CN101885587B - 链式烧结炉氢气隔离装置 - Google Patents
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- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 35
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 33
- 238000005245 sintering Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000002955 isolation Methods 0.000 title claims abstract description 12
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 74
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 37
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 8
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 8
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 12
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004100 electronic packaging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000012536 packaging technology Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
本发明涉及链式烧结炉氢气隔离装置，包括高温区炉膛(3)、低温区炉膛(2)、冷却区炉膛(1)，在三个炉膛端口处分别设有相应的氮气管道(4)、氮氢混合管道(13)与炉膛相通，所述的氮气管道(4)共同与一个气体分配器(7)连接，其特征在于：在氮氢混合管道与炉膛连接处前端的高温区炉膛(3)四周设有气体通道(14)，气体通道(14)内的炉膛周边上设有一组进气孔(16)，气体通道(14)上设有进气口(15)，进气口(15)通过相应的氮气管道与气体分配器(7)连接。本发明的有益效果是可以通过本装置在高温区炉膛端口形成氮气保护幕，阻止氢气流入高温区炉膛将金属氧化物还原；提高了玻璃与金属封结的质量。
Description
技术领域
本发明涉及气体隔离装置，特别是涉及一种链式烧结炉氢气隔离装置。
背景技术
随着我国电子封装业的飞速发展，直接促进着金属-玻璃封装技术的发展，作为封装形式之一的金属-玻璃封装，近年来已形成了一个庞大的技术产业。金属-玻璃封装主要应用于集成电路、继电器、接插件、锂电池、微波器件、传感器、钽电容器、压缩机等产品中，这些产品广泛应用于人类活动的各个领域，如航空、航天、兵器、船舶、汽车等工业以及各类家用电器、各类通讯器材直至儿童玩具。因此金属-玻璃封装行业近年来得到了迅猛发展，而金属-玻璃封装的关键工艺设备之一就是气体保护烧结炉。
根据金属与玻璃封结的原理，金属之所以能和玻璃封结到一起且具有较好的气密性，主要靠金属氧化物与玻璃中的氧化物在高温下牢牢的结合而成的。因此金属在封结之前其表面必须预先氧化，使其表面生成一层结合致密、牢固的氧化膜，而烧结过程中加入少量氢气主要是保护金属零件，防止金属零件在高温下过氧化，但是由于氢气在800℃左右对金属氧化物具有较强的还原作用，而玻璃与金属氧化物牢固结合的温度是980℃左右，如果氢气进入高温炉膛，就会使得在玻璃与金属结合之前，氢气就把金属氧化物还原掉，直接影响玻璃和金属封结的质量，影响产品的性能。
发明内容
本发明的目的就是为了克服链式烧结炉氢气易流入高温区炉膛内还原金属氧化物的缺点，提供的一种链式烧结炉氢气隔离装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
链式烧结炉氢气隔离装置，包括高温区炉膛、低温区炉膛、冷却区炉膛，在三个炉膛端口处分别设有相应的氮气管道、氮氢混合管道与炉膛相通，所述的氮气管道共同与一个气体分配器连接，其特征在于：在氮氢混合管道与炉膛连接处前端的高温区炉膛四周设有气体通道，气体通道内的炉膛周边上设有一组进气孔，气体通道上设有进气口，进气口通过相应的氮气管道与气体分配器连接。
在上述的主要技术方案的基础上，可以增加以下进一步完善的技术方案：
在气体通道上设有一对进气口，每个进气口通过相应的连接管与氮气管道连接。
在每个氮气管道上依次设有相应的气阀、流量计。
所述的一组进气孔在高温区炉膛周边上均匀分布，均匀分布的进气孔可以是使氮气在高温区炉膛内形成一层封闭的氮气幕，阻隔了后部的氢气向高温区炉膛流动。
所述的一对的进气口设置在气体通道的上下两侧。
本发明的有益效果是可以通过本装置在高温区炉膛端口形成氮气保护幕，阻止氢气流入高温区炉膛将金属氧化物还原；提高了玻璃与金属封结的质量。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
附图说明：
图1为本发明的主视图；
图2为本发明的主视图的A-A剖视图。
具体实施方式
如图1所示，本发明链式烧结炉氢气隔离装置，包括依次相连接的高温区炉膛3、低温区炉膛2和冷却区炉膛1，另外还包括主氮气管道8和氢气管道11，在氢气管道11上依次设有相应的氢气压力表10、气阀6和流量计5，在主氮气管道8上依次设有相应的氮气压力表9、气阀6和流量计5，主氮气管道8与气体分配器7连接，气体分配器7与五个分支氮气管道4连接，在每个氮气管道4上设有相应的气阀6和流量计5，其中两个氮气管道4分别与高温区炉膛3的进口端和冷却区炉膛1的出口端配合连接，第三个氮气管道4通过连接管分别与高温区炉膛3的前端端口和后端端口配合连接，第四个氮气管道4与氢气管道11共同与一个氮氢混合器12连接，氮氢混合器12通过氮氢混合管道13与低温区炉膛2的前端端口配合连接，如图2所示，在氮氢混合管道连接处前端对应的高温区炉膛3的端口四周设有气体通道14，气体通道14在炉膛四周形成一个封闭的箱体，在气体通道14上下两侧上设有一对进气口15，每个进气口通过相应的连接管与第五个氮气管道连接，气体通道14内的炉膛四周边上设有一组进气孔16，在高温区炉膛3两对称长边上均匀分布十一个进气孔16，在两对称短边上均匀分布七个进气孔16，进气孔的数量可以根据炉膛的大小增加或减少，氮气通过进气口进入气体通道，再通过进气孔进入炉膛形成氮气幕，阻隔了后部的氢气向高温区炉膛流动。
Claims (5)
1.链式烧结炉氢气隔离装置，包括高温区炉膛(3)、低温区炉膛(2)、冷却区炉膛(1)，在三个炉膛端口处分别设有相应的氮气管道(4)、氮氢混合管道(13)与炉膛相通，所述的氮气管道(4)共同与一个气体分配器(7)连接，其特征在于：在氮氢混合管道与低温区炉膛连接处前端的高温区炉膛(3)四周设有气体通道(14)，气体通道(14)内的高温区炉膛(3)四周边上设有一组进气孔(16)，气体通道(14)上设有进气口(15)，进气口(15)通过相应的氮气管道与气体分配器(7)连接。
2.根据权利要求1所述的链式烧结炉氢气隔离装置，其特征在于：在气体通道(14)上设有一对进气口(15)，每个进气口(15)通过相应的连接管与氮气管道连接。
