CN101734847A - 用于控制玻璃面板的卡盘的设备和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了用于控制玻璃面板的卡盘的设备和方法。所述设备包括:马达,连接于螺杆型进给单元;卡盘固定单元,通过马达和螺杆型进给单元上下移动;卡盘夹紧缸,设置在卡盘固定单元上以对卡盘进行操作;控制器,通过将改变后的夹紧压力与基准夹紧压力进行比较来计算卡盘的夹紧压力;以及卡盘,固定于卡盘固定单元且夹紧压力由控制器控制。所述方法包括:输入玻璃面板的材料性能;计算与输入的材料性能相对应的改变后的夹紧压力;计算改变后的夹紧压力和基准夹紧压力之间的差;以及基于计算出的压力差来控制卡盘的夹紧压力。

Description

用于控制玻璃面板的卡盘的设备和方法
相关申请的交叉引用
本申请要求在2008年11月26日提交的韩国专利申请No.2008-0117905的优先权并主张其权益,该韩国专利申请的公开内容经引用整体并入本文。
技术领域
本发明涉及用于控制玻璃面板的卡盘的设备和方法,并且更具体地,涉及可自由地控制用于将玻璃面板固定在划线装置中的卡盘的夹紧压力和高度的设备和方法。
背景技术
常规地,通过将由诸如玻璃的脆性材料形成的母玻璃面板(“母基板”)(下文称为“玻璃面板”)切割成预定尺寸的片获得诸如液晶显示器(LCD)面板、有机电致发光(EL)面板、无机EL面板、透射式投影仪基板、反射式投影仪基板等的平板显示器面板。
玻璃面板的切割过程包括通过由例如硬度高于玻璃的钻石制造的工具在玻璃面板的表面上形成划线的划线过程、以及沿形成于其上的划线切割玻璃面板的裂片过程。
通常地,当在划线过程期间玻璃面板经由传送带传输时,卡盘夹紧玻璃面板的两侧以使得玻璃面板的晃动最小。
下面将参考图1描述玻璃面板的卡盘的典型示例。
如图1所示,用于控制玻璃面板的卡盘的传统设备A包括用于夹紧玻璃面板1的卡盘4、用于固定卡盘4并通过其上下运动控制卡盘4的高度的卡盘固定单元2、以及用于向卡盘4施加夹紧压力的卡盘夹紧缸3。
卡盘固定单元2连接到驱动缸(未示出)以上下移动。
同时,虽然玻璃面板1取决于其品牌具有不同的抗压强度,但是它们的使用并不虑及抗压强度的不同。此外,不同品牌的玻璃面板甚至一起用作彼此粘合的上下面板。
因此,在连续的制造过程期间,玻璃面板1的材料性能(包括抗压强度)可能改变。
然而,由于卡盘4用相同的夹紧压力夹紧玻璃面板1而不考虑材料性能(包括抗压强度)的不同,玻璃面板1常常会被损坏。
此外,由于夹紧玻璃面板1的卡盘4的高度调节通过仅能调节上高和下高的卡盘夹紧缸3进行,所以,如果玻璃面板1的高度改变,卡盘4就不能适当地夹紧玻璃面板1,这导致对玻璃面板1的损坏。也就是说,由于夹紧玻璃面板1的卡盘4的位置是固定的,其不能应付玻璃面板1的厚度改变。
在图2A和2B示出的示例中,用于控制卡盘的传统设备A不能应付玻璃面板1的厚度改变。
如图2A所示,当玻璃面板1的实际厚度大于预定厚度时,卡盘4压迫玻璃面板1的顶面而损坏玻璃面板1。
相反地,如图2B所示,当玻璃面板1的实际厚度小于预定厚度时,卡盘4以下述状态夹住玻璃面板1:其中卡盘4不接触玻璃面板1的顶面,即卡盘4和玻璃面板1之间存在间隙(间隔),由此,玻璃面板1受振动立刻被抬起并损坏。
发明内容
本发明致力于解决上述的与现有技术相关的问题,且本发明的目的之一是提供一种用于控制玻璃面板的卡盘的设备,其依据玻璃面板材料性能的改变来自动地控制卡盘的夹紧压力,并使得卡盘可根据玻璃面板的厚度来夹紧玻璃面板,从而防止对玻璃面板的损坏。
