CN101813638A - 一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置 - Google Patents
一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101813638A CN101813638A CN 201010160537 CN201010160537A CN101813638A CN 101813638 A CN101813638 A CN 101813638A CN 201010160537 CN201010160537 CN 201010160537 CN 201010160537 A CN201010160537 A CN 201010160537A CN 101813638 A CN101813638 A CN 101813638A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chip
- module
- welding point
- point defect
- defect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
本发明提供了一种热和超声激励的芯片焊点缺陷在线检测方法及装置,其方法是采用红外非接触方式对被测芯片或基底表面进行均匀加热,同时施加超声激励,使芯片产生振动以改变缺陷处热阻属性,然后通过红外热像仪测量芯片或基底表面温度,并对热图像进行特征提取和分析,结合实现芯片焊点缺陷辨识和定位。其装置主要包括真空吸附式三维移动平台、红外加热模块、超声激振模块、热图像处理模块、缺陷标记模块、系统控制模块。本发明提供的方法及装置可对芯片焊点缺陷进行有效检测,具有实时、非接触、无破坏性的特点,适用于焊球阵列(BGA)、芯片尺寸封装(CSP)和倒装芯片(FC)等高密度电子封装工艺的焊点缺陷检测。
Description
技术领域
本发明属于电子封装缺陷检测技术,具体涉及一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置,该方法及装置适用于球栅阵列(BGA)、芯片尺寸封装(CSP)和倒装芯片(FC)等高密度电子封装工艺产品的焊点缺陷检测。
背景技术
集成电路(IC)产品微型化的发展趋势,对芯片集成尺寸和封装可靠性提出了更高的要求。目前IC产业广泛采用引线键合技术和倒装芯片技术来解决多层芯片间的互联问题,以满足电子产品的封装要求。无论采用引线键合技术还是倒装芯片技术,都需要在芯片上形成多个焊点,进而利用焊点完成互联。焊点缺陷(如焊点缺失、裂纹、虚焊等)会严重影响封装可靠性,甚至使电子产品失效。因此,芯片焊点的缺陷检测是必不可缺的。
通常,芯片焊点的缺陷检测主要有接触式和非接触式两种检测方法。接触式检测包括功能测试、电测试等,主要用来检测芯片的短路和开路,但不能有效地区别和定位出焊点缺陷。并且,接触式检测很容易对芯片表面造成损坏,检测效率也不高。
非接触式检测主要有:光学视觉检测、扫描声显微镜(SAM)检测、X射线检测。光学视觉检测方法用光学显微镜来检测芯片键合前的工艺缺陷,可以实时在线检测外部暴露焊点的缺陷。
对于球栅阵列(BGA)、芯片尺寸封装(CSP)和倒装芯片(FC)等封装工艺产品,焊点缺陷隐藏于芯片内部,不能直接通过光学显微镜观测到,这就给焊点缺陷检测带来了困难。尤其是对于倒装芯片,随着焊点密度不断增加,其缺陷检测难度也将更大,对检测设备也要求也更高。目前,主要通过SAM检测和X射线检测来实现内部焊点的缺陷检测。
SAM检测利用声显微成像原理来检测样品的内部缺陷,即通过对样品内部反射超声波的分析来判断其缺陷状况。SAM检测是一种非接触、无破环、可靠且安全的检测方法。但是,其检测时间较长,且需要耦合介质(水),而大部分芯片是不适宜放于耦合介质(水)中的。
X射线检测利用不同特性材料对X射线的吸收率不同,来对样品进行检测的。它也是一种非接触、无破环的检测技术,还可以进行3D微结构成像。不过,X射线检测设备比较昂贵,检测时间长,效率低,需要操作者具有较强的经验,并且X射线对人体也是有害的。
另外,红外热波无损检测技术是一种主要应用于航空材料内部缺陷(如空洞、裂纹等)检测的有效技术。它利用外部热源主动加热样品材料的表面,如通过闪光灯或接触式超声激振来加热样品表面,进而使样品表面产生热波。当表面热波向样品内部传播过程中遇到缺陷时会引起表面温差,通过红外热像仪检测样品表面的温差以识别出内部缺陷。这种检测技术有很强应用性和可拓展性,可应用于多种材料、结构和检测环境。
发明内容
本发明的目的是提供一种芯片焊点缺陷在线检测方法,它采用红外非接触方式加热芯片或基底表面,同时施加超声激励,使芯片产生振动以改变缺陷处热阻属性,通过红外热像仪测量芯片或基底表面温度,然后对热图像进行处理,并结合被测芯片的热传导模型对其内部焊点状况进行分析和缺陷辨识。本发明还提供了实现该方法的检测装置(图1),可对芯片焊点缺陷进行实时、有效地检测,具有非接触、无破坏的特点,适用于芯片缺陷的在线检测。
采用的具体技术方案如下:
一种热和超声激励的芯片焊点缺陷在线检测方法,包括如下步骤:
(1)对芯片或基底采用近红外非接触方式加热,同时对芯片或基底表面施加超声激励,使芯片产生谐振;
(2)测量所述芯片或基底的表面温度场,获取热图像;
(3)对所述热图像进行分析处理,判断热图像中有无异常区域即有无亮斑或暗斑,确定芯片内部焊点是否存在缺陷;
(4)若存在异常区域,则分割所述热图像中的亮斑或暗斑,提取异常区域里各像素点温度值,并与参考温度阈值进行比较,从而对缺陷进行确认和定位;
至此,即完成热和超声激励的芯片焊点缺陷在线检测过程。
本发明所述的对热图像的分析处理为对比度增强处理。
本发明所述的步骤(4)中,当所述的像素点温度值超出参考温度阈值的80%至120%范围时,确认该像素点为缺陷像素点。
本发明还可通过对缺陷芯片喷涂颜料以进行标记。
一种实现上述权利要求1-4之一所述的芯片焊点缺陷在线检测方法的装置,包括真空吸附式三维移动平台(1)、红外加热模块(3)、超声激振模块、热图像获取及处理模块和系统控制模块(6),其中,所述三维移动平台(1)用于定位被测芯片(2),并实现其在XYZ三个方向的平移,所述红外加热模块(3)和超声激振模块分别用于对所述芯片(2)进行热激励和超声激励,所述热图像获取理模块测量芯片(2)的表面温度信息,获取热图像,并进行处理和缺陷辨识,所述系统控制模块(6)协调控制各模块的操作。
本发明所述的超声激振模块包括聚焦式空气超声换能器(7)、功率放大器(8)和信号发生器(9),所述聚焦式空气超声换能器(7)倾斜置于芯片(2)和红外加热模块(3)之间,所述信号发生器(9)产生的信号经功率放大器(8)放大后驱动超声换能器(7)工作。
