呈压缩状的套设于连接柱341外，且弹性元件342的上端与真空腔体的底板22相抵触，弹性元件342的下端与安装板32相抵触，限位件33的下端与安装板32连接，限位件33的上端沿真空腔体的底板22方向延伸，限位件33的上端还设置有柔软的缓冲垫332，顶杆机构40的下端对称的连接于支撑机构30的安装板32上，上端伸入真空腔体20内且与真空腔体20密封地枢接；当安装板32沿连接柱341向上运动时，弹性元件342被进一步压缩，弹性元件342产生的弹力对顶杆机构40施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防止顶杆机构40承载物件时产生较大的振动，进而避免顶杆机构40与被承载物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏；安装板32向上运动过程中，限位件33限制安装板32向上运动的位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触，防止被被承载物件受到损坏；自动升降装置100结构简单，组装快捷，生产成本大大降低；顶杆机构42通过支撑机构30安装于真空腔体20外，且顶杆机构40与真空腔体20中间通过波纹管403密封连接，将支撑机构30及驱动机构10与真空腔体20密封隔离，避免动力源给真空环境造成污染，实现真空腔体20的静密封，保证其高清洁度，提高产品的质量，顶杆机构40及支撑机构30安装于真空腔体20外，便于维修，维护方便。
本发明自动升降装置100不限于对基板的支撑及升降，还可根据实际需要，用于相类似的物体的支撑及升降。
本发明顶柱设备的驱动机构10及其原理等均为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。
以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
Claims (8)
1.一种支撑机构，包括安装板、承载板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述安装板与所述承载板之间，其特征在于：所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述承载板活动连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述承载板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述承载板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫。
2.如权利要求1所述的支撑机构，其特征在于：还包括螺母，所述连接柱的下端依次穿过所述承载板及所述安装板与所述螺母螺纹连接，所述连接柱的上端与所述承载板相抵触。
3.如权利要求1所述的支撑机构，其特征在于：所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽。
4.一种自动升降装置，固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述自动升降装置包括驱动机构、支撑机构及至少三组顶杆机构，所述支撑机构的上端与所述真空腔体的底板固定连接，下端与所述驱动机构连接，所述顶杆机构的下端与所述支撑机构的下端固定连接，所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，所述驱动机构驱动所述支撑机构及所述顶杆机构做往复运动，其特征在于：所述支撑机构包括安装板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述真空腔体的底板与所述安装板之间，所述安装板与所述驱动机构连接；所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述真空腔体的底板固定连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述真空腔体的底板抵触，所述弹性元件的下端 与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述真空腔体的底板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，下端与所述安装板固定连接。
5.如权利要求4所述自动升降装置，其特征在于：所述连接柱的上端穿过所述安装板与所述真空腔体的底板螺纹连接，所述连接柱的下端与所述安装板相抵触。
6.如权利要求4所述的自动升降装置，其特征在于：所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽。
7.如权利要求4所述的自动升降装置，其特征在于：所述顶杆机构具有连接板及从所述连接板上凸伸出的顶杆，所述连接板与所述安装板固定连接，所述顶杆伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接。
8.如权利要求7所述的自动升降装置，其特征在于：所述自动升降装置还包括波纹管，所述波纹管的上端与所述真空腔体的底板密封连接，与所述波纹管密封连接的真空腔体的底板处开设有通道孔，所述顶杆的上端自由的穿过所述通道孔，所述顶杆的下端套于所述波纹管内，所述波纹管的下端与所述连接板密封连接。
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