为了实现上述的目的,根据本发明的一个方面,提供一种用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的设备,所述设备包括:马达,其与螺杆型进给单元连接;卡盘固定单元,其通过马达和螺杆型进给单元上下移动;卡盘夹紧缸,其设置在卡盘固定单元上以对卡盘进行操作;控制器,其通过将改变后的夹紧压力与基准夹紧压力进行比较来计算卡盘的夹紧压力并将与卡盘的夹紧压力相对应的信号传送给卡盘夹紧缸,其中改变后的夹紧压力与玻璃面板的材料性能相对应,基准夹紧压力与基准材料性能相对应;以及卡盘,其固定于卡盘固定单元且其夹紧压力由控制器控制。
根据本发明的另一个方面,提供一种用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的设备,所述设备包括:马达,其与螺杆型进给单元连接;卡盘固定单元,其通过马达和螺杆型进给单元上下移动;卡盘夹紧缸,其设置在卡盘固定单元上以对卡盘进行操作;压力调控器,其与卡盘夹紧缸连接;控制器,其接收玻璃面板的材料性能、计算与材料性能相对应的改变后的夹紧压力信号、并将该信号传送给压力调控器;以及卡盘,其固定于卡盘固定单元且其夹紧压力由控制器控制。
优选地,控制器可进一步具有计算螺杆型进给单元的改变后的转角与螺杆型进给单元的基准转角之间的转角差的功能,并可通过升高或降低卡盘固定单元来控制卡盘的高度,其中,螺杆型进给单元的改变后的转角对应于玻璃面板的输入厚度,螺杆型进给单元的基准转角对应于玻璃面板的基准厚度。
根据本发明的再一个方面,提供一种用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的方法,所述方法包括:输入玻璃面板的材料性能;计算与输入的材料性能相对应的改变后的夹紧压力;计算改变后的夹紧压力和基准夹紧压力之间的差,其中基准夹紧压力与基准材料性能相对应;以及基于计算出的压力差来控制卡盘的夹紧压力。
优选地,基准夹紧压力可以是与由卡盘夹紧的之前的玻璃面板的材料性能相对应的卡盘夹紧压力。
根据本发明的又一个方面,提供一种用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的方法,所述方法包括:输入玻璃面板的材料性能;计算与输入的材料性能相对应的改变后的夹紧压力;将基于改变后的夹紧压力的信号传送给压力调控器;以及通过给卡盘施加改变后的夹紧压力来控制卡盘的夹紧压力。
根据本发明的再一个方面,提供一种用于控制玻璃面板的卡盘的高度的方法,所述方法包括:输入玻璃面板的厚度;计算螺杆型进给单元的与输入的厚度相对应的改变后的转角;计算改变后的转角和与基准厚度相对应的基准转角之间的转角差;以及通过将与计算出的螺杆型进给单元的转角差相对应的电信号传送到与螺杆型进给单元连接的马达来控制卡盘的高度。
优选地,基准转角为螺杆型进给单元的与由卡盘夹紧的之前的玻璃面板的厚度相对应的转角。
附图说明
通过参照附图详细地描述示例性的实施方式,本领域的技术人员将更加清楚本发明上述及其它的目的、特征和优点,其中:
图1的视图示出用于控制玻璃面板的卡盘的高度的传统设备;
图2A和2B的视图示出传统设备无法根据玻璃面板的厚度控制卡盘的高度的示例;
图3的视图示出根据本发明示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的设备的构造;
图4的视图示出根据本发明另一示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的设备的构造;
图5的流程图示出根据本发明再一示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的方法;
图6的流程图示出根据本发明又一示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的方法;以及
图7的流程图示出根据本发明另一示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的高度的方法。