本发明所述的红外加热模块(3)包括近红外灯,利用复合抛物面聚光器(CPC)将所述近红外灯产生的红外光线汇聚于基底或芯片(2)表面以加热。
本发明该装置还包括缺陷标记模块5,用以对缺陷芯片标记。
本发明所述的缺陷标记模块(5)为气压式可控喷头,当所述装置检测到所述芯片(2)存在缺陷时,系统控制模块(6)驱动所述三维移动平台(1)将芯片(2)移至喷头下方,然后喷涂颜料进行标记。
本发明方法及装置可对芯片焊点进行有效、可靠的在线检测,由于整个检测过程采用非接触方式加热、空气耦合超声激振及快速热图像处理,所以本发明完全实现了非接触、无损、实时检测。本发明适用于BGA、CSP和FC等工艺产品的焊点缺陷检测,并且跟SAM检测和X射线检测相比,本发明操作更简单、对人体无害、成本更低,更适合于工业应用。
附图说明
图1一种热和超声激励的芯片焊点缺陷在线检测装置
图2芯片焊点缺陷在线检测步骤
图3FC芯片热图像处理及缺陷类型辨识结果
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。
根据热波理论可知,缺球、空洞、裂纹、虚焊等焊点缺陷的存在将会改变芯片焊点热阻属性。因此,对芯片或基底表面均匀加热后,由于热阻差异在芯片或基底表面会形成暂态温差。然而,芯片制备材料硅(Si)和焊球金属材料(如PbSn,Au等)均具有很高的热扩散率,使芯片或基底表面温度快速趋于平衡,对热图像采集系统具有极高的时间、空间、及温度分辨率要求,不易检测。
为了解决这一问题,本发明提供的芯片焊点缺陷在线检测方法首先采用近红外灯以非接触方式加热芯片或基底表面,同时利用空气超声换能器激励芯片,使芯片产生谐振,扩大缺陷对热传导的影响,通过红外热像仪采用透射或反射式测量芯片或基底表面温度场,然后使用对比度增强、缺陷分割等方法对热图像进行处理,以精确判断和定位缺陷。如图2所示,具体步骤如下:
步骤1对芯片或基底采用近红外非接触方式加热,同时对芯片或基底表面施加超声激励,使芯片产生谐振,将缺陷焊点拉伸或压缩以改变其热阻属性,放大缺陷对热传导的影响,从而扩大表面温差;
步骤2测量芯片或基底表面温度场,获取热图像,其中可以使用红外显微镜头提高热像仪空间分辨能力;
步骤3对热图像进行分析处理(如对比度增强等方法),然后根据有无异常区域(即亮斑或暗斑),判断芯片内部焊点是否存在缺陷;
由于芯片焊球尺寸较小,引入热激励和超声激励后,焊点缺陷引起的芯片或基底表面温差不大,所以步骤3中,需对热图像进行处理,进一步放大缺陷焊点与正常焊点的区别。若存在明显的亮斑或暗斑,则认为该异常区域存在异常焊点。
步骤4若存在异常区域,分割热图像中的亮点或暗点,并与参考温度阈值进行比较,对缺陷进行确认和精确定位;
为了对异常焊点进行精确判断和定位,首先分割热图像中的亮斑和暗斑,提取异常区域里各像素点温度值,与参考温度值(可取多个无缺陷焊点平均温度值,或理论计算值)进行比较,超出参考温度值80%至120%范围的像素点认定为缺陷像素点,并记录该像素点(缺陷焊点)。依此实现缺陷焊点的精确定位。
至此,即可完成热和超声激励的芯片焊点缺陷在线检测过程。
另外,还可以对缺陷芯片进行标记,如通过气压式可控喷头对缺陷芯片喷涂颜料以进行有效标记。
本发明还提供了一种实现以上检测方法的装置,如图1所示,包括真空吸附式三维移动平台、红外加热模块、超声激振模块、热图像获取及处理模块缺陷标记模块和系统控制模块。
本装置的真空吸附式三维移动平台1采用真空吸附方式,可固定多种形状和尺寸的被测芯片2,实现XYZ三个方向的精确定位及移动。另外,移动平台1上装有温度传感器,用来测量基底/芯片表面加热温度,并反馈给系统控制模块,以控制加热时间和温度。
本装置的红外加热模块3,采用红外非接触方式对被测芯片2进行加热,可通过近红外灯实现,并利用复合抛物面聚光器(CPC)将红外光线汇聚于基底或芯片表面,实现小面积的快速、均匀加热。近红外灯接有控制电路,可通过温度传感器的反馈来调节加热时间和温度。
本装置的超声激振模块,采用空气耦合方式对被测芯片2进行超声激励以拉伸或压缩焊点缺陷,改变其热阻属性。超声激振模块包括聚焦式空气超声换能器7、功率放大器8和信号发生器9,所述聚焦式空气超声换能器7倾斜置于芯片和红外热像仪之间,信号发生器9产生的信号经功率放大器8放大后驱动超声换能器7工作。对于不同尺寸的芯片,可以选择合适的激振频率以放大焊点缺陷对芯片或基底表面温度的影响。
本装置的热图像获取及处理模块使用高分辨率红外热像仪4获取芯片或基底表面温度信息,并进行热图像分析、处理及缺陷辨识。
本装置缺陷标记模块5,使用气压式可控喷头对缺陷芯片喷涂颜料以实现缺陷标记。喷嘴与芯片的夹角可调,以适用于不同大小芯片的标记。当检测装置判定被测芯片2存在缺陷时,系统控制模块6就驱动三维移动平台1将芯片2移至喷头下方,然后喷涂颜料进行标记。
本装置的系统控制模块6集成了移动平台驱动电路,加热控制电路、信号发生器、红外热像仪和缺陷标记电路的控制接口,用以协调各功能模块的操作。并且,系统控制模块根据检测方法提出的诊断步骤来完成对缺陷的识别、定位及类型判断。
本发明装置的实例:被测样品是FA10-200x200面阵型FC芯片,在未键合之前,人为划去芯片右上角的两个焊球,然后将芯片和基底通过回流焊方式键合在一起。调节三维移动平台使FC芯片中心位于聚焦式超声换能器焦点位置,并调节红外热像仪焦距以获取芯片表面温度。启动超声激振模块,并对芯片表面进行脉冲加热1秒,然后红外热像仪以每秒60帧的速率实时采集300帧热图像。选取热图并进行对比度增强、缺陷分割,得到缺陷位置(热图像中的像素坐标)。将缺陷像素点温度值与计算温度值进行比对,进一步得到亮点温度值与焊点缺失对应的温度计算值最接近,因此判断此处缺陷为焊点缺失。图3为FC芯片热图像处理及缺陷类型辨识结果。最后,利用可控喷头将FC缺陷芯片进行喷色标识。显然,本发明提供的芯片焊点缺陷在线检测方法和装置可以对芯片缺陷进行有效的检测。
本发明提供的芯片焊点缺陷在线检测装置,可与成熟封装设备集成为一体,在线完成对芯片,尤其是对高密度、超细间距倒装芯片的封装和检测。由于采用了非接触加热、空气耦合超声激振和高分辨率红外热像仪来检测芯片缺陷,所以完全达到了非接触、无破坏的在线检测目的,可用于工业上的生产。
Claims (9)
1.一种热和超声激励的芯片焊点缺陷在线检测方法,包括如下步骤:
(1)对芯片或基底采用近红外非接触方式加热,同时对芯片或基底表面施加超声激励,使芯片产生谐振;
(2)测量所述芯片或基底的表面温度场,获取热图像;
