CN101862547A - 一种旋转式溶剂回收装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明关于一种旋转式溶剂回收的装置及方法,其中该装置包含:一制程风车、一旋转转环式吸附器、一脱附气源、一冷凝器及一分离槽,且该旋转式溶剂回收装置中该旋转转环式吸附器是由复数个吸附箱块(Block)组合而成,并包含:一隔离箱、一驱动减速马达及一密封构件,借由该密封构件减少该旋转转环式吸附器于有机废气处理时的逸漏,该吸附箱块的使用亦可利于其内吸附剂的更新及更换,使本发明的旋转式溶剂回收装置更具回收效率、安全性及便利性。

Description

一种旋转式溶剂回收装置及方法
技术领域
本发明关于一种旋转式溶剂回收的装置及方法,尤其关于处理有机废气时,回收该有机废气内所含的有机溶剂的装置及方法。
背景技术
近来,国际间对于环保议题及工业安全卫生日益重视,考虑工业废气对环境及劳工以至于一般大众身体产生之危害,对于工业废气排放标准日趋严格,国内外法规都制定出浓度及臭味的排放标准。工业废气中对于挥发性有机气体的处理,在高浓度时多采用冷凝法收集,而在低浓度且大风量时则以物理吸附方式浓缩处理后,再送往小型焚化炉燃烧或以冷凝装置回收较为经济有效。以半导体业晶圆厂产生的有机废气成分为例,常含有如二甲基亚砜(Dimethyl Sulfoxide)、N-甲基吡咯酮(N-Methyl Pyrolidone)、乙醇铵(2-Aminoethanol)、二甲基二硫醇(Dithiolethylene Glycol)、二甲基硫(DimethylSulfide)、异丙醇(Isopropyl Alcohol)、丙酮(Acetone)等化合物。
目前对于这些有机废气较常使用的净化控制技术为「沸石吸附转轮」、「活性碳流体化床」,沸石吸附转轮通常可将有机废气浓缩5至20倍,而活性碳流体化床更可浓缩达1000至10000。此外,一般常会再搭配下游终端处理设备,例如沸石吸附转轮搭配焚化炉,即以沸石吸附转轮吸附浓缩废气后,再以焚化炉于摄氏600~900度以上的温度燃烧,分解这些挥发性有机物质以及臭气和毒气;或者,活性碳流体化床搭配冷凝器回收,即以活性碳吸附剂流体化床吸附浓缩废气后,再以冷凝器冷凝后回收或焚化处理,目前这些技术已在半导体及光电业界广为采用。
然而,因半导体及光电业等高科技发展迅速,许多新的制程所排放的有机废气越趋复杂与多量化,并非所有排放的有机废气皆适合上述的处理方式。在沸石吸附转轮搭配焚化炉方面,例如CD制造业的制程会排放含氟化醇的有机废气,若与氧反应会产生腐蚀性的氢氟酸,故并不适合以燃烧法作为终处理。TFT-LCD面板光电制造业的面板制程中,去光阻程序(strippingprocess)的去光阻剂中所含的二甲基亚砜虽然是一种高沸点水溶性而且挥发性低的液体,但其废气在处理过程中,极容易形成恶臭的二甲基硫(dimethylsulfide,DMS)和二甲基二硫(dimethyl disulfide,DMDS)的气态污染物,或者产生二氧化硫等酸性腐蚀性气体,仍然不适于以燃烧法作为终处理。
而上述的现有装置及方法,于处理有机废气之时,该浓缩转轮内的吸附材不易更新及再生,且对于处理时气体逸漏仍有疑虑,有待进一步的改进及更周全的设计,本发明提供一种旋转式溶剂回收装置及方法,以达最佳处理效能及最安全的设计。
发明内容