具体实施方式
在本文中,下面将参照附图详细地描述本发明的示例性实施方式,以使得本发明所属技术领域的技术人员可以容易地实践本发明。
图3的视图示出根据本发明示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的设备的构造,图4的视图示出根据本发明另一示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的设备的构造,图5的流程图示出根据本发明再一示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的方法,图6的流程图示出根据本发明又一示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的方法,且图7的流程图示出根据本发明另一示例性实施方式的用于控制玻璃面板的卡盘的高度的方法。
首先,如图3所示,用于控制玻璃面板的卡盘的设备100包括与螺杆型进给单元20连接的马达10、通过马达10和螺杆型进给单元20上下移动的卡盘固定单元30、设置在卡盘固定单元30上以升高和降低将在稍后描述的卡盘40的卡盘夹紧缸50、通过将对应于玻璃面板1的材料性能的改变后的夹紧压力与对应于基准材料性能的基准夹紧压力进行比较来计算卡盘40的夹紧压力的控制器60、以及设置在卡盘固定单元30上且夹紧压力由控制器60控制的卡盘40。
由于当驱动马达10时螺杆型进给单元20转动,所以可以调节设置在卡盘固定单元30上的卡盘40的高度。
此外,卡盘夹紧缸50--其将夹紧压力施加到卡盘40--可以是诸如液压缸或气压缸的公知汽缸。
进一步地,卡盘夹紧缸50从控制器60接收压力控制信号并控制卡盘40的夹紧压力。
下面将参考图5详细地描述用于控制卡盘40的夹紧压力的过程。
首先,玻璃面板1的材料性能(包括抗压强度)输入到设备100(S10)。
由于玻璃面板1的包括抗压强度在内的材料性能为预先从玻璃面板1的制造商获得的值,可以容易地参考每个玻璃面板1的制造商、型号等将材料性能输入到设备100。可通过各种公知的方法获得关于每个玻璃面板1的材料性能的信息。例如,如果包含这种信息的条形码附于玻璃面板1上,则其可通过扫描输入。如果没有可利用的输入方法,则可在过程期间直接测量和输入材料性能。
然后,控制器60计算与测得的材料性能相对应的改变后的夹紧压力(S20)。
在此情形中,由于与作为材料性能的抗压强度相对应的夹紧压力具有相同的单位,在抗压强度和改变后的夹紧压力之间形成线性关系。因此,可通过简单的公式确定用简单的比例来匹配抗压强度和改变后的夹紧压力。可选地,当与抗压强度相对应的夹紧压力已被储存于数据库中时,可从该数据库获得夹紧压力。
然后,控制器60计算改变后的夹紧压力和对应于基准材料性能的基准夹紧压力之间的差(S30)。
优选地,对应于基准材料性能的基准夹紧压力可以是与由卡盘40夹紧的之前的玻璃面板1的材料性能相对应的夹紧压力。在这种构造中,可以容易地通过相对于施加到之前的玻璃面板1的夹紧压力增加或减去一改变值来控制夹紧压力。
最后,控制器60基于计算出的夹紧压力差控制卡盘40的夹紧压力(S40)。
此步骤包括向卡盘夹紧缸50传送与夹紧压力差相关的信号以驱动卡盘夹紧缸50。
用于控制玻璃面板的卡盘的夹紧压力的设备可根据具有各种材料性能(包括抗压强度)的玻璃面板1来改变卡盘40的夹紧压力,从而防止对玻璃面板1的损坏。
同时,如图4所示,压力调控器70可连接到卡盘夹紧缸50以将对应于材料性能的改变后的夹紧压力直接施加到卡盘夹紧缸50,下面将参见图6详细地进行描述。
首先,玻璃面板1的材料性能(包括抗压强度)输入到设备(S10’)。