(3)对所述热图像进行分析处理,判断热图像中有无异常区域即有无亮斑或暗斑,确定芯片内部焊点是否存在缺陷;
(4)若存在异常区域,则分割所述热图像中的亮斑或暗斑,提取异常区域里各像素点温度值,并与参考温度阈值进行比较,从而对缺陷进行确认和定位;
至此,即完成热和超声激励的芯片焊点缺陷在线检测过程。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的对热图像的分析处理为对比度增强处理。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述的步骤(4)中,当所述的像素点温度值超出参考温度阈值的80%至120%范围时,确认该像素点为缺陷像素点。
4.根据权利要求1-3之一所述的方法,其特征在于,还可通过对缺陷芯片喷涂颜料以进行标记。
5.一种实现上述权利要求1-4之一所述的芯片焊点缺陷在线检测方法的装置,包括真空吸附式三维移动平台(1)、红外加热模块(3)、超声激振模块、热图像获取及处理模块和系统控制模块(6),其中,
所述三维移动平台(1)用于定位被测芯片(2),并实现其在XYZ三个方向的平移,所述红外加热模块(3)和超声激振模块分别用于对所述芯片(2)进行热激励和超声激励,所述热图像获取理模块测量芯片(2)的表面温度信息,获取热图像,并进行处理和缺陷辨识,所述系统控制模块(6)协调控制各模块的操作。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述的超声激振模块包括聚焦式空气超声换能器(7)、功率放大器(8)和信号发生器(9),所述聚焦式空气超声换能器(7)倾斜置于芯片(2)和红外加热模块(3)之间,所述信号发生器(9)产生的信号经功率放大器(8)放大后驱动超声换能器(7)工作。
7.根据权利要求5或6所述的装置,其特征在于,所述的红外加热模块(3)包括近红外灯,利用复合抛物面聚光器(CPC)将所述近红外灯产生的红外光线汇聚于基底或芯片(2)表面以加热。
8.根据权利要求5-7之一所述的装置,其特征在于,该装置还包括缺陷标记模块5,用以对缺陷芯片标记。
9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述的缺陷标记模块(5)为气压式可控喷头,当所述装置检测到所述芯片(2)存在缺陷时,系统控制模块(6)驱动所述三维移动平台(1)将芯片(2)移至喷头下方,然后喷涂颜料进行标记。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010101605376A CN101813638B (zh) | 2010-04-30 | 2010-04-30 | 一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010101605376A CN101813638B (zh) | 2010-04-30 | 2010-04-30 | 一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101813638A true CN101813638A (zh) | 2010-08-25 |
CN101813638B CN101813638B (zh) | 2012-06-13 |
Family
ID=42620950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010101605376A Expired - Fee Related CN101813638B (zh) | 2010-04-30 | 2010-04-30 | 一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101813638B (zh) |
Cited By (58)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102175717A (zh) * | 2011-02-17 | 2011-09-07 | 浙江超威新能源技术研究院 | 检验蓄电池汇流排焊接质量的装置及方法 |
CN102183542A (zh) * | 2011-01-31 | 2011-09-14 | 哈尔滨工业大学 | 采用红外多点测温热阻法检测电路板焊点可靠性的检测系统 |
CN102183545A (zh) * | 2011-01-31 | 2011-09-14 | 哈尔滨工业大学 | 检测电路板焊点可靠性的红外测温检测法 |
CN102323298A (zh) * | 2011-08-30 | 2012-01-18 | 上海华碧检测技术有限公司 | 一种pcba上qfn封装器件的焊点缺陷分析方法 |
WO2012162917A1 (zh) * | 2011-05-30 | 2012-12-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 阵列基板的检测方法及检测系统 |
CN103033597A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-04-10 | 上海宝冶工程技术有限公司 | 一种高炉管道在线检测方法 |
CN103091339A (zh) * | 2013-03-01 | 2013-05-08 | 苏州爱特盟光电有限公司 | 一种用于键合工艺微缺陷检测的方法 |
CN103199030A (zh) * | 2013-04-22 | 2013-07-10 | 哈尔滨工业大学 | 倒装焊芯片焊点缺陷对视测温检测法 |
CN103258755A (zh) * | 2013-04-22 | 2013-08-21 | 哈尔滨工业大学 | 倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法 |
CN103308521A (zh) * | 2012-08-29 | 2013-09-18 | 中国人民解放军第二炮兵工程大学 | 一种增强红外热波检测图像缺陷对比度的方法 |
CN103543205A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-29 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 瓶装液体中异物的检测方法及系统 |
CN103579032A (zh) * | 2012-07-20 | 2014-02-12 | 中国科学院电工研究所 | 功率半导体模块封装工艺的测试方法及系统 |