有鉴于上述现有浓缩转轮于操作时的缺憾,发明人有感其未臻于完善,遂竭其心智悉心研究克服,凭借从事该项产业多年的累积经验,进而研发出一种旋转式溶剂回收装置及方法,其可有效进行有机废气的净化及其内有机溶剂的回收。
为实现上述之目的,本发明提供一种旋转式溶剂回收装置,其包含:一制程风车、一旋转转环式吸附器、一脱附气源、一冷凝器及一分离槽,该旋转式溶剂回收装置的特征在于其中该旋转转环式吸附器是由复数个吸附箱块(Block)组合而成,并进一步包含:
一隔离箱,其用于区隔该旋转转环式吸附器为至少一吸附区及一再生脱附区;
一驱动减速机马达,其用于使该旋转转环式吸附器产生步进式或连续式旋转转动;
一密封构件,其用于密封该隔离箱与该旋转转环式吸附器间的间隙,以减少处理的有机气体外漏,且该密封构件包含:
一固定座,其使该密封构件锁固于该隔离箱上;
一密封材料,其用于使该隔离箱与该旋转转环式吸附器的复数个吸附箱块(Block)组合表面接触密封。
如上所述的装置,其中该隔离箱可进一步区隔旋转转环式吸附器为至少一吸附区、一再生脱附区及一隔离区(Purge zone)或一吹除区。
再者,上述的旋转式溶剂回收装置,其中该密封构件中密封材料可耐高温达100℃以上,更佳可耐高温达250℃以上,以方便进行吸附材高温活化之用。
其次,上述的旋转式溶剂回收装置,其中该密封构件中密封材料的剖面可为长方形、扁条形、圆形、椭圆形、三角形或不规则形;并且该密封构件中密封材料的剖面可进一步构成凹沟或V形结构的空气层。
另,上述的旋转式溶剂回收装置,其中该密封构件中密封材料可由橡胶、硅胶或铁氟龙所构成,且该密封构件中密封材料的剖面可为P形剖面,并具中空结构的空气层。
同时,上述的旋转式溶剂回收装置,其中该吸附箱块(Block)的吸附材可为沸石、活性碳、硅胶、活性氧化铝、多孔性树脂或其混合物;且该吸附箱块(Block)的吸附体型式可为蜂巢状、颗粒状、球状、纤维状或不织布状。
又,上述的旋转式溶剂回收装置,其中该吸脱附气源可为蒸汽、氮气、热空气或其混合交换使用;而该吹除区的吹除气源可为空气或氮气。
并于上述的旋转式溶剂回收装置中,于该再生脱附区的出口或该吹除区的出口增设一湿度计,作为判断再生或吹除水气是否完成的依据,且该湿度计的设定为70~90%RH。
此外,本发明亦提供一种旋转式溶剂回收方法,其中使用如上述的装置,且该方法包含下列之步骤:
步骤一:有机物质于吸附区被吸附;
步骤二:吸附材的再生并回收有机溶剂;
步骤三:吸附材的水气去除;
步骤四:利用湿度计判断吸附材的再生或吹除是否完成。
并且,于上述一种旋转式溶剂回收方法中,于该步骤三之后更进一步包括吸附材的冷却。
于上述一种旋转式溶剂回收方法中,于该步骤四之后更进一步包括吸附材的高温活化再生步骤。
并上述一种旋转式溶剂回收方法中,该吸附材的高温活化再生步骤的再生温度是以250℃以上的热空气来进行。
借此,本发明的旋转式溶剂回收的方法及装置,可确实是可以有效的净化有机废气,并同时回收有机溶剂,并借由该装置中的密封构件减少该旋转转环式吸附器于有机废气处理时的逸漏,并该吸附箱块的使用亦可利于其内吸附剂的更新及更换,使本发明的旋转式溶剂回收装置更具安全性及便利性。
附图说明
图1为本发明一具体实施例一旋转式溶剂回收装置的示意图。
图2为本发明再一具体实施例一旋转式溶剂回收装置的示意图。
图3为本发明另一具体实施例一旋转式溶剂回收装置的示意图。
图4为本发明旋转式溶剂回收装置中密封构件的示意图。
【主要组件符号说明】
