CN101866811A - 一种小型磁偏转质谱计离子源 - Google Patents

一种小型磁偏转质谱计离子源 Download PDF

Info

Publication number
CN101866811A
CN101866811A CN 201010186030 CN201010186030A CN101866811A CN 101866811 A CN101866811 A CN 101866811A CN 201010186030 CN201010186030 CN 201010186030 CN 201010186030 A CN201010186030 A CN 201010186030A CN 101866811 A CN101866811 A CN 101866811A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
ionization chamber
ion source
filament
mass spectrometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 201010186030
Other languages
English (en)
Other versions
CN101866811B (zh
Inventor
郭美如
李得天
赵以德
郭文瑾
肖玉华
王亮
岳瑞
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
510 Research Institute of 5th Academy of CASC
Original Assignee
510 Research Institute of 5th Academy of CASC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 510 Research Institute of 5th Academy of CASC filed Critical 510 Research Institute of 5th Academy of CASC
Priority to CN 201010186030 priority Critical patent/CN101866811B/zh
Publication of CN101866811A publication Critical patent/CN101866811A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101866811B publication Critical patent/CN101866811B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种小型磁偏转质谱计离子源,包括气体样品入口,电离室,灯丝,发射电极,收集电极,永久磁铁,聚焦电极,加速电极,引出狭缝,电离室一端与气体样品入口相连,在另一端设置有离子出口;电离室内部设置有灯丝,两端分别设置发射电极和收集电极;电离室置于永久磁铁形成的磁场中,在电离室出口处依次设置有聚焦电极,加速电极和引出狭缝。本发明与现有技术相比的优点在于:在已有离子源的基础上,将离子光学引出、聚焦系统简化,去除了α缝、β缝,缩短了离子的引出距离,从而减小了离子源的质量和体积。

Description

一种小型磁偏转质谱计离子源
技术领域
本发明涉及一种小型磁偏转质谱计离子源,属于仪器仪表技术领域。
背景技术
磁偏转质谱计主要由离子源、磁分析器、离子接收器和电测系统组成。现有的磁偏转质谱计普遍存在的缺点为功耗高、体积大、质量重,因此不适合便携式气体成分检测以及空间环境的探测。
为满足小型磁偏转质谱计小型化的需求,其离子源也需要相应的小型化。而现有技术中的离子源普遍存在质量和体积都偏大的缺点,不能满足小型磁偏转质谱计的使用要求。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足,提供一种功耗低、体积小、质量轻、灵敏度高的小型磁偏转质谱计离子源。
本发明提供了一种小型磁偏转质谱计离子源,包括气体样品入口,电离室,灯丝,发射电极,收集电极,永久磁铁,聚焦电极,加速电极,引出狭缝,电离室一端与气体样品入口相连,在另一端设置有离子出口;电离室内部设置有灯丝,两端分别设置发射电极和收集电极;电离室置于永久磁铁形成的磁场中,在电离室出口处依次设置有聚焦电极,加速电极和引出狭缝。
本发明的工作原理为:当灯丝发射出的电子,在永久磁铁提供的外加磁场和加速电压的共同作用下,旋转加速经过电离室。在电离室中,加速电子碰撞气体样品分子使其电离,最后电子束被相对电离室为正电位的电子收集电极所接收,而电离后的气体正离子被聚焦电极,加速电极和引出狭缝构成的离子光学系统聚焦引出,进入磁分析器。
有益效果
本发明与现有技术相比的优点在于:在已有离子源的基础上,将离子光学引出、聚焦系统简化,去除了α缝、β缝,缩短了离子的引出距离,从而减小了离子源的质量和体积。
附图说明
图1为本发明所述离子源原理图。
其中,1-气体入口,2-电离室,3-推斥极,4-灯丝1,5-灯丝2,6-发射极,7-收集极,8-永久磁铁,9-聚焦极,10-加速极,11-引出缝。
具体实施方式
下面结合附图,说明本发明的优选实施方式。
图1为根据本发明实现的一个小型磁偏转质谱计离子源原理图,由气体样品入口1,电离室2,灯丝,发射电极6,收集电极7,永久磁铁8,聚焦电极9,加速电极10,引出狭缝11,电离室2一端与气体样品入口1相连,在另一端设置有离子出口;电离室2内部设置有灯丝,两端分别设置发射电极6和收集电极7;电离室2置于永久磁铁8形成的磁场中,在电离室2出口处依次设置有聚焦电极9,加速电极10和引出狭缝11。
该小型磁偏转质谱计离子源电离室2内部两端分别设置灯丝14和灯丝25,双灯丝结构可以实现当一个灯丝不能正常工作时随时自动切换。
该小型磁偏转质谱计离子源设置了离子推斥极,用来改善电离室内的电场分布,提高其灵敏度;
该小型磁偏转质谱计离子源的聚焦电极9采用离子束纵向聚焦电极,减小离子束纵向散角;
引出狭缝和聚焦电极组成了一个双透镜结构,引出狭缝位于电离室底部。该小型磁偏转质谱计离子源引出狭缝电位V2设置为比电离室2电位V1低1%~3%,离子室2内部的电场E1近似为0。其余电极间的场强和距离如图1所示。
该小型磁偏转质谱计离子源的工作原理为:
当灯丝发射出的电子,在永久磁铁8提供的外加磁场0.03~0.05T和加速电压发射电极6和收集电极7之间的电位差的共同作用下,旋转加速经过电离室。在电离室中,加速电子碰撞气体样品分子使其电离,最后电子束被相对电离室为正电位的电子收集电极所接收,而电离后的气体正离子被聚焦电极9,加速电极10和引出狭缝11构成的离子光学系统聚焦引出,进入磁分析器。

