CN101859687A - 准分子放电灯 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种可抑制对排气管的放电的准分子放电灯，第1发明涉及的准分子放电灯，由以下构成：在内部具有放电空间的放电容器；设置在该放电容器的外表面的一对电极；以及封入到该放电空间，至少由稀有气体及卤素或卤化物构成的放电用气体，该准分子放电灯的特征在于，该放电容器由设置有该一对电极的管状的侧壁、密封该侧壁的一端的一个端壁、以及设置在该侧壁的另一端的另一个端壁构成，该侧壁和一对端壁由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成，另一个端壁上设置有由金属构成的排气管，在设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管的最短距离之间，设置有由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的隔离体。

Description

准分子放电灯

技术领域

本发明涉及一种通过准分子放电而放射紫外线的准分子放电灯。尤其涉及一种放电容器由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的准分子放电灯。

背景技术

现有技术中，在光清洗、表面改性及化学物质感光等光化学反应的用途中，准分子放电灯作为紫外线光源使用。作为该准分子放电灯的发光气体，公知封入例如氙气这样的稀有气体、及例如氟化物这样的卤化物。卤素或卤化物在点灯时被电离，变为卤素离子，与其他物质的反应性变得极高。因此，准分子放电灯需要对封入卤素或卤化物的放电容器进行研究。

作为进行了研究的准分子放电灯，包括专利文献1所述的灯。

图10是专利文献1所述的准分子放电灯9的说明图，是表示灯端部的截面图。

准分子放电灯9具有：由蓝宝石管构成的放电容器91；设置在该放电容器91两端的钛制罩911；以及在该放电容器91的外面分离设置的金属网931、932。

放电容器91用氟树脂系的O形环921将钛制罩密封，在放电容器91的内部形成气密的放电空间。

在该放电空间中，作为放电用气体填充氙气和氯气。

金属网931、932连接到未图示的电源，施加高频、高电压，开始放电。在放电空间中，产生准分子放电，获得源自氙和氯的300-320nm的波长区域的紫外线。

蓝宝石管91具有紫外线透过性，因此向灯9的外部放射准分子放电产生的紫外线。

专利文献1：日本特开平06-310106号公报

在上述准分子放电灯9中，为了向放电空间封入放电用气体，需要在钛制罩911上设置排气管。因此作为准分子放电灯的整体图如图11所示。

对图11省略与图10共同部分的说明，而说明不同的部分。

放电容器91的一端设置的钛制罩911上，与放电空间连通的排气管94例如通过钎焊等连接。在放电空间中通过该排气管94封入放电气体。封入后，为了密封放电空间，密封切断排气管94，形成图11所示的密封部941。

排气管94使用可进行密封切断的部件，例如使用金属。

使图11所示的准分子放电灯9点灯时，存在一对金属网931、932之间无法放电的情况。

这是因为，灯点灯时，向一个金属网931施加高电压，但相对该高电压，排气管94是低电压，因此在一个金属网931和罩911或排气管94之间产生放电。

专利文献1记载了可用高纯度氧化铝制造罩911的情况，但排气管94必须可密封切断，因此只能用金属部件来制造。

这样一来，至少在一个金属网931和排气管94中产生放电，因此排气管94被加热，罩911和排气管94之间的钎焊处可能产生热膨胀差而破损。

并且，即使罩911和排气管94之间不破损时，由于排气管94被加热，经由罩911，O形环921也被加热，O形环921劣化，难以保证放电容器91的气密性。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种可抑制对排气管的放电的准分子放电灯。

第1发明涉及的准分子放电灯由以下构成：在内部具有放电空间的放电容器；设置在该放电容器的外表面的一对电极；以及封入到该放电空间，至少由稀有气体及卤素或卤化物构成的放电用气体，该准分子放电灯的特征在于，该放电容器由设置有该一对电极的管状的侧壁、密封该侧壁的一端的一个端壁、以及设置在该侧壁的另一端的另一个端壁构成，该侧壁和一对端壁由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成，另一个端壁上设置有由金属构成的排气管，在设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管的最短距离之间，设置有由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的隔离体。

第2发明涉及的准分子放电灯的特征在于，在第1发明中，该隔离体和该放电容器构成的流路弯曲。

第3发明涉及的准分子放电灯的特征在于，在第1或第2发明中，在位于设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管之间的最短距离之间的该端壁上，设置有由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的间隔壁。

