CN101770050A - 彩色滤光片的制造方法及设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种彩色滤光片的制造方法及设备。方法包括：对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化；汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上，所述目标基板设置于所述蒸发舟上方设定距离处；将目标基板上汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形。本发明的技术方案中通过将形成在目标基板上的汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形，与现有技术中的彩色滤光片的制造方法相比，工艺简单，容易实现。

Description

彩色滤光片的制造方法及设备

技术领域

本发明涉及液晶显示器制造领域，尤其涉及一种彩色滤光片的制造方法及设备。

背景技术

随着液晶显示技术的发展，具有低消耗功率、无辐射等特性的TFT LCD已经成为液晶显示市场的主流。彩色滤光片是LCD彩色显示的关键器件，LCD必须通过彩色滤光片(Color Filter，简称CF)才能使液晶显示产生色彩变化。现有技术中，彩色滤光片的制造方法包括：染色法(dyeing)、颜料分散法(pigment-dispersed)、印刷法(printing)、电沉积法(electro-deposition)、喷墨法(ink-jet)、微胞电解法、电子照相法、薄膜分解法以及多层干涉膜法等。例如，中小尺寸的彩色滤光片通常采用颜料分散法来制造，具体包括：在玻璃基板上形成黑矩阵，在形成有黑矩阵的玻璃基板上涂布一层光阻原料，经掩膜版掩膜、曝光、显影、刻蚀、剥离等工艺后形成彩色光阻图形，例如可以首先形成红色光阻图形，重复执行上述形成彩色光阻图形的步骤，即可再形成绿色光阻图形和蓝色光阻图形，再经过固化彩色光阻图形以及制备保护层等操作形成彩色滤光片。其中，颜料分散法中使用的光阻原料的主要成分包括碱可溶性树脂、光固化树脂、光引发剂、颜料、有机溶剂以及添加剂等。大尺寸的彩色滤光片通常采用喷墨法来制造，具体包括：在玻璃基板上形成由黑矩阵，黑矩阵可以组成微点阵的像素框架，利用喷墨方式，分别将红、绿、蓝三种光阻原料精准地喷布在黑矩阵组成的相应的像素框架内形成彩色光阻层，再经过固化彩色光阻图形以及制备保护层等操作形成彩色滤光片。其中，喷墨法中使用的光阻原料的主要成分包括低聚物、颜料、有机溶剂以及添加剂等。

但是，现有技术中彩色滤光片的制造方法存在如下问题：利用颜料分散法制造彩色滤光片需要经过掩膜版掩膜、曝光、显影、刻蚀等多个步骤，利用喷墨法制造彩色滤光片时则需要利用喷墨方式将彩色光阻原料精准地喷布在黑矩阵组成的相应的像素框架内，以上二种方法均需要复杂的工艺才能实现。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中的问题，提供一种彩色滤光片的制造方法及设备，从而解决彩色滤光片的制造过程中工艺复杂的问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种彩色滤光片的制造方法，包括：

对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化；

汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上，所述目标基板设置于所述蒸发舟上方设定距离处；

将目标基板上汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形。

为实现上述目的，本发明提供了一种彩色滤光片的制造设备，包括：

封闭室、设置于封闭室内的蒸发舟、设置于封闭室内蒸发舟上方设定距离处的目标基板、扣设于目标基板上的掩膜版以及与封闭室连接的抽真空装置；

所述抽真空装置用于对所述封闭室进行抽真空处理，使所述封闭室成为真空状态；所述蒸发舟用于放置光阻原料以及使所述光阻原料汽化；所述掩膜版与目标基板用于使汽化的光阻原料形成光阻图形。

本发明的技术方案中通过将形成在目标基板上的汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形，与现有技术中的彩色滤光片的制造方法相比，工艺简单，容易实现。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本发明彩色滤光片的制造设备实施例的结构示意图；

