CN101882724B - 密封式输电装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种密封式输电装置，适用于安装在真空腔体上以对所述真空腔体的内部供电，所述密封式输电装置包括绝缘体和导电体，所述绝缘体包括主绝缘体及由所述主绝缘体下端向外侧延伸而成的绝缘体凸台，所述导电体包括主导电体及从所述主导电体向外延伸而成的导电体凸台，所述真空腔体上开设有绝缘体安装孔，所述绝缘体上开设有导电体安装孔，所述绝缘体安装于所述绝缘体安装孔上并紧贴所述绝缘体安装孔的内壁，所述导电体套于所述导电体安装孔内并紧贴所述导电体安装孔的内壁，所述绝缘体凸台和所述导电体凸台通过紧固螺钉紧密地固定于所述真空腔体上。本发明密封式输电装置结构简单、密封性较好且安全性能较高。

Description

密封式输电装置
技术领域
本发明涉及一种输电装置，尤其涉及一种适用于向真空腔体输电的密封式输电装置。
背景技术
输电装置广泛地运用于各种需要电源供给的密封空间或真空系统中，如半导体领域的成膜、封装工序等。
例如，随着有机半导体技术的深入研究，有机器件的应用越来越广泛，如有机电致发光器件(OLED)。OLED的制备离不开有机薄膜的生成，而现有技术中最成熟的技术是通过蒸镀技术来完成有机薄膜的制备。在使用真空蒸镀制备薄膜时，三类加热蒸发源如电阻加热蒸发源、电子束加热蒸发源和感应加热蒸发源通常被用于加热和蒸发材料。上述各种蒸发源的使用均需要电源的提供，因此，各种用于向真空腔体内输电的密封式输电装置应运而生。
随着真空蒸镀技术的发展，对于用于上述真空蒸镀系统的输电装置的要求越来越高。不仅要求其密封性能要好，还要求其安全性能要高且力求结构简单。然而，现有的输电装置无法全面地满足上述的各个功能和要求。
因此，急需一种结构简单、密封性能较好且安全性能较高的密封式输电装置以解决上述现有技术中的缺陷。
发明内容
针对上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种密封式输电装置，该密封式输电装置结构简单、密封性较好且安全性较高。
为了实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种密封式输电装置，适用于安装在真空腔体上以对所述真空腔体的内部供电，所述密封式输电装置包括绝缘体、导电体及绝缘环，所述绝缘体包括主绝缘体及由所述主绝缘体下端向外侧延伸而成的绝缘体凸台，所述导电体包括主导电体及从所述主导电体向外延伸而成的导电体凸台，所述真空腔体上开设有绝缘体安装孔，所述绝缘体上开设有导电体安装孔，所述绝缘体安装于所述绝缘体安装孔上并紧贴所述绝缘体安装孔的内壁，所述导电体套于所述导电体安装孔内并紧贴所述导电体安装孔的内壁，所述导电体凸台上开设有绝缘环安装孔，所述绝缘环包括主绝缘环及从所述主绝缘环末端向外侧延伸而成的绝缘环凸台，所述主绝缘环安装于所述绝缘环安装孔上，所述绝缘环凸台与所述导电体凸台相抵靠，紧固螺钉贯穿所述绝缘环和所述绝缘体凸台并固定于所述真空腔体上。绝缘环的设置既可以隔离紧固螺钉和导电体凸台的连接，又可以很好的压紧导电体凸台。
与现有技术相比，由于本发明密封式输电装置包括了起导电作用的导电体和起绝缘作用的绝缘体，绝缘体将导电体与真空腔体充分隔离，以确保安全性，而通过简单的凸台结构的设计实现了导电体和绝缘体与真空腔体的紧密结合，从而保证了密封式输电装置的密封性。因此，本发明密封式输电装置结构简单，在确保导电性的同时提高了密封性和安全性。
较佳地，所述绝缘环凸台和所述紧固螺钉的钉帽之间设置有垫圈。垫圈的选用，可以防止紧固螺钉将绝缘环凸台拧坏。
较佳地，所述导电体的两端均固定有压线螺钉，使得输电线与导电体连接时可紧压在导电体上以防止接触不良，从而提高输电性能。
较佳地，所述密封式输电装置还包括内绝缘盖，所述内绝缘盖上开设有电线穿孔，所述内绝缘盖位于所述真空腔体内并固定于所述绝缘体上。此外，所述密封式输电装置还包括外绝缘盖，所述外绝缘盖上开设有电线穿孔，所述外绝缘盖位于所述真空腔体外并固定于所述导电体上。所述内绝缘盖和外绝缘盖的设置均是为了避免输电线与导电体连接处外漏，从而防止接触不良事故和漏电事故的发生以提高所述密封式输电装置的安全性能。
较佳地，所述密封式输电装置还包括第一密封圈和第二密封圈，所述绝缘体凸台上与所述真空腔体相对的表面上开设第一密封槽，与所述导电体凸台相对的表面上开设第二密封槽，所述第一密封圈套于所述第一密封槽上，所述第二密封圈套于所述第二密封槽上，以进一步保证本发明密封式输电装置对于真空腔体的密封性能。
较佳地，所述密封式输电装置还包括绝缘圈，所述绝缘圈套设于所述绝缘体凸台及所述导电体凸台的外侧，以进一步提高本发明密封式输电装置的绝缘性和安全性。
附图说明
图1是本发明密封式输电装置安装于一真空腔体时的结构示意图。
图2是图1所示结构示意图中A部分的放大图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1和图2所示，本发明实施例密封式输电装置1安装在真空腔体2上以对所述真空腔体2的内部供电。所述密封式输电装置1包括绝缘体10和导电体20，所述真空腔体2上开设有绝缘体安装孔2a。所述绝缘体10包括主绝缘体11及由所述主绝缘体11下端向外侧延伸出来的绝缘体凸台12，其中，所述主绝缘体11开设有导电体安装孔110，形成中空的管状结构。所述导电体20包括呈圆柱结构的主导电体21及从所述主导电体21中部向外延伸而成的导电体凸台22。本具体实施例中，所述绝缘体凸台12和所述导电体凸台22均呈环形状。
较佳者，所述密封式输电装置1还包括绝缘环30和紧固螺钉40。所述绝缘环30具有与所述绝缘体10相类似的结构，即所述绝缘环30包括主绝缘环31及由所述主绝缘环31末端向外侧延伸出来的绝缘环凸台32，所述主绝缘环31开设有第一安装孔310，形成中空的管状结构。所述绝缘体凸台12开设有第二安装孔120，而所述导电体凸台22上开设有绝缘环安装孔220。
继续参照图1和图2，所述绝缘体10的主绝缘体11穿过所述绝缘体安装孔2a并紧贴着所述绝缘体安装孔2a的内壁，所述主导电体21套于所述导电体安装孔110内并紧贴着所述导电体安装孔110的内壁，同样地，所述主绝缘环31安装于所述绝缘环安装孔220内并紧贴着所述绝缘环安装孔220的内壁，所述第一安装孔310与所述第二安装孔120相对准，所述紧固螺钉40贯穿所述第一安装孔310和所述第二安装孔320并固定于所述真空腔体2上。此时，所述紧固螺钉40的钉帽、绝缘环凸台32、导电体凸台22、绝缘体凸台12及所述真空腔体2彼此相互紧贴着，所述导电体20和所述绝缘体10一起密封地固定于所述真空腔体2上。其中，所述绝缘环30的设置既可以隔离紧固螺钉40和导电体凸台22的连接，又可以很好地压紧导电体凸台22。较佳者，所述绝缘环凸台32和所述紧固螺钉40的钉帽之间设置有垫圈41。垫圈41的选用，可以防止紧固螺钉40将绝缘环凸台32拧坏。
较佳者，所述密封式输电装置1还包括第一密封圈51和第二密封圈52，所述绝缘体凸台12上与所述真空腔体2相对的表面上开设第一密封槽511，与所述导电体凸台22相对的表面上开设第二密封槽521，所述第一密封圈51套于所述第一密封槽511上以进一步提高所述绝缘体10与所述真空腔体2连接的密封性，所述第二密封圈52套于所述第二密封槽521上以进一步提高所述导电体20与所述绝缘体10连接的密封性。
较佳者，所述导电体20置于真空腔体2内外的两端分别固定有压线螺钉61和62。所述导电体20用于与输电线连接以将真空腔体2外的电信号输送到所述真空腔体2内，压线螺钉61和62的设置使得输电线与导电体20连接时可紧压在导电体20上以防止接触不良，从而提高输电性能。