由于玻璃面板1的包括抗压强度的材料性能为预先从玻璃面板1的制造商获得的值,可以容易地参考每个玻璃面板1的制造商、型号等将材料性能输入到设备100。可通过各种公知的方法获得关于每个玻璃面板1的材料性能的信息。例如,如果包含这种信息的条形码附于玻璃面板1上,则其可通过扫描输入。如果没有可利用的输入方法,则可在过程期间直接测量和输入材料性能。
然后,控制器60计算与输入的材料性能相对应的改变后的夹紧压力(S20’)。
在此情形中,由于与作为材料性能的抗压强度相对应的夹紧压力具有相同的单位,在抗压强度和改变后的夹紧压力之间形成线性关系。因此,可通过简单的公式确定用简单的比例来匹配抗压强度和改变后的夹紧压力。可选地,当与抗压强度相对应的夹紧压力已被储存于数据库中时,可从该数据库获得夹紧压力。
然后,控制器60将与改变后的夹紧压力相关的信号传送到压力调控器70(S30’)。
当接收到该与改变后的夹紧压力相关的信号时,压力调控器70将与改变后的夹紧压力相对应的夹紧压力(气压力或液压力)施加到卡盘夹紧缸50,从而控制卡盘40的夹紧压力(S40’)。
同时,如图3、4和7所述,可以控制设置在卡盘固定单元30上的卡盘40的高度以与待夹紧的玻璃面板1的厚度相对应。
为此目的,如图3和4所示,控制器60可进一步具有计算螺杆型进给单元20的对应于待夹紧的玻璃面板1的厚度的改变后的转角与螺杆型进给单元20的对应于玻璃面板1的基准厚度的基准转角之间的转角差的功能。
在此情形中,控制器60向马达10传送与螺杆型进给单元20的转角差相对应的信号以升高或降低卡盘固定单元30,由此控制卡盘40的高度。
下面将参见图7更详细地描述根据玻璃面板1的厚度来控制卡盘40的高度的过程。
首先,玻璃面板1的厚度输入到设备100中(T10)。
由于玻璃面板1的诸如厚度的尺寸为预先从玻璃面板1的制造商获得的值,可以容易地参考每个玻璃面板1的制造商、型号等将厚度输入到设备100。可通过各种公知的方法获得关于每个玻璃面板1的厚度的信息。例如,如果包含这种信息的条形码附于玻璃面板1上,则其可通过扫描输入。如果没有可利用的输入方法,则可在过程期间直接测量和输入厚度。
然后,控制器60计算与输入的厚度相对应的螺杆型进给单元20的改变后的转角(T20)。
在此情形中,由于针对螺杆型进给单元20的转角的进给距离为通过设定的节距获得的值,一旦输入玻璃面板1的厚度,就可通过简单的公式计算改变后的转角。可选地,当与玻璃面板1的厚度相对应的螺杆型进给单元20的转角已被储存于数据库中时,可从该数据库获得改变后的转角。
然后,控制器60计算螺杆型进给单元20的改变后的转角和对应于基准厚度的基准转角之间的转角差(T30)。
优选地,基准转角可以是与由卡盘40夹紧的之前的玻璃面板1的厚度相对应的螺杆型进给单元20的转角。
然后,控制器60将与计算出的螺杆型进给单元20的转角差相对应的电信号传送到与螺杆型进给单元20连接的马达10(T40)。
其后,驱动马达10和螺杆型进给单元20以控制卡盘40的高度(T50)。
如上所述,依据本发明,由于卡盘的夹紧压力根据玻璃面板的改变后的材料性能自动地控制,所以可以防止玻璃面板的损坏。
此外,依据本发明,由于卡盘的高度针对具有各种厚度的玻璃面板自由地控制,所以可以防止玻璃面板被抬起或受压而损坏。
对于本领域的技术人员而言,显而易见地,可对上述的本发明的示例性实施方式作出各种变型而不偏离本发明的范畴。从而,本发明意图覆盖所有这些落在所附权利要求及等同范畴之内的变型。

Claims (8)

1.一种用于控制玻璃面板的卡盘的设备,所述设备包括:
马达,螺杆型进给单元连接于所述马达;
卡盘固定单元,通过所述马达和所述螺杆型进给单元上下移动;
卡盘夹紧缸,设置在所述卡盘固定单元上以对卡盘进行操作;