图2为本发明彩色滤光片的制造方法实施例一的流程图；

图3为本发明彩色滤光片的制造方法实施例二的流程图；

图4为本发明形成黑色光阻图形的流程图；

图5为本发明扣设有黑色光阻掩膜版的玻璃基板的结构示意图；

图6为本发明形成有汽化的黑色颜料的玻璃基板的结构示意图；

图7为本发明形成有黑色光阻图形的玻璃基板的结构示意图；

图8为本发明扣设有彩色光阻掩膜版的玻璃基板的一种结构示意图；

图9为本发明形成红色光阻的流程图；

图10为本发明形成有汽化的红色颜料的玻璃基板的结构示意图；

图11为本发明扣设有彩色光阻掩膜版的玻璃基板的另一种结构示意图；

图12为本发明形成有汽化的绿色颜料的玻璃基板的结构示意图；

图13为本发明扣设有彩色光阻掩膜版的玻璃基板的另一种结构示意图；

图14为本发明形成有汽化的蓝色颜料的玻璃基板的结构示意图；

图15为本发明形成的彩色滤光片的结构示意图。

附图标记说明

1-封闭室；         2-蒸发舟；         3-目标基板；       4-掩膜版；

5-抽真空装置；     6-封闭装置；       7-隔离装置；       8-充气装置；

9-旋转装置；       10-玻璃基板；      11-黑色光阻掩膜版；12-汽化的黑色颜料；

13-黑色光阻图形；  14-彩色光阻掩膜版；15-汽化的红色颜料；16-汽化的绿色颜料；

17-汽化的蓝色颜料；18-红色光阻图形；  19-绿色光阻图形；  20-蓝色光阻图形。

具体实施方式

现有的彩色滤光片制造方法中使用的彩色树脂多是由颜料、树脂、有机溶剂及其它添加剂等原料共同配制而成，其中颜料是彩色光阻层色彩的主要来源，树脂及添加剂是为了在现有的制造方法中能较好的形成彩色光阻图形，而有机溶剂在制造过程中大部分都挥发掉了，因此，现有的制造方法中除使用颜料外，还需使用树脂、添加剂、有机溶剂等其它辅助原料，并且有机溶剂在制造过程会挥发掉，这导致现有的制造方法不仅需要使用额外的辅助原料，而且原料的利用率低。本发明中使用的光阻原料可以为无机颜料、有机颜料或者染料。

例如，无机颜料可如下所示，包括：

C.I.颜料红101，102，104，105，106，107，108；

C.I.颜料绿17，18，26；

C.I.颜料蓝27，28，29，30；

C.I.颜料黄31，32，34，36，37，42，43，46，53；

C.I.颜料棕6；

C.I.颜料黑6，7，11。

例如，有机颜料可如下所示，包括：

C.I.颜料红3，4，5，6，7，8，9，10，12，13，16，17，18，19，21，22，23，30，31，32，37，40，41，42，48，49，53，54，56，57，58，62，68，81，83，88，97，101，102，104，105，106，108，112，113，114，122，123，144，146，149，150，151，155，166，168，170，170，171，172，174，175，176，177，178，179，180，185，188，190，193，194，202，206，207，208，209，215，216，220，224，226，242，245，254，255，258，264，265；

C.I.颜料黄1，2，3，5，6，7，12，13，14，16，17，20，24，31，53，55，60，61，63，65，71，73，74，81，83，98，99，100，101，104，106，108，109，110，113，114，116，119，120，126，127，128，129，138，139，155，156，166，167，168，173，182，185；

C.I.颜料绿7，8，36，37；

C.I.颜料蓝1，2，10，15，16，22，60，66；

C.I.颜料棕23，25，28；

C.I.颜料黑1，20。

其中，染料可以为邻苯二酚类染料、苯胺类染料、双芪类染料等。

上述光阻原料的熔点都较高，在实际制造彩色滤光片的过程中可以使用其中的一种或多种颜色的光阻原料形成彩色滤光片上的光阻图形。本发明中由于采用对光阻原料先汽化后冷却即可形成光阻图形的方法，所以光阻原料可以仅使用必须的颜料或染料，无需添加树脂、添加剂和有机溶剂等成分就能实现在目标基板上形成光阻图形，这不仅节省了树脂、添加剂和有机溶剂等辅助原料，提高了原料的利用率，而且还提高了原料的纯度，降低了成本。

