CN101906611B - 镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种镀膜机，该镀膜机用于将待镀液体镀到至少一块基板上。所述镀膜机包括容器、转子及加热器，所述容器包括侧壁，所述至少一块基板固定于所述侧壁上，所述容器设置有入液口及排气口，待镀液体通过所述入液口注入所述容器内，所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转，使得待镀液体覆盖所述基板，所述加热器加热所述基板，用于将所述基板表面的待镀液体蒸发，在所述基板表面形成膜结构。本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板，所以可以同时对多块基板进行镀膜，由此大大的提高了镀膜效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种利用离心力进行镀膜的镀膜机。
背景技术
现有技术中，有一种用于对表面渗水性不良的基板进行镀膜的镀膜机。该镀膜机先将基板固定放置在一可控的旋转离心机工作平台中心，并随之旋转，然后再通过一个滴液装置将待镀液体滴在基板中心，液滴在离心力的作用下从基板中心向四周抛洒出去，从而在被镀物表面形成镀膜层。
这种镀膜机虽然可以在基板上镀膜，但是由于是液滴在离心力的作用下从基板中心向四周抛撒，所以工作台上每次只能安装一块基板，由此大大的降低了镀膜的效率。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种高效率的镀膜机。
一种镀膜机，该镀膜机用于将待镀液体镀到至少一块基板上。所述镀膜机包括容器、转子及加热器。所述容器包括侧壁，至少一块基板固定于所述侧壁上，所述容器设置有入液口及排气口，待镀液体通过所述入液口注入所述容器内，所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转，使得待镀液体覆盖所述基板，所述加热器加热所述基板，用于将所述基板表面的待镀液体蒸发，在所述基板表面形成膜结构。
本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板，所以可以同时对多块基板进行镀膜，由此大大的提高了镀膜效率。
附图说明
图1为本发明提供的镀膜机的示意图。
图2为图1的镀膜机的剖视图。
图3为图2中镀膜机运行的示意图。
具体实施方式
请参阅图1及图2，为本发明提供的镀膜机100，其用于将待镀液体200内的成膜溶质镀到基板300上。所述镀膜机100包括容器10、转子20、驱动装置30及加热器40。
所述容器10包括侧壁11及开口端12。本实施方式中，所述容器10是圆筒形，所述侧壁11是圆弧形侧壁。所述侧壁11经加工设有容置槽11a、入液口11b及出液口11c。本实施方式中，所述侧壁11加工有两个容置槽11a，两个入液口11b及两个出液口11c。所述容置槽11a用于收容所述基板300。本实施方式中，所述基板300是具有一定弧度的大致呈矩形的板，所述容置槽11a是与所述基板300相配合的大致呈矩形的槽。当然，若需要给更多的基板300镀膜，所述侧壁11可以加工更多的容置槽11a。所述基板300也可以是其他形状。所述基板300也可以利用螺栓或卡合结构固定到所述侧壁11上。所述入液口11b用于将待镀液体200注入到所述容器10内。本实施方式中，所述入液口11b是沿平行所述容器10的轴向OO’设置的矩形孔。所述入液口11b设置有一阀门(图中未画出)，该阀门只有当所述镀膜机100准备镀膜时开启，使得待镀液体100通过所述入液口11b注入所述容器10内。当镀膜机100内注入适量的待镀液体后，所述阀门将关闭。当然，所述入液口11b也可以是圆形等其他形状的孔，入液口11b的位置也可以位于所述容器10的底部。本实施方式中，所述出液口11c与入液口11b的形状及大小相同，用于镀膜完成后将多余的待镀液体200排出所述容器10。当然，所述镀膜机100也可以不加工所述出液口11c，而利用加热器40将多余的待镀液体200蒸发掉，或采用所述入液口11b进行排液作业。本实施方式中，为了提高效率，加快待镀液体200的排放，在所述侧壁11上开设所述出液口11c。所述出液口11c设置一阀门(图中未画出)，当所述镀膜机100镀膜时，所述阀门关闭，防止待镀液体200排出。只有当镀膜完成后，所述阀门才会开启，使得多余的待镀液体200在离心力的作用下从所述出液口11c排出。所述转子20从所述开口端12伸入所述容器10内。当然，所述容器10也可以采用封闭结构将所述转子20封闭于所述容器10内，并在容器10上部开设排气口，用于排出待镀液体200被蒸发出的气体。本实施方式中，所述开口端12作为排出气体的通道。
所述转子20包括转轴21及搅动端22。所述搅动端22可以采用圆盘、叶轮等有利于带动待镀液体200旋转的形状。本实施方式中，所述搅动端22由多个同心的圆台组成。所述搅动端22包括四个圆台22a、22b、22c及22d。所述圆台22a、22b、22c及22d的直径从下到上依次增加。所述搅动端22的最大直径Dm小于所述开口端12的内径D。
所述驱动装置30用于旋转转子20，使得所述待镀液体200在转子20的带动下完全覆盖所述基板300。本实施方式中，为了避免产生气泡及待镀液体200旋转时的紊流，所述驱动装置30旋转转子20的速度逐渐加快。