控制器,通过将改变后的夹紧压力与基准夹紧压力进行比较来计算所述卡盘的夹紧压力并将与所述卡盘的夹紧压力相对应的信号传送给所述卡盘夹紧缸,其中所述改变后的夹紧压力与玻璃面板的材料性能相对应,所述基准夹紧压力与基准材料性能相对应;以及
卡盘,固定于所述卡盘固定单元且夹紧压力由所述控制器控制。
2.一种用于控制玻璃面板的卡盘的设备,所述设备包括:
马达,螺杆型进给单元连接于所述马达;
卡盘固定单元,通过所述马达和所述螺杆型进给单元上下移动;
卡盘夹紧缸,设置在所述卡盘固定单元上以对卡盘进行操作;
压力调控器,连接于所述卡盘夹紧缸;
控制器,接收玻璃面板的材料性能、计算与所述材料性能相对应的改变后的夹紧压力信号、并将所述信号传送给所述压力调控器;以及
卡盘,固定于所述卡盘固定单元且夹紧压力由所述控制器控制。
3.如权利要求1或2所述的设备,其中所述控制器进一步具有计算所述螺杆型进给单元的改变后的转角与所述螺杆型进给单元的基准转角之间的转角差的功能,并通过升高或降低所述卡盘固定单元来控制所述卡盘的高度,其中所述螺杆型进给单元的所述改变后的转角对应于玻璃面板的输入厚度,所述螺杆型进给单元的所述基准转角对应于玻璃面板的基准厚度。
4.一种用于控制玻璃面板的卡盘的方法,所述方法包括:
输入玻璃面板的材料性能;
计算与输入的材料性能相对应的改变后的夹紧压力;
计算所述改变后的夹紧压力和基准夹紧压力之间的差,其中所述基准夹紧压力与基准材料性能相对应;以及
基于计算出的压力差来控制卡盘的夹紧压力。
5.如权利要求4所述的方法,其中所述基准夹紧压力为与由卡盘夹紧的之前的玻璃面板的材料性能相对应的卡盘夹紧压力。
6.一种用于控制玻璃面板的卡盘的方法,所述方法包括:
输入玻璃面板的材料性能;
计算与输入的材料性能相对应的改变后的夹紧压力;
将基于所述改变后的夹紧压力的信号传送给压力调控器;以及
通过向卡盘施加所述改变后的夹紧压力来控制卡盘的夹紧压力。
7.一种用于控制玻璃面板的卡盘的方法,所述方法包括:
输入玻璃面板的厚度;
计算螺杆型进给单元的对应于所输入的厚度的改变后的转角;
计算所述改变后的转角和对应于基准厚度的基准转角之间的转角差;以及
通过将与计算出的所述螺杆型进给单元的所述转角差相对应的电信号传送到与所述螺杆型进给单元连接的马达来控制卡盘的高度。
8.如权利要求7所述的方法,其中所述基准转角为螺杆型进给单元的与由卡盘夹紧的之前的玻璃面板的厚度相对应的转角。
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Cited By (1)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102067985B1 (ko) * 2017-11-23 2020-01-20 주식회사 탑 엔지니어링 기판 절단 장치
KR102067984B1 (ko) * 2017-11-23 2020-01-20 주식회사 탑 엔지니어링 기판 절단 장치
KR102230910B1 (ko) * 2019-08-27 2021-03-23 주식회사 탑 엔지니어링 클램프 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107475679A (zh) * 2017-08-18 2017-12-15 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 夹持对位装置及方法
CN107475679B (zh) * 2017-08-18 2019-11-26 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 夹持对位装置及方法

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