CN101865881B - 一种小型磁偏转质谱计 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种小型磁偏转质谱计，包括离子源、离子源真空室、磁分析器、飞行管道、接收器、接收器真空室，离子源安置在离子源真空室内，飞行管道入口端与离子源真空室相连，飞行管道设置两个出口端，分别连接到两个接收器真空室，磁分析器套在飞行管道外部，接收器安置在接收器真空室内。本发明由于采用双通道90°扇形磁分析器，因而极大减小了质谱计的质量与功耗，便于控制电路的制作，减小了由加速电压大幅度变化引起的质量歧视。
Description
技术领域
本发明涉及一种小型磁偏转质谱计，属于仪器仪表技术领域。
背景技术
磁偏转质谱计主要由离子源、磁分析器、离子接收器和电测系统组成。现有的磁偏转质谱计普遍存在的缺点为功耗高、体积大、质量重，因此不适合便携式气体成分检测以及空间环境的探测。
对于磁偏转质谱计，当采用磁扫描方式时，在加速电压恒定的情况下，仪器的灵敏度与分辨本领的变化较小；然而，它需要采用直流电磁铁及高稳定度的励磁电源，且离子质量与磁场强度呈平方关系，难以准确测定。而采用电扫描方式只需采用永久磁铁，且离子质量与加速电压呈线性关系，便于准确测量；然而存在着由于加速电压变化引起的质量歧视效应，即离子质量与加速电压呈反比关系，测定大质量时，仪器的灵敏度与分辨本领随着加速电压的降低而下降。
发明内容
本发明的目的在于提供一种功耗低、体积小、质量轻的小型磁偏转质谱计，并且通过双通道检测，减小加速电压变化范围与质量歧视效应。
本发明提供了一种小型磁偏转质谱计，包括离子源、离子源真空室、磁分析器、飞行管道、接收器、接收器真空室，离子源安置在离子源真空室内，飞行管道入口端与离子源真空室相连，飞行管道设置两个出口端，分别连接到两个接收器真空室，磁分析器套在飞行管道外部，接收器安置在接收器真空室内。
本发明的工作原理为：气体进入离子源之后，离子源灯丝发射的电子使气体分子电离，产生带正电的离子，带电离子经加速聚焦后进入磁分析器，在磁场强度一定的情况下不同荷质比的带电离子欲获得相同的偏转半径必须施加不同的加速电压，如施加相同的加速电压则偏转半径不同。通过控制扫描电压的大小可以控制带电离子的偏转半径。
有益效果
本发明与现有技术相比的优点在于：本发明由于采用双通道90°扇形磁分析器，因而极大减小了质谱计的质量与功耗，由于双通道质谱计的加速电压范围远小于单通道质谱计，便于控制电路的制作，而且在很大程度上减小了由加速电压大幅度变化引起的质量歧视。
附图说明
图1为小型磁偏转质谱计结构示意图。
其中，1-离子源，2-离子源真空室，3-磁分析器，4-飞行管道，5-离子接收器，6-离子接收器真空室。
具体实施方式
下面结合附图，说明本发明的优选实施方式。
图1是根据本发明实现的一个小型磁偏转质谱计，由离子源1、离子源真空室2、磁分析器3、飞行管道4、接收器5、接收器真空室6组成，离子源1安置在离子源真空室2内，飞行管道4入口端与离子源真空室2相连，飞行管道4设置两个出口端，分别连接到两个接收器真空室5，磁分析器3套在飞行管道4外部，接收器5安置在接收器真空室6内。
该质谱计的离子源采用小型尼尔型离子源，主要由电离盒、灯丝和离子光学系统组成。
该质谱计的磁分析器3为双通道90°扇形磁分析器，采用永久磁铁产生扇形均匀磁场，以变化扫描电压的方式记录多质量离子的质谱，利用双通道分别检测不同质荷比的离子，其大小两通道上的离子偏转角均为90°，此外采用90°偏转方式使得仪器结构更为紧凑，同时极大地减小了磁分析器的质量。
该质谱计的离子接收器采用法拉第筒和电子倍增器复合型，增大了离子流检测范围。
该质谱计的工作原理为：
离子源灯丝发射出的电子能量在70～80eV，在外磁场的作用下，电子由收集极和发射极之间的电位差加速，旋转经过电离室，加速电子碰撞电离室中的气体分子而电离，最后电子束被相对电离室为正电位的电子收集极所收集。电离后的气体正离子被离子光学系统聚焦引出，进入磁分析器。
带正电的离子经加速聚焦后引入磁分析器飞行管道4后，在一定的磁场强度下不同荷质比的带电离子欲获得相同的偏转半径必须施加不同的加速电压，如施加相同的加速电压则偏转半径不同，离子检测器检测出不同加速电压时的离子流的强度，就可得出待测气体的成分。
Claims (1)
1.一种小型磁偏转质谱计，包括离子源（1）、离子源真空室（2）、磁分析器（3）、飞行管道（4）、接收器（5）、接收器真空室（6），其特征在于：离子源（1）安置在离子源真空室（2）内，飞行管道（4）入口端与离子源真空室（2）相连，飞行管道（4）设置两个出口端，分别连接到两个接收器（5），磁分析器（3）套在飞行管道（4）外部，接收器（5）安置在接收器真空室（6）内；其中，所述的磁分析器（3）为双通道90°扇形磁分析器；所述的接收器（5）采用法拉第筒和电子倍增器复合型离子接收器；所述的离子源（1）采用小型尼尔型离子源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|
| CN101865881A CN101865881A (zh) | 2010-10-20 |
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ID=42957684
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|---|---|---|---|
| CN 201010186029 Active CN101865881B (zh) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | 一种小型磁偏转质谱计 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101865881B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103824748A (zh) * | 2014-02-20 | 2014-05-28 | 宁波大学 | 离子传输装置及方法 |
| CN105116043A (zh) * | 2015-07-17 | 2015-12-02 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种双通道空间磁偏转质谱计 |
| CN106404882B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-08-23 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种基于柱形电场分析器的磁偏转质谱计 |
| CN107121694A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-09-01 | 宜昌后皇真空科技有限公司 | 一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法及系统 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4952803A (en) * | 1988-02-23 | 1990-08-28 | Jeol Ltd. | Mass Spectrometry/mass spectrometry instrument having a double focusing mass analyzer |
| CN2143779Y (zh) * | 1992-12-12 | 1993-10-13 | 厦门大学 | 双轨道磁式扇形质谱计 |
-
2010
- 2010-05-28 CN CN 201010186029 patent/CN101865881B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4952803A (en) * | 1988-02-23 | 1990-08-28 | Jeol Ltd. | Mass Spectrometry/mass spectrometry instrument having a double focusing mass analyzer |
| CN2143779Y (zh) * | 1992-12-12 | 1993-10-13 | 厦门大学 | 双轨道磁式扇形质谱计 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Detian Li etc..Development of a miniature magnetic sector mass spectrometer.《Vacuum》.2010,第85卷1170-1173. * |
| 郭美如 等.小型磁偏转质谱计磁场的分析计算.《真空与低温》.2010,第16卷(第1期),12-16. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101865881A (zh) | 2010-10-20 |
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| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
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