CN104422842A (zh) * | 2013-08-22 | 2015-03-18 | 刘辉国 | 电池检测机构及电池检测设备 |
CN104502352A (zh) * | 2014-12-12 | 2015-04-08 | 中国建筑第八工程局有限公司 | 监测钢管混凝土密实度的方法 |
CN104614075A (zh) * | 2015-01-21 | 2015-05-13 | 济南大学 | 一种非接触式瞬态焊接温度场测量方法 |
CN104826814A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-08-12 | 华南理工大学 | 一种全自动焊接在线检测实验设备 |
CN104942496A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-09-30 | 湖南大学 | 基于机器人视觉伺服的汽车白车身焊点定位方法及装置 |
CN105043557A (zh) * | 2014-04-18 | 2015-11-11 | 杭州美盛红外光电技术有限公司 | 热像拍摄装置、热像处理装置和热像拍摄方法、热像处理方法 |
CN105424752A (zh) * | 2015-11-18 | 2016-03-23 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | Bga芯片焊点缺陷逐点扫描测温检测方法 |
CN105806846A (zh) * | 2016-04-06 | 2016-07-27 | 江苏万乐复合材料有限公司 | 一种用于纸塑复合袋一体机的智能视觉缺陷检测系统 |
CN105891214A (zh) * | 2015-02-18 | 2016-08-24 | 香港城市大学 | 检测结构部件中的缺陷的系统和方法 |
CN106158688A (zh) * | 2016-05-20 | 2016-11-23 | 江苏师范大学 | 一种tsv封装缺陷检测装置及其检测方法 |
CN106990135A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-07-28 | 重庆科技学院 | 基于热传导方程的同种焊接件焊接质量检测方法 |
CN107063463A (zh) * | 2017-03-29 | 2017-08-18 | 国网上海市电力公司 | 一种高压电力电缆故障在线监测报警系统 |
CN107507182A (zh) * | 2017-09-25 | 2017-12-22 | 电子科技大学 | 一种基于x射线图像的bga焊球提取方法 |
CN107607072A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-01-19 | 湘潭大学 | 一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法 |
CN107632251A (zh) * | 2017-08-08 | 2018-01-26 | 上海交通大学 | Pcb单板故障检测方法 |
CN107632250A (zh) * | 2017-08-08 | 2018-01-26 | 上海交通大学 | 集成电路批量检测装置 |
CN107677949A (zh) * | 2017-08-08 | 2018-02-09 | 上海交通大学 | 集成电路批量检测方法 |
CN107677700A (zh) * | 2017-08-08 | 2018-02-09 | 上海交通大学 | Pcb单板故障检测装置 |
CN108008241A (zh) * | 2017-10-19 | 2018-05-08 | 惠州市骏亚数字技术有限公司 | 一种pcb板虚焊检测仪 |
CN108732189A (zh) * | 2018-08-03 | 2018-11-02 | 江苏阿瑞斯智能设备有限公司 | 一种晶圆芯片检测设备 |
CN108802049A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-11-13 | 上海大学 | 标定电阻点焊接头中心缺陷的方法及其应用 |
CN109001230A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-12-14 | 中兵国铁(广东)科技有限公司 | 基于机器视觉的焊点缺陷检测方法 |
CN109115483A (zh) * | 2018-09-18 | 2019-01-01 | 河南豫乾技术转移中心有限公司 | 基于医疗卫浴材料的花洒盖生产用检测装置 |
CN109164171A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-08 | 深圳达闼科技控股有限公司 | 一种超声检测方法、超声检测系统及相关装置 |
CN109188252A (zh) * | 2018-10-16 | 2019-01-11 | 上海华力微电子有限公司 | 一种基于高温光发射显微分析技术的失效点定位方法 |
CN109451721A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-03-08 | 广州小鹏汽车科技有限公司 | 贴片检测设备和方法 |
CN109870463A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-11 | 深圳市阿赛姆电子有限公司 | 一种电子芯片故障检测装置 |
CN109975352A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-05 | 重庆大学 | 基于热阻的缺陷检测装置 |
CN110006906A (zh) * | 2019-02-20 | 2019-07-12 | 上海鋆雪自动化有限公司 | 一种精细雾化喷头检测装置及其控制方法 |
CN110081924A (zh) * | 2018-01-25 | 2019-08-02 | 韩华精密机械株式会社 | 倒装芯片的助焊剂涂覆状态检查方法 |
CN110325835A (zh) * | 2016-12-30 | 2019-10-11 | 福特汽车萨纳伊股份有限公司 | 用于振动和噪声映射的紧凑系统和方法 |
CN110927168A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 华中科技大学 | 一种基于红外图像的焊接与焊点缺陷检测系统及方法 |