Claims (5)

1.一种小型磁偏转质谱计离子源,其特征在于,包括气体样品入口(1),电离室(2),灯丝,发射电极(6),收集电极(7),永久磁铁(8),聚焦电极(9),加速电极(10),引出狭缝(11),电离室(2)一端与气体样品入口(1)相连,在另一端设置有离子出口;电离室(2)内部设置有灯丝,两端分别设置发射电极(6)和收集电极(7);电离室(2)置于永久磁铁(8)形成的磁场中,在电离室(2)出口处依次设置有聚焦电极(9),加速电极(10)和引出狭缝(11)。
2.根据权利要求1所述的一种小型磁偏转质谱计离子源,其特征在于,所述的电离室(2)内部两端分别设置灯丝1(4)和灯丝2(5),双灯丝结构可以实现当一个灯丝不能正常工作时随时自动切换。
3.根据权利要求1所述的一种小型磁偏转质谱计离子源,其特征在于,还设置了离子推斥极,用来改善电离室内的电场分布,提高其灵敏度。
4.根据权利要求1所述的一种小型磁偏转质谱计离子源,其特征在于,所述的聚焦电极(9)采用离子束纵向聚焦电极,减小离子束纵向散角。
5.根据权利要求1所述的一种小型磁偏转质谱计离子源,其特征在于,所述的引出狭缝电位V2设置为比电离室(2)电位V1低1%~3%,离子室(2)内部的电场E1近似为0。
CN 201010186030 2010-05-28 2010-05-28 一种小型磁偏转质谱计离子源 Active CN101866811B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010186030 CN101866811B (zh) 2010-05-28 2010-05-28 一种小型磁偏转质谱计离子源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010186030 CN101866811B (zh) 2010-05-28 2010-05-28 一种小型磁偏转质谱计离子源

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101866811A true CN101866811A (zh) 2010-10-20
CN101866811B CN101866811B (zh) 2011-09-28

Family

ID=42958469

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201010186030 Active CN101866811B (zh) 2010-05-28 2010-05-28 一种小型磁偏转质谱计离子源