较佳者，所述密封式输电装置1还包括内绝缘盖71和外绝缘盖72，所述内绝缘盖71上开设有电线穿孔711以供输电线穿过，所述内绝缘盖71位于所述真空腔体2内并固定于所述绝缘体10的上端。具体地，所述内绝缘盖71设置有内螺纹，而所述绝缘体10上端的外表面上设置有相应的外螺纹，所述内绝缘盖通过螺纹与所述绝缘体10连接。同样地，所述外绝缘盖72上也开设有电线穿孔721以供输电线穿过，所述外绝缘盖72是位于所述真空腔体2外并通过螺纹连接固定于所述导电体20上。所述内绝缘盖71和外绝缘盖72的设置均是为了避免输电线与导电体20连接处外漏，从而防止接触不良事故和漏电事故的发生以提高输电装置的安全性。
较佳者，所述密封式输电装置1还包括绝缘圈80，所述绝缘圈80套设于所述绝缘体凸台12及所述导电体凸台22的外侧以进一步提高本发明密封式输电装置1的绝缘性和安全性。
需要说明的是，本发明的绝缘体10的材质可以选择绝缘绝热的材料，例如陶瓷等，以提高输电性能。此外，本发明所述的绝缘环和紧固螺钉是相配合出现的，在本发明实施例中，所述绝缘环和紧固螺钉的数量为两个，但不仅限于两个，其具体数量可根据具体需要而变更。
本发明与现有技术相比，由于本发明密封式输电装置包括了起导电作用的导电体和起绝缘作用的绝缘体，绝缘体将导电体与真空腔体充分隔离，以确保安全性，而通过简单的凸台结构的设计实现了导电体和绝缘体与真空腔体的紧密结合，从而保证了密封式输电装置的密封性。因此，本发明密封式输电装置结构简单，在确保导电性的同时提高了密封性和安全性。
以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。

Claims (7)

1.一种密封式输电装置，适用于安装在真空腔体上以对所述真空腔体的内部供电，其特征在于：所述密封式输电装置包括绝缘体、导电体及绝缘环，所述绝缘体包括主绝缘体及从所述主绝缘体下端向外侧延伸而成的绝缘体凸台，所述导电体包括主导电体及从所述主导电体向外延伸而成的导电体凸台，所述真空腔体上开设有绝缘体安装孔，所述绝缘体上开设有导电体安装孔，所述绝缘体安装于所述绝缘体安装孔上并紧贴所述绝缘体安装孔的内壁，所述导电体套于所述导电体安装孔内并紧贴所述导电体安装孔的内壁，所述导电体凸台上开设有绝缘环安装孔，所述绝缘环包括主绝缘环及从所述主绝缘环末端向外侧延伸而成的绝缘环凸台，所述主绝缘环安装于所述绝缘环安装孔上，所述绝缘环凸台与所述导电体凸台相抵靠，紧固螺钉贯穿所述绝缘环和所述绝缘体凸台并固定于所述真空腔体上。
2.如权利要求1所述的密封式输电装置，其特征在于：所述绝缘环凸台和所述紧固螺钉的钉帽之间设置有垫圈。
3.如权利要求1所述的密封式输电装置，其特征在于：所述导电体的两端均固定有压线螺钉。
4.如权利要求1所述的密封式输电装置，其特征在于：还包括内绝缘盖，所述内绝缘盖上开设有电线穿孔，所述内绝缘盖位于所述真空腔体内并固定于所述绝缘体上。
5.如权利要求1所述的密封式输电装置，其特征在于：还包括外绝缘盖，所述外绝缘盖上开设有电线穿孔，所述外绝缘盖位于所述真空腔体外并固定于所述导电体上。
6.如权利要求1所述的密封式输电装置，其特征在于：还包括第一密封圈和第二密封圈，所述绝缘体凸台上与所述真空腔体相对的表面上开设第一密封槽，与所述导电体凸台相对的表面上开设第二密封槽，所述第一密封圈套于所述第一密封槽上，所述第二密封圈套于所述第二密封槽上。
7.如权利要求1所述的密封式输电装置，其特征在于：还包括绝缘圈，所述绝缘圈套设于所述绝缘体凸台及所述导电体凸台的外侧。
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