CN111665403A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-09-15 | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) | 层叠型电子元件的失效点定位方法、装置和系统 |
CN111735849A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-10-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种电路板焊点质量的阀值筛选法和红外检测法 |
CN111761408A (zh) * | 2020-07-07 | 2020-10-13 | 哈尔滨理工大学 | 淬硬钢模具铣削过程刀具内外温度场检测装置及检测方法 |
CN111829894A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-10-27 | 山东大学 | 一种岩土多场测量试验系统及方法 |
CN111965215A (zh) * | 2020-08-13 | 2020-11-20 | 长江存储科技有限责任公司 | 封装芯片缺陷检测装置及其方法 |
CN111965216A (zh) * | 2020-08-22 | 2020-11-20 | 西安交通大学 | 基于脉冲涡流红外的led芯片焊接层空洞率无损评价方法 |
CN112198192A (zh) * | 2020-09-07 | 2021-01-08 | 江苏理工学院 | 一种用于风扇焊接组件的红外线图像检测装置及检测方法 |
CN112305408A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-02 | Tcl华星光电技术有限公司 | 一种发光芯片贴片检测系统及其检测方法 |
CN112540286A (zh) * | 2020-08-13 | 2021-03-23 | 西安太乙电子有限公司 | 一种用于三维bga倒封焊ic焊点失效的分析方法 |
CN112858887A (zh) * | 2021-01-18 | 2021-05-28 | 昂宝电子(上海)有限公司 | 用于集成电路封装的分层缺陷检测方法 |
CN113570550A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-10-29 | 南京航空航天大学 | 一种基于三维点云的金丝键合尺寸检测方法 |
CN114878603A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-08-09 | 浙江威固信息技术有限责任公司 | 一种bga芯片虚焊检测方法及检测系统 |
WO2023184153A1 (zh) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | 中山大学 | 一种基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统及方法 |
CN117589793A (zh) * | 2024-01-19 | 2024-02-23 | 辽宁爱尔创科技有限公司 | 一种陶瓷套管的检测系统、方法、装置、设备及存储介质 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4854724A (en) * | 1984-07-09 | 1989-08-08 | Lockheed Corporation | Method of and apparatus for thermographic evaluation of spot welds |
CN101136346A (zh) * | 2007-08-31 | 2008-03-05 | 中山大学 | 一种芯片焊点在线检测和缺陷辨识装置及芯片封装装置 |
CN101614688A (zh) * | 2009-07-24 | 2009-12-30 | 北京卫星制造厂 | 一种印制电路板虚焊点的红外检测方法 |
-
2010
- 2010-04-30 CN CN2010101605376A patent/CN101813638B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4854724A (en) * | 1984-07-09 | 1989-08-08 | Lockheed Corporation | Method of and apparatus for thermographic evaluation of spot welds |
CN101136346A (zh) * | 2007-08-31 | 2008-03-05 | 中山大学 | 一种芯片焊点在线检测和缺陷辨识装置及芯片封装装置 |
CN101614688A (zh) * | 2009-07-24 | 2009-12-30 | 北京卫星制造厂 | 一种印制电路板虚焊点的红外检测方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
《激光与红外》 20071130 杨小林等 红外热成像检测中的主动加热方法研究 1189页 1-9 第37卷, 第11期 2 * |
《激光与红外》 20080831 陈大鹏等 超声热红外技术在无损检测领域中的应用 778-779页 1-9 第38卷, 第8期 2 * |
《装备指挥技术学院学报》 20070831 夏利利等 非接触超声检测技术在航天无损检测中的研究与应用 58-59 1-7 第18卷, 第4期 2 * |
Cited By (74)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102183542A (zh) * | 2011-01-31 | 2011-09-14 | 哈尔滨工业大学 | 采用红外多点测温热阻法检测电路板焊点可靠性的检测系统 |
CN102183545A (zh) * | 2011-01-31 | 2011-09-14 | 哈尔滨工业大学 | 检测电路板焊点可靠性的红外测温检测法 |
CN102183542B (zh) * | 2011-01-31 | 2012-11-21 | 哈尔滨工业大学 | 采用红外多点测温热阻法检测电路板焊点可靠性的检测系统 |