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101866811B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102479660A (zh) * 2010-11-30 2012-05-30 中国科学院大连化学物理研究所 一种紫外灯电离装置
CN102568996A (zh) * 2010-12-30 2012-07-11 北京普析通用仪器有限责任公司 用于质谱仪的电离装置
CN102789953A (zh) * 2011-05-19 2012-11-21 安徽中科大建成海晟科技有限责任公司 一种用于飞行时间质谱计的新型离子源
CN112599397A (zh) * 2020-12-14 2021-04-02 兰州空间技术物理研究所 一种储存式离子源

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1117583A (zh) * 1994-08-25 1996-02-28 沈阳市真空机械三厂 磁偏转质谱室
US6815674B1 (en) * 2003-06-03 2004-11-09 Monitor Instruments Company, Llc Mass spectrometer and related ionizer and methods
CN101405829A (zh) * 2006-02-15 2009-04-08 凡利安股份有限公司 抑制非期望离子的用于示踪气体检漏的质谱仪

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1117583A (zh) * 1994-08-25 1996-02-28 沈阳市真空机械三厂 磁偏转质谱室
US6815674B1 (en) * 2003-06-03 2004-11-09 Monitor Instruments Company, Llc Mass spectrometer and related ionizer and methods
CN101405829A (zh) * 2006-02-15 2009-04-08 凡利安股份有限公司 抑制非期望离子的用于示踪气体检漏的质谱仪

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102479660A (zh) * 2010-11-30 2012-05-30 中国科学院大连化学物理研究所 一种紫外灯电离装置
CN102568996A (zh) * 2010-12-30 2012-07-11 北京普析通用仪器有限责任公司 用于质谱仪的电离装置
CN102789953A (zh) * 2011-05-19 2012-11-21 安徽中科大建成海晟科技有限责任公司 一种用于飞行时间质谱计的新型离子源
CN112599397A (zh) * 2020-12-14 2021-04-02 兰州空间技术物理研究所 一种储存式离子源
CN112599397B (zh) * 2020-12-14 2023-06-06 兰州空间技术物理研究所 一种储存式离子源

Also Published As

Publication number Publication date
CN101866811B (zh) 2011-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102103971B (zh) 微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源
CN101866811B (zh) 一种小型磁偏转质谱计离子源
CN203386713U (zh) 离子源和质谱仪
CN102103972B (zh) 一种真空紫外灯电离装置
CN102592940A (zh) 离子迁移谱仪及其方法
CN105632877A (zh) 一种基于单光子电离和电子轰击电离的双离子源四极杆质谱仪
CN102479662A (zh) 一种用于高通量气体样品分析的真空紫外光电离源
CN103887142A (zh) 一种直线加速型飞行时间质谱中的放电光电离源
CN208256615U (zh) 一种质子转移反应离子源和质谱仪
CN104254188A (zh) 一种微型常压辉光放电等离子体激发源
CN103295872A (zh) 复合离子源装置及质谱仪
CN202948899U (zh) 一种基于vuv灯电离源的静电透镜装置
CN102479660A (zh) 一种紫外灯电离装置
CN101599407B (zh) 一种阵列式微法拉第筒
CN101865881B (zh) 一种小型磁偏转质谱计
CN109449074B (zh) 一种用于质谱仪电离源的离子引出装置
CN203733758U (zh) 一种离子源电参数质量歧视自动校正装置
CN106057631A (zh) 影像大小可调谐光电子成像仪
CN110176385A (zh) 一种用于磁质谱仪的高效离子源
CN202796850U (zh) 离子光学透镜封装装置
CN112185798A (zh) 一种新型静电离子阱离子切向引入轨道偏转装置
CN104599933B (zh) 一种电子电离源
CN103208411B (zh) 一种电子轰击离子源机构
Xin et al. Experimental research on beam current extraction of PIG negative hydrogen ion source for neutron tube
CN102543649B (zh) 离子迁移谱仪及利用离子迁移谱仪的检测方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant