CN101728226B - 分离装置及分离方法 - Google Patents

Abstract

本发明是有关于一种分离装置及分离方法。该分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，此分离装置包括一平台、一传动部、一溶解部、一清洗部及一第一分隔板。传动部配置于平台上，以移动电子本体及基板。溶解部配置于平台上，是用以喷洒一溶剂于电子本体及基板。清洗部配置于平台上，是用以清洗电子本体。第一分隔板是位于溶解部及清洗部之间，此第一分隔板具有至少一第一通孔，是仅使电子本体穿越，藉由电子本体穿越第一通孔，而基板无法通过第一通孔，而使电子本体及基板分离。

Description

分离装置及分离方法

技术领域

本发明涉及一种分离装置及分离方法，特别是涉及一种水平移动电子本体及基板以进行分离及收集自动化程序的分离装置及分离方法。

背景技术

一般传统电子本体(例如半导体晶圆、太阳能电池或面板)的清洗方式是以机械手臂送至清洗处清洗，接着，再将电子本体以机械手臂运送至烘干处烘干电子本体上的液体，然后再将烘干的电子本体以机械手臂原封不动的送到储存区储存。

由上述可知，先前技术自电子本体准备清洗、烘干至储存区装填完成的一连串的作业，皆是个别独立动作而不连贯，无法将所有过程整合为一个连续的流程，造成过多时间的花费，成本的提高及维修费用的增加，并且每一段作业上，其每一动作仅作动于单一晶圆，而无法分批及大量处理晶圆，使得整体效率大幅下降。

另外，面对电子本体日趋薄化，导致日后薄形化的电子本体上必须添加一粘附的基板，以防止搬运及动作时毁损，而现有电子本体清洗装置，并无使电子本体及基板分离的装置。

由此可见，上述现有的电子本体清洗装置在产品结构、清洗方法与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品及方法又没有适切的结构及方法能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的分离装置及分离方法，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于上述现有的电子本体清洗装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新的分离装置及分离方法，能够改进一般现有的电子本体清洗装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的电子本体清洗装置存在的缺陷，而提 供一种新型的分离装置及分离方法，所要解决的技术问题是使其利用具有溶解部、清洗部、烘干部及收集部的一平台，可大量分离相粘合的电子本体及基板。

本发明的另一目的在于，克服现有的电子本体清洗装置存在的缺陷，而提供一种新的分离装置，所要解决的技术问题是使其利用相隔溶解部及清洗部的分隔板上的通孔，以分离相粘合的电子本体及基板。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，该分离装置包括：一平台；一传动部，配置于该平台上，以移动该电子本体及该基板；一溶解部，配置于该平台上，是用以喷洒一溶剂于该电子本体及该基板；一清洗部，配置于该平台上，是用以清洗该电子本体；以及一第一分隔板，是位于该溶解部及该清洗部之间，该第一分隔板具有至少一第一通孔，该第一通孔的高度是仅使该电子本体穿越，而该基板无法通过该第一通孔，致使该电子本体及该基板分离。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的分离装置，其中所述的溶解部具有一第一喷嘴，藉由该第一喷嘴喷洒该溶剂，以溶解该电子本体及该基板间的粘着剂。

前述的分离装置，其中所述的清洗部具有一第二喷嘴，藉由该第二喷嘴的喷洒，以进一步带动该电子本体及该基板移动。

前述的分离装置，其中所述的传动部是为一滚轮组或一流体，以移动该电子本体及该基板。

前述的分离装置，其还包含一烘干部，该烘干部是设置于该平台上，用以烘干该电子本体及该基板。

前述的分离装置，其还包括一收集部，该收集部是设置于该平台上，用以收集该电子本体及该基板。

前述的分离装置，其还包括一基板推移部，该基板推移部是设置于该平台上，用以使已分离的该基板引导至该第一分隔板上的一第二通孔。

前述的分离装置，其中所述的该电子本体是晶圆、太阳能电池及面板其中之一。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种分离方法，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，该分离方法包括下列步骤：

i)配置一平台、一传动部、一溶解部、一基板推移部、一清洗部、一第一分隔板，且该第一分隔板是设置于该溶解部及该清洗部之间；

ii)利用该传动部带动相粘合的该电子本体及该基板往该第一分隔板移动；

iii)利用溶解部喷射一溶剂，以溶解该电子本体上所粘附的粘着剂；

iv)利用第一分隔板上的一第一通孔使该电子本体穿越至该清洗部，且使该基板无法通过第一通孔，藉此让相粘合的该电子本体及该基板分离；

v)利用该基板推移部的引导，使已分离的该基板穿越该第一分隔板上的一第二通孔至该清洗部；以及

vi)利用该清洗部所喷射的清洗剂加以清洗已分离的该电子本体及该基板，以去除该电子本体及该基板上所粘附的粘着剂。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的分离方法，其还包含下列步骤：

利用该清洗部所喷射的清洗剂带动该电子本体穿越该第二分隔板上的一第三通孔、该基板穿越第二分隔板上的一第四通孔至烘干部。

前述的分离方法，其还包含下列步骤：

设置一烘干部于该平台上，分别烘干已分离的该电子本体及该基板。

前述的分离方法，其还包含下列步骤：

设置一收集部于该平台上，用以收集已分离的该电子本体及该基板。

前述的分离方法，其中所述的溶解部具有一第一喷嘴，藉由该第一喷嘴喷洒该溶剂，以溶解该电子本体及该基板间的粘着剂。

前述的分离方法，其中所述的清洗部具有一第二喷嘴，藉由该第二喷嘴的喷洒，以进一步带动该电子本体及该基板移动。

前述的分离方法，其中所述的传动部是为一滚轮组或一流体，以移动该电子本体及该基板。

前述的分离方法，其中所述的电子本体是晶圆、太阳能电池及面板其中之一。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明分离装置及分离方法至少具有下列优点及有益效果：

本发明的分离装置及分离方法利用具有溶解部、清洗部、烘干部及收集部的一平台，达到大量分离相粘合的电子本体及基板的功效。

本发明的分离装置，利用相隔溶解部及清洗部的分隔板上的通孔，达到分离相粘合的电子本体及基板的功效。

综上所述，本发明是有关于一种分离装置及分离方法。该分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，此分离装置包括一平台、一传动部、一溶解部、一清洗部及一第一分隔板。传动部配置于平台上，以移动电子本体及基板。溶解部配置于平台上，是用以喷洒一溶剂于电子本体及基板。清洗部配置于平台上，是用以清洗电子本体。第一分隔板是位于溶解部及清洗部之间，此第一分隔板具有至少一第一通孔，是仅使电子本体穿越，藉由电子本体穿越第一通孔，而基板无法通过第一通孔，而使电子本体及基 板分离。本发明的具有大量分离相粘合的电子本体及基板的功效。本发明具有上述诸多优点及实用价值，其不论在产品结构、分离方法或功能上皆有较大的改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的电子本体清洗装置具有增进的突出多项功效，从而更加适于实用，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本发明分离装置的较佳实施例的立体结构示意图。

图2是本发明分离装置的较佳实施例的第一作动示意图。

图3是本发明分离装置的较佳实施例的第二作动示意图。

图4是本发明分离装置的较佳实施例的第三作动示意图。

图5是本发明分离装置的较佳实施例的第四作动示意图。

图6是本发明分离装置的较佳实施例的第五作动示意图。

图7是本发明分离装置的较佳实施例的第六作动示意图。

图8是本发明分离装置的较佳实施例的第七作动示意图。

图9是本发明分离方法的步骤流程图。

1：分离装置              11：电子本体

12：基板                 13：粘着剂

2：平台                  21：传动部

211：滚轮组              212：流体

22：溶解部               221：溶剂供应装置

222：第一喷嘴            223：溶剂

23：基板推移部           24：清洗部

241：清洗剂供应装置      242：第二喷嘴

243：清洗剂              25：第一分隔板

251：第一通孔            252：第二通孔

26：烘干部               27：第二分隔板

271:第三通孔             272：第四通孔

28：收集部               31：挟持器

32：排气设备             S20～S30：步骤流程

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的分离装置及分离方法其具体实施方式、结构、步骤、特征及其功效，详细说明如后。

有关本发明的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚呈现。通过具体实施方式的说明，当可对本发明为达成预定目的所采取的技术手段及功效得一更加深入且具体的了解，然而所附图式仅是提供参考与说明之用，并非用来对本发明加以限制。

请参阅图1所示，是本发明分离装置较佳实施例的立体结构示意图。本发明较佳实施例的分离装置1，是用以分离一相粘合的电子本体11及基板12，电子本体11是晶圆、太阳能电池、面板或任何可以与基板粘合后而分离的电子本体11。在此实施例中是以晶圆加以表示，但不以晶圆为限。该分离装置1包含一平台2、一传动部21、一溶解部22、一基板推移部23、一清洗部24、一第一分隔板25、一烘干部26、一第二分隔板27及一收集部28。