图1为本发明彩色滤光片的制造设备实施例的结构示意图，如图1所示，该制造设备包括封闭室1、设置于封闭室1内的蒸发舟2、设置于封闭室1内蒸发舟2上方设定距离处的目标基板3、扣设于目标基板3上的掩膜版4以及与封闭室连接的抽真空装置5。本实施例中目标基板3是以悬挂的方式设置于蒸发舟2上方。其中，蒸发舟2用于放置光阻原料以及使光阻原料汽化，因彩色滤光片上需要形成多种颜色的光阻图形，所以蒸发舟2可设置为多个，图中所示为四个，每个蒸发舟2内放置一种光阻原料，对蒸发舟2加热可使蒸发舟2内的光阻原料汽化，对蒸发舟2进行加热的加热装置可以与蒸发舟2一体设置，即蒸发舟2本身具备加热装置，也可以为单独设置的加热装置，图1中未具体示出；抽真空装置5用于对封闭室1进行抽真空处理，使封闭室1成为真空状态，在加热蒸发舟2之前，需要对封闭室1进行抽真空处理，使封闭室1成为真空状态；掩膜版4和目标基板3用于使汽化的光阻原料形成光阻图形。

本实施例通过彩色滤光片的制造设备可以使形成在目标基板上的汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形，与现有技术中制造彩色滤光片相比，工艺简单，容易实现；采用对光阻原料先汽化后冷却形成光阻图形的方法，可有效控制形成的光阻图形的厚度，从而形成光阻图形膜厚薄以及平整性好的彩色滤光片。

进一步地，该制造设备还可以包括设置于蒸发舟2上的封闭装置6，用于使蒸发舟2成为封闭状态。图1中所示的封闭装置6为一挡板。在将光阻原料放入蒸发舟2中之后，蒸发舟2上的挡板关闭，使蒸发舟2成为封闭状态；待蒸发舟2达到预定温度，蒸发舟2中的光阻原料开始汽化，此时打开挡板，使汽化的光阻原料逐渐充满整个封闭室1；当目标基板1上形成了汽化的光阻原料后，关闭蒸发舟2上的挡板，并降低蒸发舟2的温度，使蒸发舟2中的光阻原料不再汽化。采用封闭装置6可有效控制蒸发舟2的封闭状态，当目标基板3上已形成汽化的光阻原料时，无需再使蒸发舟2中的光阻原料汽化，则降低蒸发舟2的温度，因蒸发舟2的温度是逐步降低的，所以光阻原料仍然会继续汽化，此时可通过关闭挡板使蒸发舟2成为封闭状态，从而可避免汽化的光阻原料再进入到封闭室1的空间中，避免了光阻原料的浪费；另外，封闭室1中的目标基板3上会依次形成多种颜色的光阻图形，通常需要每个蒸发舟2中放置一种颜色的光阻原料，当一个蒸发舟2中的光阻原料汽化进入到封闭室1的空间中时，其它蒸发舟2上设置的挡板可防止汽化的光阻原料的进入，从而保证蒸发舟2内的光阻原料的纯度

进一步地，该制造设备还可以包括设置于蒸发舟2与目标基板3之间的隔离装置7，隔离装置7用于使蒸发舟2与目标基板3之间形成隔离状态。图1中所示的隔离装置7为一挡板。当封闭室1成为真空状态后，关闭作为隔离装置7的挡板，使蒸发舟2与目标基板3隔离，则汽化的光阻原料被隔离在挡板之下；待光阻原料的汽化状态稳定时，打开作为隔离装置7的挡板，使汽化的光阻原料通过掩膜版4形成在目标基板3上；当目标基板3上形成的汽化的光阻原料达到预定厚度时，关闭作为隔离装置7的挡板，使蒸发舟2与目标基板3重新隔离，这样汽化的光阻原料就无法再到达目标基板3上。采用隔离装置7，可有效控制在目标基板3上形成的汽化的光阻原料的厚度，即目标基板3上最终形成的光阻图形的厚度。

进一步地，为使处于真空状态的封闭室1更容易打开，该设备还可以包括与封闭室1连接的充气装置8，充气装置8用于将气体充入封闭室1中，以取消封闭室1的真空状态，从而使封闭室1容易打开。本实施例中气体采用氮气。

进一步地，该设备还可以包括与目标基板3连接的旋转装置9，旋转装置9可以使目标基板3以设定速度旋转，从而使目标基板3上形成的光阻图形的厚度更加均匀、表面平整性更好。

