CN101831607A - 一种oled掩膜板及其应用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种OLED掩膜板及其应用方法，所述掩膜板上横向设置有奇数列槽组；所述槽组由纵向排列的槽组成；掩膜板上槽组之间的距离为两个槽宽；掩膜板横向边缘距离最近的槽组之间的距离为一个槽宽。首先对绿色蒸镀材料进行蒸镀。基板和掩膜板按照常规方法进行对位，对位完后进行蒸镀。在同一蒸镀腔内，将三种不同的蒸镀材料分别设置在不同的蒸镀单元内，以便分时工作。在绿色蒸镀完后，利用确定的位置关系，通过对位伺服电机移动掩膜板到红色对位位置，进行红色蒸镀材料的蒸镀，此时绿色和蓝色蒸镀单元挡板处在关闭状态。同样的道理，实现蓝色材料的蒸镀。本发明使设备结构大大简化，掩膜板数量减少，同时，生产效率有了很大提高。
Description
技术领域：
本发明涉及有机发光器件的蒸镀工艺，主要涉及OLED器件在蒸镀过程中用到的掩膜板及其应用方法。
背景技术：
有机电致发光(OrganicLightEmittingDiode，OLED)具备自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED技术中，真空蒸镀中的掩膜板技术是一项非常重要和关键的技术，该技术的等级直接影响OLED产品的质量和制造成本。通常的红绿蓝三色因蒸镀材料不同及不同材料在基板上的附着位置不同，红绿蓝三色材料的蒸镀需在三个蒸镀腔内进行，同时需要三种不同的掩膜板。这些因素造成设备蒸镀腔增多，掩膜板增多，设备加工时间因多次对位而增加，导致生产效率下降。如何能用一种掩膜板，在一个蒸镀腔内完成红绿蓝三色的蒸镀，是本现有技术中存在的关键问题。
发明内容：
本发明的第一个目的是减少设备中蒸镀腔的数量，降低设备制造成本；第二个目的是将红绿蓝三种掩膜板减少成为一种，降低了掩膜板的需求数量，降低成本；第三个目的是通过降低掩膜板和基板的对位次数，节约加工时间，提高生产效率。
本发明克服了上述现有技术的缺点，提供一种OLED掩膜板，所述掩膜板上横向设置有奇数列槽组；所述槽组由纵向排列的槽组成；掩膜板上槽组之间的距离为两个槽宽；掩膜板横向边缘距离最近的槽组之间的距离为一个槽宽。
基于所述OLED掩膜板的应用方法，
(1)同一蒸镀腔内，将绿色蒸镀材料、红色蒸镀材料和兰色蒸镀材料分别设置在不同的蒸镀单元内，关闭绿色蒸镀材料、红色蒸镀材料和兰色蒸镀材料的蒸镀单元挡板；
(2)将掩膜板与基板进行对位；
(3)打开绿色蒸镀单元挡板，进行绿色蒸镀材料的蒸镀；
(4)向右横向移动掩膜板一个槽宽的位置，关闭绿色蒸镀单元挡板，打开红色蒸镀单元挡板，进行红色蒸镀材料的蒸镀；
(5)再向右横向移动掩膜板一个槽宽的位置，关闭红色蒸镀单元挡板，打开兰色蒸镀单元挡板，进行兰色蒸镀材料的蒸镀。
本发明使设备结构大大简化，掩膜板数量减少，同时，生产效率有了很大提高。
附图说明：
图1为本发明的掩膜板结构示意图；
其中：1为掩膜板；2为槽组。
具体实施方式：
下面结合附图对本发明做进一步详细描述：
参见图1、2、3，一种OLED掩膜板，所述掩膜板上横向设置有奇数列槽组；所述槽组由纵向排列的槽组成；掩膜板上槽组之间的距离为两个槽宽；掩膜板横向边缘距离最近的槽组之间的距离为一个槽宽。
基于所述OLED掩膜板的应用方法，
(1)同一蒸镀腔内，将绿色蒸镀材料、红色蒸镀材料和兰色蒸镀材料分别设置在不同的蒸镀单元内，关闭绿色蒸镀材料、红色蒸镀材料和兰色蒸镀材料的蒸镀单元挡板；
(2)将掩膜板与基板进行对位；
(3)打开绿色蒸镀单元挡板，进行绿色蒸镀材料的蒸镀；
(4)向右横向移动掩膜板一个槽宽的位置，关闭绿色蒸镀单元挡板，打开红色蒸镀单元挡板，进行红色蒸镀材料的蒸镀；
(5)再向右横向移动掩膜板一个槽宽的位置，关闭红色蒸镀单元挡板，打开兰色蒸镀单元挡板，进行兰色蒸镀材料的蒸镀。
三色蒸镀掩膜板的开发、设计和制造。根据显示器三色的排列关系，选择排列位置在中间的颜色（绿色）作为掩膜板设计的基础，开发该颜色用的蒸镀掩膜板。
根据像素三色排列关系，确定两色单元（红色、兰色）和中间单元色（绿色）的相对位置，此位置关系作为掩膜板和基板对位时的调整距离。
在蒸镀过程中，首先对绿色蒸镀材料进行蒸镀。基板和掩膜板按照常规方法进行对位，对位完后进行蒸镀。在同一蒸镀腔内，将三种不同的蒸镀材料分别设置在不同的蒸镀单元内，以便分时工作。
在绿色蒸镀完后，利用确定的位置关系，通过对位伺服电机移动掩膜板到红色对位位置，进行红色蒸镀材料的蒸镀，此时绿色和兰色蒸镀单元挡板处在关闭状态，同样的道理，实现兰色材料的蒸镀。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施方式仅限于此，对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单的推演或替换，都应当视为属于本发明由所提交的权利要求书确定专利保护范围。
Claims (2)
1.一种OLED掩膜板，其特征在于：所述掩膜板上横向设置有奇数列槽组；所述槽组由纵向排列的槽组成；掩膜板上槽组之间的距离为两个槽宽；掩膜板横向边缘距离最近的槽组之间的距离为一个槽宽。
2.基于权利要求1所述OLED掩膜板的应用方法，其特征在于：
(1)同一蒸镀腔内，将绿色蒸镀材料、红色蒸镀材料和兰色蒸镀材料分别设置在不同的蒸镀单元内，关闭绿色蒸镀材料、红色蒸镀材料和兰色蒸镀材料的蒸镀单元挡板；
(2)将掩膜板与基板进行对位；
(3)打开绿色蒸镀单元挡板，进行绿色蒸镀材料的蒸镀；
(4)向右横向移动掩膜板一个槽宽的位置，关闭绿色蒸镀单元挡板，打开红色蒸镀单元挡板，进行红色蒸镀材料的蒸镀；
(5)再向右横向移动掩膜板一个槽宽的位置，关闭红色蒸镀单元挡板，打开兰色蒸镀单元挡板，进行兰色蒸镀材料的蒸镀。
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