3.根据权利要求1或2所述的链式烧结炉氢气隔离装置，其特征在于：在每个氮气管道(4)上依次设有相应的气阀、流量计。
4.根据权利要求1所述的链式烧结炉氢气隔离装置，其特征在于：所述的进气孔(16)在高温区炉膛(3)周边上均匀分布。
5.根据权利要求2所述的链式烧结炉氢气隔离装置，其特征在于：所述的一对的进气口(15)设置在气体通道(14)的上下两侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010102304910A CN101885587B (zh) | 2010-07-15 | 2010-07-15 | 链式烧结炉氢气隔离装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010102304910A CN101885587B (zh) | 2010-07-15 | 2010-07-15 | 链式烧结炉氢气隔离装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101885587A CN101885587A (zh) | 2010-11-17 |
| CN101885587B true CN101885587B (zh) | 2012-03-28 |
Family
ID=43071706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010102304910A Expired - Fee Related CN101885587B (zh) | 2010-07-15 | 2010-07-15 | 链式烧结炉氢气隔离装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101885587B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102173604A (zh) * | 2011-01-20 | 2011-09-07 | 宋维明 | 一种结晶还原炉 |
| CN111365985A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-07-03 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种氢气保护钼丝推板烧结炉 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN85203863U (zh) * | 1985-09-03 | 1986-07-09 | 刘江禄 | 氮氢保护气体链式烧结炉 |
| US4888037A (en) * | 1987-10-05 | 1989-12-19 | The Boc Group, Inc. | Glass to metal sealing process |
| CN201772753U (zh) * | 2010-07-15 | 2011-03-23 | 蚌埠富源电子科技有限责任公司 | 链式烧结炉氢气隔离装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06109369A (ja) * | 1992-09-14 | 1994-04-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 窒素ガス雰囲気加熱装置 |
| JP4069642B2 (ja) * | 2002-02-14 | 2008-04-02 | 大同特殊鋼株式会社 | ストリップ連続焼鈍用横型炉 |
-
2010
- 2010-07-15 CN CN2010102304910A patent/CN101885587B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN85203863U (zh) * | 1985-09-03 | 1986-07-09 | 刘江禄 | 氮氢保护气体链式烧结炉 |
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Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| JP特开2003-239020A 2003.08.27 |
| JP特开平6-109369A 1994.04.19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101885587A (zh) | 2010-11-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Hydrogen isolation device for chain-type sintering furnace Effective date of registration: 20181204 Granted publication date: 20120328 Pledgee: Merchants Bank Bengbu branch of Limited by Share Ltd. Pledgor: BENGBU FUYUAN ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: 2018340000701 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20200121 Granted publication date: 20120328 Pledgee: Merchants Bank Bengbu branch of Limited by Share Ltd. Pledgor: BENGBU FUYUAN ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: 2018340000701 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Hydrogen isolation device for chain sintering furnace Effective date of registration: 20201215 Granted publication date: 20120328 Pledgee: Bengbu Science and Technology Financing Guarantee Co.,Ltd. Pledgor: BENGBU FUYUAN ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2020980009359 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20220621 Granted publication date: 20120328 Pledgee: Bengbu Science and Technology Financing Guarantee Co.,Ltd. Pledgor: BENGBU FUYUAN ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2020980009359 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120328 |