图2为本发明彩色滤光片的制造方法实施例一的流程图，如图2所示，具体包括：

步骤101、对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使蒸发舟中放置的光阻原料汽化；

光阻原料可以为有机颜料、无机颜料或者染料，染料可以为邻苯二酚类染料、苯胺类染料或者双芪类染料等。

对蒸发舟加热，使蒸发舟的温度逐步上升，达到预定温度，该预定温度为真空状态下光阻原料的汽化温度，真空状态中使光阻原料汽化的温度小于常压下使光阻原料汽化的温度，不同类型或不同颜色的光阻原料在真空状态下的汽化温度不同。当达到预定温度后，蒸发舟内的光阻原料开始逐渐汽化，此后可以保持此温度至目标基板上形成的汽化的光阻原料达到预定厚度，即光阻原料的厚度达到要求的值。设定的汽化温度越高，光阻原料的汽化速度越快，可以通过调节汽化温度来控制汽化速度。

步骤102、汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上，目标基板设置于蒸发舟上方设定距离处；

设定距离可以为0cm～50cm，较佳为5cm～35cm，更佳为10cm～25cm。

步骤103、将目标基板上汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形。

进一步地，步骤101之前还可以包括对封闭室进行抽真空处理，使封闭室成为真空状态的步骤；真空状态的封闭室的真空度为10^-1Pa～10^-7Pa，较佳为10^-2Pa～10^-6Pa，更佳为10^-3Pa～10^-5Pa。

进一步地，步骤103之后还可以包括取消封闭室的真空状态，将掩膜版和目标基板从封闭室中取出，分离掩膜版和目标基板的步骤。

进一步地，步骤101之前还可以包括使放置有光阻原料的蒸发舟成为封闭状态的步骤；则步骤102具体包括对蒸发舟加热，将蒸发舟加热到预定温度，光阻原料开始汽化时，取消蒸发舟的封闭状态的步骤；步骤102之后包括使蒸发舟成为封闭状态的步骤。上述各步骤可实现对蒸发舟封闭状态的有效控制，从而在彩色滤光片的制造过程中避免光阻原料的浪费以及保证蒸发舟内的光阻原料的纯度。

进一步地，本实施例中，步骤101之前还包括使蒸发舟与扣设有掩膜版的目标基板成为隔离状态的步骤，步骤102之前还可以包括取消蒸发舟与扣设有掩膜版的目标基板间的隔离状态的步骤，以及步骤102之后包括使蒸发舟与扣设有掩膜版的目标基板成为隔离状态的步骤。上述各步骤可有效控制目标基板上形成的汽化的光阻原料的厚度，即可有效控制目标基板上最终形成的光阻图形的厚度。

进一步地，本实施例中，步骤102可以为汽化的光阻原料形成在以设定速度旋转的扣设有掩膜版的目标基板上，使目标基板以设定速度旋转可以使形成的光阻图形的厚度更加均匀、表面平整性更好。其中，设定速度为0rpm～30rpm，较佳为1rpm～20rpm，更佳为3rpm～15rpm。

上述制造方法可用于制造彩色滤光片的各个光阻图形，例如黑色光阻图形、红色光阻图形、蓝色光阻图形和绿色光阻图形，下面通过实施例二详细描述彩色滤光片的实际制造过程。

图3为本发明彩色滤光片的制造方法实施例二的流程图，如图3所示，本实施例中目标基板采用玻璃基板，具体包括：

步骤201、在玻璃基板上形成黑色光阻图形；

黑色光阻层也称为黑矩阵，其形成的方法可以如图4所示，图4为本发明形成黑色光阻图形的流程图，具体包括：

步骤2011、将黑色颜料放入封闭室中的蒸发舟内，并使蒸发舟成为封闭状态；本实施例中，可在放有黑色颜料的蒸发舟上设置一挡板，使蒸发舟封闭。

步骤2012、在封闭室中蒸发舟上方设定距离处设置玻璃基板，玻璃基板上扣设有黑色光阻掩膜版；本实施例中设定距离为20cm，设置有黑色光阻掩膜版的玻璃基板的结构如图5所示，图5为本发明扣设有黑色光阻掩膜版的玻璃基板的结构示意图，图5中的玻璃基板10上扣设有黑色光阻掩膜版11。

步骤2013、对封闭室进行抽真空处理，使封闭室成为真空状态；将玻璃基板与黑色光阻掩膜版设置于蒸发舟上方后，关闭封闭室，开始对封闭室进行抽真空处理，直到成为真空状态的封闭室的真空度为10^-3Pa～10^-5Pa为止。