上述的传动部21是配置于平台2上，具有滚轮组211及利用平台2上所灌注的流体212，以移动电子本体11及基板12，其中滚轮组211是配置于溶解部22、清洗部24及烘干部26，而平台2上所灌注的流体212，是配置于溶解部22及清洗部24，当所灌注的流体212未覆盖电子本体11及基板12时，可以利用滚轮组211及滚轮组211下方的第一喷嘴212、第二喷嘴242加以带动电子本体11及基板12。当所灌注的流体212覆盖电子本体11及基板12时，除了可以利用滚轮组211带动外，亦可以利用流体212带动电子本体11及基板12，在此实施例中是利用滚轮组211及流体212加以带动电子本体11及基板12，但不以此为限。

上述的溶解部22配置于平台2上，具有溶剂供应装置221及多个第一喷嘴222，利用溶剂供应装置221的溶剂221加以供应至第一喷嘴222，而喷洒溶剂221于电子本体11及基板12上，以溶解电子本体11及基板12上的粘着剂13，此部份的第一喷嘴222是以斜向喷洒方式，可以顺势带动电子本体11及基板12移动。

上述的基板推移部23是位于第一分隔板25前，是使基板12引导至第二通孔252。

上述的清洗部24配置于平台2上，具有清洗剂243、清洗剂供应装置241及多个第二喷嘴242，清洗剂包含去离子水、异丙醇(IPA)或者是化学液體，是用以清洗电子本体11及基板12，以去除电子本体11及基板12上所贴附的粘着剂13。

上述的第一分隔板25是位于溶解部22及清洗部24之间，此第一分隔 板25具有至少一第一通孔251及至少一第二通孔252，此第一通孔251的位置仅提供电子本体11穿越，此第二通孔252的位置仅提供基板12穿越。由于电子本体11及基板12之间的粘着剂13已被溶剂221溶解，因此借由传动部21的带动，以及第一喷嘴222以斜向喷洒溶剂221的带动之下，使得基板12被第一分隔板25挡住，而电子本体11继续穿过第一通孔251。藉此，电子本体11及基板12可在移动中彼此分离，而移往烘干部26。第一通孔251及第二通孔252的位置高度可根据不同厚度的电子本体11及基板12而设计。

上述的烘干部26是烘干电子本体11及基板12。

上述的第二分隔板27是位于清洗部24及烘干部26之间，此第二分隔板27具有一第三通孔271及一第四通孔272，利用清洗剂243、清洗剂供应装置241的清洗剂243供应至第二喷嘴242，而喷洒清洗剂243于电子本体11及基板12上，以清洗电子本体11及基板12上的粘着剂13，此第二喷嘴242是以斜向方式喷洒。

上述的收集部28是分别收集电子本体11及基板12。

上述的分离装置1，视需要可增加一挟持器31及一排气设备32。挟持器31是用以挟持相粘合的电子本体11及基板12至平台上2。排气设备32是位于平台2上方，藉以吸除分离装置1在一系列作动过程中所产生的化学气体。

请参阅图2至图9所示，是本发明分离装置较佳实施例的第一作动示意图、第二作动示意图、第三作动示意图、第四作动示意图、第五作动示意图、第六作动示意图、第七作动示意图及本发明分离方法的步骤流程图。图中，此方法的流程由步骤S20展开，步骤S20是配置一平台2、一传动部21、一溶解部22、一基板推移部23、一清洗部24、一第一分隔板25、一烘干部26、一第二分隔板27、一收集部28以及视需要所增加的挟持器31及一排气设备32(如图1所示)，其中电子本体11在此实施例中是以晶圆加以说明，但不以晶圆为限，也包括太阳能电池、面板或任何可以与基板12粘合后而分离的电子本体11。

步骤S21是利用挟持器以挟持31相粘合的电子本体11及基板12至平台2上的溶解部22。并且藉由步骤S22传动部21的滚轮组211及流体212(请参阅图1)，使相粘合的电子本体11及基板12由溶解部22往第一分隔板25移动。

再以步骤S23第一喷嘴222喷射的溶剂，溶剂包含酒精、异丙醇或是其他化學品溶剂以溶解晶圆上所粘附的粘着剂13。

然后，利用步骤S24第一喷嘴222的喷射或流体212的带动，而使电子本体11穿越第一分隔板25上的第一通孔251至清洗部24，而基板12因其 本身无法通过第一通孔251，使原本粘合的电子本体11及基板12分离，并且经由基板推移部23的引导，使分离的基板12穿越第一分隔板25上的第二通孔252至清洗部24。

之后，利用步骤S25第二喷嘴242所喷射的清洗剂243加以清洗电子本体11及基板12，以去除电子本体11及基板12上所粘附的粘着剂(图中未示)，藉由步骤S26传动部21的滚轮组211及流体212，使已分离的电子本体11及基板12各别由清洗部24往第二分隔板27移动，并且利用步骤S27第二喷嘴242的喷射或流体212的带动，而使电子本体11穿越第二分隔板27上的第三通孔271，基板12穿越第二分隔板27上的第四通孔272至烘干部26。