第1发明涉及的准分子放电灯通过上述特征，在设置了一对电极的内表面和排气管之间可提高电阻，可抑制对排气管的放电。

第2发明涉及的准分子放电灯通过上述特征，设置了一对电极的侧壁的内表面和排气管的沿面距离变长，可抑制沿面放电造成的对排气管的放电。

第3发明涉及的准分子放电灯通过上述特征，在设置了一对电极的内表面和排气管之间可进一步提高电阻，抑制对排气管的放电。

附图说明

图1是本发明涉及的准分子放电灯的说明图。

图2是本发明涉及的准分子放电灯的说明图。

图3是本发明涉及的准分子放电灯的说明图。

图4是本发明涉及的准分子放电灯的说明图。

图5是本发明涉及的准分子放电灯的说明图。

图6是本发明涉及的准分子放电灯的说明图。

图7是本发明涉及的准分子放电灯的说明图。

图8是本发明涉及的准分子放电灯的说明图。

图9是实验结果的说明图。

图10是现有技术涉及的准分子放电灯的说明图。

图11是用于说明发明课题的准分子放电灯的说明图。

具体实施方式

图1是第1实施例涉及的准分子放电灯的说明图，是沿着放电容器2的长边方向的截面图。图2是图1的灯1的A-A截面图。

第1实施例涉及的准分子放电灯1具有：直管状的放电容器2、设置在该放电容器2的另一端的排气管4、在该放电容器2的外表面分离设置的一对电极31、32。

该放电容器2由直管状的侧壁21、设置在侧壁21的一端的板状的一个端壁221、设置在侧壁21的另一端的环状的另一个端壁222构成，通过蓝宝石(单晶氧化铝Al₂O₃)、YAG(钇铝石榴石)或单晶氧化钇Y₂O₃)形成。

另一个端壁222上设置贯通其中央的孔222b。

排气管4的外周的一部分插通到端壁222的孔222b。

对形成孔222b的面实施金属化，与排气管4之间例如填充银焊料等焊材。排气管4由例如镍等金属部件、例如不锈钢等合金部件形成，因此通过焊材与实施了金属化的面焊接。

此外，作为连接金属和陶瓷的方法包括活性金属法，排气管4和另一个端壁222的连接也可使用该活性金属法结合。具体而言，作为焊材使用包括钛等活性金属的活性金属焊料，形成有孔222b的面和排气管4通过该活性金属焊料接合。在该活性金属法中，也可对形成孔222b的面不实施金属化。

排气管4的另一个端部(纸面右侧的端部)通过压接形成密封部41。这样一来，在放电容器2的内部设置气密的放电空间23。

该放电空间23中作为放电用气体例如封入氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)等稀有气体，例如氟(F₂)、氯(Cl₂)、溴(Br₂)、碘(I₂)等卤素或六氟化硫(SF₆)等卤化物。

放电容器2的外表面如图2所示，一对电极31、32彼此分离地配置。这样一来，一对电极31、32通过放电容器2的侧壁21和放电空间23相对配置。

在放电容器2的内部，设置环状的隔离体8，以使其位于设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间。该隔离体8由蓝宝石(单晶氧化铝Al₂O₃)、YAG(钇铝石榴石)或单晶氧化钇(Y₂O₃)形成。

隔离体8可通过下述挤压/加热与放电容器2的内表面接合，并且例如也可通过由丙烯粘合剂构成的粘合剂粘合到放电容器2的内表面。

此外，第1实施例的最短距离L如图2所示，是指在设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211中，最接近排气管4的部分与最接近该部分的排气管4的部分(图2中纸面左侧的一个端部)之间。在第1实施例中，放电容器2的形状是与长边方向正交的截面是方形的长方体状，因排气管4的形状是圆管状，因此如图2所示，设置了一个电极31的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间可通过一条直线线段L画出，并且设置了另一个电极32的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间也可通过一条直线线段L画出。在第1实施例中，设置了一个电极31的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间与设置了另一个电极31的侧壁21的内表面211和排气管4之间的最短距离L之间，基本是同一距离，因此在两个最短距离L之间(图2所示的线段L之间)设置隔离体8。