步骤2014、使蒸发舟与扣设有黑色光阻掩膜版的玻璃基板成为隔离状态；本实施例中可使用一挡板将蒸发舟与玻璃基板隔离。

步骤2015、对蒸发舟加热，将蒸发舟加热到预定温度，黑色颜料开始汽化时，取消蒸发舟的封闭状态，此时汽化的黑色颜料从蒸发舟进入到封闭室中；本实施例中将蒸发舟加热到100℃，使黑色颜料汽化，打开蒸发舟上的挡板，使汽化的黑色颜料进入封闭室中。

步骤2016、当黑色颜料的汽化状态稳定时，取消蒸发舟与玻璃基板的隔离状态，使汽化的黑色颜料形成在玻璃基板上；

具体地，可通过真空测厚仪测量汽化的黑色颜料的膜厚生长速度，待膜厚生长速度不变，则可判定黑色颜料的汽化状态稳定，打开蒸发舟与玻璃基板间的挡板，汽化的黑色颜料会逐渐充满封闭室，当汽化的黑色颜料到达目标基板时，通过黑色光阻掩膜版的掩膜作用，汽化的黑色颜料逐渐形成在玻璃基板上。形成有汽化的黑色颜料的玻璃基板的结构可以如图6所示，图6为本发明形成有汽化的黑色颜料的玻璃基板的结构示意图，通过黑色光阻掩膜版11的作用，玻璃基板10上形成了汽化的黑色颜料12。其中，在取消蒸发舟与玻璃基板的隔离状态时，还可以使玻璃基板10以10rpm的设定速度旋转，这样可以使玻璃基板10上形成的汽化的黑色颜料12的厚度更均匀、表面平整性更好。

步骤2017、当玻璃基板上形成的汽化的黑色颜料达到预定厚度时，使蒸发舟与玻璃基板成为隔离状态；

具体地，汽化的黑色颜料的预定厚度为0.8微米时，关闭蒸发舟与玻璃基板间的挡板使蒸发舟与玻璃基板隔离，以便于汽化的黑色颜料无法再到达玻璃基板。此时，如果玻璃基板处于旋转状态则使玻璃基板停止旋转。同时还可以关闭蒸发舟的挡板，使蒸发舟内的黑色颜料不再进入封闭室中。

步骤2018、将玻璃基板上汽化的黑色颜料冷却固化，形成黑色光阻图形；

具体地，可以先降低蒸发舟的温度，从而使玻璃基板自然冷却，则玻璃基板上汽化的黑色颜料也会冷却，最终固化形成黑色光阻图形。

步骤2019、取消封闭室的真空状态，将黑色光阻掩膜版和玻璃基板从封闭室中取出，分离黑色光阻掩膜版和玻璃基板；

则形成有黑色光阻图形的玻璃基板的结构可如图7所示，图7为本发明形成有黑色光阻图形的玻璃基板的结构示意图，图7中的玻璃基板10上形成了黑色光阻图形13。

步骤202、将红色颜料、绿色颜料和蓝色颜料分别放入封闭室中的三个蒸发舟内，并使每个蒸发舟成为封闭状态；

具体地，每个蒸发舟内放置一种颜料。本实施例中取10g有机颜料C.I.颜料红21、有机颜料C.I.颜料绿7以及有机颜料C.I.颜料蓝15。

步骤203、在封闭室中蒸发舟上方设定距离处设置形成有黑色光阻图形的玻璃基板，玻璃基板上扣设有彩色光阻掩膜版；本实施例中设定距离为20cm，设置有彩色光阻掩膜版的玻璃基板的结构如图8所示，图8为本发明扣设有彩色光阻掩膜版的玻璃基板的一种结构示意图，图8中的玻璃基板10扣设有彩色光阻掩膜版14。

步骤204、对封闭室进行抽真空处理，使封闭室成为真空状态；将玻璃基板与彩色光阻掩膜版设置于蒸发舟上方后，关闭封闭室，开始对封闭室进行抽真空处理，直到成为真空状态的封闭室的真空度为10^-3Pa～10^-5Pa为止。

步骤205、使蒸发舟与扣设有彩色光阻掩膜版的玻璃基板成为隔离状态；本实施例中可使用一挡板将蒸发舟与玻璃基板隔离。

步骤206、在形成有黑色光阻图形的玻璃基板上形成红色光阻图形；

具体方法可如图9所示，图9为本发明形成红色光阻的流程图，如图9所示，具体包括：

步骤2061、将蒸发舟加热到预定温度，使红色颜料开始汽化，取消蒸发舟的封闭状态，此时汽化的红色颜料从蒸发舟进入到封闭室中；本实施例中将蒸发舟加热到100℃，使红色颜料汽化，打开蒸发舟上的挡板，使汽化的红色颜料进入封闭室中。