CN102183545B (zh) * | 2011-01-31 | 2012-11-21 | 哈尔滨工业大学 | 检测电路板焊点可靠性的红外测温检测法 |
CN102175717A (zh) * | 2011-02-17 | 2011-09-07 | 浙江超威新能源技术研究院 | 检验蓄电池汇流排焊接质量的装置及方法 |
WO2012162917A1 (zh) * | 2011-05-30 | 2012-12-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 阵列基板的检测方法及检测系统 |
CN102323298B (zh) * | 2011-08-30 | 2013-05-08 | 上海华碧检测技术有限公司 | 一种pcba上qfn封装器件的焊点缺陷分析方法 |
CN102323298A (zh) * | 2011-08-30 | 2012-01-18 | 上海华碧检测技术有限公司 | 一种pcba上qfn封装器件的焊点缺陷分析方法 |
CN103579032B (zh) * | 2012-07-20 | 2016-08-24 | 中国科学院电工研究所 | 功率半导体模块封装工艺的测试方法及系统 |
CN103579032A (zh) * | 2012-07-20 | 2014-02-12 | 中国科学院电工研究所 | 功率半导体模块封装工艺的测试方法及系统 |
CN103308521A (zh) * | 2012-08-29 | 2013-09-18 | 中国人民解放军第二炮兵工程大学 | 一种增强红外热波检测图像缺陷对比度的方法 |
CN103033597A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-04-10 | 上海宝冶工程技术有限公司 | 一种高炉管道在线检测方法 |
CN103091339A (zh) * | 2013-03-01 | 2013-05-08 | 苏州爱特盟光电有限公司 | 一种用于键合工艺微缺陷检测的方法 |
CN103199030A (zh) * | 2013-04-22 | 2013-07-10 | 哈尔滨工业大学 | 倒装焊芯片焊点缺陷对视测温检测法 |
CN103258755A (zh) * | 2013-04-22 | 2013-08-21 | 哈尔滨工业大学 | 倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法 |
CN104422842A (zh) * | 2013-08-22 | 2015-03-18 | 刘辉国 | 电池检测机构及电池检测设备 |
CN103543205A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-29 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 瓶装液体中异物的检测方法及系统 |
CN105043557A (zh) * | 2014-04-18 | 2015-11-11 | 杭州美盛红外光电技术有限公司 | 热像拍摄装置、热像处理装置和热像拍摄方法、热像处理方法 |
CN104502352A (zh) * | 2014-12-12 | 2015-04-08 | 中国建筑第八工程局有限公司 | 监测钢管混凝土密实度的方法 |
CN104614075A (zh) * | 2015-01-21 | 2015-05-13 | 济南大学 | 一种非接触式瞬态焊接温度场测量方法 |
CN105891214A (zh) * | 2015-02-18 | 2016-08-24 | 香港城市大学 | 检测结构部件中的缺陷的系统和方法 |
CN104826814A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-08-12 | 华南理工大学 | 一种全自动焊接在线检测实验设备 |
CN104942496A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-09-30 | 湖南大学 | 基于机器人视觉伺服的汽车白车身焊点定位方法及装置 |
CN105424752A (zh) * | 2015-11-18 | 2016-03-23 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | Bga芯片焊点缺陷逐点扫描测温检测方法 |
CN105806846A (zh) * | 2016-04-06 | 2016-07-27 | 江苏万乐复合材料有限公司 | 一种用于纸塑复合袋一体机的智能视觉缺陷检测系统 |
CN106158688A (zh) * | 2016-05-20 | 2016-11-23 | 江苏师范大学 | 一种tsv封装缺陷检测装置及其检测方法 |
CN106158688B (zh) * | 2016-05-20 | 2019-03-01 | 江苏师范大学 | 一种tsv封装缺陷检测装置及其检测方法 |
CN110325835B (zh) * | 2016-12-30 | 2022-05-24 | 福特汽车萨纳伊股份有限公司 | 用于振动和噪声映射的紧凑系统和方法 |
CN110325835A (zh) * | 2016-12-30 | 2019-10-11 | 福特汽车萨纳伊股份有限公司 | 用于振动和噪声映射的紧凑系统和方法 |
CN107063463A (zh) * | 2017-03-29 | 2017-08-18 | 国网上海市电力公司 | 一种高压电力电缆故障在线监测报警系统 |
CN106990135A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-07-28 | 重庆科技学院 | 基于热传导方程的同种焊接件焊接质量检测方法 |
CN107632251A (zh) * | 2017-08-08 | 2018-01-26 | 上海交通大学 | Pcb单板故障检测方法 |
CN107677700A (zh) * | 2017-08-08 | 2018-02-09 | 上海交通大学 | Pcb单板故障检测装置 |
CN107632250A (zh) * | 2017-08-08 | 2018-01-26 | 上海交通大学 | 集成电路批量检测装置 |
CN107677949A (zh) * | 2017-08-08 | 2018-02-09 | 上海交通大学 | 集成电路批量检测方法 |
CN107507182A (zh) * | 2017-09-25 | 2017-12-22 | 电子科技大学 | 一种基于x射线图像的bga焊球提取方法 |