接着参照图3说明准分子放电灯1的制造方法的一例。

图3(a)是表示将一对平板体51、52和环状体53固定到夹具71的俯视图。图3(b)是表示研磨图3(a)所示的一对平板体51、52及环状体53的工序的截面图(图3(a)的B-B截面图)。图3(c)是表示挤压在图3(b)中研磨后的一对平板体51、52及环状体53的同时进行加热的工序的透视图。图3(d)是表示在图3(c)中接合的放电容器形成部件5上接合排气管形成部6的工序的截面图。

此外，图3中对和图1及图2所示部件相同的部件标以同样的标记。

例如，准备由蓝宝石构成的3块平板体，其中的一个平板体设置有贯通其中央部的长方形的孔，作为环状体53。

一个环状体53如图3(a)所示，例如将纸面眼前一侧作为要研磨的面时，以该要研磨的面位于纸面眼前一侧的方式配置在支持台(图3(a)中未图示，图3(b)中的标记73)上。支持台73上设有孔用夹具731，因此环状体53配置在支持台73上，以使该孔用夹具731位于该中央的孔。接着，二个平板体51、52在使要研磨的面朝向纸面眼前一侧的状态下配置在环状体53的左右。二个平板体51、52和一个环状体53通过夹具71和粘合剂72覆盖其外周，固定到支持台(图3(a)中未图示，图3(b)中的标记73)。

在图3(a)中固定的二个平板体51、52和一个环状体53如图3(b)所示，使要研磨的面(图2(b)中的纸面下侧的面)和研磨台74相对。

在该研磨工序中，为了进行研磨(Grinding)、修光(Rapping)、抛光(Polishing)三个研磨工序，在各研磨工序中变更研磨台74和研磨剂77的粒径。

首先，在称为研磨的研磨工序中，作为研磨台74使用钢。二个平板体51、52和一个环状体53的与研磨台74相对的面通过研磨台74构成的凹凸、或由研磨剂供给体76提供到想要研磨的面和研磨台74之间的例如二氧化硅(SiO₂)、碳化硅(SiC)、金钢石(C)、氧化鈰(CeO₂)这样的研磨剂77而被研磨。接着，至少一个环状体53的与被研磨的面相反一侧的面(图3(b)中的纸面上侧的面)被研磨。

接着，在称为修光的研磨工序中，作为研磨台74使用锡。二个平板体51、52和一个环状体53的与研磨台74相对的面通过研磨台74构成的凹凸、或由研磨剂供给体76提供到想要研磨的面和研磨台74之间的例如二氧化硅(SiO₂)、碳化硅(SiC)、金钢石(C)、氧化鈰(CeO₂)这样的研磨剂77而被再次研磨。此时使用的研磨剂77采用比研磨时使用的研磨剂77粒径小的研磨剂。接着，至少一个环状体53的与被研磨的面相反一侧的面(图3(b)中的纸面上侧的面)再次被研磨。

最后，在称为抛光的研磨工序中，作为研磨台74使用涂布了树脂的铝。二个平板体51、52和一个环状体53的与研磨台74相对的面通过由研磨剂供给体76提供到想要研磨的面和研磨台74的树脂之间的例如二氧化硅(SiO₂)、碳化硅(SiC)、金钢石(C)、氧化鈰(CeO₂)这样的研磨剂77而被再次研磨。此时使用的研磨剂77采用比修光时使用的研磨剂77粒径小的研磨剂。接着，至少一个环状体53的与被研磨的面相反一侧的面(图3(b)中的纸面上侧的面)再次被研磨。

这样一来，二个平板体51、52和一个环状体53通过研磨、修光、抛光三个研磨工序，研磨剂77的粒径依次变小，可提高其研磨面的平滑度。

在图3(b)中，研磨二个平板体51、52和一个环状体53后，彼此研磨的面接触，从而使二个平板体51、52通过一个环状体53相对配置地层叠。参照图3(c)具体来说，一个平板体51的研磨过的面上，接触环状体53的研磨过的一个面(图3(c)中的纸面上侧的面)。并且，环状体53的研磨过的另一个面(图3(c)中的纸面下侧的面)上，接触另一个平板体52的研磨过的面。这样一来，通过一对平板体51、52包围环状体53的孔。

