CN101913211A - 单晶硅棒线开方夹具 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅棒线开方辅助定位工具技术领域，尤其涉及单晶硅棒线开方夹具。它包括晶托，在晶托的外周设置夹持硅棒的弹性卡爪。使用本工具，定心精度较高，夹紧方便，在夹紧过程中不损伤工件表面，能有效的控制粘圆棒岗位的崩边、未滚磨不良，节省时间，每根棒仅需要耗时5min，从而提升了良品率及产能。
Description
技术领域
本发明涉及硅棒线开方辅助定位工具技术领域，尤其涉及单晶硅棒线开方夹具。
背景技术
单晶硅棒进行线开方前需要将硅棒与晶托用热熔胶粘接，通过晶拖在线开方设备中固定，但是这样的粘结存在以下问题：1.粘接后易出现晶棒与晶托不同心，造成开方后晶棒局部或整根报废；2.在粘棒操作时，造成的崩边、未滚磨；3.粘接步骤多、时间长，且操作要求高，每根棒需要耗时使用20min；4.现有粘接工序的工装夹具、辅助设备如热熔胶、胶枪等成本昂贵；5.粘棒后需额外再检测同心度。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种新的单晶硅棒线开方夹具，免去粘结工序。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶硅棒线开方夹具，包括晶托，在晶托的外周设置夹持硅棒的弹性卡爪。
弹性卡爪有四个。
弹性卡爪设置在爪座上，弹性卡爪通过爪座与晶托固定。
本发明的有益效果是：使用本工具，定心精度较高，夹紧方便，在夹紧过程中不损伤工件表面，能有效的控制粘圆棒岗位的崩边、未滚磨不良，节省时间，每根棒仅需要耗时5min，从而提升了良品率及产能。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的卡爪的结构示意图；
图2是本发明中夹具与硅棒的安装示意图；
图3是本发明中硅棒通过本夹具安装入线开方设备的示意图；
图中：1.晶托，2.弹性卡爪，3.硅棒，4.爪座。
具体实施方式
如图1、2和3所示，一种单晶硅棒线开方夹具，包括晶托1，在晶托1的外周设置夹持硅棒3的弹性卡爪2。硅棒3插入本夹具，弹性卡爪2支撑硅棒3，并保证硅棒3与晶托1同心。弹性卡爪2有四个。为了防止弹性卡爪2划伤硅棒3，弹性卡爪2与硅棒3接触的部位为圆滑设计。弹性卡爪2设置在爪座4上，爪座4与晶托1过盈配合加螺丝紧固。
操作步骤如下：
1.对硅棒3的两端需要夹持的部位的外圆进行加工，具体为底部向上至150mm处范围内的外圆；
2.对底部端面进行加工，要求底部端面与中心线的垂直度＜0.1mm；
3.对加工好的硅棒3进行装夹，即将硅棒3装入带有卡爪的晶托1；
4.如图3所示，硅棒3安装到线开方设备上，装夹的硅棒3不需检测，可依靠夹具保证同心度，只需对夹具可定期校验。
Claims (3)
1.一种单晶硅棒线开方夹具，包括晶托(1)，其特征是：在所述的晶托(1)的外周设置夹持硅棒的弹性卡爪(2)。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒线开方夹具，其特征是：所述的弹性卡爪(2)有四个。
3.根据权利要求2所述的单晶硅棒线开方夹具，其特征是：所述的弹性卡爪(2)设置在爪座(4)上，弹性卡爪(2)通过爪座(4)与晶托(1)固定。
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| CN 201010232677 CN101913211A (zh) | 2010-07-19 | 2010-07-19 | 单晶硅棒线开方夹具 |
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Publications (1)
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| CN101913211A true CN101913211A (zh) | 2010-12-15 |
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Family Applications (1)
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| CN 201010232677 Pending CN101913211A (zh) | 2010-07-19 | 2010-07-19 | 单晶硅棒线开方夹具 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN101913211A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102019437A (zh) * | 2010-12-27 | 2011-04-20 | 中山市中台精密数控车床有限公司 | 数控机床的送料机构 |
| CN104131355A (zh) * | 2014-07-28 | 2014-11-05 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种蓝宝石晶棒粘棒工艺及其装置 |
| CN107351115A (zh) * | 2017-08-03 | 2017-11-17 | 中国核动力研究设计院 | 一种辐照硅棒抓取装置及抓取方法 |
| CN113954256A (zh) * | 2021-11-01 | 2022-01-21 | 青岛高测科技股份有限公司 | 硅棒切割系统的上下料装置及硅棒切割系统 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201230386Y (zh) * | 2008-07-28 | 2009-04-29 | 攀钢集团研究院有限公司 | 一种硅碳棒夹头 |
| CN201372204Y (zh) * | 2009-03-13 | 2009-12-30 | 上海森和投资有限公司 | 多晶硅还原炉用硅芯夹持装置 |
| CN101691221A (zh) * | 2009-10-12 | 2010-04-07 | 倪宝达 | 自锁式石墨紫金夹头 |
| CN201677413U (zh) * | 2010-04-19 | 2010-12-22 | 锦州日鑫硅材料有限公司 | 硅棒晶托 |
-
2010
- 2010-07-19 CN CN 201010232677 patent/CN101913211A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201230386Y (zh) * | 2008-07-28 | 2009-04-29 | 攀钢集团研究院有限公司 | 一种硅碳棒夹头 |
| CN201372204Y (zh) * | 2009-03-13 | 2009-12-30 | 上海森和投资有限公司 | 多晶硅还原炉用硅芯夹持装置 |
| CN101691221A (zh) * | 2009-10-12 | 2010-04-07 | 倪宝达 | 自锁式石墨紫金夹头 |
| CN201677413U (zh) * | 2010-04-19 | 2010-12-22 | 锦州日鑫硅材料有限公司 | 硅棒晶托 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102019437A (zh) * | 2010-12-27 | 2011-04-20 | 中山市中台精密数控车床有限公司 | 数控机床的送料机构 |
| CN104131355A (zh) * | 2014-07-28 | 2014-11-05 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种蓝宝石晶棒粘棒工艺及其装置 |
| CN107351115A (zh) * | 2017-08-03 | 2017-11-17 | 中国核动力研究设计院 | 一种辐照硅棒抓取装置及抓取方法 |
| CN113954256A (zh) * | 2021-11-01 | 2022-01-21 | 青岛高测科技股份有限公司 | 硅棒切割系统的上下料装置及硅棒切割系统 |
| CN113954256B (zh) * | 2021-11-01 | 2024-02-02 | 青岛高测科技股份有限公司 | 硅棒切割系统的上下料装置及硅棒切割系统 |
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