步骤2062、当红色颜料的汽化状态稳定时，取消蒸发舟与玻璃基板的隔离状态，使汽化的红色颜料形成在玻璃基板上；

具体地，可通过真空测厚仪测量汽化的红色颜料的膜厚生长速度，待膜厚生长速度不变，则可判定红色颜料的汽化状态稳定，打开蒸发舟与玻璃基板间的挡板，汽化的红色颜料会逐渐充满封闭室，当汽化的红色颜料到达目标基板时，通过彩色光阻掩膜版的掩膜作用，汽化的红色颜料逐渐形成在玻璃基板上。形成有汽化的红色颜料的玻璃基板的结构可以如图10所示，图10为本发明形成有汽化的红色颜料的玻璃基板的结构示意图，通过彩色光阻掩膜版14的作用，图10中的玻璃基板10上形成了汽化的红色颜料15。其中，在取消蒸发舟与玻璃基板的隔离状态时，还可以使玻璃基板10以10rpm的设定速度旋转，这样可以使玻璃基板10上形成的汽化的红色颜料15的厚度更均匀、表面平整性更好。

步骤2063、当玻璃基板上形成的汽化的红色颜料达到预定厚度时，使蒸发舟与玻璃基板成为隔离状态；

具体地，汽化的红色颜料的预定厚度为1微米时，关闭蒸发舟与玻璃基板间的挡板使蒸发舟与玻璃基板隔离，以便于汽化的红色颜料无法再到达玻璃基板。此时，如果玻璃基板处于旋转状态则使玻璃基板停止旋转。同时还可以关闭蒸发舟的挡板，使蒸发舟内的红色颜料不再进入封闭室中。

步骤2064、将玻璃基板上汽化的红色颜料冷却固化，形成红色光阻图形；

具体地，可以先降低蒸发舟的温度，从而使玻璃基板自然冷却，则玻璃基板上汽化的红色颜料也会冷却，最终固化形成红色光阻图形。

步骤207、移动彩色光阻掩膜版或者玻璃基板，在形成有红色光阻图形的玻璃基板形成绿色光阻图形；

因蓝色光阻图形与红色光阻图形的结构是相同的，所以在形成红色光阻图形之后，移动掩膜版或者玻璃基板，在红色光阻图形相邻的位置形成绿色光阻图形，具体可以参见图11，图11为本发明扣设有彩色光阻掩膜版的玻璃基板的另一种结构示意图，图11中的形成有红色光阻图形18的玻璃基板10上扣设有彩色光阻掩膜版14。

具体地，形成绿色光阻图形的方法与步骤206中形成红色光阻图形的方法相同，此处不再详细描述。其中，形成有绿色光阻图形的玻璃基板的结构可如图12所示，图12为本发明形成有汽化的绿色颜料的玻璃基板的结构示意图，通过彩色光阻掩膜版14的作用，图12中的玻璃基板10上形成了汽化的绿色颜料16。

步骤208、再次移动彩色光阻掩膜版或者玻璃基板，在形成有绿色光阻图形的玻璃基板形成蓝色光阻图形；

因蓝色光阻图形与红色光阻图形以及绿色光阻图形的结构是相同的，所以在形成绿色光阻图形之后，移动掩膜版或者玻璃基板，在绿色光阻图形相邻的位置形成蓝色光阻图形，具体可以参见图13，图13为本发明扣设有彩色光阻掩膜版的玻璃基板的另一种结构示意图，图13中的形成有红色光阻图形18和绿色光阻图形19的玻璃基板10上扣设有彩色光阻掩膜版14。

具体地，形成蓝色光阻图形的方法与步骤206中形成红色光阻图形的方法相同，此处不再详细描述。其中，形成有蓝色光阻图形的玻璃基板的结构可如图14所示，图14为本发明形成有汽化的蓝色颜料的玻璃基板的结构示意图，图14中玻璃基板10上形成了汽化的蓝色颜料17。