在该包围的孔上配置之后作为隔离体的隔离板形成部件(未图示)，使隔离板形成部件的研磨过的面与平板体的研磨过的面抵接。

二个平板体51、52和一个环状体53及隔离板形成部件(未图示)在层叠的状态下为了使研磨的面接触，从一对平板体51、52的外表面(图3(c)中的一个平板体51的纸面上方侧的面、及图3(c)中的另一个平板体52的纸面下侧的面)通过未图示的推压单元78推压。

二个平板体51、52和一个环状体53在层叠的同时被推压的状态下被减压，例如在1300～1400℃下加热8～15小时。

图3(c)的加热后，冷却到室温的二个平板体51、52和一个环状体53及隔离板形成部件(未图示)中，彼此接触的面接合成一体，该一体物变为放电容器形成部件5。

该放电容器形成部件5中如图3(d)所示，在其内部形成源自环状体53的放电空间23，在其长边方向的另一个端壁222中，设置与放电空间23连通的贯通孔222b。在该放电空间23中，配置和侧壁23的内表面接合的隔离体8。

贯通孔222b中，通过Mo-Mn法实施金属化后，插通由镍构成的排气管形成部件6的一端。在贯通孔222b和排气管形成部件6的外周面之间，填充银焊料的焊材，两者结合。

放电容器形成部件5从排气管形成部件6的另一端进行中空部的排气后，向该中空部封入作为放电用气体的氩和六氟化硫。排气管形成部件6由金属形成，因此通过压接其另一端可形成密封部。这样一来，放电容器形成部件5的中空部变为气密的放电空间23，成为放电容器2。

虽未图示，但在放电容器2的一对相对的外表面上，例如将糊状的铜通过印刷涂敷为网状后，将放电容器2和该涂敷的糊状的铜加热至高温，将该糊状的铜烧成，从而设置网状的电极31、32。这样一来，准分子放电灯1完成。通过形成本发明涉及的准分子放电灯1，可不使用树脂部件形成密闭的放电空间23。

此外，放电容器2的形状可以是相对长边方向正交的截面是方形的长方体状，也可是截面为圆状的圆管状。

第1实施例涉及的准分子放电灯1中，未图示的电源连接到一对电极31、32。

接着说明准分子放电灯1的点灯时的情况。

准分子放电灯1在被提供高频、高电压时，在设置有高电压侧的电极(例如一个电极31)的放电容器2的内表面积蓄电荷，该电荷向低电压侧的电极(例如另一个电极32)移动。放电用气体是氩和六氟化硫时，接收电荷后放电用气体被电离，形成氩离子和氟离子。通过这些离子形成由氩—氟构成的受激准分子，产生193nm波长的紫外线。

此时，虽然放电容器2曝露于氟离子，但其由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇形成，因它们与卤素离子的反应性较低，所以可长时间使用。

进一步，在该放电容器2中，不使用现有的树脂部件，而形成气密的放电空间23，因此不存在树脂部件劣化的问题，可长时间维持放电空间23的气密性。

放电容器2具有紫外线透过性，因此可使在放电空间23中产生的193nm的紫外线放射到外部。

第1实施例涉及的准分子放电灯1形成密封部41，因此排气管4由金属部件或合成部件形成。因此点灯时，对高电压侧的电极(例如一个电极31，下同)而言，与低电压侧的电极(例如另一个电极32，下同)同时，排气管4也是低电压状态，在高电压侧的电极31和排气管4之间会产生电场。此时，设置了高电压侧的电极31的侧壁21的内表面211中积蓄电荷，该电荷可能向排气管4放电。该放电在设置了高电压侧的电极31的侧壁21的内表面211和排气管4之间，在电阻最低的部分易产生，因此在绝缘空间距离最短的最短距离L之间产生的可能性较大。

因此，第1实施例涉及的准分子放电灯1中，在设置了一对电极31、32的侧壁的内表面和排气管4的最短距离L之间，设置由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的隔离体8。该隔离体8和排气管4相比，电阻性较高，并且和电极31、32相比电阻性也较高。因此第1实施例中，通过隔离体8，在设置了一对电极31、32的内表面和排气管4之间，可提高电阻，抑制放电的产生。

在图1及图2中，放电容器2的形状是相对其长边方向正交的截面为方形的长方体状，排气管4的形状是圆管状，因此设置了一对电极31的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间可通过一条直线线段L画出，在该线段L之间设置隔离体8即可。

