CN103807571B - 光刻胶管路套管保温装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用以在半导体生产中涂胶单元光刻胶管路的保温装置，具体地说是一种光刻胶管路套管保温装置。在光刻胶管的外面设有双层套管结构，双层套管结构的内层为进水管路，外层为出水管路，形成自身闭合的循环恒温管路，所述光刻胶管的一端与光刻胶喷嘴连接，另一端与外部供应管路连接。本发明保温效果好，又能节省空间，提高生产的质量和效率。

Description

光刻胶管路套管保温装置
技术领域
本发明涉及用以在半导体生产中涂胶单元光刻胶管路的保温装置，具体地说是一种光刻胶管路套管保温装置。
背景技术
目前，半导生产过程中，在涂胶单元中需要对光刻胶进行恒温保温，传统套管保温系统管路进水和回水分别是独立的两个管路系统，连接点增多，体积庞大，不便于生产和维护，容易泄露，占用更多空间。同时，单层保温容易造成温度波动，影响工艺精确度，很多时候单层套管更换费时费力，严重影响生产的产能，有些时候还由于单程恒温效率，造成影响工艺的结果。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的在于提供一种光刻胶管路套管保温装置。该光刻胶管路套管保温装置保温效果好，又能节省空间，提高生产的质量和效率。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种光刻胶管路套管保温装置，包括光刻胶管和双层套管结构，其中光刻胶管穿过双层套管结构，所述光刻胶管的一端与光刻胶喷嘴连接，另一端与外部供应管路连接，所述双层套管结构的内层管路为进水管路，外层管路为出水管路，所述进水管路和出水管路在靠近光刻胶喷嘴端相互连通，进水管路和出水管路在靠近外部供应管路端分别设有保温水进口和保温水出口，形成自身闭合的循环恒温水管路。
所述双层套管结构包括喷嘴接头、内套管、外套管、换热块接头、换热块及光刻胶管锁紧接头，所述光刻胶管从内套管中穿过，所述内套管的两端均通过内卡套分别与套设在光刻胶管上的喷嘴接头和换热块接头连接；所述内套管从外套管中穿过，所述外套管的两端均通过外卡套分别与喷嘴接头和换热块接头连接，所述喷嘴接头上设有连通内套管和外套管的通道，所述光刻胶喷嘴与喷嘴接头连接；所述换热块套设于光刻胶管上、并与换热块接头连接，所述换热块通过套设在光刻胶管上的光刻胶管锁紧接头与光刻胶管连接；所述换热块上设有保温水进口和保温水出口，换热块与换热块接头上设有相互连通、并分别将保温水进口与内套管及保温水出口与外套管连通的通道结构。所述光刻胶喷嘴和喷嘴接头及换热块接头和换热块通过密封圈密封。
所述光刻胶管与内套管之间的空隙为进水管路，所述内套管与外套管之间的空隙为出水管路，保温水通过保温水进口依次进入进水管路和出水管路、并通过保温水出口排出。
本发明的优点及有益效果是：
1.本发明采用双层套管，恒温保温效果好。
2.本发明采用双层套管，结构紧凑，节省空间，维护方便。
3.本发明提高生产的质量和效率。
附图说明
图1为本发明的立体示意图；
图2为本发明的结构示意图。
其中：1为光刻胶喷嘴，2为喷嘴接头，3为内套管，4为外套管，5为换热块接头，6为换热块，7为密封圈，8为光刻胶管锁紧接头，9为光刻胶管，10为保温水进口，11为保温水出口。
具体实施方式
下面结合附图对发明作进一步描述。
如图1、图2所示，本发明是在光刻胶管9的外面设有双层套管结构，双层套管结构的内层为进水管路，外层为出水管路，形成自身闭合的循环恒温管路，光刻胶管9的一端与光刻胶喷嘴1连接，另一端与外部供应管路连接。
所述双层套管结构包括喷嘴接头2、内套管3、外套管4、换热块接头5、换热块6及光刻胶管锁紧接头8，光刻胶管9从内套管3中穿过，内套管3的两端均通过内卡套分别与套设在光刻胶管9上的喷嘴接头2和换热块接头5连接。内套管3从外套管4中穿过，外套管4的两端均通过外卡套分别与喷嘴接头2和换热块接头5连接，喷嘴接头2上设有连通内套管3和外套管4的通道，光刻胶喷嘴1与喷嘴接头2通过螺钉连接、并通过密封圈7密封。换热块6套设于光刻胶管9上、并与换热块接头5连接，换热块6与换热块接头5之间通过密封圈7密封。换热块6通过套设在光刻胶管9上的光刻胶管锁紧接头8与光刻胶管9锁紧连接，防止保温水泄露。换热块6上设有保温水进口10和保温水出口11，换热块6与换热块接头5上设有相互连通、并分别将保温水进口10与内套管3及保温水出口11与外套管4连通的通道结构。
光刻胶管9与内套管3之间的空隙为进水管路，内套管3与外套管4之间的空隙为出水管路，保温水通过保温水进口10依次进入换热块6、换热块接头5、内套管3及喷嘴接头2内，由喷嘴接头2返回依次进入到外套管4、换热块接头5及换热块6内，再通过保温水出口11回到设备之外的保温水供应系统中。
本发明的工作原理是：
光刻胶管9直接穿过整个双层套管结构的中心与光刻胶喷嘴1连接，内套管3套在光刻胶管9的外面，两者之间为保温水进水管路，外套管4套在内套管3的外面，两者之间为保温水出水管路。光刻胶管9先接触恒温保温入水，这样恒温效果直接可靠，然后恒温保温出水在恒温保温入水外面形成第二道保护层，给恒温保温入水和外界之间形成隔离，起到第二道屏障的作用，减少热量损失。保温水通过保温水进口10依次进入进水管路和出水管路、并通过保温水出口11排出。