接着，藉由步骤S28烘干部26各别烘干电子本体11及基板12，并且利用传动部21的滚轮组211，使已分离的电子本体11及基板12分别由烘干部26往收集部28移动。

最后利用步骤S29收集部28，使移动的电子本体11及基板12收集至收集部28，再藉由步骤S30以排气设备32(请参阅图1)吸除分离装置1在各个动作过程中所产生的化学气体，而完成电子本体11及基板12分离的一系列动作。

由于传动部21、溶解部22、基板推移部23、清洗部24、第一分隔板25、烘干部26、第二分隔板27及收集部28皆设置于平台2，因此相粘合的电子本体11及基板12可在平台上进行一贯化及自动化的流程，相粘合的电子本体11及基板12可水平式移动完成上述的分离及收集程序，而且亦可同步处理分离后的电子本体11及基板12，藉此大幅提产量并降低设备的制造成本。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (16)

1.一种分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，其特征在于该分离装置包括：

一平台；

一传动部，配置于该平台上，以移动该电子本体及该基板；

一溶解部，配置于该平台上，是用以喷洒一溶剂于该电子本体及该基板；

一清洗部，配置于该平台上，是用以清洗该电子本体；以及

一第一分隔板，是位于该溶解部及该清洗部之间，该第一分隔板具有至少一第一通孔，该第一通孔的高度是仅使该电子本体穿越，而该基板无法通过该第一通孔，致使该电子本体及该基板分离。

2.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其中所述的溶解部具有一第一喷嘴，藉由该第一喷嘴喷洒该溶剂，以溶解该电子本体及该基板间的粘着剂。

3.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其中所述的清洗部具有一第二喷嘴，藉由该第二喷嘴的喷洒，以进一步带动该电子本体及该基板移动。

4.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其中所述的传动部是为一滚轮组或一流体，以移动该电子本体及该基板。

5.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其还包含一烘干部，该烘干部是设置于该平台上，用以烘干该电子本体及该基板。

6.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其还包括一收集部，该收集部是设置于该平台上，用以收集该电子本体及该基板。

7.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其还包括一基板推移部，该基板推移部是设置于该平台上，用以使已分离的该基板引导至该第一分隔板上的一第二通孔。

8.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其中所述的该电子本体是晶圆、太阳能电池及面板其中之一。

9.一种分离方法，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，其特征在于该分离方法包括下列步骤：

配置一平台、一传动部、一溶解部、一基板推移部、一清洗部、一第一分隔板，且该第一分隔板是设置于该溶解部及该清洗部之间；

利用该传动部带动相粘合的该电子本体及该基板往该第一分隔板移动；

利用溶解部喷射一溶剂，以溶解该电子本体上所粘附的粘着剂；

利用第一分隔板上的一第一通孔使该电子本体穿越至该清洗部，且使该基板无法通过第一通孔，藉此让相粘合的该电子本体及该基板分离；

利用该基板推移部的引导，使已分离的该基板穿越该第一分隔板上的一第二通孔至该清洗部；以及利用该清洗部所喷射的清洗剂清洗已分离的该电子本体及该基板，以去除该电子本体及该基板上所粘附的粘着剂。

10.根据权利要求9所述的分离方法，其特征在于其还包含下列步骤：

利用该清洗部所喷射的清洗剂带动该电子本体穿越该第二分隔板上的一第三通孔、该基板穿越第二分隔板上的一第四通孔至烘干部。

11.根据权利要求9所述的分离方法，其特征在于其还包含下列步骤：

设置一烘干部于该平台上，分别烘干已分离的该电子本体及该基板。

12.根据权利要求9所述的分离方法，其特征在于其还包含下列步骤：

设置一收集部于该平台上，用以收集已分离的该电子本体及该基板。

13.根据权利要求9所述的分离方法，其特征在于其中所述的溶解部具有一第一喷嘴，藉由该第一喷嘴喷洒该溶剂，以溶解该电子本体及该基板间的粘着剂。

14.根据权利要求9所述的分离方法，其特征在于其中所述的清洗部具有一第二喷嘴，藉由该第二喷嘴的喷洒，以进一步带动该电子本体及该基板移动。

15.根据权利要求9所述的分离方法，其特征在于其中所述的传动部是为一滚轮组或一流体，以移动该电子本体及该基板。

16.根据权利要求9所述的分离方法，其特征在于其中所述的电子本体是晶圆、太阳能电池及面板其中之一。

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