与之相对，放电容器2的形状是相对其长边方向正交的截面为圆形的圆管状，排气管4的形状是圆管状时，放电容器2的外表面设置截面圆弧状的一对电极31。图4表示这一情况。图4(a)是沿着放电容器2的长边方向的截面图，图4(b)是图4(a)的G-G截面图。在图4(b)中，表示了图4(a)所示的排气管4的位置，但省略了隔离体8的位置。在图4的准分子放电灯1中，设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间，排气管4的中心轴与放电容器4的中心轴一致地配置，因此如图4(b)所示，相当于通过划多条线段L构成的面。因此，在图4的准分子放电灯1中，通过在面状的最短距离L之间的整体上配置隔离体8，在设置了一对电极31、32的内表面和排气管4之间，可提高电阻，抑制放电的产生。

除了第1实施例以外，作为本发明涉及的实施例，包括图5所示的结构。

图5(a)是第2实施例涉及的准分子放电灯1的说明图，是沿着放电容器2的长边方向的截面图。图5(b)是图5(a)的灯1的C-C截面图。

此外，图5(a)及图5(b)中，对和图1及图2相同的结构用同样的标记表示。

图5(a)及图5(b)和图1及图2的不同点是，隔离体8不是环状而是板状地构成。

作为图5(a)及图5(b)所示的第2实施例的说明，省略和图1及图2共同部分的说明，只说明不同的部分。

通过使隔离体8板状构成，隔离体8不仅位于设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间，而且位于只要是直线连接两者的任意之间。这样一来，设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4不直接相对。

在第1实施例中，在环状的隔离体8具有的中央的孔中，在设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管之间，具有两者直接相对的部分，随着点灯时施加的电压变为高电压，在直接相对的部分会产生放电。

因此如第2实施例所示，通过隔离板，设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4不直接相对，从而使两者之间可进一步提高电阻，可抑制放电的产生。

图5(c)是第3实施例涉及的准分子放电灯1的说明图，是沿着放电容器2的长边方向的截面图。图5(d)是图5(c)的灯1的D-D截面图。

此外，图5(c)及图5(d)中，对和图1及图2所示相同的结构用同样的标记。

图5(c)及图5(d)和图1及图2的不同点在于，隔离板8和放电容器2构成的流路弯曲。

作为图5(c)及图5(d)所述的第3实施例的说明，省略和图1及图2共同的部分的说明，只说明不同部分。

在第3实施例中，隔离体8板状构成，设置二个该板状的隔离板8。放电容器2例如是长方体状时，其侧壁21由4个面构成。一个隔离体8(纸面左侧的隔离体8)与该侧壁21中的三个面抵接构成。另一个隔离体8(纸面右侧的隔离体8)也与侧壁21中的三个面抵接，但该三个面中的一个面如图5(c)所示，和与一个隔离体8不同的侧面21抵接。

这样设置的一对隔离体8不仅位于设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间，而且位于只要是直线连接两者的任意之间。这样一来，设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4不直接相对。

并且，通过设置一对隔离体8，由放电容器2和一对隔离体8构成的流路弯曲。

此外，这里的弯曲的流路M是指，如图5(c)所示，从设置了一对电极的侧壁21的内表面211到排气管4为止的放电容器2内的流路，它是通过隔离体8多次弯曲的流路。

在第1实施例的说明中，论述了设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4的放电通过侧壁21的内表面211中积蓄的电荷向排气管4直接移动而产生的情况。

但除了上述放电以外，也存在下述所谓的沿面放电：侧壁21的内表面211中积蓄的电荷沿着放电容器2的内表面移动，放电到放电容器2上设置的排气管2。

在第3实施例中，通过使由放电容器2和一对隔离体8构成的流路弯曲，电荷可移动的沿面也弯曲。因此，在第3实施例的构成中，设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4的沿面距离变长，可抑制沿面放电造成的对排气管4的放电。

并且在第3实施例中，通过隔离体8，设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4不直接相对，因此不仅可获得和第1实施例相同的效果，而且可获得和第2实施例相同的效果。