1     旋转式溶剂回收装置
2     旋转式溶剂回收装置
3     旋转式溶剂回收装置
5     有机废气
10    制程风车
12    预冷器
20    旋转转环式吸附器
22    吸附箱块
24    驱动减速机马达
30    隔离箱
32    密封构件
33    固定座
34    密封材料
40    脱附气源
42    吹除气源
45    湿度计
46    阀门
47    风扇
50    冷凝器
60     分离槽
62     排水阀
64     排气口
66     阀门
I      吸附区
II     再生脱附区
III    吹除区
IV     隔离区
具体实施方式
为使充分了解本发明的目的、特征及功效,现借由下述具体的实施例,并配合所附的图式,对本发明做一详细说明,说明如后:
实施例1
本发明第一具体实施例的一种旋转式溶剂回收装置1如图1所示,其中该装置包含:一制程风车10、一旋转转环式吸附器20、一冷凝器50及一分离槽60。
其中该旋转转环式吸附器20由复数个吸附箱块(Block)22组合而成,其是由该等吸箱块堆栈成柱状,再置入该旋转转环式吸附器20之中,其间若因该转环所产生的间隙则由铁皮所密封,使该旋转转环式吸附器20成为用于吸附有机物质及脱附有机溶剂的处理介质。
并该等吸附箱块22中装载用以吸附有机废气的吸附材,其中该吸附材可因应不同的有机废气而可为:沸石、活性碳、硅胶、活性氧化铝、多孔性树脂或其混合物;同时,该吸附箱块22中的吸附体形式亦可因应不同需求而可为:蜂巢状、颗粒状、球状、纤维状或不织布状。
再者,该旋转转环式吸附器20借由一隔离箱30而隔离出一吸附区I及一再生脱附区II,使待处理的有机废气流经该吸附区I时,借由该吸附箱块22内的吸附材,吸附有机废气中的有机物质(含有机溶剂),而净化后的干净气体则自该旋转转环式吸附器20中央向上排出,而于该再生脱附区II中,吸附于该吸附箱块22内吸附材上的有机物质(含有机溶剂),则借由脱附气源40将该等有机物质自该吸附箱块22内吸附材上脱附,再排至该冷凝器50进行凝结,再进入该分离槽60进行有机溶剂的分离回收,而上述脱附气源40为蒸汽、氮气、热空气或其混合交换使用。
其次,为使该隔离箱30与该旋转转环吸附器20确实隔离,于该隔离箱30与该旋转转环吸附器20上下两侧顶面间安置一密封构件32,该密封构件(请参见图4)包含:一固定座33,其使该密封构件32锁固于该隔离箱30之上;一密封材料34用于使该隔离箱30与该旋转转环式吸附器20表面接触密封。
上述密封构件32的密封材料34较佳可耐高温达100℃以上,更佳可耐高温达250℃以上,以方便进行吸附材高温活化之用;且该密封构件32的密封材料34其剖面可为:长方形、扁条形、圆形、椭圆形、三角形或不规则形,并该密封材料34的剖面可进一步构成一凹槽或V形结构的空气层,该空气层可用有效隔绝两侧不同的温度差,避免两侧温差的传导流动;且该密封材料的剖面最佳为一P形剖面(如图4中密封构件32-1的密封材料34-1所示),并具一中空结构的空气层;而该密封材料34可由橡胶、硅胶或铁氟龙所构成。
而该旋转转环吸附器20借由一驱动减速机马达24所驱动,且该驱动减速机马达24的驱动方式系可为步进式或连续式旋转转动。
另,于该再生脱附区II的出口增设一湿度计45,用于侦测再生后流出气体的湿度,以判断该旋转转环吸附器20吸附箱块22吸附材上的脱附是否完全,而继续重复进行吸附之用。