Claims (4)

1.一种光刻胶管路套管保温装置，其特征在于：包括光刻胶管(9)和双层套管结构，其中光刻胶管(9)穿过双层套管结构，所述光刻胶管(9)的一端与光刻胶喷嘴(1)连接，另一端与外部供应管路连接，所述双层套管结构的内层管路为进水管路，外层管路为出水管路，所述进水管路和出水管路在靠近光刻胶喷嘴(1)端相互连通，进水管路和出水管路在靠近外部供应管路端分别设有保温水进口(10)和保温水出口(11)，形成自身闭合的循环恒温水管路。
2.按权利要求1所述的光刻胶管路套管保温装置，其特征在于：所述双层套管结构包括喷嘴接头(2)、内套管(3)、外套管(4)、换热块接头(5)、换热块(6)及光刻胶管锁紧接头(8)，所述光刻胶管(9)从内套管(3)中穿过，所述内套管(3)的两端均通过内卡套分别与套设在光刻胶管(9)上的喷嘴接头(2)和换热块接头(5)连接；所述内套管(3)从外套管(4)中穿过，所述外套管(4)的两端均通过外卡套分别与喷嘴接头(2)和换热块接头(5)连接，所述喷嘴接头(2)上设有连通内套管(3)和外套管(4)的通道，所述光刻胶喷嘴(1)与喷嘴接头(2)连接；所述换热块(6)套设于光刻胶管(9)上、并与换热块接头(5)连接，所述换热块(6)通过套设在光刻胶管(9)上的光刻胶管锁紧接头(8)与光刻胶管(9)连接；所述换热块(6)上设有保温水进口(10)和保温水出口(11)，换热块(6)与换热块接头(5)上设有相互连通、并分别将保温水进口(10)与内套管(3)及保温水出口(11)与外套管(4)连通的通道结构。
3.按权利要求2所述的光刻胶管路套管保温装置，其特征在于：所述光刻胶喷嘴(1)和喷嘴接头(2)及换热块接头(5)和换热块(6)通过密封圈(7)密封。
4.按权利要求2所述的光刻胶管路套管保温装置，其特征在于：所述光刻胶管(9)与内套管(3)之间的空隙为进水管路，所述内套管(3)与外套管(4)之间的空隙为出水管路，保温水通过保温水进口(10)依次进入进水管路和出水管路、并通过保温水出口(11)排出。
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