作为由放电容器2和隔离体8构成的流路弯曲的例子，如图6所示。

图6(a)是第4实施例涉及的准分子放电灯1的说明图，是沿着放电容器2的长边方向的截面图。图6(b)是图6(a)的灯1的E-E截面图。

此外，图6(a)及图6(b)中和图5(c)及图5(d)相同的结构用同样的标记。

图6(a)及图6(b)和图5(c)及图5(d)的不同点在于，隔离体8的形状不同。

作为图6(a)及图6(b)所示的第4实施例的说明，省略和图5(c)及图5(d)共同部分的说明，说明不同的部分。

隔离体8具有二次弯曲的截面L字状的形状。一对隔离体8配置成形成S字状的弯曲的流路。这样一来，在第4实施例中，由放电容器2和一对隔离板8构成的流路和第3实施例相比，弯曲较长。

在第4实施例中，通过放电容器2和隔离体8构成弯曲的流路，从而可获得和第3实施例同样的效果。

图6(c)是第5实施例涉及的准分子放电灯1的说明图，是沿着放电容器2的长边方向的截面图。图6(d)是图6(c)的灯1的F-F截面图。

此外，图6(c)及图6(d)中，对和图5(c)及图5(d)相同的结构用同样的标记。

图6(c)及图6(d)和图5(c)及图5(d)的不同点在于隔离体8有四个。

作为图6(c)及图6(d)所示的第5实施例的说明，省略和图5(c)及图5(d)共同部分的说明，说明不同的部分。

在第5实施例中，通过设置四个隔离体8，可提高设置了一对电极31、32的侧壁21和排气管4之间的电阻，延长由放电容器2和隔离体8构成的弯曲的流路的长度。这样一来，对侧壁21中积蓄的电荷而言，到排气管4的沿面距离变长。

在第5实施例中，由放电容器2和隔离体8构成弯曲的流路，从而可获得和第3实施例同样的效果。

作为提高设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4之间的电阻的手段，图7表示除了隔离体8之外还设置间隔壁的例2。

图7(a)是第6实施例涉及的准分子放电灯1的说明图，是沿着放电容器2的长边方向的截面图。

此外，图7(a)中，对和图5(a)相同的结构用同样的标记。

图7(a)和图5(a)的不同点在于设置了间隔壁222a。

作为图7(a)所述的第6实施例的说明，省略和图5(a)共同部分的说明，说明不同的部分。

另一个端壁222上设置贯通其中央的孔222b。该孔222b由以下构成：纸面左侧的小径的孔222c；与该小径的孔222c连接，且直径大于该小径的孔222c的大径的孔222d。在该小径的孔222c和大径的孔222d之间构成阶梯，该阶梯是间隔壁222a。该间隔壁222a由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成。

其结果是，在第6实施例中，设置了一个电极31的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间设置间隔壁222a，并且设置了另一个电极32的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间设置间隔壁222a。

在第6实施例中，在设置了一对电极31、32的侧壁21的内表面211和排气管4之间，除了隔离体8之外，还设置间隔壁222a，从而可提高两者之间的电阻，抑制对排气管4的放电。

图7(b)是第7实施例涉及的准分子放电灯1的说明图，是沿着放电容器2的长边方向的截面图。

此外，图7(b)中，对和图5(c)相同的结构用同样的标记。

图7(b)和图5(c)不同点在于，设置了间隔壁222a。

作为图7(b)所示的第7实施例的说明，省略和图5(c)共同部分的说明，说明不同的部分。

在第7实施例中也设置了第6实施例中说明的间隔壁222a，可获得和第6实施例一样的效果。

该间隔壁222a在第1、4及5实施例中也可适用。

接着说明表示第2及第3实施例涉及的准分子放电灯的效果的实验。

在实验中，准备三种准分子放电灯。三种中一种是比较例，另二种是本发明。该比较例的准分子放电灯1使用图8所示的灯，作为本发明1使用图5(a)、(b)所示的灯，本发明2使用图5(c)、(d)所示的灯。

在图8的比较例中，和图5(a)、(b)的不同点在于未设置隔离体8，其他部分相同。

在本实验中，相对于比较例，表示出具有设置隔离体8时(图5(a)、(b))的放电抑制效果、及通过隔离体8和放电容器2使流路弯曲时(图5(c)、(d))的沿面放电抑制效果。