而本发明中该旋转式溶剂回收装置1的处理有机废气并回收有机溶剂运行如下:即一有机废气5利用该制程风车10抽送,可先经由或不经由一预冷器12进行预冷处理,再流经该旋转转环式吸附器20吸附区I中,经该旋转转环式吸附器20吸附箱块22的吸附材吸附有机物质(含有机溶剂),将经净化后的干净气体自该旋转转环式吸附器20的中央向上排出;而吸附于该吸附箱块22的吸附材的有机物质(含有机溶剂)经该驱动减速机马达24的带动,旋转至隔离箱30内的再生脱附区II,脱附气源40自脱生脱附区上方输送流经该再生脱附区II,将于其内吸附箱块22吸附材上的有机物质脱附,而输送至该冷凝器50之中,使其内的有机溶剂因降温而凝结,并再输送至该分相槽60中,进行有机溶剂的液相分离,再将欲回收的有机溶剂经一阀门66所回收,而经液相分离后的水自一排水阀62所流出,而其它气体则经由一排气口64所排出,完成有机废气的处理及有机溶剂的回收。
实施例2
本发明另一具体实施例的一种旋转式溶剂回收装置2如图2所示,其中该装置包含:一制程风车10、一旋转转环式吸附器20、一冷凝器50及一分离槽60。
该旋转转环式吸附器20由复数个吸附箱块(Block)22组合而成,其由该等吸箱块堆栈成柱状,再置入该旋转转环式吸附器20之中,其间若因该转环所产生的间隙则由铁皮所密封,使该旋转转环式吸附器20成为用于吸附有机废气及脱附有机溶剂的处理介质。
并该等吸附箱块22中装载用以吸附有机废气的吸附材,其中该吸附材可因应不同的有机废气而可为:沸石、活性碳、硅胶、活性氧化铝、多孔性树脂或其混合物;同时,该吸附箱块22中的吸附体形式亦可因应不同需求而可为:蜂巢状、颗粒状、球状、纤维状或不织布状。
再者,该旋转转环式吸附器20借由一隔离箱30而隔离出一吸附区I、一再生脱附区II及一吹除区III,使待处理的有机废气流经该吸附区I时,借由该吸附箱块22内的吸附材,吸附有机废气中的有机物质(含有机溶剂),而净化后的干净气体则自该旋转转环式吸附器20中央向上排出,而于该再生脱附区II中,吸附于该吸附箱块22内吸附材上的有机物质(含有机溶剂),则借由脱附气源40将该等有机物质自该吸附箱块22内吸附材上脱附,再排至该冷凝器50进行凝结,再进入该分离槽60进行有机溶剂的分离回收,而上述脱附氮源40可为蒸汽、氮气、热空气或其混合交换使用;而该吹除区III是以吹除气源42,以氮气或空气吹除该吸附箱块22内吸附材,使该吸附箱块22内吸附材加速其内水气的去除及温度的降低,而快速完成该吸附箱块22内吸附材的再生活化。
其次,为使该隔离箱30与该旋转转环吸附器20确实隔离,于该隔离箱30与该旋转转环吸附器20上下两侧顶面间安置一密封构件32,该密封构件(请参见图4)包含:一固定座33,其使该密封构件32锁固于该隔离箱30之上;一密封材料34,其用于使该隔离箱30与该旋转转环式吸附器20表面接触密封。
上述密封构件32的密封材料34较佳可耐高温达100℃以上,更佳可耐高温达250℃以上,以方便进行吸附材高温活化之用;且该密封构件32的密封材料34其剖面可为:长方形、扁条形、圆形、椭圆形、三角形或不规则形,并该密封材料34的剖面可进一步构成一凹槽或V形结构的空气层,该空气层可用有效隔绝两侧不同的温度差,避免两侧温差的传导流动;且该密封材料的剖面最佳为一P形剖面(如图4中密封构件32-1的密封材料34-1所示),并具一中空结构的空气层;而该密封材料34可由橡胶、硅胶或铁氟龙所构成。