步骤209、取消封闭室的真空状态，将彩色光阻掩膜版和玻璃基板从封闭室中取出，分离彩色光阻掩膜版和玻璃基板；

则形成有红、绿、蓝色光阻图形规则排列的彩色滤光片，具体可以如图15所示，图15为本发明形成的彩色滤光片的结构示意图，图15中的玻璃基板10上形成有红色光阻图形18、绿色光阻图形19和蓝色光阻图形20。

本实施例中，红色、蓝色、绿色光阻图形的排列顺序仅为一种示例，还可以根据本实施例中的方法形成其它排列顺序的彩色滤光片，具体不再详细描述。

上述实施例在形成每种光阻图形的过程中仅使用了一种颜色的光阻原料，在实际生产过程中，还可以对至少二个蒸发舟以不同的温度加热，控制二个蒸发舟内的光阻原料的汽化速度，使光阻原料以设定的汽化速度比汽化。例如，可以取C.I.颜料红21放入一个蒸发舟内，再取C.I.颜料黄17放入另一蒸发舟内，对蒸发舟进行加热，按汽化速度比5∶1对蒸发舟内的颜料进行汽化，以在玻璃基板上形成汽化的红色颜料，最终冷却后形成红色光阻图形，采用此种方法制成的光阻图形色度更好。在实际应用过程中还可以通过调整汽化速度比得到需要的色度的光阻图形，例如可以调整为6∶1或者4∶1等。

本实施例的技术方案中通过将形成在目标基板上的汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形，与现有技术中制造彩色滤光片相比，工艺简单，容易实现；采用对光阻原料先汽化后冷却形成光阻图形的方法，可有效控制形成的光阻图形的厚度，从而形成光阻图形膜厚薄以及平整性好的彩色滤光片。

汽化包括蒸发和沸腾二种现象，本发明上述各实施例中的汽化通常指的是蒸发，即在真空状态下，加热使光阻原料到一定温度，使光阻原料蒸发并形成在目标基板上。但在实际生产过程中，本发明中的汽化还可以为沸腾，即根据需要将光阻原料加热到更高的温度，使光阻原料沸腾并形成在目标基板上。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明技术方案的精神和范围。

Claims (13)

1.一种彩色滤光片的制造方法，其特征在于，包括：

对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化；

汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上，所述目标基板设置于所述蒸发舟上方设定距离处；

将目标基板上汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使蒸发舟中放置的光阻原料汽化之前包括：

对封闭室进行抽真空处理，使封闭室成为真空状态。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，真空状态中光阻原料汽化的温度小于常压下光阻原料汽化的温度。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热之前包括：使放置有光阻原料的蒸发舟成为封闭状态；

所述对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化包括：对所述蒸发舟加热，将所述蒸发舟加热到预定温度，光阻原料开始汽化时，取消蒸发舟的封闭状态；

所述汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上之后包括：使所述蒸发舟成为封闭状态。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热之前包括：使蒸发舟与扣设有掩膜版的目标基板成为隔离状态；

所述汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上之前包括：取消蒸发舟与扣设有掩膜版的目标基板间的隔离状态；

所述汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上之后包括：使蒸发舟与扣设有掩膜版的目标基板成为隔离状态。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上包括：汽化的光阻原料形成在以设定速度旋转的扣设有掩膜版的目标基板上。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述设定速度为3rpm～15rpm。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述设定距离为10cm～25cm。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述成为真空状态的封闭室的真空度为10-3Pa～10-5Pa。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化包括：对至少二个蒸发舟以不同的温度加热，控制二个蒸发舟内的光阻原料以设定的汽化速度比汽化。

11.根据权利要求1-10任一所述的方法，其特征在于，所述光阻原料包括：无机颜料、有机颜料或者染料。

12.一种彩色滤光片的制造设备，其特征在于，包括：封闭室、设置于封闭室内的蒸发舟、设置于封闭室内蒸发舟上方设定距离处的目标基板、扣设于目标基板上的掩膜版以及与封闭室连接的抽真空装置；

所述抽真空装置用于对所述封闭室进行抽真空处理，使所述封闭室成为真空状态；所述蒸发舟用于放置光阻原料以及使所述光阻原料汽化；所述掩膜版与目标基板用于使汽化的光阻原料形成光阻图形。

13.根据权利要求12所述的设备，其特征在于，包括：

旋转装置，与所述目标基板连接，用于使所述目标基板以设定速度旋转。

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