CN107507182B (zh) * | 2017-09-25 | 2019-10-25 | 电子科技大学 | 一种基于x射线图像的bga焊球提取方法 |
CN108008241A (zh) * | 2017-10-19 | 2018-05-08 | 惠州市骏亚数字技术有限公司 | 一种pcb板虚焊检测仪 |
CN107607072A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-01-19 | 湘潭大学 | 一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法 |
CN107607072B (zh) * | 2017-11-08 | 2019-10-11 | 湘潭大学 | 一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法 |
CN110081924A (zh) * | 2018-01-25 | 2019-08-02 | 韩华精密机械株式会社 | 倒装芯片的助焊剂涂覆状态检查方法 |
CN109001230A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-12-14 | 中兵国铁(广东)科技有限公司 | 基于机器视觉的焊点缺陷检测方法 |
CN108802049A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-11-13 | 上海大学 | 标定电阻点焊接头中心缺陷的方法及其应用 |
CN108732189A (zh) * | 2018-08-03 | 2018-11-02 | 江苏阿瑞斯智能设备有限公司 | 一种晶圆芯片检测设备 |
CN109164171A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-08 | 深圳达闼科技控股有限公司 | 一种超声检测方法、超声检测系统及相关装置 |
US11241891B2 (en) | 2018-09-13 | 2022-02-08 | Cloudminds (Shenzhen) Holdings Co., Ltd. | Ultrasonic detection method, ultrasonic detection system, and related apparatus |
CN109164171B (zh) * | 2018-09-13 | 2023-08-29 | 深圳达闼科技控股有限公司 | 一种超声检测方法、超声检测系统及相关装置 |
CN109115483A (zh) * | 2018-09-18 | 2019-01-01 | 河南豫乾技术转移中心有限公司 | 基于医疗卫浴材料的花洒盖生产用检测装置 |
CN109115483B (zh) * | 2018-09-18 | 2020-07-10 | 福州鑫厦鑫计算机有限公司长乐区分公司 | 基于医疗卫浴材料的花洒盖生产用检测装置 |
CN109188252A (zh) * | 2018-10-16 | 2019-01-11 | 上海华力微电子有限公司 | 一种基于高温光发射显微分析技术的失效点定位方法 |
CN109451721A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-03-08 | 广州小鹏汽车科技有限公司 | 贴片检测设备和方法 |
CN110006906A (zh) * | 2019-02-20 | 2019-07-12 | 上海鋆雪自动化有限公司 | 一种精细雾化喷头检测装置及其控制方法 |
CN109870463A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-11 | 深圳市阿赛姆电子有限公司 | 一种电子芯片故障检测装置 |
CN109870463B (zh) * | 2019-04-09 | 2020-01-14 | 深圳市阿赛姆电子有限公司 | 一种电子芯片故障检测装置 |
CN109975352A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-05 | 重庆大学 | 基于热阻的缺陷检测装置 |
CN110927168A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 华中科技大学 | 一种基于红外图像的焊接与焊点缺陷检测系统及方法 |
CN111665403A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-09-15 | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) | 层叠型电子元件的失效点定位方法、装置和系统 |
CN111829894A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-10-27 | 山东大学 | 一种岩土多场测量试验系统及方法 |
CN111735849A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-10-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种电路板焊点质量的阀值筛选法和红外检测法 |
CN111761408A (zh) * | 2020-07-07 | 2020-10-13 | 哈尔滨理工大学 | 淬硬钢模具铣削过程刀具内外温度场检测装置及检测方法 |
CN111761408B (zh) * | 2020-07-07 | 2021-06-18 | 哈尔滨理工大学 | 淬硬钢模具铣削过程刀具内外温度场检测装置的检测方法 |
CN111965215A (zh) * | 2020-08-13 | 2020-11-20 | 长江存储科技有限责任公司 | 封装芯片缺陷检测装置及其方法 |
CN112540286A (zh) * | 2020-08-13 | 2021-03-23 | 西安太乙电子有限公司 | 一种用于三维bga倒封焊ic焊点失效的分析方法 |
CN111965216A (zh) * | 2020-08-22 | 2020-11-20 | 西安交通大学 | 基于脉冲涡流红外的led芯片焊接层空洞率无损评价方法 |