而该旋转转环吸附器20借由一驱动减速机马达24所驱动,且该驱动减速机马达24的驱动方式可为步进式或连续式旋转转动。
另,于该吹除区III的出口增设一湿度计45,用于侦测再生后流出气体的湿度,以判断该旋转转环吸附器20吸附箱块22吸附材上的脱附是否完全,而继续重复进行吸附之用。
而本发明中该旋转式溶剂回收装置2的处理有机废气并回收有机溶剂运行如下:即一有机废气5利用该制程风车10抽送,可先经由或不经由一预冷器12进行预冷处理,再流经该旋转转环式吸附器20吸附区I中,经该旋转转环式吸附器20吸附箱块22的吸附材吸附有机物质,将经净化后的干净气体自该旋转转环式吸附器20的中央向上排出;而吸附于该吸附箱块22的吸附材的有机物质(含有机溶剂)经该驱动减速机马达24的带动,旋转至隔离箱30内的再生脱附区II,脱附气源40自脱生脱附区上方输送流经该再生脱附区II,将于其内吸附箱块22吸附材上的有机物质脱附,而输送至该冷凝器50之中,使其内的有机溶剂因降温而凝结,并再输送至该分相槽60中,进行有机溶剂的液相分离,再将欲回收的有机溶剂经一阀门66所回收,而经液相分离后的水自一排水阀62所流出,而其它气体则经由一排气口64所排出,完成有机废气的处理及有机溶剂的回收;而于旋转式溶剂回收装置2中该旋转转环式吸附器20,借由该隔离箱30内的该吹除区III进行吹除操作,利用吹除气源42提供氮气或空气,快速吹除该吸附箱块22内吸附材的水气并降温,且该吹除气体可直接排出或经由一阀门46控制再流回该制程风车10进行气体净化;且该吹除后的气体可再流经该湿度计45侦测其内湿度,以判断该吸附箱块22内吸附材的再生是否完成。
实施例3
本发明再一具体实施例的一种旋转式溶剂回收装置3如图3所示,其中该装置亦包含:一制程风车10、一旋转转环式吸附器20、一冷凝器50及一分离槽60。
该旋转转环式吸附器20由复数个吸附箱块(Block)22组合而成,其由该等吸箱块堆栈成柱状,再置入该旋转转环式吸附器20之中,其间若因该转环所产生的间隙则由铁皮所密封,使该旋转转环式吸附器20成为用于吸附有机废气及脱附有机溶剂的处理介质。
并该等吸附箱块22中装载用以吸附有机废气的吸附材,其中该吸附材可因应不同的有机废气而可为:沸石、活性碳、硅胶、活性氧化铝、多孔性树脂或其混合物;同时,该吸附箱块22中的吸附体形式亦可因应不同需求而可为:蜂巢状、颗粒状、球状、纤维状或不织布状。
再者,该旋转转环式吸附器20借由一隔离箱30而隔离出一吸附区I、一再生脱附区II及一隔离区(Purge区)IV,使待处理的有机废气流经该吸附区I时,借由该吸附箱块22内的吸附材,吸附有机废气中的有机物质(含有机溶剂),而净化后的干净气体则自该旋转转环式吸附器20中央向上排出,而于该再生脱附区II中,吸附于该吸附箱块22内吸附材上的有机物质(含有机溶剂),则借由脱附气源40将该等有机物质自该吸附箱块22内吸附材上脱附,再排放至该冷凝器50进行凝结,再进入该分离槽60进行有机溶剂的分离回收,而上述脱附氮源40可为蒸汽、氮气、热空气或其混合交换使用;而该隔离区(Purge区)IV为该再生脱附区II与该吸附区I间的一缓冲区,于该隔离区IV内,可利用一风扇47的抽送,使空气流经该隔离区IV内该吸附箱块22内的吸附材,使该吸附箱块22内吸附材的水气散失并及降低温度,而使进入吸附区I的该吸附箱块内吸附材皆再生完全,得以重复进行吸附有机废气的处理。