各准分子放电灯去除另一个电极(图8中未图示)，未图示的电源连接到一个电极(图8中未图示)和排气管4。

各准分子放电灯的通用构成是，放电容器2使用蓝宝石，排气管4使用镍，电极使用烧成糊状铜，放电用气体使用氩气。

在本发明1及2中，隔离体8使用蓝宝石，通过推压、加热接合到放电容器2。

各准分子放电灯1的通用数值是，放电容器2的宽(图5(a)中的纸面上下方向的长度)是45mm，放电容器的长(图5(a)中的纸面左右方向的长度)是65mm，放电容器2的高(图5(a)中的纸面内侧眼前方向的长度)是6mm，放电容器2的壁厚是1mm，放电用气体的封入压是13.3kPa，电极到端壁的距离是10mm。

本发明1的隔离体8的数值是，宽(图5(a)中的纸面上下方向的长度)是15mm，长(图5(a)中的纸面左右方向的长度)是8mm，高(图5(a)中的纸面内侧眼前方向的长度)是4mm。

本发明2的隔离体8的数值是，纸面左侧的隔离体8的宽(图5(c)中的纸面上下方向的长度)是4mm，纸面左侧的隔离体8的长度(图5(c)中的纸面左右方向的长度)是3mm，纸面左侧的隔离体8的高(图5(c)中的纸面内侧眼前方向的长度)是27mm。并且，纸面右侧的隔离体8的宽(图5(c)中的纸面上下方向的长度)是4mm，纸面右侧的隔离体8的长度(图5(c)中的纸面左右方向的长度)是3mm，纸面右侧的隔离体8的高(图5(c)中的纸面内侧眼前方向的长度)是27mm。

在实验中，将电极作为高电压侧的电极、排气管作为接地侧的电极连接到电源，调查电极和排气管之间开始放电为止的电压(放电开始电压)。在各准分子放电灯1中，分别调查12次放电开始电压，求出其平均值。图9是其实验结果。

在比较例中，间隔壁222a设置在位于设有高电压侧的电极的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间的端壁222，从而在具有放电抑制效果的平均5.1kV(p-p)下开始放电。

与之相对，在本发明1中，通过进一步设置隔离体8，放电开始电压比比较例高1kV，平均为6.1kV(p-p)。

可以认为这是因为，设置了高电压侧的电极的侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间设有隔离体8，可提高最短距离L之间的电阻。并且，通过隔离体8，设置了电极的侧壁21的内表面211和排气管4不直接相对，因此在两者之间可进一步提高电阻，抑制放电的产生。

在本发明2中，放电开始电压为9kV(p-p)以上，即在高电压侧的电极和排气管4之间未开始放电。

可以认为这是因为，通过一对隔离体8和放电容器2形成流路，从而在设置了电极的侧壁21的内表面211和排气管4之间，不仅可提高电阻，而且可延长两者的沿面距离，因此可抑制沿面放电。因此，可以推测即使施加9kV(p-p)以上的高电压，也不开始放电。

因此可知，在第2实施例涉及的准分子放电灯1中，在设置了电极的侧壁21的内表面211和排气管4之间，设置隔离体8，以使两者不直接相对，从而可提高电阻，抑制放电产生。

并且，在第3实施例涉及的准分子放电灯1中，在设置了电极的侧壁21的内表面211和排气管4之间，设置一对隔离体8，以使两者不直接相对，且在一对隔离体8和放电容器2之间形成弯曲的流路，从而不仅可通过提高电阻来抑制放电，而且可抑制沿面放电。

Claims (3)

1.一种准分子放电灯，由以下构成：在内部具有放电空间的放电容器；设置在该放电容器的外表面的一对电极；以及封入到该放电空间，至少由稀有气体及卤素或卤化物构成的放电用气体，该准分子放电灯的特征在于，

该放电容器由设置有该一对电极的管状的侧壁、密封该侧壁的一端的一个端壁、以及设置在该侧壁的另一端的另一个端壁构成，该侧壁和一对端壁由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成，

另一个端壁上设置有由金属构成的排气管，

在设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管的最短距离之间，设置有由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的隔离体。

2.根据权利要求1所述的准分子放电灯，其特征在于，

该隔离体和该放电容器构成的流路弯曲。

3.根据权利要求1或2所述的准分子放电灯，其特征在于，

在位于设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管之间的最短距离之间的该端壁上，设置有由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的间隔壁。

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