CN112198192A (zh) * | 2020-09-07 | 2021-01-08 | 江苏理工学院 | 一种用于风扇焊接组件的红外线图像检测装置及检测方法 |
CN112305408A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-02 | Tcl华星光电技术有限公司 | 一种发光芯片贴片检测系统及其检测方法 |
CN112858887A (zh) * | 2021-01-18 | 2021-05-28 | 昂宝电子(上海)有限公司 | 用于集成电路封装的分层缺陷检测方法 |
CN113570550A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-10-29 | 南京航空航天大学 | 一种基于三维点云的金丝键合尺寸检测方法 |
CN113570550B (zh) * | 2021-07-01 | 2022-04-01 | 南京航空航天大学 | 一种基于三维点云的金丝键合尺寸检测方法 |
CN114878603A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-08-09 | 浙江威固信息技术有限责任公司 | 一种bga芯片虚焊检测方法及检测系统 |
CN114878603B (zh) * | 2021-12-23 | 2023-03-14 | 浙江威固信息技术有限责任公司 | 一种bga芯片虚焊检测方法及检测系统 |
WO2023184153A1 (zh) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | 中山大学 | 一种基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统及方法 |
CN117589793A (zh) * | 2024-01-19 | 2024-02-23 | 辽宁爱尔创科技有限公司 | 一种陶瓷套管的检测系统、方法、装置、设备及存储介质 |
CN117589793B (zh) * | 2024-01-19 | 2024-04-16 | 辽宁爱尔创科技有限公司 | 一种陶瓷套管的检测系统、方法、装置、设备及存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101813638B (zh) | 2012-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101813638B (zh) | 一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置 | |
Su et al. | Defect inspection of flip chip solder joints based on non-destructive methods: A review | |
US7492449B2 (en) | Inspection systems and methods | |
CN111721768A (zh) | 一种多信息融合焊缝缺陷探测系统及方法 | |
Brand et al. | Automated inspection and classification of flip-chip-contacts using scanning acoustic microscopy | |
CN110146449A (zh) | 一种基于激光超声的空压机缸体表面裂纹在线检测方法及系统 | |
Xu et al. | Using active thermography for defects inspection of flip chip | |
CN105424752A (zh) | Bga芯片焊点缺陷逐点扫描测温检测方法 | |
Su et al. | Automated X-ray recognition of solder bump defects based on ensemble-ELM | |
CN103258755A (zh) | 倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法 | |
CN205374371U (zh) | 一种磁光成像无损检测平台 | |
CN103234977A (zh) | 倒装焊芯片焊点缺陷双热像仪红外测温检测法 | |
US20160069948A1 (en) | Analyzing apparatus | |
CN103199030A (zh) | 倒装焊芯片焊点缺陷对视测温检测法 | |
CN107132271A (zh) | 点结构光及磁光成像双传感焊缝成形及缺陷无损检测方法 | |
CN106932415B (zh) | 一种激光焊接接头专用的复合无损检测装置及方法 | |
KR101769243B1 (ko) | 복합재료 결함 검출을 위한 비접촉 비파괴 검사시스템 및 검사방법 | |
JP2008070158A (ja) | 超音波ホーンの振幅測定方法および周波数測定方法とその方法を用いた測定機器およびそれを用いた超音波接合装置 | |
Zhang et al. | Detection of flip chip solder joint cracks using correlation coefficient and auto-comparison analyses of laser ultrasound signals | |
Lu et al. | Defects inspection of the solder bumps using self reference technology in active thermography | |
Ume et al. | Laser ultrasonic inspection of solder bumps in flip-chip packages using virtual chip package as reference | |
CN116012285A (zh) | 一种基于激光超声的bga焊点缺陷检测系统及检测方法 | |
CN206772898U (zh) | 一种磁光成像无损检测装置 | |
JP2017078624A (ja) | 試料の接合性検査方法及び検査装置 | |
CN109060951A (zh) | 钢轨轨底专用涡流检测设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120613 Termination date: 20140430 |