其次,为使该隔离箱30与该旋转转环吸附器20确实隔离,于该隔离箱30与该旋转转环吸附器20上下两侧顶面间安置一密封构件32,该密封构件(请参见图4)包含:一固定座33,其使该密封构件32锁固于该隔离箱30之上;一密封材料34,其用于使该隔离箱30与该旋转转环式吸附器20表面接触密封。
上述密封构件32的密封材料34较佳可耐高温达100℃以上,更佳可耐高温达250℃以上,以方便进行吸附材高温活化之用;且该密封构件32的密封材料34其剖面可为:长方形、扁条形、圆形、椭圆形、三角形或不规则形,并该密封材料34的剖面可进一步构成一凹槽或V形结构的空气层,该空气层可用有效隔绝两侧不同的温度差,避免两侧温差的传导流动;且该密封材料的剖面最佳为一P形剖面(如图4中密封构件32-1的密封材料34-1所示),并具一中空结构的空气层;而该密封材料34可由橡胶、硅胶或铁氟龙所构成。
而该旋转转环吸附器20借由一驱动减速机马达24所驱动,且该驱动减速机马达24的驱动方式可为步进式或连续式旋转转动。
另,于该隔离区IV的出口增设一湿度计45,用于侦测自该隔离区IV所流出气体的湿度,以判断该旋转转环吸附器20吸附箱块22吸附材上的脱附是否完全,而继续重复进行吸附之用。
而本发明中该旋转式溶剂回收装置3的处理有机废气并回收有机溶剂运行如下:即一有机废气5利用该制程风车10抽送,可先经由或不经由一预冷器12进行预冷处理,再流经该旋转转环式吸附器20吸附区I中,经该旋转转环式吸附器20吸附箱块22的吸附材吸附有机物质,将经净化后的干净气体自该旋转转环式吸附器20的中央向上排出;而吸附于该吸附箱块22的吸附材的有机物质(含有机溶剂)经该驱动减速机马达24的带动,旋转至隔离箱30内的再生脱附区II,脱附气源40自脱生脱附区上方输送流经该再生脱附区II,将于其内吸附箱块22吸附材上的有机物质脱附,而输送至该冷凝器50之中,使其内的有机溶剂因降温而凝结,并再输送至该分相槽60中,进行有机溶剂的液相分离,再将欲回收的有机溶剂经一阀门66所回收,而经液相分离后的水自一排水阀62所流出,而其它气体则经由一排气口64所排出,完成有机废气的处理及有机溶剂的回收;而于旋转式溶剂回收装置3中该旋转转环式吸附器20,借由该隔离箱30内的该隔离区IV进行缓冲处理,利用抽送空气而使该吸附箱块22内吸附材的水气散失并降低温度,且该抽送气体可直接排出或经由一阀门46控制再流回该制程风车10进行气体净化;且该抽送气体可再流经该湿度计45侦测其内湿度,以判断该吸附箱块22内吸附材的再生是否完成。
此外,本发明还提供一种旋转式溶剂回收方法,其中使用如上所述的装置,且该方法包含下列的步骤:
步骤一:有机物质于吸附区被吸附;
步骤二:吸附材的再生并回收有机溶剂;
步骤三:吸附材的水气去除;
步骤四:利用湿度计判断吸附材的再生或吹除是否完成。
并且,于上述一种旋转式溶剂回收方法中,于该步骤三之后更进一步包括吸附材的冷却。
于上述一种旋转式溶剂回收方法中,于该步骤四之后更进一步包括吸附材的高温活化再生步骤。
并上述一种旋转式溶剂回收方法中,该吸附材的高温活化再生步骤的再生温度以250℃以上的热空气来进行。