所述加热器40是多个电加热棒。本实施方式中，所述加热器40等间距的分布在所述容器10的侧壁11上，用于均匀的加热所述容器10的侧壁11。所述加热器40可以是容置于所述容器10的侧壁11内，也可以是设置于所述容器10的侧壁11外。本实施方式中，所述加热器40均匀的排布在所述侧壁11外。当然，所述加热器40也可以采用红外线加热等可以使得所述侧壁11均匀受热的其他加热装置。当所述待镀液体200被所述转子20带动到将所述基板300完全覆盖时，所述加热器40开始加热，使得待镀液体200被蒸发，蒸发的气体从所述搅动端22与容器10的开口端12之间的缝隙排出。
请参阅图1及图3，镀膜时，先将所述容器10内装入至基板300一半高度的待镀液体200。再利用所述驱动装置30转动所述转子20，并逐渐加快所述转子20的转速，直到待镀液体200完全覆盖所述基板300。此时打开加热器40进行加热来蒸发待镀液体200。待所述基板300上形成膜层后打开所述出液口11c的阀门，通过所述出液口11c将残留的待镀液体200排出。根据所述基板300需要镀的膜层的不同厚度，可以设定加热器40的温度及加热的时间。
若需要镀多层膜，可以等第一层膜镀膜完成后，再将容器10内注入其他成份的液体，再次重复第一层膜形成的步骤，从而在基板300上形成多层膜结构。
本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板，所以可以同时对多块基板进行镀膜，由此大大的提高了镀膜效率。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (8)
1.一种镀膜机，该镀膜机用于将待镀液体镀到基板上，其特征在于，所述镀膜机包括容器、转子及加热器，所述容器包括侧壁，至少一块所述基板固定于所述侧壁上，所述容器设置有入液口及排气口，待镀液体通过所述入液口注入所述容器内，所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转，使得待镀液体覆盖所述基板，所述加热器加热所述基板，用于将所述基板表面的待镀液体蒸发，在所述基板表面形成膜结构。
2.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述容器的侧壁是圆弧形侧壁。
3.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述容器包括出液口，所述出液口设置于所述侧壁上，用于排出镀膜后过多的待镀液体。
4.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述加热器设置于所述侧壁上，用于加热所述侧壁。
5.如权利要求4所述的镀膜机，其特征在于，所述加热器采用多个加热棒，所述多个加热棒沿所述容器圆周方向等间距设置。
6.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述加热器采用红外线、电加热方式进行加热。
7.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述入液口设有一阀门，当向所述容器内注入液体时所述阀门打开，当所述镀膜机镀膜时关闭。
8.如权利要求3所述的镀膜机，其特征在于，所述出液口设有一阀门，当所述镀膜机镀膜完成时所述阀门打开，当所述镀膜机镀膜时关闭。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009103029392A CN101906611B (zh) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | 镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009103029392A CN101906611B (zh) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | 镀膜机 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101906611A CN101906611A (zh) | 2010-12-08 |
| CN101906611B true CN101906611B (zh) | 2013-03-20 |
Family
ID=43262190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009103029392A Expired - Fee Related CN101906611B (zh) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | 镀膜机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101906611B (zh) |
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| CN102218387A (zh) * | 2010-04-19 | 2011-10-19 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜机 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2009
- 2009-06-05 CN CN2009103029392A patent/CN101906611B/zh not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| CN101906611A (zh) | 2010-12-08 |
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