借由上述的装置及方法,可有效进行有机废气的净化及其内有机溶剂的回收,利用一旋转转环式吸附器来替代传统的浓缩转轮,利用该旋转转环式吸附器内的吸附箱块进行有机废气的吸收及脱附,再搭配冷凝器及分离槽来回收该有机废气中的有机溶剂,有效回收有机溶剂;而借由该吸附箱块易于替换及更新不同吸附材料及型式,增加本发明中该旋转式溶剂回收装置的效率及便利性,且于该旋转转环式吸附器中的隔离箱的密封构件,减少有机废气处理时的逸漏,同时确保处理时的安全性;再者,利用诸如吹除区及隔离区的设置再搭配侦测湿度计的安装,使本装置使用时该吸附材的脱附再生与水气吹除更为周全,亦使得本装置及方法更具效率。
本发明在上文中已以较佳实施例公开,然本领域技术人员应理解的是,该实施例仅用于描绘本发明,而不应解读为限制本发明的范围。应注意的是,举凡与该实施例等效的变化与置换,均应设为涵盖于本发明的范畴内。因此,本发明的保护范围当以所附的权利要求所界定者为准。

Claims (12)

1.一种旋转式溶剂回收装置,该装置包含:一制程风车、一旋转转环式吸附器、一脱附气源、一冷凝器及一分离槽,该旋转式溶剂回收装置的特征在于其中该旋转转环式吸附器由复数个吸附箱块组合而成,并进一步包含:
一隔离箱,其用于区隔该旋转转环式吸附器为至少一吸附区及一再生脱附区;
一驱动减速机马达,其用于使该旋转转环式吸附器产生步进式或连续式旋转转动;
一密封构件,其用于密封该隔离箱与该旋转转环式吸附器间的间隙,以减少处理的有机气体外漏,且该密封构件包含:
一固定座,其使该密封构件锁固于该隔离箱上;
一密封材料,其用于使该隔离箱与该旋转转环式吸附器的复数个吸附箱块组合表面接触密封。
2.如权利要求1所述的旋转式溶剂回收装置,其中该隔离箱进一步区隔旋转转环式吸附器为至少一吸附区、一再生脱附区及一隔离区或一吹除区。
3.如权利要求1或2所述的旋转式溶剂回收装置,其中该密封构件中密封材料耐高温达250℃以上。
4.如权利要求1或2所述的旋转式溶剂回收装置,其中该密封构件中密封材料的剖面为长方形、扁条形、圆形、椭圆形、三角形或不规则形;且该密封构件中密封材料的剖面进一步构成凹沟或V形结构的空气层;以及该密封构件中密封材料由橡胶、硅胶或铁氟龙所构成。
5.如权利要求1或2所述的旋转式溶剂回收装置,其中该密封构件中密封材料的剖面为P形剖面,并具中空结构的空气层。
6.如权利要求1或2所述的旋转式溶剂回收装置,其中该吸附箱块的吸附材为沸石、活性碳、硅胶、活性氧化铝、多孔性树脂或其混合物;以及该吸附箱块的吸附体型式为蜂巢状、颗粒状、球状、纤维状或不织布状。
7.如权利要求1或2所述的旋转式溶剂回收装置,其中该吸脱附气源为蒸汽、氮气、热空气或其混合交换使用;以及该吹除区的吹除气源为空气或氮气。。
8.如权利要求1或2所述的旋转式溶剂回收装置,其中于该再生脱附区的出口或该吹除区的出口增设一湿度计,作为判断再生或吹除水气是否完成的依据,且该湿度计的设定为70~90%RH。
9.一种旋转式溶剂回收方法,其中使用如权利要求1至8中任一项的装置,且该方法包含下列的步骤:
步骤一:有机物质于吸附区被吸附;
步骤二:吸附材的再生并回收有机溶剂;
步骤三:吸附材的水气去除;
步骤四:利用湿度计判断吸附材的再生或吹除是否完成。
10.如权利要求9所述的旋转式溶剂回收方法,其中该步骤三之后更进一步包括该吸附材的冷却。
11.如权利要求10所述的旋转式溶剂回收方法,其中该步骤四之后更进一步包括该吸附材的高温活化再生步骤。
12.如权利要求11所述的旋转式溶剂回收方法,其中该吸附材的高温活化再生步骤中再生温度以250℃以上的热空气来进行。
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